KR100273984B1 - device for conveying test tray in cooing chamber for horizontal-type handlerg - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A test tray transfer device in a cooling chamber of a horizontal handler is provided to reduce equipment area by installing the cooling chamber on top of the test site. CONSTITUTION: A first elevator installed at a test site descends a test tray installed beneath an operating track to the direction of a cooling chamber. A guide is installed on the base(42) of the cooling chamber. A transferor equipped with a shift bar(45) transfers the test tray delivered by the first elevator to the bottom direction of a rotator of an unloading part. A second elevator installed at a vertical direction of the rotator elevates the test tray transferred in a vertical direction by the rotator toward the rotator.

Description

수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치{device for conveying test tray in cooing chamber for horizontal-type handlerg}Device for conveying test tray in cooing chamber for horizontal-type handlerg}

본 발명은 테스트 트레이의 캐리어 모듈에 매달린 소자의 테스트 완료 후 소자를 외부의 온도로 냉각하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 수직상태의 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시켜 수평상태로 이송하면서 냉각시킨 다음 이를 언로딩부의 로테이터측으로 수직 상승시키는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling chamber of a horizontal handler that cools an element to an external temperature after completion of a test of an element suspended from a carrier module of a test tray. More specifically, the test tray in a vertical state is lowered to the cooling chamber side. The present invention relates to a test tray feeder which cools while transporting in a state and then vertically raises it to the rotator side of the unloading portion.

일반적으로 TSOP 또는 μBGA와 같이 크기가 작은 소자를 테스트하는 수평식 핸들러는 도 1과 같은 구조의 테스트 트레이(1)에 테스트할 소자가 로딩된 상태에서 상기 테스트 트레이를 테스트 싸이트(test site)로 이송시켜 테스트를 실시하게 된다.In general, a horizontal handler for testing a small device, such as TSOP or μBGA, transfers the test tray to a test site while the device to be tested is loaded in a test tray 1 having a structure as shown in FIG. Will be tested.

상기 테스트 트레이(1)는 사각틀형태의 프레임(2)과, 상기 프레임상에 유동가능하게 복수개 장착되며, 테스트할 소자가 로딩되는 캐비티(3)를 갖는 캐리어 모듈(4)로 구성된다.The test tray 1 is composed of a frame 2 having a rectangular frame shape, and a carrier module 4 having a plurality of movably mounted on the frame and a cavity 3 loaded with elements to be tested.

도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도이다.Figure 2 is a perspective view showing an example of a conventional horizontal handler and Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

여러개의 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)를 수평 이동시키면서 소자의 성능을 테스트하는 수평식 핸들러는 생산 완료된 소자가 담겨진 합성수지재의 고객트레이(5)가 복수개 적재되는 적재부(6)와, 상기 적재부에 적재되어 있던 최상측의 고객트레이(5)가 이동아암(7)에 의해 분리되어 안착되는 로딩부(8)와, 상기 로딩부에 얹혀져 있던 고객트레이로부터 로드 픽 플레이스장치가 복수개의 소자를 흡착하여 이송되어 옴에 따라 이송된 소자의 위치를 정렬하는 위치결정블럭(9)과, 상기 고객트레이(5)내에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭으로 이송시켜 위치를 정렬한 다음, 수평이동하여 테스트 트레이(1)에 로딩하거나, 테스트 트레이로부터 테스트 완료된 소자를 빈 고객트레이로 언로딩하는 로드 픽 및 플레이스장치(10)(11)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 원하는 테스트온도가 되도록 가열시키는 히팅챔버(12)와, 상기 히팅챔버내에서 소자가 테스트조건에 알맞는 온도로 히팅되어 통로(13)를 통해 송출됨에 따라 테스트 트레이에 로딩된 소자를 소켓에 콘택트시켜 테스터와 전기적으로 통하여지도록 하는 테스트 싸이트(14)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 상승시키면서 일정온도조건에서 테스트완료된 소자를 상온으로 냉각시키는 냉각챔버(15)와, 상기 냉각챔버에서 빠져 나온 테스트 트레이가 얹혀지는 언로딩부(16)와, 상기 언로딩부에 얹혀진 테스트 트레이로부터 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 적재하는 분류적재부(17)로 구성되어 있다.The horizontal handler for testing the performance of the device while horizontally moving the test tray 1 loaded with a plurality of devices includes a loading part 6 in which a plurality of customer trays 5 of synthetic resin containing the finished devices are loaded. The loading pick place device in which the uppermost customer tray 5 loaded in the upper part is separated and seated by the movable arm 7 and the customer pick tray mounted on the loading part receives a plurality of elements. Positioning block 9 for aligning the position of the conveyed element by suction and conveying, and transfer the element contained in the customer tray 5 to the positioning block to align the position, and then horizontally move the test tray A load pick and place device (10) (11) which loads in (1) or unloads the tested device from the test tray into an empty customer tray; A heating chamber 12 for heating a device loaded in a test tray to a desired test temperature while transferring by taps, and the device is heated at a temperature suitable for a test condition in the heating chamber, and is tested through the passage 13. A test site 14 for contacting the device loaded in the tray to the socket so as to be electrically connected to the tester, and a cooling chamber for cooling the tested device to room temperature at a constant temperature while raising the test tray 1 by one step. (15), an unloading portion 16 on which the test trays exiting the cooling chamber are placed, and a sorting loading portion 17 for classifying and loading elements according to the test results from the test trays placed on the unloading portions. Consists of.

상기한 바와 같은 수평식 핸들러를 이용하여 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(4)에 로딩한 다음 이송시키는 과정을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.The process of loading and then transporting the device to the carrier module 4 of the test tray 1 using the horizontal handler as described above will be described as follows.

생산 완료된 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(5)를 적재부(6)상에 적재하여 놓으면 엘리베이터(18)에 의해 고객트레이가 1스탭씩 상승하게 되므로 로더캣쳐(19)가 하방으로 내려가 최상측에 위치한 고객트레이(5)를 홀딩하여 버퍼(20)의 상면에 위치시킨 후, 다음의 고객트레이를 홀딩하기 위해 초기상태로 환원된다.When the plurality of customer trays 5 containing the finished elements are loaded on the loading unit 6, the customer trays are lifted by one step by the elevator 18, so the loader catcher 19 is lowered to the top. After holding the customer tray (5) located on the upper surface of the buffer 20, it is returned to the initial state to hold the next customer tray.

이와 같이 1개의 고객트레이(5)가 로더캣쳐(19)에 의해 버퍼(20)의 상면에 위치하면 이동아암(7)이 상기 고객트레이(5)를 집어 로딩부(8)에 위치시킨다.Thus, when one customer tray 5 is located on the upper surface of the buffer 20 by the loader catcher 19, the movable arm 7 picks up the customer tray 5 and places it in the loading unit 8.

상기 로딩부(8)에 소자가 담겨진 고객트레이(5)가 위치되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 고객트레이에 담겨져 있던 1열의 소자를 진공으로 흡착한 다음 위치결정블럭(9)측으로 이송하여 소자의 위치를 테스트 트레이(1)에 장착된 캐리어 모듈의 캐비티와 일치되도록 정렬한다.After the customer tray 5 containing the elements is placed in the loading unit 8, the load pick and place device 10 sucks the elements of the first row contained in the customer tray by vacuum and transfers them to the positioning block 9. To align the position of the device with the cavity of the carrier module mounted on the test tray 1.

상기한 바와 같은 동작으로 소자의 위치가 정렬되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 위치결정블럭(9)내에 위치된 소자를 재흡착한 다음 테스트 트레이(1)의 상측으로 이동하여 흡착된 소자를 캐리어 모듈(4)의 캐비티내에 로딩하게 된다.After the device is aligned by the above-described operation, the load pick and place device 10 resorbs the device located in the positioning block 9 and then moves to the upper side of the test tray 1 to adsorb the device. Is loaded into the cavity of the carrier module 4.

상기 로드 픽 및 플레이스장치(10)의 반복된 동작으로 테스트 트레이(1)에 장착된 복수개의 캐리어 모듈(4)에 테스트하고자 하는 소자가 전부 로딩되고 나면 레일(28)의 상면에 얹혀진 테스트 트레이(1)가 이송수단에 의해 히팅챔버(12)의 상측에 형성된 통로(22)를 통해 히팅챔버의 내부에 수평상태로 인입되어 엘리베이터(21)에 얹혀지게 된다.The test tray mounted on the upper surface of the rail 28 after all the elements to be tested are loaded into the plurality of carrier modules 4 mounted on the test tray 1 by the repeated operation of the load pick and place device 10 ( 1) is introduced into the heating chamber in a horizontal state through the passage 22 formed on the upper side of the heating chamber 12 by the transfer means is placed on the elevator 21.

상기 히팅챔버(12)의 엘리베이터(21)에 순차적으로 얹혀지는 테스트 트레이(1)는 하방으로 1스탭씩 이송되면서 테스트에 적합한 온도, 즉 소자가 제품에 적용된 상태에서 동작시 발열되는 온도로 히팅된 다음 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 하방에 위치된 통로(13)를 통해 테스트 싸이트(14)로 이송되어 오면 테스트 트레이(1)를 하향구동시키는 수직 드라이브(23)가 하강하여 테스터 고정장치(24)에 의해 각 소자의 테스트신호를 중앙처리장치(CPU)에 제공하게 되므로 콘택트 소켓을 통해 결과신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(도시는 생략함)에 의해 소자의 성능이 판단된다.The test tray 1 sequentially placed on the elevator 21 of the heating chamber 12 is heated at a temperature suitable for the test while being transferred by one step downward, that is, a temperature that is generated during operation while the device is applied to the product. Next, when the test tray 1 is transferred to the test site 14 through the passage 13 positioned below the heating chamber 12, the vertical drive 23 for driving the test tray 1 downwards is lowered and the tester Since the test signal of each device is provided to the CPU by the fixing device 24, the result signal is output through the contact socket, and thus the performance of the device is determined by the tester (not shown). .

상기한 동작으로 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자의 테스트가 완료되고 나면 테스트 트레이는 냉각챔버(15)의 하방에 형성된 통로(25)를 통해 상기 냉각챔버의 엘리베이터(26)에 얹혀지게 되므로 1스탭씩 순차적으로 상승되면서 외부의 대기온도와 거의 동일한 온도로 서서히 냉각된다.After the test of the device mounted on the test tray 1 is completed by the above operation, the test tray is placed on the elevator 26 of the cooling chamber through the passage 25 formed below the cooling chamber 15. It gradually rises gradually and gradually cools to a temperature almost equal to the outside air temperature.

상기 테스트 트레이(1)는 냉각챔버(15)의 상방에 형성된 통로(27)를 통해 언로딩부(16)로 이송되므로 언로딩부에 설치된 로드 픽 및 플레이스장치(11)가 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자를 테스트결과에 따라 분류적재부(17)에 위치된 빈 고객트레이(1a)내에 분류하여 담게 된다.The test tray 1 is transferred to the unloading unit 16 through a passage 27 formed above the cooling chamber 15, so that the load pick and place device 11 installed in the unloading unit is the test tray 1. The elements mounted on the sorted container are sorted and contained in the empty customer tray 1a located in the sorting stacking unit 17 according to the test result.

테스트가 완료된 소자가 테스트 트레이(1)에서 전부 언로딩되고 나면 빈 테스트 트레이는 레일(28)을 따라 초기상태로 이송되므로 계속해서 소자(TSOP)를 테스트할 수 있게 된다.After the test device is completely unloaded from the test tray 1, the empty test tray is transferred along the rail 28 to an initial state, so that the device TSOP can be continuously tested.

도 4 및 도 5는 출원인에 의해 선출원되어 1998. 2. 27일 특허사정된 특허출원 94-37196호를 나타낸 것으로서, 도 4는 히팅챔버의 일부를 절결하여 나타낸 사시도이고 도 5는 도 4의 종단면도이다.4 and 5 show a patent application 94-37196, filed by the applicant and filed on Feb. 27, 1998, FIG. 4 is a perspective view showing a part of the heating chamber cut out, and FIG. 5 is a longitudinal cross section of FIG. It is also.

그 구성을 살펴보면, 히팅챔버(12)내의 테스트 트레이(1)를 지지하기 위한 제 1 안착편(29)이 상하로 나란히 형성된 적어도 2개 이상의 회동편(30)을 히팅챔버(12)의 내부 양측에 대향되게 축(31)으로 고정 설치하여 상기 회동편이 실린더(32a)의 직선왕복운동을 링크(33) 및 레버(34a)에 의해 회동운동으로 절환시키는 제 1 구동수단에 의해 연동되도록 하고 상기 회동편의 사이에는 회동편(30)의 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 하강시키기 위한 제 2 안착편(35)이 상하로 나란히 형성된 승강편(36)을 대향되게 설치하여 상기 승강편을 제 2 구동수단에 의해 2단으로 승강시키거나, 동시에 전후진시키도록 구성되어 있다.Looking at the configuration, at least two or more rotating pieces 30 formed with the first seating piece 29 for supporting the test tray 1 in the heating chamber 12 up and down side by side inside the heating chamber 12 And fixed to the shaft 31 so as to be opposed to the rotating piece so that the rotating piece is interlocked by the first driving means for switching the linear reciprocating motion of the cylinder 32a to the rotating motion by the link 33 and the lever 34a. Between the biasing, the lifting piece 36 having a second seating piece 35 for lowering the test tray 1 placed on the first seating piece 29 of the pivoting piece 30 by one step is arranged up and down. The elevating piece is raised or lowered in two stages by the second driving means or moved forward and backward at the same time.

따라서 승강편(36)에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)의 제 1 안착편(29)보다 약간 상승된 초기상태에서 테스트 트레이(1)가 이송되어 제 2 안착편(35)의 상면에 얹혀지면 2단 실린더(37)가 작동하여 상판(38)을 약간 하강시키게 되므로 회동축(39)도 약간 하강하게 된다.Therefore, in the initial state in which the second seating piece 35 formed on the elevating piece 36 is slightly raised from the first seating piece 29 of the pivoting piece 30, the test tray 1 is transferred to the second seating piece 35. When mounted on the upper surface of the), the second stage cylinder 37 is operated to lower the upper plate 38 slightly, so that the pivot shaft 39 is also slightly lowered.

이에 따라, 회동축(39)에 승강편(36)이 연결되어 있어 상기 승강편에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)에 형성된 제 1 안착편(29)보다 약간 하강하게 되므로 제 2 안착편(35)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 1 안착편(29)으로 옮겨지게 된다.Accordingly, the elevating piece 36 is connected to the pivot shaft 39 so that the second seating piece 35 formed on the lifting piece is lowered slightly than the first seating piece 29 formed on the pivoting piece 30. The test tray 1 placed on the second seating piece 35 is transferred to the first seating piece 29.

그 후, 실린더(32b)가 동작하여 회동축(39)을 회동시키면 상기 회동축(39)에 레버(34)로 연결된 승강편(36)이 레버(34b)의 연결부를 중심으로 테스트 트레이(1)와 간섭이 발생되지 않는 위치까지 후퇴된다.Thereafter, when the cylinder 32b is operated to rotate the pivot shaft 39, the lifting piece 36 connected to the pivot shaft 39 by the lever 34 centers on the connection portion of the lever 34b. ) Is retracted to a position where no interference occurs.

상기 승강편(36)이 후퇴된 상태에서 2단 실린더(37)가 동작하여 상판(38)을 안착편사이의 높이인 1스탭을 상승시키면 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 상부면이 제 1 안착편(29)에 얹혀진 테스트 트레이의 저면보다 하부에 위치되므로 승강편(36)이 테스트 트레이측으로 진입가능하게 된다.When the two-stage cylinder 37 is operated in the state in which the elevating piece 36 is retracted to raise the upper plate 38 by one step, which is the height between the seating pieces, the second one positioned second from the top of the elevating piece 36. Since the upper surface of the seating piece 35 is located below the bottom of the test tray placed on the first seating piece 29, the lifting piece 36 is accessible to the test tray side.

이러한 상태에서 실린더(32b)의 로드가 초기상태로 당겨지면 테스트 트레이의 외측에 위치되어 있던 승강편(36)이 테스트 트레이의 하부로 진입되므로 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 직상부에 약간의 간격을 두고 테스트 트레이가 위치된다.In this state, when the rod of the cylinder 32b is pulled to the initial state, the elevating piece 36 positioned outside the test tray enters the lower part of the test tray, so that the second position second from the top of the elevating piece 36 is placed. The test tray is positioned at a slight interval directly above the seating piece 35.

그 후, 상기 히팅챔버(12)와 상판(38)사이에 설치된 2단 실린더(37)가 다시 동작하여 상판(38)을 상승시키면 회동축(39)에 연결된 승강편(36)이 상승되므로 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 2 안착편(35)으로 옮겨지게 된다.Thereafter, when the second stage cylinder 37 provided between the heating chamber 12 and the upper plate 38 is operated again to raise the upper plate 38, the lifting piece 36 connected to the pivot shaft 39 is raised. The test tray 1 placed on the first seating piece 29 is transferred to the second seating piece 35.

즉, 히팅챔버(12)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)가 1스탭 상승 완료하게 되는 것이다.That is, the test tray 1 transferred to the inside of the heating chamber 12 is completed by one step.

선출원된 발명은 히팅챔버에 대하여 설명하고 있으나, 종래의 수평식 핸들러의 냉각챔버 구성 또한 히팅챔버의 구성과 동일하다.Although the patent application has been described with respect to the heating chamber, the configuration of the cooling chamber of the conventional horizontal handler is also the same as that of the heating chamber.

단지, 동작시 히팅챔버(12)는 상측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 순차적으로 하강시키면서 히팅한 다음 테스트 싸이트(14)측으로 이송시키지만, 냉각챔버(15)는 하측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 순차적으로 상승시키면서 냉각한 다음 언로딩부측으로 이송시키는 동작만이 상이할 뿐이다.In operation, the heating chamber 12 heats the test tray 1 transferred upwards while sequentially lowering it and then transfers it to the test site 14, but the cooling chamber 15 moves the test tray 1 downward. ) Is only different from the operation of cooling while sequentially raising) and then feeding it to the unloading part side.

이에 따라, 종래의 장치는 냉각챔버(15)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)를 정확히 1스탭씩 하강시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 외부의 온도로 냉각하는 잇점이 있으나, 테스트 트레이를 수평상태로 1스탭씩 상승시키기 때문에 냉각챔버를 반드시 테스트 싸이트(14)의 일측에 위치시켜야 되므로 장비의 크기가 커지게 되었고, 이에 따라 장비의 설치에 따른 점유면적을 많이 차지하게 되는 문제점이 있었다.Accordingly, the conventional apparatus has the advantage of cooling the device loaded in the test tray to an external temperature while lowering the test tray 1 transferred into the cooling chamber 15 by exactly one step, but the test tray is horizontally Since the cooling chamber must be located on one side of the test site 14 because the temperature is increased by one step, the size of the equipment is increased, thereby occupying a lot of occupied area according to the installation of the equipment.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 냉각챔버를 테스트 싸이트의 직하부에 위치시키되 테스트 트레이를 수직상태로 세워 수평이송시키면서 캐리어 모듈에 로딩된 소자를 상온으로 냉각한 다음 로테이터측으로 수직 상승시킬 수 있도록 구성하므로서, 장비의 크기 및 설치면적을 획기적으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve such a problem in the prior art, the cooling chamber is located directly under the test site, while the test tray is placed in a vertical position while the horizontal transfer to cool the device loaded in the carrier module to room temperature and then to the rotator side The purpose is to reduce the size and installation area of the equipment by being configured to rise vertically.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 테스트 싸이트에 진퇴가능하게 설치된 가동트랙의 직하방에 설치되어 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시키는 제 1 엘리베이터부와, 상기 냉각챔버의 베이스상에 설치된 가이드수단과, 상기 가이드수단을 따라 수평 이동가능하게 설치되며, 제 1 엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지는 시프트봉이 구비되어 테스트 트레이를 언로딩부의 로테이터 직하방으로 이송시키는 트랜스퍼와, 상기 로테이터의 수직선상에 설치되어 트랜스퍼에 의해 로테이터의 직하방으로 이송된 테스트 트레이를 로테이터측으로 상승시키는 제 2 엘리베이터부로 구성된 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a first elevator unit which is installed directly below the movable track removably installed on the test site to lower the test tray to the cooling chamber side, and installed on the base of the cooling chamber. A guide rod, a shift rod installed horizontally along the guide means, and including a shift rod into which the test tray conveyed by the first elevator unit is inserted, for transferring the test tray directly below the rotator of the unloading unit, and the rotator. There is provided a test tray conveying apparatus in a cooling chamber of a horizontal handler comprising a second elevator unit which is installed on a vertical line of the second elevator unit for raising a test tray conveyed directly below the rotator by a transfer to the rotator side.

도 1은 일반적인 테스트 트레이를 나타낸 평면도1 is a plan view showing a typical test tray

도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도2 is a perspective view showing an example of a conventional horizontal handler

도 3은 도 2의 A - A선 단면도3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4는 종래 장치의 히팅챔버를 일부 절결하여 나타낸 사시도Figure 4 is a perspective view showing a part of the heating chamber of the conventional apparatus

도 5는 도 4의 종단면도5 is a longitudinal cross-sectional view of FIG.

도 6은 본 발명이 적용된 수평식 핸들러의 일부를 나타낸 사시도Figure 6 is a perspective view showing a part of the horizontal handler to which the present invention is applied

도 7은 본 발명의 요부인 트랜스퍼를 나타낸 사시도7 is a perspective view showing a transfer which is a main part of the present invention;

도 8a 및 도 8b는 도 7의 평면도로서,8A and 8B are plan views of FIG. 7;

도 8a는 시프트봉이 테스트 트레이의 인입측에 위치된 상태도8A is a state diagram in which the shift rod is located at the inlet side of the test tray;

도 8b는 시프트봉이 테스트 트레이의 인출측으로 이동된 상태도8B is a state diagram in which the shift rod is moved to the withdrawal side of the test tray;

도 9는 도 8a의 정면도9 is a front view of FIG. 8A

도 10은 도 8a의 B - B선 단면도FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 8A

도 11은 본 발명의 제 1, 2 엘리베이터부를 나타낸 사시도11 is a perspective view showing the first and second elevator parts of the present invention;

도 12a 및 도 12b는 제 1, 2 엘리베이터부의 동작상태도로서,12A and 12B are operation state diagrams of the first and second elevator units,

도 12a는 인입측 2단 실린더는 1단 상승하고, 인출측 2단 실린더는 하사점에 위치된 상태도12A shows a state in which the inlet-side two-stage cylinder is raised by one stage and the outlet-side two-stage cylinder is located at the bottom dead center.

도 12b는 인입측 2단 실린더는 1단 하강하고, 인출측 2단 실린더는 상사점에 위치된 상태도12B is a state diagram where the inlet-side two-stage cylinder is lowered by one stage and the outlet-side two-stage cylinder is located at the top dead center;

도 12c는 인입측 2단 실린더는 하사점에 위치되고, 인출측 2단 실린더는 상사점에 위치된 상태도12C is a state diagram where the inlet-side two-stage cylinder is located at the bottom dead center, and the outlet-side two-stage cylinder is located at the top dead center;

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

12 : 히팅챔버 14 : 테스트 싸이트12: heating chamber 14: test site

15 : 냉각챔버 40 : 제 1 엘리베이터부15: cooling chamber 40: first elevator unit

41 : 제 2 엘리베이터부 42 : 베이스41: second elevator unit 42: base

44 : 시프트 블록 45 : 시프트봉44: shift block 45: shift rod

48 : 슬라이더 49 : 링크48: Slider 49: Link

54 : 토글스프링 55 : 제 1 스토퍼54: toggle spring 55: first stopper

56 : 제 2 스토퍼 59 : 회동암56: second stopper 59: slewing rock

61 : 센서 63 : 실린더61 sensor 63 cylinder

64, 72 : 2단 실린더 65, 73 : 승강블럭64, 72: two-stage cylinder 65, 73: lifting block

67 : 셔터 구동실린더 69 : 제 1 로드67: shutter driving cylinder 69: first rod

77 : 제 3 로드77: third load

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 6 내지 도 12를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 6 to 12 as an embodiment.

도 6은 본 발명이 적용된 수평식 핸들러의 일부를 나타낸 사시도로서, 본 발명은 테스트 트레이(1)를 승강시키는 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)와, 상기 제 1 엘리베이터부에 의해 냉각챔버(15)측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 수평 이송시키는 트랜스퍼로 구성되어 있다.FIG. 6 is a perspective view showing a part of a horizontal handler to which the present invention is applied, and the present invention provides cooling of the first and second elevator parts 40 and 41 for elevating the test tray 1 and the first elevator part. It consists of the transfer which horizontally conveys the test tray 1 conveyed to the chamber 15 side.

도 7은 본 발명의 요부인 트랜스퍼를 나타낸 사시도이고 도 8a 및 도 8b는 도 7의 평면도이며 도 9는 도 8a의 정면도로서, 베이스(42)의 상면에 평행하게 설치된 한쌍의 제 1 LM가이더(43)와 같은 가이드수단을 따라 일정거리 이송하는 트랜스퍼의 구성은 다음과 같다.7 is a perspective view showing a transfer, which is a main part of the present invention, FIGS. 8A and 8B are plan views of FIG. 7, and FIG. 9 is a front view of FIG. 8A, wherein a pair of first LM guiders (parallel to the upper surface of the base 42) ( Configuration of the transfer for a certain distance along the guide means as shown in 43) is as follows.

상기 각 제 1 LM가이더(43)에 시프트 블록(44)이 이동가능하게 설치되어 있고 상기 시프트 블록의 상면에는 제 1 엘리베이터부(40)에 의해 수직 하강되는 테스트 트레이(1)가 끼워지는 시프트봉(45)이 수직으로 고정되어 있으며 상기 제 1 LM가이더(43)의 외측으로는 테스트 트레이(1)의 수평 이송시 시프트봉(45)으로부터 테스트 트레이가 이탈되지 않도록 가이드하는 가이드바(46)가 테스트 트레이의 수평 이송경로상에 나란히 설치되어 있다.Shift bars 44 are provided on the first LM guider 43 so as to be movable, and a shift rod into which the test tray 1 vertically lowered by the first elevator unit 40 is fitted on the upper surface of the shift block 44. 45 is fixed vertically, and a guide bar 46 is provided outside the first LM guider 43 to guide the test tray from the shift rod 45 when the test tray 1 is horizontally transported. It is installed side by side on the horizontal feed path of the test tray.

그리고 상기 제 1 LM가이더(43)의 사이에 1개의 제 2 LM가이더(47)가 평행하게 설치되어 있고 상기 제 2 LM 가이더에는 슬라이더(48)가 수평 이동가능하게 설치되어 있으며 상기 슬라이더의 양측과 각 시프트 블록사이에는 슬라이더의 수평 이동시 시프트 블록이 연동되도록 하는 링크(49)가 회동가능하게 연결되어 있다.In addition, one second LM guider 47 is disposed between the first LM guiders 43 in parallel, and the second LM guider is provided with a slider 48 to move horizontally. A link 49 is rotatably connected between the shift blocks so that the shift blocks interlock when the slider is moved horizontally.

상기 링크(49)의 일단은 슬라이더(48)에 축(50)을 중심으로 회동가능하게 결합되어 있고 다른 일단에 형성된 장공(49a)은 시프트 블록(44)에 고정된 축(51)에 끼워져 있다.One end of the link 49 is rotatably coupled to the slider 48 about the shaft 50, and the long hole 49a formed at the other end is fitted to the shaft 51 fixed to the shift block 44. .

또한, 상기 슬라이더(48)에 고정된 축(50)에 고정되는 링크(49)의 일단은 일측으로 연장부(49b)가 형성되어 있는데, 그 이유는 후술한다.In addition, one end of the link 49 fixed to the shaft 50 fixed to the slider 48 is formed with an extension 49b on one side, and the reason thereof will be described later.

상기 시프트 블록(44)에 고정되어 링크(49)의 장공(49a)에 끼워지는 축(51)에는 장공의 내주면과 접속되게 베어링(52)이 설치되어 있다.The shaft 52 fixed to the shift block 44 and fitted into the long hole 49a of the link 49 is provided with a bearing 52 to be connected to the inner circumferential surface of the long hole.

이는, 슬라이더(48)의 수평 이동으로 시프트 블록(44)이 함께 이동할 때 이들 사이에서 발생되는 마찰을 최소화하기 위함이다.This is to minimize the friction generated between the shift blocks 44 as they move together with the horizontal movement of the slider 48.

상기 슬라이더(48)와 링크(49)에 각각 고정핀(53a)(53b)이 고정되어 있고 상기 고정핀(53a)(53b)사이에는 링크가 회동된 상태를 유지시키는 토글스프링(54)이 걸려 있으며 상기 슬라이더(48)의 좌우 행정거리의 외측인 베이스(42)에는 슬라이더(48)의 이송에 따라 링크(49)의 연장부(49b)가 닿게 됨에 따라 시프트 블록(44)과 연결된 링크(49)를 회동시켜 시프트봉(45)을 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상에 일치시키는 제 1 스토퍼(55)가 설치되어 있다.Fixing pins 53a and 53b are fixed to the slider 48 and the link 49, respectively, and a toggle spring 54 is held between the fixing pins 53a and 53b to keep the link rotated. The link 49 is connected to the shift block 44 as the extension portion 49b of the link 49 comes into contact with the base 42 that is outside the left and right stroke of the slider 48 as the slider 48 is moved. ), A first stopper 55 is provided to align the shift rod 45 on the vertical transfer path of the test tray 1.

이는, 테스트 트레이(1)가 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)에 의해 이송되므로 인해 테스트 트레이를 수평 이송시키는 시프트봉(45)이 고정된 시프트 블록(44)을 제 1, 2 엘리베이터부의 직하방에 위치시켜야 되지만, 상기 시프트 블록(44)을 이송시키는 슬라이더(48)를 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)의 직상부까지 이송시키면 상기 제 1, 2 엘리베이터부의 동작시 슬라이더가 상호 간섭을 일으키게 되므로 이를 방지하기 위해 슬라이더(48)보다 시프트 블록(44)의 행정거리가 더 길어지도록 하여 이들(제 1, 2 엘리베이터부와 슬라이더)의 동작시 상호 간섭이 발생되지 않도록 하기 위함이다.This is because the test tray 1 is transported by the first and second elevator parts 40 and 41, so that the first and second elevators have shift blocks 44 having fixed shift rods 45 for horizontally transporting the test trays. It should be located directly below the part, but if the slider 48 for conveying the shift block 44 is transferred to the upper part of the first and second elevator parts 40 and 41, the slider when the first and second elevator parts are operated. To cause mutual interference, so that the stroke length of the shift block 44 is longer than that of the slider 48 so that mutual interference does not occur during operation of the first and second elevators and the slider. to be.

상기 슬라이더(48)에 회동가능하게 설치된 링크(49)에 의해 슬라이더(48)의 행정거리보다 더 이송되는 시프트 블록(44)은 베이스(42)의 양측에 구비된 스토퍼수단에 의해 이송량이 제어된다.The shift block 44, which is transported further than the stroke distance of the slider 48 by the link 49 rotatably installed on the slider 48, is controlled by a stopper means provided on both sides of the base 42. .

상기 스토퍼수단은 상기 시프트 블록(44)의 좌우 행정거리에 해당하는 베이스(42)상에 고정되어 시프트 블록(44)의 측면이 닿게 됨에 따라 시프트 블록의 이송을 제어하는 제 2 스토퍼(56)로 구성되어 있는데, 상기 제 2 스토퍼의 외주면에는 완충부재(57)가 감싸여져 있다.The stopper means is fixed on the base 42 corresponding to the left and right stroke distances of the shift block 44 to the second stopper 56 which controls the transfer of the shift block as the side surface of the shift block 44 touches. Although it is comprised, the buffer member 57 is wrapped in the outer peripheral surface of the said 2nd stopper.

이는, 시프트 블록(44)이 제 1 LM가이더(43)의 양단에 도달하였을 때 시프트봉(45)에 끼워진 테스트 트레이(1)에 가해지는 충격을 최소화하기 위함이다.This is to minimize the impact on the test tray 1 fitted to the shift rod 45 when the shift block 44 reaches both ends of the first LM guider 43.

상기 제 2 LM가이더(47)를 따라 수평 이동가능하게 설치된 슬라이더(48)는 슬라이더 이송수단에 의해 설정된 행정거리만큼 수평 이동하게 되어 있다.The slider 48 provided to be horizontally movable along the second LM guider 47 is horizontally moved by the stroke distance set by the slider conveying means.

상기 제 2 LM가이더(47)를 따라 슬라이더(48)를 수평 이동시키는 슬라이더 이송수단은 베이스(42)의 일측에 회전가능하게 설치된 축(58)과, 상기 축에 일단이 고정되고, 다른 일단에는 장공(59a)이 형성된 회동암(59)과, 상기 회동암의 장공을 통해 슬라이더에 고정된 핀(60)과, 상기 베이스에 설치된 축을 회전시키는 구동수단과. 상기 회동암(59)의 회동으로 시프트봉(45)에 삽입된 테스트 트레이(1)가 로테이터 직하방으로 이송됨에 따라 이를 감지하여 구동수단의 구동을 제어하는 센서(61)로 구성되어 있다.The slider conveying means for horizontally moving the slider 48 along the second LM guider 47 has an axis 58 rotatably installed at one side of the base 42 and one end fixed to the axis, and the other end A rotating arm (59) having a long hole (59a) formed therein, a pin (60) fixed to a slider through the long hole of the rotating arm, and driving means for rotating the shaft provided at the base. The test tray 1 inserted into the shift rod 45 by the rotation of the rotational arm 59 is transferred to directly below the rotator, and is configured as a sensor 61 for controlling the driving of the driving means.

그리고 상기 회동암(59)을 설정된 각도만큼 회동시키는 구동수단은 축(58)의 하방에 고정된 레버(62)와, 상기 베이스의 저면에 설치되어 로드가 레버의 일단과 힌지 결합된 실린더(63)로 구성되어 있다.The driving means for rotating the pivot arm 59 by a set angle includes a lever 62 fixed below the shaft 58 and a cylinder 63 installed at a bottom of the base and having a rod hinged to one end of the lever. It consists of).

도 11은 본 발명의 제 1, 2 엘리베이터부를 나타낸 사시도로서, 그 구성을 살펴보면 다음과 같다.11 is a perspective view showing the first and second elevator units of the present invention, the configuration of which is as follows.

상기 제 1 엘리베이터부(40)는 테스트 싸이트(14)내에 위치된 테스트 트레이(1)의 수직하강 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버(15)의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더(64)와, 상기 2단 실린더의 상부 로드(64a)에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(65)과, 상기 2단 실린더의 하부 로드(64b)에 고정된 플레이트(66)와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(67)와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 1 가이드봉(68)과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 1 로드(69)로 구성되어 있다.The first elevator unit 40 is a two-stage cylinder 64 which is installed below the cooling chamber 15 so as to be located outside on the vertical down path of the test tray 1 located in the test site 14. ), A lifting block 65 fixed to the upper rod 64a of the second stage cylinder to move up and down according to the driving of the second stage cylinder, and a plate 66 fixed to the lower rod 64b of the second stage cylinder. A shutter driving cylinder 67 fixed to both ends of the plate for finely elevating the two-stage cylinder; and a first guide rod 68 installed vertically on the conveying path of the elevating block to guide the elevating motion of the elevating block; And a first rod 69 which is fixed on the lifting block and on which the bottom of the test tray is placed.

상기한 바와 같은 구조의 승강블럭(65)에는 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 냉각챔버(15)측으로 이송시 히팅챔버(12)내의 테스트 트레이를 동시에 테스트 싸이트내부로 이송시킬 수 있도록 승강블럭(65)의 양측에 제 2 로드(70)가 각각 고정되어 있고 상기 각 제 2 로드의 상면에는 히팅챔버(14)내의 테스트 트레이 저면이 접속되는 안착편(71)이 고정되어 있다.In the lifting block 65 having the above-described structure, when the test tray 1 located in the test site 14 is transferred to the cooling chamber 15 side, the test tray in the heating chamber 12 can be simultaneously transferred into the test site. The second rod 70 is fixed to both sides of the elevating block 65 so that the mounting pieces 71 to which the bottom surface of the test tray in the heating chamber 14 is connected are fixed to the upper surface of each of the second rods. .

상기 제 2 엘리베이터부(41)는 냉각챔버(15)에 위치된 테스트 트레이(1)의 수직상승 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더(72)와, 상기 2단 실린더의 상부로드(72a)에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(73)과, 상기 2단 실린더의 하부 로드(72b)가 고정된 플레이트(74)와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(75)와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 2 가이드봉(76)과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 3 로드(77)로 구성되어 있다.The second elevator unit 41 is a two-stage cylinder (72) installed below the cooling chamber so as to be located on the outside of the vertical upward path of the test tray (1) located in the cooling chamber (15); A lifting block 73 fixed to the upper rod 72a of the second stage cylinder to move up and down by driving the second stage cylinder, a plate 74 to which the lower rod 72b of the second stage cylinder is fixed, and the plate A shutter driving cylinder 75 fixed to both ends of the second cylinder to elevate the second cylinder finely; a second guide rod 76 installed vertically on the transport path of the elevating block to guide the elevating motion of the elevating block; The third rod 77 is fixed on the lifting block and on which the bottom of the test tray is placed.

상기한 바와 같은 구조의 승강블럭(73)에는 냉각챔버(15)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 로테이터(도시는 생략함)측으로 이송시 로테이터내의 테스트 트레이를 동시에 히팅챔버(12)의 내부로 이송시킬 수 있도록 승강블럭(73)의 양측에 제 4 로드(78)가 각각 고정되어 있고 상기 각 제 4 로드의 상면에는 로테이터내의 테스트 트레이 저면이 접속되는 안착봉(79)이 고정되어 있다.In the lifting block 73 having the structure as described above, when the test tray 1 located in the cooling chamber 15 is transferred to the rotator (not shown), the test tray in the rotator is simultaneously moved into the heating chamber 12. Fourth rods 78 are fixed to both sides of the elevating block 73 so as to be transported, and mounting rods 79 to which the bottom surface of the test tray in the rotator are connected are fixed to the upper surface of each of the fourth rods.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 도 8a와 같이 베이스(42)의 저면에 설치된 실린더(63)의 로드가 전진하여 회동암(59)이 테스트 싸이트(14)내에 있던 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상으로 회동된 상태에서부터 동작하게 된다.First, as shown in FIG. 8A, the rod of the cylinder 63 installed on the bottom surface of the base 42 is advanced so that the pivot arm 59 is rotated on the vertical transfer path of the test tray 1 in the test site 14. It will work from.

상기한 바와 같이 회동암(59)이 테스트 싸이트(14)내에 있던 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상으로 회동된 상태에서는 링크(49)의 연장부(49b)가 제 1 스토퍼(55)에 의해 닿아 축(50)을 중심으로 회동되어 있으므로 상기 링크의 다른 일단에 힌지 결합된 시프트 블록(44)이 슬라이더(48)보다 더 이송되고, 이에 따라 상기 시프트 블록의 상면에 고정된 시프트봉(45)이 테스트 싸이트(14)의 송출구(도시는 생략함)의 직하방에 위치된다.As described above, in the state where the pivot arm 59 is rotated on the vertical feed path of the test tray 1 in the test site 14, the extension 49b of the link 49 is connected to the first stopper 55. The shift block 44 hinged to the other end of the link is moved further than the slider 48 because it is rotated about the axis 50 by touching it, and thus the shift rod 45 fixed to the upper surface of the shift block. ) Is located directly below the outlet (not shown) of the test site 14.

상기한 바와 같이 토글스프링(54)을 인장시키면서 회동된 시프트 블록(44)은 링크(49)에 외력이 작용되지 않는 한 토글스프링에 의해 도 8a와 같은 상태를 유지하게 된다.As described above, the shift block 44 rotated while tensioning the toggle spring 54 is maintained as shown in FIG. 8A by the toggle spring unless an external force is applied to the link 49.

한편, 테스트 트레이(1)를 수직으로 승,하강시키는 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)는 초기 상태에서 다음과 같은 상태를 유지하고 있다.On the other hand, the 1st, 2nd elevator parts 40 and 41 which raise and fall the test tray 1 vertically hold | maintain the following states from an initial state.

즉, 도 12a와 같이 제 1 엘리베이터부(40)의 2단 실린더(64)는 상사점에 위치되고 셔터 구동실린더(67)는 하사점에 위치되어 있으며, 제 2 엘리베이터부(41)의 2단 실린더(72) 및 셔터 구동실린더(75)는 전부 하사점에 위치되어 있다.That is, as shown in FIG. 12A, the second stage cylinder 64 of the first elevator unit 40 is located at the top dead center, and the shutter driving cylinder 67 is located at the bottom dead center, and the second stage of the second elevator unit 41 is located. The cylinder 72 and the shutter drive cylinder 75 are all located at the bottom dead center.

이러한 상태에서 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 냉각챔버(15)측으로, 그리고 히팅챔버(12)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1a)를 테스트 싸이트(14)의 내부로 수직 하강시키기 위해서는 테스트 싸이트(14) 및 히팅챔버(12)의 직하방에 위치된 송출셔터(도시는 생략함)를 각각 개방하여야 된다.In this state, the test tray 1 located in the test site 14 is vertically lowered to the cooling chamber 15 side and the test tray 1a located in the heating chamber 12 vertically into the test site 14. In order to do so, the delivery shutters (not shown) located directly below the test site 14 and the heating chamber 12 must be opened.

그렇지만, 각 송출셔터의 상면에 테스트 트레이(1)(1a)의 저면이 맞닿아 있으므로 테스트 트레이를 약간 상승시켜야 송출셔터의 개방이 가능해지게 된다.However, since the bottom surface of the test tray 1 (1a) abuts on the upper surface of each delivery shutter, it is possible to open the delivery shutter only by slightly raising the test tray.

상기 송출셔터의 개방을 위해, 제 1 엘리베이터부(40)의 셔터 구동실린더(67)를 구동하면 상기 셔터 구동실린더가 고정된 플레이트(66)가 상승하게 되므로 상기 플레이트에 하부 로드(64b)가 고정된 2단 실린더(64)가 셔터 구동실린더(67)의 스트로크만큼 상승하게 된다.In order to open the delivery shutter, when the shutter driving cylinder 67 of the first elevator unit 40 is driven, the plate 66 on which the shutter driving cylinder is fixed rises, so that the lower rod 64b is fixed to the plate. The two-stage cylinder 64 is raised by the stroke of the shutter drive cylinder 67.

이와 같이 2단 실린더(64)가 셔터 구동실린더(67)의 스트로크만큼 상승하면 상기 2단 실린더의 상부 로드(64a)에 고정된 승강블럭(65)도 함께 상승하므로 테스트 싸이트(14) 및 히팅챔버(12)내에 있던 테스트 트레이(1)(1a)가 제 1, 2 로드(69)(70)의 상면에 얹혀진 상태로 도 12a에 일점쇄선으로 도시한 만큼 상승하게 되고, 이에 따라 송출셔터의 개방이 가능해지게 된다.As such, when the second stage cylinder 64 rises by the stroke of the shutter driving cylinder 67, the lifting block 65 fixed to the upper rod 64a of the second stage cylinder also rises together, so that the test site 14 and the heating chamber are raised. The test tray (1) (1a) in (12) is raised as shown by the dashed-dotted line in FIG. 12A in a state where it is placed on the upper surfaces of the first and second rods (69) and (70), thereby opening the delivery shutter. This becomes possible.

상기 송출셔터가 개방된 상태에서 상사점에 위치하고 있던 2단 실린더(64)가 구동하여 하사점에 도달하면 히팅챔버(12)내에 있던 테스트 트레이(1a)가 테스트 싸이트(14)측으로 수직 이송됨과 동시에 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)가 냉각챔버(15)측으로 수직 하강하여 도 12b와 같이 되므로 시프트 블록(44)의 상면에 고정된 시프트봉(45)사이에 끼워지게 된다.When the two-stage cylinder 64 located at the top dead center is driven and reaches the bottom dead center with the delivery shutter open, the test tray 1a in the heating chamber 12 is vertically transferred to the test site 14 and at the same time. Since the test tray 1 located in the test site 14 is vertically lowered toward the cooling chamber 15, as shown in FIG. 12B, the test tray 1 is sandwiched between the shift rods 45 fixed to the upper surface of the shift block 44.

이러한 상태에서 테스트 싸이트(14)내에 위치된 테스트 트레이(1a)는 송출셔터와 일정간격을 유지하게 되므로 송출셔터를 닫을 수 있게 된다.In this state, the test tray 1a located in the test site 14 maintains a constant interval with the delivery shutter, so that the delivery shutter can be closed.

상기 테스트 싸이트내의 송출셔터를 닫고 나면 상사점에 위치하고 있던 셔터 구동실린더(67)가 구동하여 플레이트(66)를 하사점에 위치시키게 되므로 테스트 싸이트내의 테스트 트레이가 송출셔터의 상면에 접속됨과 동시에 시프트봉(45)사이에 끼워져 있던 테스트 트레이(1)가 도 12b의 일점쇄선과 같이 시프트 블록(44)의 상면에 얹혀져 도 8a 및 도 9와 같은 상태가 된다.After closing the delivery shutter in the test site, the shutter driving cylinder 67 located at the top dead center is driven to position the plate 66 at the bottom dead center, so that the test tray in the test site is connected to the top surface of the delivery shutter and at the same time the shift rod The test tray 1 sandwiched between the 45 and 45 is placed on the upper surface of the shift block 44 as shown by the dashed-dotted line in FIG. 12B, and is in a state as shown in FIGS. 8A and 9.

상기한 바와 같은 동작으로 테스트 싸이트에서 테스트 트레이(1)에 로딩된 소자의 테스트가 완료된 상태로 테스트 트레이(1)가 냉각챔버(15)측으로 이송되고 나면 로딩된 소자가 설정된 시간동안 상온으로 냉각된다.After the test tray 1 is transferred to the cooling chamber 15 in the state where the test of the device loaded in the test tray 1 is completed in the test site as described above, the loaded device is cooled to room temperature for a predetermined time. .

상기한 과정에서 소자의 냉각이 완료되면 테스트 트레이(1)로부터 소자를 언로딩하기 위해 로딩 및 언로딩부측으로 90°회동하는 로테이터측으로 이송시키기 위해 테스트 트레이(1)를 수평 이송시켜야 되는데, 이에 대하여 이하에서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.When the cooling of the device is completed in the above process, the test tray 1 must be horizontally transferred to the side of the rotator which rotates 90 ° to the loading and unloading side to unload the device from the test tray 1. A detailed description will be given below.

도 8a와 같은 상태에서 테스트 싸이트(14)의 송출측 직하방에 위치된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 수직 상승시키기 위해 슬라이더(48)의 구동수단인 실린더(63)가 구동하여 전진하였던 로드를 잡아 당기기 시작하면 상기 로드의 선단에 힌지 결합된 레버(62)를 통해 그 힘이 축(58)에 전달되므로 실린더 로드의 직선 운동이 레버에 의해 회전운동으로 절환되고, 이에 따라 상기 레버의 일단에 고정된 축(58)이 회동되기 시작한다.In order to vertically raise the test tray 1 located directly below the discharge side of the test site 14 to the rotator side in the state as shown in FIG. When pulling is started, the force is transmitted to the shaft 58 through the lever 62 hinged to the tip of the rod, so that the linear movement of the cylinder rod is switched to the rotational movement by the lever, and thus at one end of the lever. The fixed shaft 58 starts to rotate.

상기한 동작으로 축(58)이 회동하게 되면 상기 축의 상측에는 회동암(59)이 고정되어 있고 상기 회동암에 형성된 장공(59a)은 슬라이드(48)에 고정된 핀(60)에 끼워져 있어 상기 축(58)의 회동운동이 회동암(59)에 의해 다시 직선 왕복운동으로 절환되므로 슬라이더(48)가 제 2 LM가이더(47)를 따라 도 8a의 화살표방향으로 이동하기 시작한다.When the shaft 58 is rotated by the above operation, the pivot arm 59 is fixed to the upper side of the shaft, and the long hole 59a formed in the pivot arm is fitted to the pin 60 fixed to the slide 48. Since the rotational motion of the axis 58 is switched back to linear reciprocation by the rotational arm 59, the slider 48 starts to move along the second LM guider 47 in the direction of the arrow of FIG. 8A.

상기 슬라이더(48)가 화살표방향으로 이송하기 시작하면 슬라이더가 화살표반대방향으로 이송시 제 1 스토퍼(55)에 의해 눌려 토글스프링(54)을 인장시키면서 화살표 반대방향으로 더 이송되었던 시프트 블록(44)은 토글스프링(54)에 의해 도 8a와 같은 상태를 유지하면서 제 1 LM가이더(43)에 안내되어 화살표방향으로 이송된다.When the slider 48 starts to move in the direction of the arrow, the slider is pushed by the first stopper 55 when the slider moves in the direction opposite to the arrow, and the shift block 44 which is further moved in the direction opposite to the arrow while tensioning the toggle spring 54. Is guided to the first LM guider 43 by the toggle spring 54 and is conveyed in the direction of the arrow while maintaining the state as shown in FIG. 8A.

상기 동작시 시프트봉(45)사이에 끼워진 테스트 트레이(1)는 제 1 LM가이더(43)의 양측으로 위치된 가이드바(46)에 의해 일측으로 이탈하지 않고 안정적으로 이송된다.In the above operation, the test tray 1 sandwiched between the shift rods 45 is stably transported by the guide bars 46 positioned on both sides of the first LM guider 43 without being separated to one side.

계속되는 실린더(63)의 구동으로 로드가 더욱 당겨져 슬라이더(48)가 제 2 LM가이더(47)를 따라 이송되어 설정된 스트로크에 거의 도달하면 슬라이더(48)의 이송방향측으로 노출된 링크(49)의 연장부(49b)가 또 다른 제 1 스토퍼(55)에 의해 닿아 이송이 제어된 상태에서 슬라이더(48)가 계속 이송되므로 링크(49)가 축(50)을 중심으로 회동하면서 제 1 LM가이더(43)를 따라 이동하는 시프트 블록(44)을 슬라이더(48)의 이송방향으로 더욱 이송시키게 된다.Subsequent drive of the cylinder 63 causes the rod to be further pulled so that the slider 48 is moved along the second LM guider 47 and reaches the set stroke almost to extend the link 49 exposed to the feed direction of the slider 48. Since the slider 49 continues to feed while the portion 49b is touched by another first stopper 55 and the feed is controlled, the first LM guider 43 rotates while the link 49 rotates about the axis 50. The shift block 44 moving along) is further moved in the feed direction of the slider 48.

상기한 바와 같이 링크(49)의 회동으로 시프트 블록(44)을 슬라이더(48)의 이송방향으로 더욱 이송시킬 때 슬라이더(48) 및 링크(49)에 고정된 고정핀(53a)(53b)사이에 걸려 있던 토글스프링(54)이 어느 시점(고정핀이 슬라이더와 수평되는 시점)까지는 인장되다가 그 시점이 지나면 최대한 간격이 멀어졌던 고정핀(53a)(53b)사이의 간격이 가까워지므로 인장되었던 토글스프링(54)이 압축되고, 이에 따라 상기 링크(49)의 연장부(49a)가 제 1 스토퍼(55)와 닿지 않더라도 링크(49)가 계속적으로 회동하여 시프트 블록(44)을 더욱 이송시키게 되는데, 이 때 상기 시프트 블록(44)은 베이스(42)상에 고정된 제 2 스토퍼(56)에 걸리게 되므로 이송이 제어된다.As described above, when the shift block 44 is further conveyed in the feed direction of the slider 48 by the rotation of the link 49, between the slider 48 and the fixing pins 53a and 53b fixed to the link 49. The toggle spring 54, which was hooked on the tension rod, was stretched to a certain point (a time when the fixing pin was horizontal to the slider), and the tension was toggled because the gap between the fixing pins 53a and 53b, which had become farther apart, became closer. The spring 54 is compressed so that the link 49 is continuously rotated to further transfer the shift block 44 even if the extension 49a of the link 49 does not contact the first stopper 55. At this time, since the shift block 44 is caught by the second stopper 56 fixed on the base 42, the transfer is controlled.

이와 같은 동작으로 도 8b와 같이 테스트 트레이(1)가 수평 이송되고 나면 시프트봉(45)에 끼워져 있던 테스트 트레이(1)는 로테이터의 직하방에 위치된다.After the test tray 1 is horizontally conveyed as shown in FIG. 8B in this manner, the test tray 1 fitted to the shift rod 45 is located directly below the rotator.

즉, 승강블럭(73)에 고정된 제 3 로드(77)의 직상부에 위치하게 된다.That is, it is located directly above the third rod 77 fixed to the lifting block 73.

상기 슬라이더(48)의 수평 이동으로 시프트봉(45)사이에 끼워진 테스트 트레이(1)가 도 8b와 같이 이송됨을 센서(61)가 감지하고 나면 제 2 엘리베이터부(41)가 구동하여 로테이터의 직하방에 위치되어 있던 테스트 트레이(1)를 소자의 언로딩을 위해 로테이터측으로 상승시켜야 된다.After the sensor 61 detects that the test tray 1 sandwiched between the shift rods 45 is moved as shown in FIG. 8B by the horizontal movement of the slider 48, the second elevator part 41 is driven to directly under the rotator. The test tray 1 located in the room must be raised to the rotator side for unloading the device.

상기 로테이터의 직하방에 위치된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 수직 상승시키기 전에 로딩부에서 테스트할 소자를 로딩하였던 테스트 트레이(1b)는 로딩된 소자를 테스트조건으로 히팅시키기 위해 히팅챔버측으로 이송될 수 있도록 도 12b와 같이 로테이터에 장착되어 90°회동된 상태를 유지하고 히팅챔버(12)의 인입구측에 설치된 인입셔터(도시는 생략함)는 개방된 상태를 유지하고 있다.The test tray 1b, which has loaded the device to be tested in the loading unit before raising the test tray 1 located directly below the rotator to the rotator side, is transferred to the heating chamber side to heat the loaded device under test conditions. As shown in FIG. 12B, the inlet shutter (not shown) installed at the inlet side of the heating chamber 12 is kept open while being mounted on the rotator as shown in FIG. 12B.

이러한 상태에서 하사점에 위치하고 있던 제 2 엘리베이터부(41)의 2단 실린더(72)와 셔터 구동실린더(75)가 도 12c와 같이 동시에 상사점까지 상승하면 로테이터에 장착되어 있던 테스트 트레이(1b)는 제 4 로드(78)에 얹혀져 히팅챔버(12)의 내부로 상사점까지 상승하게 됨과 동시에 냉각챔버(15)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)는 제 3 로드(77)에 얹혀져 로테이터내에 장착된다.In this state, when the two-stage cylinder 72 and the shutter driving cylinder 75 of the second elevator unit 41 located at the bottom dead center ascend to the top dead center at the same time as shown in Fig. 12C, the test tray 1b mounted on the rotator Is placed on the fourth rod 78 and ascends to the top dead center in the heating chamber 12, and at the same time, the test tray 1 located in the cooling chamber 15 is mounted on the third rod 77 and mounted in the rotator. .

상기한 바와 같은 동작으로 냉각챔버(15)에 있던 테스트 트레이(1)가 로테이터측으로, 그리고 로테이터에 있던 테스트 트레이(1b)가 히팅챔버(12)의 내부로 이송되고 나면 히팅챔버(12)에 위치된 테스트 트레이가 인입셔터보다 상측에 위치하고 있으므로 개방되었던 인입셔터를 닫고 상사점에 위치하고 있던 2단 실린더(72) 및 셔터 구동실린더(75)를 도 12b와 같이 동시에 하사점까지 하강하여 새로운 테스트 트레이가 이송되기를 기다리게 된다.As described above, the test tray 1 in the cooling chamber 15 is moved to the rotator side, and the test tray 1b in the rotator is positioned in the heating chamber 12 after being transferred into the heating chamber 12. Since the loaded test tray is located above the inlet shutter, the open inlet shutter is closed, and the second stage cylinder 72 and the shutter driving cylinder 75 located at the top dead center are simultaneously lowered to the bottom dead center as shown in FIG. 12B. Wait for the transfer.

테스트 완료된 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 이송시키고 상기 제 2 엘리베이터부(41)가 초기상태로 환원되면 로드를 잡아 당겨 슬라이더(48)를 도 8a의 화살표방향으로 이송시켰던 실린더(63)가 재구동하여 로드를 전진시키게 되므로 전술한 바와 같은 동작으로 슬라이더(48)가 화살표 반대방향으로 이송되어 도 8a와 같은 상태가 된다.The test tray 1 loaded with the tested devices is transferred to the rotator side, and when the second elevator part 41 is reduced to the initial state, the cylinder 63 which has pulled the rod and moves the slider 48 in the direction of the arrow in FIG. ) Re-drives the rod to advance the rod, so that the slider 48 is moved in the opposite direction to the arrow in the above-described operation, resulting in a state as shown in FIG.

즉, 로딩된 소자의 테스트가 완료된 새로운 테스트 트레이가 테스트 싸이트(14)로부터 이송되기를 테스트 싸이트(14)의 송출구 직하방에서 대기하게 된다.In other words, the new test tray after the test of the loaded device is completed is waited under the outlet of the test site 14 to be transferred from the test site 14.

이상에서와 같이 본 발명은 테스트 트레이를 수직상태로 세워 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 상온으로 냉각시킨 다음 언로딩부의 로테이터측으로 수직 이송시키게 되므로 상기 냉각챔버를 테스트 싸이트의 직상부에 배치 가능하게 되고, 이에 따라 수평식 핸들러를 콤팩트하게 제작가능하게 됨과 동시에 장비의 설치에 따른 점유면적을 줄일 수 있게 된다.As described above, the present invention cools the device loaded in the test tray at room temperature while vertically transporting the test tray, and then vertically transfers the cooling chamber to the rotator side of the unloading part so that the cooling chamber can be disposed directly on the test site. As a result, the horizontal handler can be made compact and at the same time it can reduce the occupied area according to the installation of the equipment.

Claims (10)

테스트 싸이트의 하강 경로상의 냉각챔버 하방에 설치된 2단실린더(64)와, 상기 2단실린더의 상부로드에 고정되어 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(65)과, 상기 2단실린더의 하부로드에 고정된 플레이트에 설치되어 2단실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(67)와, 상기 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제1가이드봉(68)과, 상기 승강블럭에 고정되어 테스트 트레이가 얹혀지는 제1로드(69)로 구성되어 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시키는 제1엘리베이터부:A two-stage cylinder 64 provided below the cooling chamber on the lower path of the test site; an elevating block 65 fixed to the upper rod of the two-stage cylinder to move up and down according to the driving of the cylinder; and a lower rod of the two-stage cylinder. The shutter drive cylinder 67 is installed on a plate fixed to the shaft for finely elevating the second stage cylinder, the first guide rod 68 for guiding the elevating motion of the elevating block, and the test tray fixed to the elevating block. The first elevator unit is composed of a first rod 69 for lowering the test tray to the cooling chamber side. 상기 제1엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지도록 시프트봉이 수직으로 고정되고 제1LM가이더를 따라 이동하는 한쌍의 시프트 블록(44)과, 상기 시프트 블록 사이에 설치되어 재2LM가이더를 따라 수평이동하는 슬라이더(48)와, 상기 슬라이더와 시프트 블록 사이에 설치되어 슬라이더의 이동시 시프트 블록이 연동되게 하여 주는 링크(49)와, 상기 슬라이더와 링크 사이에 연결되어 링크를 일정 위치로 유지시키는 토글 스프링(54)과, 상기 링크를 회전시켜 시프트봉을 테스트 트레이의 수직 이송경로상에 일치시키는 제1스토퍼(55)와, 베이스에 설치되어 상기 슬라이더를 수평 이동시키는 슬라이더 이동수단으로 구성되어 제1엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이를 언로딩부의 로테이터 하방으로 이송시키는 트랜스퍼:A pair of shift blocks 44 are vertically fixed and shifted along the first LM guider so that the test tray conveyed by the first elevator unit is inserted into the test trays, and is horizontally moved along the second LM guider. A slider 48, a link 49 provided between the slider and the shift block to link the shift block when the slider moves, and a toggle spring connected between the slider and the link to maintain the link at a predetermined position ( 54), a first stopper 55 for rotating the link to align the shift rod on the vertical conveying path of the test tray, and a slider moving means installed in the base to horizontally move the slider. Transfer which transfers the test tray which is conveyed by under the rotator of the unloading part: 상기 냉각챔버의 하방에 설치된 2단실린더(72)와, 상기 2단실린더의 상부로드에 고정되어 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(73)과, 상기 2단실린더의 하부로드에 고정된 플레이트에 설치되어 2단실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(75)와, 상기 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제2가이드봉(76)과, 상기 승강블럭에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제3로드(77)로 구성되어 트랜스퍼에 의해 로테이터의 하방으로 아송되어온 테스트 트레이를 로테이터측으로 상승시키는 제2엘리베이터부로 이루어진 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.A two-stage cylinder 72 installed below the cooling chamber, an elevating block 73 fixed to an upper rod of the two-stage cylinder to move up and down according to the driving of the cylinder, and a plate fixed to the lower rod of the two-stage cylinder; A shutter driving cylinder 75 which is installed at the second stage to finely elevate the second stage cylinder, a second guide rod 76 for guiding the elevating movement of the elevating block, and a lower surface of the test tray fixed to the elevating block; A test tray conveying apparatus in a cooling chamber of a horizontal handler, comprising: a second elevator unit configured to include a three-rod 77 for raising a test tray which has been transported under the rotator by a transfer to the rotator side. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 승강블럭(65)의 양측에 승강블럭의 하강시 히팅챔버의 내부에 위치된 테스트 트레이를 테스트 싸이트로 이송시키기 위한 제 2 로드(70)를 각각 고정하고 상기 각 제 2 로드의 상면에는 테스트 트레이의 저면이 접속되는 안착편(71)이 고정된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.On both sides of the elevating block 65, the second rods 70 for transporting the test trays located inside the heating chamber to the test site when the elevating block is lowered are respectively fixed, and on the upper surface of each of the second rods, A test tray feeder in the cooling chamber of a horizontal handler, characterized in that a seating piece (71) to which a bottom face is connected is fixed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 트랜스퍼가 베이스의 상면에 평행하게 설치된 한쌍의 제 1 LM가이더(43)에 의해 가이드되게 한 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.A test tray feeder in a cooling chamber of a horizontal handler, characterized in that the transfer is guided by a pair of first LM guiders (43) mounted parallel to the upper surface of the base. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 LM가이더의 양측으로 테스트 트레이의 수평 이송시 시프트봉에 끼워진 테스트 트레이가 시프트봉에서 이탈되지 않도록 안내하는 가이드바(46)가 설치된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.The test bar in the cooling chamber of the horizontal handler, characterized in that the guide bar 46 is installed to guide the test tray fitted to the shift rod in the horizontal transfer of the test tray to both sides of the first LM guider so as not to be released from the shift rod. Tray feeder. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 트랜스퍼에 시프트 블록의 이송량을 제어하는 스토퍼수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.And a stopper means for controlling the transfer amount of the shift block in the transfer. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 스토퍼수단은 상기 시프트 블록의 좌우 행정거리에 해당하는 베이스상에 고정되어 시프트 블록의 측면이 닿게 됨에 따라 시프트 블록의 이송을 제어하는 제 2 스토퍼(56)인 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.The stopper means is a cooling chamber of the horizontal handler, characterized in that the second stopper 56 is fixed on the base corresponding to the left and right stroke distances of the shift block and controls the transfer of the shift block as the side of the shift block touches. Test tray feeder in the machine. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 슬라이더의 양면에 링크의 일단을 각각 축(50)으로 힌지 결합하고 다른 일단에 형성된 장공(49a)은 시프트 블록에 고정된 축(51)에 결합하여서 된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.In the cooling chamber of the horizontal handler, one end of the link is hinged to the shaft 50 on both sides of the slider, and the long hole 49a formed at the other end is coupled to the shaft 51 fixed to the shift block. Test tray feeder 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 슬라이더 이송수단은 베이스의 일측에 회전가능하게 설치된 축(58)과, 상기 축에 일단이 고정되고 다른 일단에는 장공이 형성된 회동암(59)과, 상기 회동암의 장공을 통해 슬라이더에 고정된 핀(60)과, 상기 베이스에 설치된 축을 회전시키는 구동수단과. 상기 회동암의 회동에 의해 테스트 트레이가 로테이터 직하방으로 이송되는 것을 감지하여 구동수단의 구동을 제어하는 센서(61)로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.The slider conveying means includes a shaft 58 rotatably installed at one side of the base, a pivot arm 59 having one end fixed to the shaft and a long hole formed at the other end, and a pin fixed to the slider through the long hole of the pivot arm. 60 and drive means for rotating the shaft provided in the base. The test tray conveying apparatus in the cooling chamber of the horizontal handler comprising a sensor (61) for detecting the test tray is transferred directly below the rotator by the rotation of the rotating arm to control the driving of the drive means. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 구동수단은 축의 하방에 고정된 레버(62)와, 상기 베이스의 저면에 설치되어 로드가 레버의 일단과 힌지 결합된 실린더(63)로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.The drive means is a test in a cooling chamber of a horizontal handler, characterized in that it consists of a lever (62) fixed below the shaft, and a cylinder (63) mounted on the bottom of the base and having a rod hinged to one end of the lever. Tray feeder. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 승강블럭(73)의 양측에 승강블럭의 상승시 로테이터의 내부에 위치된 테스트 트레이를 히팅챔버로 이송시키기 위한 제 4 로드(78)를 각각 고정하고 상기 각 제 4 로드의 상면에는 테스트 트레이의 저면이 접속되는 안착봉(79)이 고정된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.Fixing the fourth rod (78) for transferring the test tray located inside the rotator to the heating chamber when the lifting block rises on both sides of the lifting block (73), and the bottom of the test tray on the upper surface of each of the fourth rod The test tray feeder in the cooling chamber of the horizontal handler, characterized in that the seating rod (79) to be connected is fixed.
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