KR100295175B1 - 헤테로다인 간섭계의 오차를 정정하는 방법과 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 헤테로다인 간섭계의 주기적 오차를 정정하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해서는 두 부분구간으로 나뉜 고정불변의 캘리브레이션 구간에 대하여 캘리브레이션 측정을 반복하는데, 한 부분구간은 간섭계로 측정하며, 다른 부분구간은 측정구간을 따라 주기적 오차를 보이지 않는 거리측정 추가 시스템으로 측정한다. 캘리브레이션 측정을 할 때마다 측정에 앞서 간섭계에 의해 측정되는 부분구간이 조금씩 변경된다. 그러면 제2 부분구간도 반대방향으로 변경된다. 한 부분구간의 거리 변경의 합은 적어도 한 측정광 파장 크기의 간섭계 광로 길이 변화와 일치해야 한다. 고정불변의 캘리브레이션 구간에 대한 상이한 캘리브레이션 측정결과들에서 주기적 오차 부분이 분리되고, 임의의 간섭계 측정을 정정하기 위하여 파장에 따른 오차 곡선이 결정된다.

Description

헤테로다인 간섭계의 오차를 정정하는 방법과 장치{METHOD AND DEVICE FOR HETERODYNE INTERFEROMETER ERROR CORRECTION}

반도체 산업에서 마스크와 웨이퍼를 측정하는 데 필요한 간섭계에 의한 초정밀 측정은 레이저 파장 이하의 분해능을 가진다. 그렇게 하기 위해서는 위상 전이가 전자적으로 보간된다. 이 과정에서 오차가 발생하는데, 이 오차는 측정 시스템의 분해능의 한계를 넘어서는 것이고 주기적으로 나타난다.

상용화된 고분해능 간섭계는 모두 헤테로다인 원리를 따르는데, 여기서 사용되는 두 주파수 성분은 상이한 편광을 통해 분리된다. 이 경우에도 측정구간을 따라 주기적 오차가 발생하는데, 물론 이 오차는 전자적 보간법의 부정확성에서 오는 것보다는 레이저 빔을 통과하는 성분들에서의 역학적 장력 때문에 생기는 것이다. 이 역학적 장력은 그 광학적 성분들에서 복굴절을 발생시켜 그 두 빔 성분 상호간의 이상적인 편광을 교란시킨다.

이 주기적 오차는 고분해능 간섭계의 분해능과 반복가능성을 현저하게 떨어뜨리는 일련의 오류에 속한다. 예컨대 레이저 파장의 변동, 전자적 오류, 광학적 오류, 측정 시스템을 둘러싸고 있는 대기의 불안정이 오차의 원인으로 알려져 있다. 지난 수년간 간섭계의 분해능이 현저하게 향상될 수 있었으므로, 개별 오류와 그 원인을 제거하는 방법도 집약적으로 발전하고 있다.

예컨대 US 5 469 260에서는 위치 측정장치의 구성부가 되는 고분해능 간섭계가 설명되고 있는데, 여기서는 빔경로를 밀폐하고 공지의 온도와 조성의 가스를 주입하는 방법을 통해 기압 변동과 돌발적 온도 변화가 측정 결과에 미치는 영향을 최소화하고 있다. 하지만 주기적 오차에 대해서는 주목하고 있지 않다.

간섭계에 의한 측정에서 주기적 오차가 발생하는 문제는 사실 오래 전부터 알려져 있는 것이다. 상용화된 간섭계의 생산자들도 간섭계 측정의 주기적 오차의 문제를 해결하기 위해 노력하고 있다. 이 문제는 『휴렛 팩커드 저널(Hewlett Packard Journal』, 1983년 4월호, 10쪽에 실린 Robert C. Quenelle의 논문 'Nonlinearity in Interferometer Measurements'에서도 다루고 있다. 주기적 오차의 피크값은 이 논문에서도 이미 5 nm의 크기로 언급되고 있다. 이 오차는 지금까지는 정정이 불가능했다. 그러한 정정을 시급하게 해야 할 필요도 물론 없었다. 지금까지 공지된 고분해능 간섭계의 분해능이 5 nm 한계 이상의 범위에 있었고 따라서 주기적 오차를 무시해도 되는 것으로 간주할 수 있었기 때문이다.

DE 40 31 291 A1에서는 보간법을 개선하거나, 아니면 그 대안으로서 편광 광학적 교란에 의해 발생하는 시스템의 주기적 오차를 줄이는 것을 과제로 제시하고 있다. 이를 위해서 헤테로다인 이중 간섭계가 제안되는데, 여기서는 빔경로가 분할되고 측정신호들이 따로따로 검파된다. 그 두 부분 빔의 편광 방향이 이상적으로 서로 직교를 이룰 수 있도록 하기 위해서는 두 측정 검파기 앞에 조정 가능한 분석기를 둔다. 분석기들의 직교 배열에서는 주기적 오차의 보상이 가능하다. 아니면 그 대안으로서 분석기의 순방향들의 병렬 배열에서는 측정 분해능의 향상이 이루어질 수 있다. 따라서 이러한 배열을 통해서는 헤테로다인 이중 간섭계가 서브마이크로미터 영역에서 보이는 측정 불안정이 개선될 수 있다.

이러한 측정 배열의 단점은 간섭계 시스템의 구조를 공지된 시스템과 아주 많이 다르게 변경해야 한다는 것이다. 기존의 간섭계 시스템에 빔 분할기, 제2 부분빔을 위한 검파기 및 두 분석기를 추가로 설치하는 것은 자리가 부족하기 때문에 당장은 불가능하다. 그 밖에도 전자적 보간의 결과로 나오는 주기적 오차도 그대로 남아 있다. 따라서 앞에서 언급한 방법으로는 측정 불안정이 단지 서브마이크로미터 영역에서만 개선될 수 있을 뿐이다.

하지만 새로 나온 초정밀 측정용 간섭계들은 1 nm 이하 크기의 분해능을 보이므로, 주기적 오차를 가능한 한 완전하게 제거해야 한다.

도 1은 본 발명의 방법을 적용하기 위해 CCD 카메라가 추가되어 있는 본 발명에 따른 간섭계.

도 2는 본 발명의 방법을 적용하기 위해 거리 기록기를 갖춘 미세 위치조정 유니트가 추가되어 있는 본 발명에 따른 간섭계.

본 발명의 과제는 간섭계의 구조 변경 없이 그리고 가능한 한 최고의 분해능을 유지한 채 사용될 수 있는, 간섭계 측정의 모든 주기적 오차를 정정하는 방법과 그 방법을 실행하는 장치를 제공하는 데 있다.

이 과제는 본 발명의 독립 청구항들에 명시되어 있는 특징들에 의해 해결된다. 본 발명의 그 밖의 유리한 구성은 종속 청구항들에 제시되어 있다.

본 발명은 간섭계의 광로 길이의 변화에 따라 관찰되는 오차가 정확히 한 측정광 파장의 주기로 나타나는 사실에서 출발한다. 본 발명의 착상은 주기적 오차를 보일 수밖에 없는 간섭계 측정을 그러한 주기적 오차를 보이지 않는 또 다른 추가 내지 보완 측정과 비교해 보는 데 있다. 이것은 캘리브레이션 측정의 형태로 진행되는데, 이 측정을 통해 고정불변의 캘리브레이션 구간이 측정된다. 이를 위해서는 예컨대 측정대상 위에 선택되어 있는 구조체가 측정대상 위에 임의로 선택된 제로 마크에 대하여 취하는 상대위치를 확인한다.

이를 위해서는, 선택된 구조체의 고정불변 위치까지의 캘리브레이션 구간을 그 캘리브레이션 구간의 제1 부분구간을 통해 간섭계로 측정하며, 캘리브레이션 구간의 보완용 제2 부분구간을 거리측정 추가 시스템으로 측정한다. 선택된 구조체까지의 동일한 불변 캘리브레이션 구간이 이제 캘리브레이션을 위해 반복해서 측정되는데, 이 때 간섭계에 의해 매번 측정되는 제1 부분구간은 그 측정에 앞서 약간씩 확대되며, 그에 따라 거리측정 추가 시스템에 의해 측정되는 제2 부분구간도 바뀐다. 그 두 측정 시스템에 의해 측정된 부분구간들을 합하면 항상 캘리브레이션 구간이 나와야 한다. 그것이 측정결과들의 가산이 되어야 할지 감산이 되어야 할지는 측정 시스템과, 측정대상 위에 선택된 제로 마크의 위치에 따라 결정된다. 따라서 앞으로는 '기호화된 가산'이라는 말을 쓰겠다. 앞으로 설명할 처리 절차의 진행 제어와, 측정값의 산출과 평가는 측정 시스템에 부여된 컴퓨터가 맡아서 한다.

간섭계의 측정 빔경로에 있는 측정거울이 측정대상을 운반하는 이동 가능한 테이블에 고정되어 있으므로, 테이블이 이동하면 간섭계가 측정할 구간도 변경된다. 간섭계에 의해 측정되는 구간의 변경은 오차 곡선을 작성하는 데 필요하기 때문에 거리측정 추가 시스템을 통해 측정해야 한다. 이 방법에서 추가 측정 시스템으로는 언급한 종류의 주기적 오차를 보이지 않고 짧은 구간을 정밀하게 측정하는 데 알맞은 측정 기기라면 원칙적으로 어떤 것을 사용해도 된다.

따라서 유리한 장치에서는 캘리브레이션을 위해 선택된 구조체를 가진 측정대상이 현미경의 대물렌즈를 통해 위치측정 광탐지 시스템에 투영될 수 있다. 이 시스템은 예컨대 CCD 카메라 또는 위치 감지 검파기가 될 수 있다. 테이블이 이동하여 선택된 구조체가 변위되면, 위치측정 광탐지 시스템은 측방 변위를 측정할 수 있다.

본 발명은 간섭계 시스템의 구성에 위치측정 탐지 시스템이 들어가지 않고 예컨대 이동 테이블상의 측정대상이 위치를 분해하지 않는 통상의 휘도 검파기에 투영되는 경우에도 적용할 수 있다. 이렇게 하기 위해서는 거리 기록기를 갖춘 미세 위치조정 유니트가 테이블상에 배치되어 측정대상과 연결된다. 그러면 테이블이 이동할 때 미세 위치조정 유니트가 테이블상의 측정대상을 테이블 이동 반대 방향으로 테이블 이동 거리만큼 변위시킴으로써, 측정대상이 휘도 검파기에 대하여 고정불변의 상대위치를 유지하게 된다. 이러한 반대방향 이동을 제어하는 데는 휘도 검파기의 신호가 기준이 된다. 이러한 구성의 측정 시스템에서는 거리 기록기가 테이블상의 측정대상의 변위 거리를 측정하는데, 이 변위 거리는 테이블의 이동 거리의 역(逆)과 동일하고 결국 간섭계의 측정 빔경로에서 변화된 광로 길이의 역과 동일한 것이다. 그러니까 이 경우에도 미세 위치조정 유니트의 거리 기록기는 보완적인 거리측정 시스템이 된다. 그러면 이제 거리 기록기가 내놓은 측정값을 간섭계의 측정값에 기호화된 가산을 하면 캘리브레이션 구간이 얻어진다. 이러한 캘리브레이션 측정은 테이블 위치를 상이하게 하여 계속 반복한다.

이때 간섭계를 통해 측정되는 제1 캘리브레이션 부분구간의 연장은 충분히작은 정도로 단계적으로 이루어져야 한다. 그 밖에도 캘리브레이션 측정의 회수도 충분히 크게 선택해야 하는데, 그렇게 해야만 나중에 정정 곡선을 수학적으로 작성할 수 있다. 더 나아가 캘리브레이션 측정의 전회수에 걸쳐서 간섭계에 의해 측정되는 부분구간이 연장된 전체 길이 변화는 헤테로다인 간섭계의 측정 빔경로에서 적어도 한 측정광 파장의 크기만큼 일어난 광로 길이 변화에 해당하도록 해야 한다.

이렇게 해서 고정불변의 캘리브레이션 구간에 대한 캘리브레이션 측정값들은 이상적으로는 항상 동일한 값이 되어야 할 것이다. 하지만 각 개별 캘리브레이션 측정에서 간섭계의 측정 빔경로의 광로 길이가 단계적으로 연장되기 때문에 주기적 오차가 나타난다. 그러니까 얻어낸 캘리브레이션 측정값들은 일정하지가 않고 평균값에서 벗어나는 편차를 보인다. 여기서 주기적 오차의 값은 간섭계의 반복되는 위상 위치의 값이 같을 때마다 동일하다.

그러면 이제 측정광 파장을 주기로 하여 나타나는 주기적 오차를 캘리브레이션 측정값들에서 적합한 수학적 방법을 통해서 추출해 내고, 이로부터 간섭계의 파장에 따른 오차 곡선을 산출해 낸다. 가능한 수학적 방법들은 수학 교과서에 자세히 제시되어 있으므로 여기서는 더 이상 설명하지 않는다. 여기서 다만 예로 들 수 있는 것은 측정광 파장을 주기로 하여 나타나는, 캘리브레이션 구간에 대한 캘리브레이션 측정값들의 주기적 성분에 대한 푸리에 분석법 또는 사인 적합도 산출법이다.

이렇게 오차 곡선이 작성되고 나면, 향후 임의의 어떤 측정도 그 측정시 확인된 간섭계의 위상 위치에 따라서 정정될 수 있다. 예컨대 간섭계의 빔경로의 광학적 구조, 측정광 파장 또는 보간법 같은 주기적 오차의 원인이 고정불변으로 존재하고 간섭계의 위상 위치에 관한 정보가 상실되지 않는 한, 산출된 오차 곡선은 측정값을 정정하는 데 이용될 수 있다. 그렇지 않은 경우에는 오차 곡선을 다시 산정해야 한다.

간섭계 측정시의 주기적 오차를 정정하는 이 새로운 방법을 통해 정정되는 초정밀 간섭계 측정은 5 nm 이하의 반복가능성 범위에서 전체 기기의 분해능이 발휘되도록 한다.

도 1에서는 측정거울(1)이 이동 테이블(2)에 장착되어 있다. 측정거울(1)은 헤테로다인 간섭계(3)의 측정 빔경로의 구성요소가 된다. 이동 테이블(2) 위에는 선택된 구조체(5)가 있는 측정대상(4)이 놓여 있다. 이 측정대상(4)은 자세히 도시되어 있지 않은 현미경의 대물렌즈(6)를 통해 관찰된다. 대물렌즈(6)의 시계(視界)는 CCD 카메라(8)에 투영된다. 간섭계(3)에 대한 CCD 카메라(8)의 광축의 상대위치는 불변이다. 측정값의 산출과 평가 및 진행 제어는 측정 시스템에 부여된컴퓨터(11)가 맡아 하는데, 이 컴퓨터(11)는 테이블(2), 간섭계(3) 및 CCD 카메라(8)와 전기적으로 연결되어 있다.

캘리브레이션 측정을 개시하기 위해서는 테이블(2)을 이동시켜, 선택된 구조체(5)를 대물렌즈(6)의 시계에 두고 측정대상(4) 위의 구조체(5)의 위치를 결정한다.

이를 위해서는 먼저 간섭계(3)를 통해 측정거울(1) 있는 데까지의 제1 부분구간을 측정한다. CCD 카메라(8)로는 캘리브레이션 구간의 보완용 제2 부분구간이 되는, 선택된 제로 마크와 선택된 구조체(5) 사이의 거리를 측정한다. 간섭계에 의한 캘리브레이션 측정의 측정값과 CCD 카메라에 의한 보완용 제2 캘리브레이션 측정의 측정값을 기호화된 가산을 하여 캘리브레이션 구간을 얻는다.

그 다음에는 간섭계(3)에 의해 측정될 캘리브레이션 부분구간이 약간 늘어나도록 테이블(2)을 조금 이동시킨다. 그러면 CCD 카메라(8)로 측정할, 구조체(5)에 대한 캘리브레이션 부분구간도 따라서 바뀐다. 이제 다시 캘리브레이션 측정을 하여 제1 캘리브레이션 부분구간과 제2 캘리브레이션 부분구간에 대한 각 캘리브레이션 측정값을 기호화된 가산을 하여 캘리브레이션 구간을 구해 낸다. 이 캘리브레이션 측정에서 나온 캘리브레이션 측정 결과와 선행 캘리브레이션 측정의 결과가 서로 다르면, 이 차이는 오차가 된다. 이 두 경우에 동일한 구조체를 측정대상(4) 위의 위치가 동일한 상태에서 측정했기 때문이다.

이제 이러한 캘리브레이션 측정을 충분히 많은 회수로 실시하게 되는데, 측정을 할 때마다 측정에 앞서 테이블(2)을 같은 방향으로 약간씩 이동시키는데, 모든 캘리브레이션 측정이 완료되고 나면 테이블(2)이 적어도 측정광 파장의 길이만큼 이동해 나가 있도록 한다.

측정대상(4) 위의 선택된 구조체(5)의 위치가 불변인 데도 불구하고, 불변의 캘리브레이션 구간에 대한 캘리브레이션 측정에서는 측정 결과가 일정하지 않게 나타난다. 간섭계(3)에서 측정 빔경로의 길이가 점차적으로 길어지게 하여 캘리브레이션 측정을 하는 동안에 나타나는 간섭계 측정시의 주기적 오차에 따라, 캘리브레이션 측정값은 캘리브레이션 구간의 불변값에서 벗어나는 편차를 보인다. 간섭계(3)에서 측정 빔경로가 정확히 측정광 파장만큼 길어지면, 정확히 한 완전 주기의 주기적 오차가 나타난다.

캘리브레이션 측정에서 얻은 측정값들을 이제 테이블 이동 거리에 대하여 작도한다. 그리고 나서 측정 결과의 주기적 오차 부분은 공지의 수학적 방법, 예컨대 푸리에 분석법이나 사인 적합도를 통해 분리된다. 이렇게 산출된 오차 부분을 가지고 측정광 파장에 따른 오차 곡선을 그린다. 그러면 임의의 구조체에 대한 또 다른 임의의 측정에서 간섭계 측정값이 그 오차 곡선을 통해, 간섭계의 확인된 위상 위치에 귀속되는 주기적 오차 부분만큼 정정된다.

도 2에서는 측정거울(1)이 이동 테이블(2)에 장착되어 있다. 측정거울(1)은 헤테로다인 간섭계(3)의 측정 빔경로의 구성요소가 된다. 이동 테이블(2) 위에는 선택된 구조체(5)가 있는 측정대상(4)이 놓여 있다. 선택된 구조체(5)는 대물렌즈(6)를 통해 휘도 검파기(9)에 투영되고 그럼으로써 정의된 강도 신호를 휘도 검파기(9)의 출력에 제공한다. 테이블(2) 위에는 거리 기록기를 갖춘 미세 위치조정 유니트(10)가 장착되어 있다. 미세 위치조정 유니트(10)는 측정대상(4)과 연결되어 있어서 그것을 변위시킬 수 있다. 거리 기록기는 측정대상(4)이 그 제로 마크에서 얼마나 변위되었는가를 측정하는 것으로서 본 발명에 따라 시스템에 추가로 설치된 거리 측정장치가 된다. 간섭계(3)와 휘도 검파기(9) 상호간의 상대위치는 일정하다. 측정값의 산출과 평가 및 진행 제어는 측정 시스템에 부여된 컴퓨터(11)가 맡아 하는데, 이 컴퓨터(11)는 테이블(2), 간섭계(3) 및 휘도 검파기(9)와 전기적으로 연결되어 있다.

측정대상(4)을 미세 위치조정 유니트(11)를 작동시키지 않고 테이블(2)만을 통해 대물렌즈(6) 아래쪽으로 이동시키면, 측정대상(4)의 다양한 구조체들이 대물렌즈(6) 아래를 통과하게 되고 차례대로 휘도 검파기(9)에 투영된다. 이 때 휘도 검파기(9)는 테이블(2)의 이동 거리에 따른, 통과하는 구조체에 상응하는 강도 프로파일을 기록한다. 이 강도 프로파일로부터, 임의로 선택된 제로 마크에 대하여 통과하는 구조체가 갖는 상대위치가 정해질 수 있다.

캘리브레이션 측정은 선택된 구조체(5)를 가지고 수행한다. 선택된 구조체(5)는 휘도 검파기(9)에 투영되고 거기서 고유 출력신호를 생성한다. 출력신호를 준수함으로써 선택된 구조체(5)는 측정대상(4) 위에서 휘도 검파기(9)에 대하여 고정불변의 상대위치를 유지하게 된다.

간섭계(3)를 가지고 하는 제1 캘리브레이션 측정에서는 캘리브레이션 구간의 제1 부분구간으로서 간섭계(3)에서 측정거울(1)까지가 측정된다. 캘리브레이션 구간의 보완용 제2 부분구간으로서 측정대상(4)이 그 제로 마크에 대하여 갖는 변위거리는 미세 위치조정 유니트(10)의 거리 기록기에 의해 측정된다. 캘리브레이션 구간은 그 두 캘리브레이션 부분구간을 기호화된 가산을 하여 확정한다.

캘리브레이션 구간의 캘리브레이션 측정을 계속 더 할 때는 측정을 할 때마다 측정에 앞서 테이블(2)을 같은 방향으로 약간씩 이동시키는데, 그럴 때마다 간섭계(3)에 의해 측정되는 캘리브레이션 구간의 제1 부분구간이 그만큼 확대된다. 측정대상(4)이 휘도 검파기(9)에 대하여 불변의 상대위치를 유지하도록 하기 위해서는 휘도 검파기(9)에서 휘도신호가 일정하도록 조절되어야 한다. 이를 위해서는 테이블(2)이 이동할 때 미세 위치조정 유니트(10)가 측정대상(4)을 테이블(2) 상에서 반대 방향으로 변위시킨다. 이러한 반대방향 이동을 제어하는 데는 휘도 검파기(9)의 출력신호가 기준이 된다. 테이블(2) 상에서 이루어지는 측정대상(4)의 변위 거리는 미세 위치조정 유니트(10)의 거리 기록기에 의해 측정되는 것으로서, 테이블(2)의 이동 거리의 역(逆)과 같으며 또한 간섭계(3)의 측정 빔경로에서 변화된 길이의 역과도 같다. 따라서 거리 기록기는 측정대상(4)이 그 제로 마크에 대하여 그만큼 더 크게 하는 변위를 캘리브레이션 구간의 보완용 제2 부분구간으로서 측정하는 것이다.

캘리브레이션 구간을 반복해서 확인하기 위해서는 그럴 때마다 미세 위치조정 유니트(10)의 거리 기록기가 내놓는 측정값을 간섭계(3)의 측정결과에 ±에 충실하게 가산한다.

캘리브레이션 측정은 간섭계(3)에 의해 측정된 제1 부분구간의 길이 변화의 총합이 적어도 측정광 파장과 일치할 때까지 반복된다. 그 다음에 캘리브레이션 측정을 통해 얻은, 불변의 캘리브레이션 구간에 해당하는 다양한 측정값들을 테이블(2)의 이동 거리에 따라 표시한다. 적합한 수학적 방법을 통해 측정광 파장에 걸친 주기적 오차 부분이 분리되고, 이로부터 측정광 파장에 따른 오차 곡선이 산출된다.

그러면 또 다른 임의의 측정에서 간섭계(3)의 측정값이 그 오차 곡선을 통해, 확인된 간섭계(3)의 위상 위치에 귀속되는 주기적 오차 부분만큼 정정된다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1: 측정거울2: 테이블

3: 헤테로다인 간섭계4: 측정대상

5: 선택된 구조체6: 대물렌즈

7: 현미경의 튜브8: CCD 카메라

9: 휘도 검파기

10: 거리 기록기를 갖춘 미세 위치조정 유니트11: 컴퓨터

Claims (13)

1. 헤테로다인 간섭계(3)의 오차를 정정하는 방법에 있어서,

   a) 측정거울(1)에 까지 이르는 제1 캘리브레이션 부분구간을 헤테로다인 간섭계(3)를 통해 측정하고, 측정 구간을 따라 측정광 파장의 주기로 나타나는 주기적 오차를 보이지 않는 거리측정 추가 시스템을 통해 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간을 측정함으로써, 측정거울(1)이 장착된 이동 테이블(2) 위에 놓여 있는 측정대상(4) 위에 선택된 구조체(5)까지의 고정불변의 캘리브레이션 구간을 캘리브레이션 측정하는 단계,

   b) 제1 캘리브레이션 부분구간과 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간 사이의 경로 길이 변화율을 작게 선택하고 한 부분구간의 구간 변화의 합이 적어도 한 측정광 파장의 크기의 간섭계(3)의 광로 길이 변화와 일치하도록 하면서, 부분구간들 사이의 변화된 관계의 회수가 충분하게 고정불변의 캘리브레이션 구간의 캘리브레이션 측정을 반복하는 단계,

   c) 고정불변의 캘리브레이션 구간에 대한 캘리브레이션 측정결과들의 주기적 오차 부분을 간섭계의 측정광 파장에 따른 오차 곡선으로 수학적으로 산출하는 단계 및

   d) 간섭계를 통해 임의의 구조체에 대한 임의의 측정으로 얻은 측정값을 간섭계의 해당 위상 위치에 부여된 오차값만큼 정정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 제1 캘리브레이션 부분구간과 제2 캘리브레이션 부분구간 사이의 관계를 상이하게 조절하게 위해 개별 캘리브레이션 측정이 있을 때마다 측정에 앞서 테이블(2)이 측정거울(1)과 함께 조금씩 이동하는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제 2 항에 있어서, 선택된 구조체(5)가 위치감지 검파기에 의해 포착되며, 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간이 위치감지 검파기에 의해 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제 3 항에 있어서, 선택된 구조체(5)가 위치측정 광탐지 시스템에 투영되며, 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간이 위치측정 광탐지 시스템에 의해 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 위치측정 광탐지 시스템으로서 CCD 카메라(8)가 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 제 2 항에 있어서, 선택된 구조체(5)가 휘도 검파기(9)에 투영되며, 선택된 구조체(5)가 있는 측정대상(4)을 테이블(2) 상에서 테이블(2)의 이동방향과 반대방향으로 테이블(2)의 이동 거리만큼 변위시키는 미세 위치조정 유니트(10)의 거리기록기에 의해 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간이 측정되며, 미세 위치조정 유니트(10)가 휘도 검파기(9)의 출력신호에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제 1 항에 있어서, 캘리브레이션 측정결과에 대한 푸리에 분석을 통해 주기적 오차 부분이 수학적으로 규명되는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제 1 항에 있어서, 캘리브레이션 측정결과에 대한 사인 적합도의 작성을 통해 주기적 오차 부분이 수학적으로 규명되는 것을 특징으로 하는 방법.
9. - 이동 테이블(2)에 고정된 측정거울(1)의 변위를 측정하는 헤테로다인 간섭계(3),

   - 테이블(2) 위에 놓이는 측정대상(4) 및

   - 진행 제어를 하기 위한 측정값의 산출과 평가를 위한 컴퓨터(11)를 구비하는, 제1항에 따른 방법을 실행하기 위한 장치에 있어서,

   - 거리측정 추가 시스템(6, 7, 8, 10)에 제로 마크가 부여되어 거리측정 추가 시스템(6, 7, 8, 10)이 측정 구간을 따라 주기적 오차를 보이지 않고, 그리고 측정대상(4)의 선택된 구조체(5)가 제로 마크에 대하여 갖는 거리가 테이블(2)의 정의된 위치에서 확정되며, 및

   - 서로 반대방향으로 변경될 수 있는 두 부분구간의 합이 되는 고정불변의 캘리브레이션 구간이 마련되어 제1 부분구간에는 간섭계(3)의 측정값이 배당되고, 그리고 제2 부분구간에는 거리측정 추가 시스템(6, 7, 8, 10)이 구해낸 거리 측정값이 배당되는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제 9 항에 있어서, 선택된 구조체(5)의 위치를 포착하고 보완용 제2 캘리브레이션 부분구간을 측정하기 위한 위치감지 검파기가 거리측정 추가 시스템으로서 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
11. 제 10 항에 있어서, 선택된 구조체(5)가 대물렌즈(6)를 통해 투영되어 들어가는 위치측정 광탐지 시스템이 거리측정 추가 시스템으로서 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
12. 제 11 항에 있어서, 위치측정 광탐지 시스템으로서 CCD 카메라(8)가 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제 9 항에 있어서, 선택된 구조체(5)가 대물렌즈(6)를 통해 투영되어 들어가는 휘도 검파기(9)가 측정 시스템에 통합되며, 테이블(2) 상에 장착되어 휘도 검파기(9)의 출력신호의 제어를 받아 측정대상(4)을 테이블(2)의 이동 방향과 반대로 변위시키는 미세 위치조정 유니트(10)의 거리 기록기가 거리측정 추가 시스템으로 마련되는 것을 특징으로 하는 장치.