KR100274496B1 - 다층기판의 제조방법및 그 제조장치 - Google Patents

Abstract

정확한 위치맞춤에 의해서 적층하여 형성되는 다층기판을 제조하는 것으로, 다층기판(P)으로 구성되는 한쪽의 기판(P1)을 유지하는 제 1 유지수단이 하부 테이블(11)에 설치되어 있고, 그 위쪽으로 다른 쪽의 기판(P2)를 유지하는 제 2 유지수단(17)이 설치되어 있다. 하부 테이블의 일단은, XY 테이블 기구를 구비한 제 1 이동수단(2)에 의해서 지지되고, 타단은 Y 테이블 기구 및 X 방향으로 활주가능하게 이동가능한 제 2 이동수단(3)에 의해서 지지되어 있다. 각 기판의 마크(m, n)의 위치는 각 촬상수단(C1, C2)에 의해서 촬상가능하다. 각 촬상수단에 의해 각 마크위치를 촬상하여, 한쌍의 기판을 이동수단에 의해 상대 이동시켜, 화상처리에 의해 위치어긋남을 수정한다. 위치맞춤하여 접착층(B)을 통해 밀착시킨 한쌍의 기판을 상호 가고착함으로써 정확한 위치맞춤에 의한 다충기판을 얻는다.

Description

다층기판의 제조방법 및 그 제조장치

본 발명은 다층기판의 제조방법 및 그 제조장치에 관한 것이다.

최근의 전자제품의 복잡화는 프린트기판에도 고밀도화가 요구되도록 되어 왔지만, 프린트기판의 고밀도화를 실현하는 수단의 하나로서, 복수의 프린트기판을 적층하여 각 층의 회로를 접속하여 형성되는 다층기판이 있다. 다층기판은 양면에 회로를 프린트한 기판을 복수매 적층하여, 각 기판사이에 접착층(프리프레그시트)를 설치하여, 상호 고착한 것으로서 구성되어 있다. 각 기판의 회로끼리는 관통공을 통해 접속되어 있지만, 이들 회로의 접속에는, 정확한 위치맞춤이 필수로 되어있다. 이러한 위치맞춤의 수단으로서, 각 기판의 대향면의 2∼4개소 이상으로 구멍을 뚫어, 상기 구멍에 핀을 통과시킴으로써 각 패턴의 위치어긋남을 방지하도록 하고 있다.

그러나, 각 기판에 구멍을 뚫고 거기에 핀을 통해서 위치결정하는 경우에는, 구멍의 위치를 맞춰서 핀을 통과시키는 작업이 번거로운데다. 모든 기판의 구멍뚫기 위치가 항상 정확하다고는 할 수 없기 때문에 정밀도상의 한계가 있다. 따라서 각 기판마다 고정밀도로 구멍을 뚫는 것은 기술적으로는 가능하다고 해도, 이것을 실현하기 위해서는 생산비용이 높아 진다는 문제가 생긴다.

상기의 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 있어서는, 한쌍의 기판에 각각 설치되어 있는 마크를 촬상하여 화상처리에 의해 양기판의 어긋남을 구하고, 상기 어긋남을 수정하여 양기판을 정확한 위치관계에서 겹친 상태로 고착한다. 화상처리 기술을 사용하여 정밀도 좋은 위치맞춤한 상태에서 고착하기 때문에 정확하다.

또한, 미리 간격이 판명되어 있는 복수의 구멍부가 뚫려 설치되어 있는 지그판을 사용하여 촬상수단 사이의 간격을 산출하기 쉽게함으로써 기판의 마크위치의 산출을 쉽게 하였다.

상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 다층기판의 제조방법은 양단부에 미리 마크가 형성되어 있는 한쌍의 기판을 미경화상태의 접착층을 통해 대향상태로 유지하여, 한쪽의 단부에 있어서 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 마크를 제 1 촬상수단에 의해 촬상하여, 다른 쪽의 단부에 있어서 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 마크를 제 2 촬상수단에 의해 촬상하여, 각 마크의 위치를 화상처리에 의해 구하고 그것에 근거하여 한쌍의 기판이 상대적인 위치어긋남을 구하며, 한쌍의 기판을 상대적으로 이동시킴으로써 위치어긋남을 수정하고, 상기 위치어긋남을 수정한 상태에서 한쌍의 기판을 상호 고착함으로써 위치어긋남이 없는 다층기판을 제조 가능하게 한 것에 특징이 있다.

상기 수단에 있어서, 한쌍의 기판의 어느 한쪽에 접착층을 설치하고, 다른쪽의 기판은 상기 접착층에서 일정한 간격을 두고 비접촉상태에서 유지해 놓고, 이들의 양기판을 상대적으로 이동시킨 후에, 다른 쪽의 기판을 접착층상에 적층함으로써 위치어긋남이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 각 수단에 있어서, 한쪽 기판의 마크사이의 간격과 다른 쪽 기판의 마크사이의 간격에 차이가 생기고 있는 경우는 상기 차이의 2등분값을 한쪽의 단부와 다른 쪽의 단부로 나누어, 양단부에 있어서의 한쪽 기판의 마크와 다른 쪽 기판의 마크와의 거리가 같도록 양기판을 상대적으로 이동시키는 갓이 바람직하다.

또한, 상기 수단의 어느 것인가에 있어서, 양기판중 한쪽 기판에 설치되어있는 마크를 백색 마크로 하여 다른 쪽 기판에 설치되어 있는 마크를 상기 백색 마크보다도 소직경으로 하여, 백색 마크의 내부에 마크가 위치하는 상태에서, 양마크의 촬상을 하도록 하여, 마크의 중심계산이라든지 진분계산을 용이하게 하는 것이 바람직 하다.

또한, 본 발명은 상기 각 수단에 있어서, 한쌍의 기판의 적어도 한쪽을 복수층으로 이루어지는 다층기판 또는 가고착된 복수의 기판으로 함으로써 3매 이상의 기판을 적층하여 형성되는 다층기판이 제조가능하다.

또한, 상기 다층기판의 제조방법에 있어서, 미리 간격이 판명되어 있는 복수의 구멍부가 뚫려 설치되어 있는 지그판을 기판과 겹치도록 설치하여 제 1 촬상수단에 의해서, 한쪽의 단부에 위치하는 마크의 촬상시에 지그판의 구멍부중 하나를 촬상하여, 제 2 촬상수단에 의해서 다른 쪽 단부에 위치하는 마크의 촬상시에 지그판의 구멍부중 다른 하나를 촬상하고, 이것을 화상처리에 의해서 양촬상수단의 화상영역내에 있어서의 양구멍부의 중심위치를 각각 구하고, 이들의 각 구멍부의 각 화상영역내의 중심위치와, 미리 판명되어 있는 촬상한 구멍부사이의 간격에 근거하여, 촬상수단사이의 간격을 산출하여, 양촬상수단사이의 간격에 근거하여 한쌍의 기판 위치어긋남을 수정하기 위한 상대 이동량을 구하는 공정을 포함하도록 하면 좋다.

양기판의 고착은 선단형상이 실질적으로 링형상인 혼을 사용하여 초음파진동을 가하여, 양기판 사이에 끼워져 있는 접착층을 용착시킴으로써 행하는 것이 바람직하다.

상기 다층기판의 제조방법에 사용하는 제조장치는 양단부에 미리 마크가 형성되어 있는 한쌍의 기판이 접착층을 통해 고착되어 이루어지는 다층기판의 제조장치에 있어서, 한쪽의 기판을 유지하는 제 1 유지수단과, 다른 쪽 기판을 한쪽의 기판에 대향하도록 유지하는 제 2 유지수단과, 이들 기판의 한쪽 단부에 있어서 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 마크를 동시에 촬상가능한 제 1 촬상수단과, 같은 다른 쪽의 단부에서 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 마크를 동시에 촬상가능한 제 2 촬상수단과, 이들의 각 마크의 위치에 근거하여 구해진 한쌍의 기판의 상대적인 위치어긋남을 수정하기 위해서 한쌍의 기판을 상대적으로 이동시키는 이동수단과, 양기판사이의 위치어긋남을 수정한 상태에서 이들 한쌍의 기판을 상호 고착하는 고착수단을 갖는 데 특징이 있다.

상기 이동수단은 기판의 한쪽을 길이 방향 및 폭방향으로 이동시키는 XY 테이블수단과, 상기 XY 테이블수단과 병설하여 한쪽의 기판을 폭방향으로 이동시키는 XY 테이블수단을 구비하고 있고, 상기 촬상수단에 의해서 촬상한 화상을 화상처리한 결과에 근거하여 자동중심조절 가능하게 하는 것이 바람직하다.

상기 양유지수단은 상호 접근가능하게 또한 이격가능하게 설치하여 한쌍의 기판끼리를 밀착시킴으로써, 위치어긋남이 생기지 않는 상태에서의 고착을 가능하게 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 다층기판의 제조장치는, 양유지수단의 한쪽에 촬상수단의 위치확인용의 구멍부가 복수개 설치되어 있는 지그판을 설치하여, 이들 구멍부의 간격은 미리 판명되어 있는 것이며, 이들의 구멍부중 적어도 하나는, 기판의 한쪽 단부에 위치하는 마크와 동시에 제 1 촬상수단에 의해서 촬상가능하고, 다른 구멍부중의 적어도 하나는, 기판의 다른 쪽 단부에 위치하는 마크와 동시에 제 2 촬상수단에 의해서 촬상가능한 구성으로 함에 따라 각 촬상수단의 위치확인을 쉽게 하면 좋다.

고착수단으로서는 선단형상이 실질적으로 링형상인 혼을 갖는 초음파용착수단을 사용하는 것이 바람직하다.

제1도는 본 발명에 관한 다층기판의 제조장치에서, 한쌍의 기판이 일정한 간격을 두고 비접촉상태에서 유지되어 있는 상태를 나타내는 주요부의 단면도.

제2도는 한쌍의 기판이 접착층을 통해 밀착한 상태를 나타내는 주요부의 단면도.

제3도는 본 발명의 1실시예의 다층기판 제조공정를 나타내는 흐름도.

제4도는 한쌍의 기판의 각 마크사이의 위치어긋남 수정을 나타내는 설명도.

제5도는 하부 기판에 지그판을 설치한 상태를 나타내는 평면도.

제6도는 다른 실시예에 있어서, 한쌍의 기판이 일정한 간격을 두고 비접촉상태에서 유지되어 있는 상태를 나타내는 주요부의 단면도.

제7도는 다른 실시예에 있어서, 한쌍의 기판이 접착층을 통해 밀착한 상태를 나타내는 주요부의 단면도.

제8도는 다른 실시예에 있어서, 지그판에 설치한 구멍부사이의 간격과 촬상수단사이의 간격과의 관계를 나타내는 설명도.

제9도는 한쌍의 기판 한쪽을 다층기판으로 할 때의 마크의 위치를 나타내는 설명도.

제10도는 고착수단으로서 초음파용착수단을 설치한 실시예의 주요부의 단면도.

제11도는 제10도에 나타내는 실시예의 혼을 나타내는 설명도.

제12도는 혼의 다른 예를 나타내는 설명도.

제13도는 혼의 종래 예를 나타내는 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

P (P1, P2) : 기판 m,n,g : 마크

B : 접착층(프리프레그) C1 : 제 1 촬상수단

C2, C3 : 제 2 촬상수단 M : 이동수단

2 : XY 테이블수단(제 1 이동수단)

3 : XY테이블수단(제 2 이동수단)

11 : 제 1 유지수단(하부 테이블)

17 : 제 2 유지수단(기판흡착헤드)

22 : 고착수단 J : 지그판

51, 52 : 구멍부 f1, f2 : 화상영역

30 : 혼 30a, 34a : 선단부

먼저, 다층기판(P)에 대해 설명한다. 다층기판의 가장 간단한 구성으로서는 양면에 회로패턴을 형성하여 이루어지는 2매의 기판(P1, P2)의 대향면에 접착층(B)을 개재시켜 양기판을 고착한 것이 있다(제1도, 제2도 참조). 각 기판에는 각각 양단부에 미리 위치맞춤용의 마크 (m1, m2, n1, n2) 가 부착되어 있다. 또한, 다층기판에는 이밖에 프린트 기판끼리를 3매적층(6층) 한 것이나 4매 적층(8층)으로 한 것 등이 있다. 통상은 이들 기판의 상하로 접착층(절연성)을 통해 동판을 붙여 맞추고, 상기 동판을 에칭등에 의해 패터닝하는 것이 행하여지고 있다. 즉, 최종적으로는, 2매 적층의 기판이 6충, 3매 적층의 기판이 8층, 4매 적층의 기판이 10층의 패턴을 갖게 된다.

다층기판을 구성하는 기판(P1, P2)은, 에폭시계 수지판의 양면에 회로패턴을 형성한 것으로 이루어진다. 접착층(B)은 반경화상라의 수지시트(프리프레그시트)로 이루어지며, 가열에 의해 경화하여 양기판을 고착가능한 것을 채용하고 있다.

다음에 제1도, 제2도를 사용하여 본 발명에 관한 다층기판의 제조장치에 대하여 설명한다.

도시하고 있는 것처럼, 고정테이블(1)상에는 기판(P)의 이동수단(M)이 설치되어 있다. 이동수단(M)은 하부 테이블(제 1 유지수단)(11)의 상면좌단에 설치되어 있고, 기판을 길이 방향 및 폭방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 XY 테이블수단(2)과, 하부 테이블(11) 상면의 우측에 병설되어 있고, 기판을 폭방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 XY 테이블수단(3)으로써 구성된다.

제 1 이동수단인 XY 테이블수단(2)은 고정테이블(1)의 상면예 장착된 Y 테이블(4) 및 XY 테이블(5)을 구비하고 있다. Y 테이블(4)은 지면에 대하여 수직방향으로 신장하도록 설치된 제 1 Y 축 레일(6, 6)에 맞물린 제 1 Y 축 가이드(7, 7)를 통해 Y 방향(지면으로 수직방향)으로 이동가능하게 설치되어 있다. Y 테이블(4)의 상면에는 지면과 평행하게 X 축 레일(8, 8)(앞의 레일만 도시)이 설치되어 있다. XY 테이블(5)은 상기 X 축 레일상에 X 축 가이드(9, 9)를 통해 장착되어 있다. Y 테이블(4)은 도시하지 않은 구동수단에 의해서 Y 방향(기판의 폭방향) 으로 이동가능하고, XY 테이블(5)은 이와 같이 도시하지 않은 구동수단에 의해서 X 방향(기판의 길이 방향) 으로 이동가능하다. 상기 결과, 각 구동수단을 구동함에 따라 XY 테이블(5)은 XY 방향으로 임의로 이동가능하다.

XY 테이블(5)의 중심부에는 상면으로 돌출하여 원통형으로 형성된 하부 테이블 지지부(5a)가 설치되어 있다. 하부 테이블 지지부(5a)의 중심부에는 상하로 관통하는 촬상용 구멍부(5b)가 설치되어 있다. 또한 하부 테이블 지지부(5a)의 외주부에는 볼베어링(10)이 결합되어 있고, 이것을 통해 지지되어 있는 하부 테이블(11)을 수평면내에서의 요동을 가능하게 하고 있다. 하부 테이블 지지부(5a)는 상기 볼베어링(10)을 통해 하부 테이블(11)을 길이 방향 및 폭 방향으로 이동가능하게 지지하고 있다.

제 2 이동수단인 XY 테이블수단(3)은 고정테이블(1)의 상면우단에 설치하고 있고, 하부 테이블(11)의 우단을 지지하여 Y 방향(기판의 폭방향)으로 이동가능하게 설치되어 있다. XY 테이블수단(3)은 고정테이블(1)상의 지면에 수직방향으로 설치하고 있는 제 2 Y 축 레일(12, 12)상에 제 2 Y 축 가이드(13, 13)를 통해 Y 방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 Y 테이블(14)을 구비하고 있다. Y 테이블(14)은 도시하지 않은 구동수단에 의해서 폭방향(지면에 수직인 방향)으로 이동가능하다. Y 테이블(14)의 상면 중심부에 형성된 원주형상의 돌기부(14a)에는 볼베어링(10)을 통해 연결부재(15)가 결합되어 있다. 또한 연결부재(15)의 상면에는 제 2 X 축 가이드(15a)가 일체적으로 설치되어 있다. 제 2 X 축 가이드(15a)는 하부 테이블(11)의 하면에 설치되어 있는 제 2 X 축 레일(16)과 결합되어 있고, 하부 테이블(11)은 Y 테이블(14)에 대해 X 방향(길이 방향)에 상대적으로 이동가능하다. 따라서, 하부 테이블(11)의 좌단은 제 1 이동수단(2)에 의해서 길이 방향 및 폭방향으로 이동가능하고, 우단은 제 2 이동수단(3)에 의해서 폭방향으로 이동가능한 동시에 제 2 X 축 가이드(15a) 및 제 2 X 축 레일(16)에 의해서 제 1 이동수단에 의한 길이 방향의 이동도 허용된다. 또한, 제 1, 2 이동수단(2 3)의 Y 방향의 이동량의 차에 따르는 하부 테이블(11)의 수평면 내에서의 요동은 각각 볼베어링(10,10)에 의해서 원활하게 대응가능하다.

하부 테이블(제 1 유지수단) (11)에는 그 상면에 장착된 하부 기판(P1)을 흡착하여 고정하는 흡착수단(도면에는 나타나지 않음)이 내장되어 있다 또한, 하부테이블(11)의 상면에는 다층기판(P) 또는 하부 기판(P1)에 적층하고자 하는 상부 기판(P2)을 흡착하여 유지하는 제 2 유지수단(17)이 설치되어 있다. 제 2 유지수단(17)은 척부(17a)의 하면에 진공발생장치와 연통하고 있는 흡착부를 가지고 있고, 하부 테이블(11)과 일체의 흡착수단에 대해 상호 접근가능하고 또한 이격가능하게 설치되어 있다.

제 1 이동수단인 XY 테이블수단(2)의 상방으로는 제 1 촬상수단(C1)을 구성하는 제 1 X 선 발생장치(18)가 설치되어 있다. 그리고 XY 테이블(5)의 하방으로는 제 1 X 선 발생장치(18)로부터 조사되는 X 선의 투과광을 촬상하는 X 선 카메라(19)가 설치되어 있다. 제 1 X 선 발생장치(18)로부터 조사된 X 선은 기판(P1,P2)을 투과하여, XY 테이블(5)에 설치된 구멍부(5b)를 통하여 제 1의 X 선 카메라(19)에 도달하고, 기판내에 설치된 위치결정마크(ml, n1)를 촬상가능하다 (제2도 참조).

제 1 촬상수단(C1)의 오른쪽에는 제 2 촬상수단(C2)이 설치되어 있다. 제 2 촬상수단(C2)을 구성하는 제 2 X 선 발생장치(20) 및 제 2 X 선 카메라(21)는 각각 도시하지 않은 이동수단에 의해서 일체적으로 이동가능하게 설치되어 있다.

제2도에 나타낸 바와 같이 하부 테이블(11)의 상하에는 기판끼리를 가압하여 고착시키는 복수의 고착수단(22, 22)이 설치되어 있다(2개소만 도시). 고착수단(22)은 적층할 기판을 접촉한 후에 대향하는 전극봉의 선단을 접근시키도록 하여 양기판을 끼워, 가압하면서 통전함으로써 접착층을 가열하는 장치로 이루어진다. 전극봉을 사용한 가열에 의해서 기판사이에 개재하고 있는 접착층(프리프레그, B)을 부분적으로 경화시켜 양기판을 고착할 수 있다.

다음에 다층기판의 제조방법에 대해 제3도에 나타내는 흐름도에 따라서 설명한다.

제1도에 있어서, 기동스위치가 ON 되면(스텝 1), 우선 제 2 유지수단(17)에 의해서 하부 기판(P1)을 흡착 유지하여 하부 테이블(11)의 상면에 장착하여 세트한다(스텝 2). 이때, 제 1 촬상수단(C1)에 의해 마크(m1)를 촬상하여 그 중심을 구하고, 그 중심과 볼베어링(10)의 중심이 실질적으로 일치하도록 한다. 하부 테이블(11)상에 장착된 하부 기판(P1)은 하부 테이블에 설치되어 있는 흡착수단에 의해서, 하부 테이블상의 소정위치에 흡착고정된다(스텝 3).

다음에 프리프레그 공급수단(도시생략)에 의해서 하부 기판(P1)의 상면에 접착층(B)을 형성(프리프레그세트)한다(스텝 4).

다음에 상부 기판수납부(도시하지 않음)로부터 제 2 유지수단(기판흡착 헤드)(17)에 의해서 상부 기판(P2)을 흡착하여 추출하고 소정위치로 이동시켜, 접착층(B)과 일정한 간격을 두고 비접촉상태로 유지한다(스텝 5). 제1도는 하부 기판(P1)과 상부 기판(P2)이 일정한 간격으로 각각 유지수단에 의해서 유지되어 있는 상태를 나타내고 있다.

상술한 바와 같이, 하부 기판(P1)의 좌단에 부착된 위치결정용 마크(m1)는 제 1 촬상수단(C1)의 촬상범위에 들어가도록 세트되고 동일하게 상부 기판(P2)의 좌단에 부착된 위치결정용 마크(n1)도 촬상범위에 들어가도록 세트되어 있다.

다음에 제 1 촬상수단(C1)에 의해서 상하기판의 좌단의 마크 (m1, n2)를 촬상하여 제 2 촬상수단(C2)에 의해서 상하 기판의 우단의 마크 (m2, n2)를 촬상한다(제4도 참조). 각 촬상수단(C1, C2)에 의한 마크의 촬상은 각 X 선 발생장치(18,20)로부터 X 선을 각 기판의 마크위치에 조사하고, X 선 카메라(19, 21)에 의해서 각 마크의 X 선 화상을 촬영함으로써 행하여진다(제2도 참조),

각 마크 (m, n)는 화상처리를 쉽게하기 위해서 하부 기판(P1)의 마크 (m)를 백색으로 한 링형상 마크로 하고, 상부 기판(P2)의 마크 (n)에는 상기 링형상 마크의 백색 부분에 수납가능한 작은 흑색 등근형상의 마크를 채용하고 있다(제4도 참조). 이들의 각 마크 (m, n)는 화상처리되어(스텝 6), 하부 기판의 링형상 마크의 백색 부분내에 상부 기판의 마크가 들어 가도록 하부 테이블(11)을 이동하여 조정한다.

제4도는 하부 기판(P1)에 부착된 백색 마크 (m1, m2) 내에, 상부 기판(p2)에 부착된 점 마크 (n1, n2)가 각각 들어가 있는 상태를 나타낸 것이다. 여기에서 백색 마크의 중심 (A1, A2)과, 점마크의 중심 (B1, B2) 의 중심이 각각 일치함으로써 완전한 상하기판의 위치맞춤상태가 된다. 그러나, 양중심이 처음부터 일치하는 것은 극히 드물고 통상은 도시되어 있는 것처럼 각각 위치어긋난 상태로 되어 있다.

이들의 각 마크 (m, n)가 각 촬상수단(C1, C2)에 의해서 촬상되면, 화상처리장치(도시 생략)에 의해서 각 마크의 중심 위치(A, B)를 구하는 중심 계산이 행하여 진다 (스텝 7). 중심계산의 결과, 우선 각 중심(A1-A2, B1-B2)을 맺는 선의 어긋남이 계산되기 때문에, 상기 계산치에 근거하여 기판(P1)의 양단을 각각 Y 방향(지면에 수직방향) 으로 이동시킨 것으로서, 양마크의 중심위치가 일치할 때의 각중심위치 사이의 거리(L1, L2)의 거리를 산출한다 이 결과, 하부 기판(P1)의 중심위치(A1, A2) 사이의 거리(L1)에 대해, 상부 기판(P2)의 중심위치(B1, B2) 사이의 거리(L2)의 사이에는 L1-L2의 차가 생기지만, 이 차는 각각 좌우에 (L1-L2) /2씩으로 진분계산하여(스텝 8), 양단부에 있어서의 한쪽 기판(P1)의 마크 (m)의 중심과 다른 쪽 기판(P2)의 마크 (n)의 중심과의 거리가 같게 되도록 중심 조절된다. 즉, A1-B1 사이의 거리와 A2- B2 사이의 거리가 같도록 한다.

이렇게 해서, 화상처리에 의해 위치어긋남의 계산을 행하고, 상부 기판의 마크가 이동하여야 할 위치 B1', B2'를 구하면 제 1 이동수단(2)이 기동하고, 하부 테이블(11)을 XY 방향으로 이동시켜, 상부 기판의 좌단 마크의 중심위치(B1)가 목표위치인 B1'에 일치하도록 상대 이동한다(스텝 9). 이때 하부 테이블(11)의 길이방향의 이동은 XY 테이블수단(2)에 의해서만 행하여지고, XY 테이블수단(3)에서는 제 2 X 축 가이드(15a)에 따라서 제 2 X 축 레일(16)이 XY 활주함으로써 대응한다. 이것에 대해, XY 테이블수단(3)에 의한 하부 테이블(11)의 폭 방향의 요동은 각각 볼베어링(10, 10)에 의해서 대응가능하다 좌단 마크의 중심위치(B1)가 B1' 에 일치하면, 다음에 상부 기판의 우단 마크의 중심위치(B2)가 목표위치(B2')에 일치하도록 상대 이동한다(스텝 10). 상기 위치맞춤은 제 2 이동수단(3)에 의해서 하부테이블(11)의 우단을 XY 방향으로 이동시킴으로써 행하여진다. 이때에도 마찬가지로 하부 테이블의 요동은 볼베어링(10)에 의해서 대응가능하다. 또, 하부 기판 마크의 이동할 목표위치를 산출하고 나서 상대 이동하도록 하여도 좋다.

이렇게 해서 상하 기판의 각 마크의 중심위치(A1, B1 및 A2, B2)를 기초로 위치어긋남을 수정하면, 다음에 제 2 유지수단인 흡착헤드(17)를 하강시켜 제2도에 나타낸 바와 같이 하부 기판(P1) 상에 세트된 접착층(B) 상에 상부 기판(P2)을 중첩시킨다(스텝 11). 접착층(B)은 반경화상태로 되어 있기 때문에 이 위에 상부 기판을 겹치는 것만으로는 양자는 접합하지 않는다.

다음에 중첩된 양기판에 고착수단의 일례인 전극봉(22)의 선단을 가압하고 각 전극봉에 통전에 의해서 국부적으로 가열하여, 접착층(B)의 수개소의 피가열개소를 가고착한다(스텝 12).

가고착이 종료되면, 제 1 유지수단인 하부 테이블(11)의 하부 기판(P1)의 고정이 해방되어 제 2 유지수단인 흡착헤드(17)는 접합된 양기판(P1, P2) 으로 이루어지는 가고착된 기판(P)을 유지한 상태에서 상승한다(스텝 13). 그리고 흡착헤드(17)는 도시하지 않은 이동수단에 의해서, 이 가고착된 기판(P)을 유지한 상태에서 이동하여, 이것을 기판회수박스(도시 생략)에 배출한다(스텝 14).

하부 기판(P1)과 상부 기판(P2)을 접착층(B)을 통해 가고착된 가고착기판은 별도의 장치인 열프레스에 의해서 열가압되어 전면적으로 용착되어 다층기판이 이루어진다. 양기판은 위치맞춤된 상태에서 가고착되어 있기 때문에, 열프레스된 후에도 위치어긋남의 우려는 없다. 본 발명에서는 위치맞춤과 고착(또는 가고착)이 동일장치에서 연속적으로 행하여지기 때문에 위치어긋남이 생길 우려는 거의 없다.

다음에 다른 실시예에 대해 설명한다.

상술한 실시예에서 설명한 다층기판의 제조장치에 있어서의 촬상수단의 위치확인을 쉽게 하기 위해서 지그판을 채용한 것으로, 지그판의 제조공정마다 미리 촬상수단의 위치확인에 의해 기판의 마크위치의 산출을 확실하게 또한 쉽게하고 있다.

제5도에 나타낸 바와 같이, 지그판(J)은 소정폭으로 하부 테이블(11)과 같은 길이의 장방형상의 판체에 촬상수단의 위치확인용의 복수의 구멍부를 설치한 것으로 이루어진다. 구멍부는 기판의 한쪽 단부에 위치하는 마크와 동시에 제 1 촬상수단(C1)에 의해서 촬상가능한 위치에 설치되어 있는 제 1 구멍부(51)와, 기판의 다른 쪽 단부에 위치하는 마크와 동시에 제 2 촬상수단(C3)(제6도, 제7도 참조)에 의해서 촬상가능한 위치에 각각 대향하도록 병설되어 있는 제 2 구멍부(52)로 이루어진다. 이들 구멍부(51, 52)의 각 간격은 미리 판명되어 있기 때문에 이들의 구멍부를 기준으로서 양촬상수단사이의 간격을 구하고, 그것에 근거하여 촬상수단의 이동량을 결정하여 이동시키면 상하 기판사이의 정확한 위치맞춤이 용이하다. 또, 제 2 구멍부(52)의 열과 평행하여 설치되어 있는 긴홈구멍(53)은, 마크촬상용의 창문구멍 이다.

여기에서, 본 발명에 있어서 지그판을 채용한 다층기판의 제조장치의 개요에 대하여 설명한다.

제6도, 제7도에 나타낸 바와 같이 기본적 구성은 상술한 실시예와 같기 때문에 다른 부분에 대해서만 설명하고, 공통하는 것에 관하여는 설명은 생략하며, 도면의 부호는 동일한 것을 부여하고 있다.

제6도, 제7도는 지그판(J)를 하부 테이블(11)의 상면에 설치하여 양기판의 위치맞춤을 하고 있는 상태를 나타내는 것으로, 제 1의 촬상수단(C1)에 의해서, 지그판(J)의 제 1의 구멍부(51)와 하부 기판(P1)의 마크 (m1) 및 상부 기판(P2)의 마크(n1)를 동시에 촬상가능하다.

한편 다층기판의 오른쪽을 촬상하는 제 2 촬상수단(C3)은, 제 2 Y 테이블수단(63)과 일체로 되어 이동가능하게 설치되어 있다. 제 2 Y 테이블수단(63)은 고정테이블(1)의 상면및 하부 테이블(11)의 하면에 부설되어 있는 제 2 X 축 레일(76, 76)에 안내되어 X 방향(다층기판의 길이 방향)으로 이동가능하게 설치되어 있다. 고정테이블(1)의 상면에 부설되어 있는 제 2 X 축 레일(76)에 활주가능하게 설치된 X 축 가이드(75a) 상에는 Y 테이블수단의 이동테이블(75b)이 고착되어 있다. 이 이동테이블(75b)의 상면에는 Y 방향(다층기판의 폭방향)으로 신장하는 제 2 Y 축 레일(72, 72)이 설치되어 있다. 이동테이블(75b)의 상방으로는 각 제 2 Y축 레일(72)상에 장착된 제 2 Y 축 가이드(73, 73)를 통해 제 2 Y 테이블(74)이 설치되어 있다. Y 테이블(74)의 중앙부는 원통형에 입상하여 Y 테이블 지지부가 형성되어 있고, 그 주위에는 볼베어링(70)이 끼워져 있다. 볼베어링(70)의 상면은 기술한 하부 테이블(11)의 하면에 설치되어 있는 Y 축 가이드(75)에 고착되어 있다.

이러한 구성이므로, 제 2 촬상수단(C3)의 X 선 카메라(21)는 제 2 Y 테이블수단(63)에 의해서 Y 수직방향(다층기판의 폭방향)으로 이동가능한 동시에, 상술한바와 같이 이동테이블(75b)에 의해서 X 축 레일(76, 76)을 따라서 X 방향으로 이동가능하다. 그리고, 제 2 촬상수단(C3)은. 제 2 X 축 레일(16, 16)을 따라서 X 방향으로 이동하고, 지그판(J)의 제 2 구멍부(52)의 적어도 하나와, 하부 기판(P1)의 마크 (m2) 및 상부 기판의 마크 (n2)를 동시에 촬상가능하다.

다음에 본 실시예에 있어서의 하부 기판(P1)과 상부 기판(P2)과의 위치맞춤방법에 대해 설명한다.

제8도에 나타낸 바와 같이, 제 1 촬상수단(C1)의 X 선 카메라(19)(제6도 참조)의 화상영역(f1) 내에 지그판(J)의 제 1 구멍부(51)가 위치하고, 제 2 촬상수단(C3)의 X 선 카메라(21)의 화상영역(f3) 내에 제 2 구멍부(52, 52)가 위치하고 있다. 제 2 구멍부(52)는 다수가 병설하고 있는 것 중, 하부 기판(P1)의 마크 (m2)가 화상영역내에 들어가는 위치까지 제 2 Y 테이블(74) 및 제 2 촬상수단(C3)을 X축 레일(76, 76)을 따라서 이동시킨 상태에서, 제8도에 나타내는 2개가 화상영역(f3) 내에 위치하고 있다 이때, 이미 알고 있는 구멍부(51, 52)사이의 간격(L3)을 기준으로 하여 양 화상영역(f1, f2) 의 중심(i1, i2) 사이의 거리를 용이하게 산출가능하다.

즉, 화상처리에 의해 제 1 추멍부(51)의 중심과 제 2 구멍부(52)(어느것인가 1개라도 좋다) 의 중심을 구한다. 그리고, 화상영역(f1)의 중심 (i1)과 제 1 구멍부(51)의 중심과의 상대위치관계와, 화상영역(f2) 의 중심 (i2)과 제 2 구멍부(52)의 중심과의 상대위치관계를 구한다. 여기에서 양 구멍부(51, 52)사이의 간격(L3)은 이미 알고 있으므로, 상기의 상대위치관계를 고려하면 양 화상영역의 중심 (i1, i2) 사이의 간격(L4)이 구해진다.

구멍부(51, 52)를 촬상할 때에 하부 기판(P1)의 마크 (m1, m2)와, 상부 기판(P2)의 마크 (n1, n2)도 동시에 촬상된다. 그리고, 제 1 실시예와 같이, 하부 기판의 마크 (A1, A2)에 맞춰서, 상부 기판의 마크 (B1, B2)가 목표위치(B1', B2')에 오도록 이동수단(2, 3)이 작동한다 (제4도 참조). 구체적으로는, 우선 제 1 이동수단(2)에 의해 기판좌측의 마크의 중심 (B1)이 B1' 의 위치로 이동하고, 이어서 제 2 이동수단(3)에 의해 우측 마크의 중심 (B2)을 B2' 의 위치로 이동한다. 이때 기판은 좌측을 고정하여 우측을 이동하게 된다. 즉 제7도에 나타내는 것 같이 촬상수단(C1, C3)은 이동수단(2, 3)의 중심에 넣어져 있기 때문에, 촬상수단(C1)의 중심 (i1) (제8도 참조)을 회전중심으로 하여 촬상수단(C3) 측이 회전하게 된다.

여기에서, 먼저 구한 촬상수단(C1, C3) 사이의 간격(L4)이 회전반경으로 된다. 이와 같이 회전 반경이 판명되어 있기 때문에, B2가 B2' 의 위치로 오므로 이동수단(3)의 이동량은 정확히 산출할 수 있다.

제 1의 실시예인 경우는, 기판우측을 이동시킬 때에 회전운동이 가해지는 몫만 오차가 생기고, 시행 착오적으로 수정을 행할 필요가 있지만, 상기 실시예에서는 회전 반경이 판명되고 있기 때문에 회전운동에 의한 이동량이 산출되므로 이 회전운동도 고려한 뒤에 이동수단(3)의 이동할 량이 구해지고, 용이하고 또한 정확히 마크중심(B2)을 B2' 의 위치에 이동시킬 수 있다.

제7도는, 상기한 바와 같이 하여 각 기판(P1, P2)의 마크 (m1, n1 및 m2, n2)의 위치맞춤을 한 후에 양기판을 프리프레그(B)를 통해 적층한 상태를 나타내고 있다. 그 후의 공정에 관하여는 상기 제 1의 실시예와 같다.

본 실시예에서는 지그판의 구멍부사이의 간격이 미리 판명하고 있고, 이 구멍부의 중심을 기준으로서 X 선 카메라(19, 21)의 시야의 중심간 거리가 구해지고, 이동수단의 이동량이 정확하고 또한 용이하게 구해진다.

또한, 제 2의 구멍부(52)는 긴홈구멍(53)을 끼워 각 한쌍씩 대향하여 병설되어 있기 때문에 이들을 연결하는 직선의 화상영역내에서의 경사상태를 구함으로써 촬상수단(3)의 장착오차가 판명되고, 이동시의 보정데이터로 할 수 있다.

또한, 지그판의 각 구멍부를 항상 촬상가능하기 때문에 기계의 경년변화에 대응가능하게 되고, 장기간에 걸쳐서 프린트기판 끼리의 정확한 위치결정이 가능하게 된다. 또한, 지그판의 구멍부에 맞춰서 마크의 위치맞춤을 하는 것이므로 카메라 교환시 등에도 카메라의 격차량을 알 수 있으므로 카메라 교환시의 위치맞춤이 용이하게 되는 이점이 있다.

또한, 실제로는 제4도에 나타내는 마크 A1, A2, B1, B2와 제8도에 나타내는 구멍부(51, 52)가 동일 화면내에 나타나지만, 설명을 쉽게 하기 위해서 제4도와 제8도로 나누어 나타내고 있다.

이상의 설명은, 어느 실시예에 대해서도 표면에 회로패턴을 형성하여 이루어지는 1매의 기판(단면기판 또는 양면기판) 끼리를 적층하여 형성되는 것에 대해 기술한 것이지만, 이들의 기판은 하부 기판 또는 상부 기판의 어느것인가, 또는 양자가 다층기판 또는 가고착된 복수의 기판이라도 좋다.

예를들면, 하부 기판을 상기 공정에서 제조한 2매 겹친(4층) 다층기판으로하여 상부 기판을 1매의 양면기판(2층)으로 하는 경우에는 위치맞춤용 마크는 제9도에 나타내는 것처럼, 하부 기판의 양단의 m, n에 가하여 상부 기판의 g가 가해진다. 그리고 진분계산도 마찬가지로 행할수 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 백색 마크의 중심위치(A1, A2)를 연결하는 선상에 이미 다층기판의 상측기판의 마크(n1, n2)가 존재하고 있기 때문에 또한 이 선상에 상부 기판의 마크 (g1, g2)를 가지고 오도록 하면 혼동되어 위치결정하기 어렵게 되는 것이 고려된다. 그래서 이러한 경우에는, 상부 기판의 마크 (g1, g2)의 중심위치를 미리 하부 기판 마크의 중심위치(A1, A2)와는 일정한 거리(d1, d2)만 떨어진 위치에 설치하고, 위치맞춤때에는 이 거리(d1, d2)의 몫을 수정하도록 하면 좋다. 이렇게 하여 3매 겹침(6층)의 기판을 제조할 수 있다.

이밖에, 본 발명의 다른 실시예로서 이동수단을 XY 테이블기구에 가하여 회전기구를 구비한 XYθ 테이블로서, 단일의 이동수단으로 하는 것도 가능하다. 물론 상기의 경우에는, 상하 기판의 위치맞춤의 요령은 다른 것으로 구성되는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 상술한 설명에서는 하부 테이블(11)의 이동에 의해서 위치맞춤을 하고 있지만, 반대로 하부 테이블을 이동하지 않고 흡착헤드를 이동시켜 위치맞춤하도록 하는 것도 가능하다. 또한, 각 촬상수단은 XY 테이블 등의 이동수단의 중심부에 위치하도록 되어 있지만, 이것도 이동수단의 내외 어디에 설치하도록 하여도 좋다.

또한 촬상수단은 상술한 각 실시예에서 채용되어 있는 X 선 발생장치와 X 선 카메라를 조합하는데 한정되지 않고, 하부테이블의 상하에 CCD 카메라 등을 각각 배치하여, 각각 기판의 표면에 부착된 마크를 촬상하는 구성으로 하여도 좋다. 상기의 경우에는 하부 기판의 마크는 백색일 필요는 없고, 상부 기판의 마크가 소직경일 필요도 없다.

상기 각 실시예에 있어서는, 위치맞춤 후의 가고정을 위한 고착수단으로서 전극봉을 채용하고 있지만, 초음파용착을 행하는 실시예에 대해 이하에 설명한다.

제10도에 나타내는 실시예에 있어서는, 고착수단으로서 초음파진동을 전달하는 혼(30)과 그 외측을 덮는 것 같은 가압판(31)을 갖는 초음파용착수단이 설치되어 있다. 이 혼(30) 및 가압판(31)의 선단형상(기판에 접촉하는 부분의 형상)을 제11도에 나타내고 있다. 가압판(31)에 설치된 구멍(31a)의 내부에 링형상의 혼 선단부(30a)가 위치하고 있다. 그리고 상술한 실시예와 같이 양기판의 위치어긋남을 수정한 후, 우선 가압판(31)을 상부 기판(P2)에 접촉시켜 양기판(P1, P2)을 하부 테이블(11)상에 고정한 상태에서 혼(30)을 하강시켜 상부 기판(P2)에 접촉시켜 초음파진동을 가한다. 상기 진동이 양기판(P1, P2) 사이의 접착층(프리프레그시트)(B)에 전달되어 접착층(B)이 융해한 후에 냉각되어 경화함으로써 양기판이 가고정 된다. 가압판(31)은 융해된 프리프레그시트가 가압판(31) 이외에 초과하는 것을 방지 하는데도 유익하다.

이 실시예에 있어서 혼선단부(30a)를 도면에 나타내는 것 같은 링형상으로 형성한 이유에 대해, 이하에 설명한다.

제13도에 나타낸 바와 같이, 선단이 링형상으로 되어 있는 혼이 아니라 중실의 원주형상의 혼을 사용하는 경우에는 접착층의 혼 선단부(32a)와 대향하는 위치는 잘 고착되지 않고, 그 주변 즉 가압판(33)의 구멍(33a)과 혼 선단부(32a) 외주와의 간격이 주로 고착하고 있다(고착부분은 점으로써 도시하고 있다). 따라서, 실제의 고착부분(35)은 비교적 작은 면적으로 되는 즉, 효율이 좋지않고 접착력이 열악하다. 제13도와 같이 가압판(33)의 구멍(33a)의 직경과 혼 선단부(32a) 외경의 차가 비교적 작은 경우, 특히 고착부분(36)의 면적이 좁고 접착력이 낮기 쉽다. 이것은 혼 선단부(32a)와 대향하는 위치에서는 융해한 프리프레그가 혼의 진동에 의해 접착과 분리를 반복하여 불안정하기 때문에, 적정한 접착조건을 엄밀히 설정할 필요가 있고, 그것을 설정하는 것도 유지하는 것도 용이하지 않다.

그래서, 제11도에 나타낸 바와 같이 선단이 링형상의 혼(30)을 사용하면, 융해한 프리프레그는 링형상의 접촉부분의 내측의 오목부(30b)와 외측의 홈형상의 부분(가압판(31)의 구멍(31a)과 혼 선단부(30a) 외주와의 간격)에 고여 혼 진동의 영향으로 접착과 분리를 반복하는 것이 아니라 안정하고 고착부분(35)의 면적이 넓게되어 효율이 좋고 강고히 고착된다.

또한, 제12도에 나타낸 바와 같이, 선단부(34a)가 2중의 링형상으로 되어 있는 혼을 사용하면 내측의 오목부(34b)와, 중간의 홈부(34c)와, 외측의 홈형상의 부분(가압판(31)의 구멍(31a)과 혼 선단부(34a) 외주와의 간격)에 고착부분(37)이 생겨 접착효율이 좋아지고 있다.

또한, 양기판의 접합방법은 지금까지 설명한 전극봉에 의한 접합과 초음파 접합에 한정되는 것이 아니라, 접착제를 이용한 접합, 끈에 의한 고정 접합, 납땜에 의한 접합을 하여도 좋다. 또, 상술한 바와 같이 가고정을 행하지 않고, 상기 장치에 열프레스장치를 넣어 두고, 위치맞춤 후 즉시 전면적인 접합을 하도록 하여도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는 각 기판 및 접학층을 제 2 유지수단(17)에 의해 자동반송하여 세트하였지만, 수동에 의해 각 기판 및 접착층을 하부 테이블(11) 상에 장착한 후, 제 2 유지수단(17)으로써 상부 기판만을 흡착하여 위치맞춤 동작을 개시하는 구성으로하여도 좋다.

본 발명에 의하면, 각각 위치맞춤을 위해 마크를 하고 있는 한쌍의 기판을 미경화상태의 접착층을 통해 대향상태로 유지하여, 이들의 마크를 화상처리하여 위치어긋남을 수정한 상태에서 한쌍의 기판의 고착작업을 하는 것이므로 위치맞춤정도의 높은 다층기판을 제조가능하게 한다.

또한, 한쌍의 기판의 어느 한쪽에 접착층을 형성하여 다른 쪽의 기판을 일정간격을 두고 비접촉상태를 유지하여 양기판을 위치맞춤을 위해 이동시키고 나서, 다른 쪽의 기판을 접착층에 밀착시키도록 하고 있기 때문에 접착층에 방해되지 않고 정확히 위치맞춤한 상태에서 고착가능하게 된다.

또한, 한쪽 기판의 마크사이의 간격과, 다른 쪽 기판의 마크사이의 간격에 차이가 생기는 경우에는 상기 차이를 계산하여 그 2등분치를 나누어 양기판을 상대적으로 이동시켜 위치맞춤하면 보다, 정확한 위치맞춤을 용이하게 행할 수 있다.

이들의 위치맞춤에 사용하는 마크로서 한쪽 기판의 마크를 백색으로 하고, 다른 쪽 기판의 마크는 상기 백색 마크보다 소직경이라고 하면, 각 마크의 중심위치의 산출이 용이하게 되어 위치맞춤의 자동화촉진에 기여한다.

또한, 한쌍의 기판은 각각 단층기판이라도 기판을 2매 겹침으로 한 다층기판또는 가고착된 복수의 기판이라도 좋으므로 3매 이상 기판을 적층하여 형성되는 다층기판을 용이하게 제조가능하다.

그리고 본 발명에 의한 다층기판의 제조장치는, 본 발명에 관계되는 제조방법을 통해 정확한 위치맞춤을 한 다층기판이 제조가능하다.

또한, 양 유지수단의 한쪽에 미리 중심사이의 거리가 판명되고 있는 복수의 구멍부를 구비하여 지그판을 설치하고, 이들의 구멍부를 기준으로서 각 기판의 마크위치를 구하도록 하면 보다 정확 또한 용이한 위치맞춤이 가능하게 되는 것 외, 촬상수단의 교환시 등에 있어서도 위치맞춤이 용이하게 되는 효과가 있다.

양기판을 접합하기 위해서, 선단형상이 실질적으로 링형상인 혼을 갖는 초음파 용착수단을 고착수단으로서 사용하면, 효율이 좋게 고착할 수 있다.

Claims (12)

1. 양단부에 미리 마크가 형성되어 있는 한쌍의 기판을, 미경화 상태의 접착층을 거쳐서 대향상태로 유지하고 상기 한쌍의 기판 한쪽 단부에 각각 마련되어 있는 상기 마크를 제 1 촬상수단에 의해 촬상하여, 다른 쪽의 단부에 각각 마련되어 있는 상기 마크를 제 2 촬상수단에 의해 촬상하고, 상기 마크의 위치를 화상처리에 의해 구하고, 상기 화상처리에 근거하여 상기 한쌍의 기판의 상대적인 위치어긋남을 구하고, 상기 한쌍의 기판을 상대적으로 이동시킴으로써 상기 위치어긋남을 수정하여, 상기 위치어긋남을 수정한 상태에서 상기 한쌍의 기판을 상호 고착하는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법 .
2. 제1항에 있어서, 상기 양기판의 어느 한쪽에 상기 접착층을 설치하고 다른쪽의 상기 기판은 상기 접착층으로부터 일정한 간격을 두고 비접촉상태에서 유지해놓고, 상기 양기판을 상대적으로 이동시킨 후에 상기 다른 쪽의 기판을 상기 접착층에 적층하는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 한쪽의 상기 기판의 마크사이의 간격과, 다른쪽의 상기 기판의 마크사이의 간격에 차이가 생기는 경우는 상기 차이의 2등분치를 한쪽의 단부와 다른 쪽의 단부로 나누어, 양단부에 있어서의 한쪽의 상기 기판의 마크와 다른 쪽의 상기 기판의 마크와의 거리가 같게 되도록 상기 양기판을 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 양기판중 한쪽의 기판에 마련되어 있는 상기 마크는 백색 마크이며, 다른 쪽의 상기 기판에 설치되어 있는 상기 마크는 상기 백색마크보다도 소직경이고, 상기 백색 마크의 내부에 다른 쪽의 상기 마크가 위치하는 상태에서 상기 양마크의 촬상을 행하는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 한쌍의 기판의 적어도 한쪽은 복수층으로 이루어지는 다층기판 또는 가고착된 복수의 기판인 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 미리 간격이 판명되어 있는 복수의 구멍부가 뚫려 설치되어 있는 지그판이 상기 기판과 겹치도록 설치되어 있고, 상기 제 1 촬상수단에 의해서, 상기 한쪽의 단부에 위치하는 상기 마크의 촬상시에 상기 지그판의 구멍부중 하나를 촬상하여, 상기 제 2 촬상수단에 의해서 상기 다른 쪽의 단부에 위치하는 상기 마크의 촬상시에 상기 지그판의 구멍부중 다른하나를 촬상하고, 화상처리에 의해서, 상기 양촬상수단의 화장영역내에 있어서의 상기 양구멍부의 중심위치를 각각 구하고, 상기 각 구멍부의 상기 각 화상영역내의 중심위치와, 미리 판명하고 있는 상기 촬상한 구멍부 사이의 간격에 근거하여 상기 양촬상수단 사이의 간격을 산출하고, 상기 양촬상수단 사이의 간격에 근거하여, 상기 한쌍의 기판의 위치어긋남을 수정하기 위한 상대 이동량을 구하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 양기판의 위치어긋남을 수정한 후, 선단부형상이 실질적으로 링형상인 혼을 사용하여 초음파진동을 가하여, 상기 양기판 사이에 끼워져 있는 접착층을 용착시킴으로써 상기 양기판을 고착시키는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조방법.
8. 양단부에 미리 마크(m,n)가 형성되어 있는 한쌍의 기판(P1,P2)이 접착층(B)을 거쳐 고착되어 이루어지는 다층기판의 제조장치에 있어서, 상기 한쌍의 기판중 한쪽의 기판을 유지하는 제 1 유지수단(11)과, 상기 한쌍의 기판중 다른 쪽의 기판을 상기 한쪽의 기판에 대향하도록 유지하는 제 2 유지수단(17)과, 상기 양기판의 한쪽의 단부에서 상기 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 상기 마크를 동시에 촬상가능한 제 1 촬상수단(C1)과, 상기 양기판의 다른 쪽의 단부에서 상기 한쌍의 기판에 각각 마련되어 있는 상기 마크를 동시에 촬상가능한 제 2 촬상수단(C2,C3)과, 상기 각 마크의 위치에 근거하여 구해진 상기 한쌍의 기판의 상대적인 위치어긋남을 수정하기 위해서 상기 한쌍의 기판을 상대적으로 이동시키는 이동수단(2,3)과, 상기 위치어긋남을 수정한 상태에서 상기 한쌍의 기판을 상호 고착하는 고착수단(22)을 갖는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 이동수단(2,3)은 상기 한쪽의 기판을 길이 방향 및 폭방향으로 이동시키는 XY 테이블수단(2)과, 상기 XY 테이블수단과 병설되어 상기 한쪽의 기판을 폭방향으로 이동시키는 XY 테이블수단(3)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조장치.
10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 양 유지수단(11,17)은 접근가능 또한 이격 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조장치.
11. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 양유지수단의 한쪽에 지그판(J)이 설치되어 있고, 상기 지그판에는 상기 촬상수단의 위치확인용의 구멍부(51,52)가 복수개 설치되어 있고, 이들 구멍부의 간격은 이미 판명되어 있고, 상기 구멍부중 적어도 하나는 상기 기판의 한쪽의 단부에 위치하는 상기 마크와 동시에 상기 제 1 촬상수단(C1)에 의해서 촬상가능하고, 다른 상기 구멍부중의 적어도 하나는 상기 기판의 다른 쪽의 단부에 위치하는 상기 마크와 동시에 상기 제 2 촬상수단(C2,C3)에 의해서 촬상가능한 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조장치.
12. 제8항에 있어서, 상기 고착수단(22)은 선단부형상이 실질적으로 링형상인 혼(30)을 갖는 초음파용착수단인 것을 특징으로 하는 다층기판의 제조장치.

Images