KR100260945B1 - Substrate sending apparatus of manufacturing system for plasma display panel - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate sensing apparatus for a manufacturing system of a plasma display panel is provided to move various kinds of substrate by using a multitude of auxiliary guide roller. CONSTITUTION: A substrate sensing apparatus for a manufacturing system of a plasma display panel comprises a shaft(310), a multitude of ring roller(320), a guide roller(330), a multitude of auxiliary guide roller(341,342,343), and an auxiliary guide roller driving portion. The shaft(310) has a cylindrical shape. The multitude of ring roller(320) shifts a substrate. The guide roller(330) guides the movement of the substrate. The multitude of auxiliary guide roller(341,342,343) is installed at a lower portion of the shaft to guide the movement of the substrate. The auxiliary guide roller driving portion rises one of the auxiliary guide rollers(341,342,343).

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치Substrate Carrier of Manufacturing Equipment for Plasma Display Panel

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치에 관한 것으로서 특히, 기판이 1매씩 공급되는 매엽식 현상 시스템에서 사용되는 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치( Substrate sending apparatus for manufacture system of PDP )에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate conveying apparatus of a manufacturing apparatus for a plasma display panel, and more particularly, to a substrate conveying apparatus of a manufacturing apparatus for a plasma display panel used in a sheet type developing system in which substrates are supplied one by one. ).

최근, PDP의 사용범위가 넓어지면서 PDP에 적용되는 유리기판의 크기도 달라지고 있다. 따라서, 30", 40", 55", 60" 등의 서로 다른 크기를 갖는 유리기판을 모두 반송시킬 수 있도록 제조장비의 일부가 변경되어야 한다.Recently, as the range of use of PDP has widened, the size of the glass substrate applied to the PDP has also changed. Therefore, part of the manufacturing equipment must be changed to convey all the glass substrates having different sizes such as 30 ", 40", 55 ", 60", and the like.

도 1은 일반적인 PDP용 현상 시스템을 나타내는 구성도이다.1 is a configuration diagram showing a general developing system for a PDP.

도 1을 참조하여 설명하면, 참조 번호 110은 유리기판으로 포토 레지스트용 현상액을 분사하여 노광되지 않은 포토 레지스트를 제거하는 동작을 수행하는 현상조를 나타내고, 참조 번호 120은 상기 현상조(110)를 지난 유리기판으로 순수를 분사하여 현상액을 씻어주는 동작을 수행하는 제1 샤워조를 나타낸다.Referring to FIG. 1, reference numeral 110 denotes a developing tank for performing an operation of removing an unexposed photoresist by injecting a developer for photoresist onto a glass substrate, and reference numeral 120 denotes the developing tank 110. The first shower bath performs an operation of washing pure water by spraying pure water onto a glass substrate.

또한, 참조 번호 130은 상기 제1 샤워조(120)를 지난 유리기판으로 강한 산성의 중화액을 분사하여 상기 유리기판 상에 미량 남아있는 현상액에 의해 현상이 진행되는 것을 방지하는 동작을 수행하는 중화조를 나타내고, 참조 번호 140은 상기 중화조(130)를 지난 유리기판으로 순수를 분사하여 상기 유리기판 상에 있는 현상액 및 중화액을 씻어주는 동작을 수행하는 제2 샤워조를 나타내고, 참조 번호 150은 상기 제2 샤워조(140)를 지난 유리기판 상에 남아 있는 불순물을 완전히 제거하는 동작을 수행하는 린스조를 나타내고, 참조 번호 160은 상기 린스조(150)를 지난 유리기판으로 에어나이프(air knife)를 통해 압축 공기를 분사하여 수분을 강제로 밀어내는 방식으로 상기 유리기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조를 나타낸다.In addition, reference numeral 130 is a neutralization for spraying a strong acidic neutralizing solution to the glass substrate past the first shower bath 120 to prevent the development of the development by the remaining developer on the glass substrate Reference numeral 140 denotes a second shower bath for spraying pure water onto the glass substrate past the neutralization tank 130 to wash the developer and neutralizing solution on the glass substrate, and reference numeral 150. Denotes a rinse bath for completely removing impurities remaining on the glass substrate passing through the second shower bath 140, and reference numeral 160 denotes an air knife (air knife) that passes through the rinse bath 150. It represents a drying tank that performs the operation of drying the glass substrate in a manner of forcibly pushing moisture by spraying compressed air through a knife.

여기서, 상기 유리기판은 롤러(roller)의 회전에 의해 동작되는 컨베이어 즉, 반송장치를 통해 로딩부(loader)에서 언로딩부(unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동된다.Here, the glass substrate continues to move without stopping from the loading unit to the unloader through the conveyor, ie, the conveying apparatus, operated by the rotation of the roller.

도 2는 종래 기술에 의한 컨베이어의 구성을 나타내는 도면이다.2 is a view showing the configuration of a conveyor according to the prior art.

도 2를 참조하면, 종래의 반송장치는 기판의 크기에 대응되는 길이를 갖는 원통 형태의 샤프트(210)에 다수의 링롤러(ring roller)(220)가 소정의 간격으로 외삽되고, 상기 샤프트(210)의 양단에는 가이드롤러(guide roller)(230)가 설치되어 이루어진다.Referring to FIG. 2, in the conventional conveying apparatus, a plurality of ring rollers 220 are extrapolated at predetermined intervals to a cylindrical shaft 210 having a length corresponding to the size of a substrate, and the shaft ( At both ends of the 210, guide rollers 230 are installed.

상기 샤프트(210)가 외부의 동력에 의해 회전하면, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 다수의 링롤러(220)가 유리기판(240)의 하면과 접촉되어 상기 유리기판(240)을 진행시킨다. 이때, 상기 가이드롤러(230)는 유리기판(240)의 양측을 지지하여 진행시 옆으로 빗나가지 않도록 한다.When the shaft 210 is rotated by an external power, as shown in FIG. 3, the plurality of ring rollers 220 are in contact with the bottom surface of the glass substrate 240 to advance the glass substrate 240. At this time, the guide roller 230 supports both sides of the glass substrate 240 so as not to deviate laterally.

그러나, 상기와 같은 종래의 반송장치는 샤프트의 길이에 따라 적용되는 유리기판의 크기가 미리 결정되기 때문에 크기가 다른 모델의 유리기판에는 적용하기 어렵게 되는 문제점이 있다. 예를 들어, 반송장치와 유리기판의 크기가 맞지 않는 경우 도 4에 도시된 바와 같이 사행이 발생되어 제조공정의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 발생한다.However, the conventional conveying apparatus as described above has a problem in that it is difficult to apply to glass substrates of different sizes because the size of the glass substrate applied according to the length of the shaft is predetermined. For example, when the size of the conveying apparatus and the glass substrate do not match, a meander occurs as shown in FIG. 4, which causes a problem of lowering the reliability of the manufacturing process.

결국, 여러 크기의 유리기판을 반송하려면 그 수만큼 장비가 필요하게 된다. 예를 들어, 30”,40”,55”,60” 각각에서 4:3, 16:9의 유리기판을 반송하기 위해서는 8대의 장비가 필요하게 되기 때문에 장비를 설치할 공간이 많이 필요하고, 장비의 수가 많으므로 제작비용과 설치비용이 커지는 문제점이 있다.As a result, in order to transport glass substrates of various sizes, the number of equipment is required. For example, in order to convey 4: 3 and 16: 9 glass substrates from 30 ”, 40”, 55 ”, and 60” respectively, eight pieces of equipment are needed. Since the number is large, there is a problem that the manufacturing cost and installation cost becomes large.

또한, PDP 제조 공정상에서 조건을 변경해야 할 경우에는 각 크기에 해당하는 모든 장비의 조건을 변경해야 하기 때문에 시간이 많이 필요하고, 각 장비 간 조건이 동일하지 않아 제품의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있다.In addition, when the conditions need to be changed in the PDP manufacturing process, it is necessary to change the conditions of all the equipments corresponding to each size, which requires a lot of time, and there is a problem of deteriorating the reliability of the product because the conditions between the equipments are not the same. .

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 유리기판의 크기에 따라 동작이 결정되는 다수의 보조 가이드 롤러를 구비함으로써 하나의 장비에서 크기가 다른 여러 종류의 유리기판을 반송시킬 수 있도록 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, the object of which is to provide a plurality of different types of glass in different sizes by having a plurality of auxiliary guide rollers that are determined to operate according to the size of the glass substrate It is an object of the present invention to provide a substrate transfer device of a manufacturing apparatus for a plasma display panel that can transfer a substrate.

도 1은 일반적인 PDP 제조공정에서의 현상 시스템을 나타내는 도면,1 is a view showing a developing system in a general PDP manufacturing process,

도 2는 종래 기술에 의한 반송장치의 구성을 나타내는 도면,2 is a view showing the configuration of a conveying apparatus according to the prior art;

도 3은 종래 기술에 의한 기판 이송 동작을 나타내는 도면,3 is a view showing a substrate transfer operation according to the prior art;

도 4는 종래 기술에서 기판 이송시 사행이 발생한 경우를 나타내는 도면,4 is a view showing a case in which meander occurs during substrate transfer in the prior art;

도 5는 본 발명에 의한 반송장치의 구성을 나타내는 도면,5 is a view showing the configuration of a conveying apparatus according to the present invention;

도 6은 본 발명에 의한 보조 가이드 롤러 구동부의 구성을 나타내는 블록도,6 is a block diagram showing a configuration of an auxiliary guide roller driving unit according to the present invention;

도 7은 본 발명에 의한 감지센서의 배치 및 유리기판의 크기에 따른 감지 상태를 나타내는 도면,7 is a view showing a sensing state according to the arrangement of the sensor and the size of the glass substrate according to the present invention;

도 8은 본 발명에 의하여 크기가 다른 유리기판을 이용하는 경우에 보조 가이드 롤러의 동작 상태를 나타내는 도면.8 is a view showing the operating state of the auxiliary guide roller in the case of using a glass substrate of different sizes according to the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the reference numerals for the main parts of the drawings>

310 : 샤프트 320 : 링롤러(ring roller)310: shaft 320: ring roller

330 : 가이드롤러(guide roller) 341,342,343 : 보조 가이드 롤러330: guide roller 341,342,343: auxiliary guide roller

351 : 감지수단 352 : 제어수단351: detection means 352: control means

353 : 동력공급수단353: power supply means

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 특징에 따르면, 외부의 동력을 전달받아 회전하는 원통 형태의 샤프트와, 상기 샤프트에 소정의 간격으로 외삽되어 기판의 하면과 접촉됨으로써 기판을 진행시키는 다수의 링롤러(ring roller)와, 상기 샤프트의 양단에 고정 설치되어 기판의 진행을 가이드하는 가이드롤러(guide roller)와, 상기 샤프트의 하부에 설치되고 반송하고자 하는 기판의 크기에 따라 상승하여 기판의 진행을 가이드하는 다수의 보조 가이드 롤러와, 반송하고자 하는 기판의 크기를 판단하여 상기 다수의 보조 가이드 롤러 중 어느 하나를 상승시키는 보조 가이드 롤러 구동부를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치를 제공한다.According to a first aspect of the present invention for achieving the above object, a cylindrical shaft that is rotated by receiving external power, and extrapolated to the shaft at a predetermined interval to advance the substrate by contacting the lower surface of the substrate A plurality of ring rollers, guide rollers fixedly installed at both ends of the shaft to guide the progress of the substrate, and mounted on the lower portion of the shaft and raised according to the size of the substrate to be transported. Substrate conveying apparatus of the manufacturing equipment for plasma display panel comprising a plurality of auxiliary guide rollers for guiding the progress and the auxiliary guide roller driving unit for raising any one of the plurality of auxiliary guide rollers by determining the size of the substrate to be conveyed To provide.

본 발명의 제2 특징에 따르면, 상기 보조 가이드 롤러 구동부는 기판이 로딩(loading)되어 일측의 가이드 롤러에 밀착된 후 기판의 크기에 따른 신호를 출력하는 감지수단과, 상기 감지수단의 출력신호에 따라 기판의 크기를 판단하여 특정 보조 가이드 롤러의 상승을 결정하는 제어수단과, 상기 제어수단의 제어신호에 따라 동력을 발생하여 특정의 보조 가이드 롤러를 상승시키는 동력공급수단을 포함한다.According to a second aspect of the present invention, the auxiliary guide roller driving unit is a sensing means for outputting a signal according to the size of the substrate after the substrate (loading) is in close contact with the guide roller of one side, and the output signal of the sensing means The control means for determining the size of the substrate to determine the rise of the specific auxiliary guide roller, and the power supply means for generating power in accordance with the control signal of the control means to raise the specific auxiliary guide roller.

이하, 본 발명에 의한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

도 5는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치의 구성을 나타내는 도면이다.5 is a view showing the configuration of a substrate transfer device of the manufacturing apparatus for plasma display panel according to the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명은 외부의 동력을 전달받아 회전하는 원통 형태의 샤프트(310)와, 상기 샤프트(310)에 소정의 간격으로 외삽되어 기판의 하면과 접촉됨으로써 기판을 진행시키는 다수의 링롤러(ring roller)(320)와, 상기 샤프트(310)의 양단에 고정 설치되어 기판의 진행을 가이드하는 가이드롤러(guide roller)(330)와, 상기 샤프트(310)의 하부에 기판의 진행방향과 수직이 되는 방향으로 일렬로 설치되고 반송하고자 하는 기판의 크기에 따라 상승하여 기판의 진행을 가이드하는 다수의 보조 가이드 롤러(341,342,343)와, 반송하고자 하는 기판의 크기를 판단하여 상기 다수의 보조 가이드 롤러(341,342,343) 중 어느 하나를 상승시키는 보조 가이드 롤러 구동부(미도시)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 5, the present invention provides a plurality of cylindrical shafts 310 that are rotated by external power and extrapolated to the shafts 310 at predetermined intervals to contact the lower surface of the substrate to advance the substrate. A ring roller 320, guide rollers 330 fixedly installed at both ends of the shaft 310 to guide the progress of the substrate, and a substrate traveling below the shaft 310. A plurality of auxiliary guide rollers 341, 342 and 343 which are installed in a line in a direction perpendicular to the direction and rise in accordance with the size of the substrate to be conveyed to guide the progress of the substrate, and determine the size of the substrate to be conveyed. It comprises an auxiliary guide roller drive (not shown) for raising any one of the guide rollers 341, 342, 343.

또한, 도 6을 참조하면 상기 보조 가이드 롤러 구동부(미도시)는 기판이 로딩(loading)되어 일측의 가이드 롤러에 밀착된 후 기판의 크기에 따른 신호를 출력하는 감지수단(351)과, 상기 감지수단(351)의 출력신호에 따라 기판의 크기를 판단하여 특정 보조 가이드 롤러의 상승을 결정하는 제어수단(352)과, 상기 제어수단(352)의 제어신호에 따라 동력을 발생하여 특정의 보조 가이드 롤러를 상승시키는 동력공급수단(353)을 포함한다.In addition, referring to FIG. 6, the auxiliary guide roller driving unit (not shown) includes a sensing unit 351 for outputting a signal according to the size of the substrate after the substrate is loaded and adhered to the guide roller on one side, and the sensing unit. Control means 352 for determining the size of the substrate according to the output signal of the means 351 to determine the rise of the particular auxiliary guide roller, and generates power in accordance with the control signal of the control means 352 to the specific auxiliary guide And a power supply means 353 for raising the roller.

또한, 상기 감지수단(351)은 도 7에 도시된 바와 같이 기판의 로딩부(loader)에 기판의 진행방향과 수직이 되는 방향으로 배치된 다수의 감지센서로 이루어진다.In addition, the sensing means 351 is composed of a plurality of sensing sensors arranged in a direction perpendicular to the traveling direction of the substrate in the loading (loader) of the substrate as shown in FIG.

상기와 같이 구성된 본 발명의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 유리기판이 로딩되면 상기 다수의 감지센서는 도 7에 도시된 바와 같이 그 상부에 유리기판이 존재하는지를 출력한다. 이때, 유리기판의 크기에 따라 감지되는 감지센서의 수가 달라져 상기 제어수단(352)에서는 유리기판의 크기를 인식하게 된다.First, when a glass substrate is loaded, the plurality of sensing sensors output whether a glass substrate exists on the upper portion as shown in FIG. 7. At this time, the number of sensing sensors sensed according to the size of the glass substrate is changed so that the control means 352 recognizes the size of the glass substrate.

상기 유리기판의 크기가 판단되면 상기 제어수단(352)에서는 상기 동력공급수단(353)으로 제어신호를 출력하여 유리기판의 크기에 따라 보조 가이드 롤러가 상승되도록 한다. 예를 들어, 30인치 유리기판인 경우에는 제1 보조 가이드 롤러(341)를 상승시키고(도 8의 A 참조), 40인치 유리기판인 경우에는 제2 보조 가이드 롤러(342)를 상승시키고(도 8의 B 참조), 55인치 유리기판인 경우에는 제3 보조 가이드 롤러(343)를 상승시키고(도 8의 C 참조), 60인치 유리기판인 경우에는 모든 보조 가이드 롤러를 하강한 상태로 하여 가이드 롤러(330)가 유리기판을 지지하도록 한다.(도 8의 D 참조)When the size of the glass substrate is determined, the control means 352 outputs a control signal to the power supply means 353 to raise the auxiliary guide roller according to the size of the glass substrate. For example, in the case of a 30-inch glass substrate, the first auxiliary guide roller 341 is raised (see A of FIG. 8), and in the case of a 40-inch glass substrate, the second auxiliary guide roller 342 is raised (FIG. 8B), in the case of a 55-inch glass substrate, raises the third auxiliary guide roller 343 (see C in FIG. 8), and in the case of a 60-inch glass substrate, guides with all the auxiliary guide rollers lowered. The roller 330 supports the glass substrate (see D of FIG. 8).

상기와 같은 동작에 의해 유리기판을 지지한 후 샤프트를 회전시켜 유리기판이 진행하도록 함으로써 사행의 발생을 방지한다.By supporting the glass substrate by the operation as described above to prevent the occurrence of meandering by rotating the shaft to advance the glass substrate.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치는 유리기판의 크기에 따라 보조 가이드 롤러를 상승시켜 유리기판을 지지하기 때문에 하나의 장비로 모든 모델의 유리기판에 적용할 수 있어서 장비의 설치공간을 줄일 수 있는 동시에 장비의 설치비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, the substrate conveying apparatus of the manufacturing apparatus for plasma display panel of the present invention supports the glass substrate by raising the auxiliary guide roller according to the size of the glass substrate, so that it can be applied to the glass substrates of all models with one equipment. Therefore, it is possible to reduce the installation space of the equipment and at the same time reduce the installation cost of the equipment.

또한, PDP 제조 공정상에서 조건을 변경해야 할 경우에도 하나의 장비이기 때문에 장비의 조건을 변경하는 시간이 단축되고, 여러 가지 크기의 유리기판에 모두 동일한 조건을 적용할 수 있어서 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, even if the conditions need to be changed in the PDP manufacturing process, the time required to change the conditions of the equipment is shortened, and the same conditions can be applied to glass substrates of various sizes, thereby improving the reliability of the product. It can be effective.

Claims (2)

외부의 동력을 전달받아 회전하는 원통 형태의 샤프트와, 상기 샤프트에 소정의 간격으로 외삽되어 기판의 하면과 접촉됨으로써 기판을 진행시키는 다수의 링롤러(ring roller)와, 상기 샤프트의 양단에 고정 설치되어 기판의 진행을 가이드하는 가이드롤러(guide roller)와, 상기 샤프트의 하부에 설치되고 반송하고자 하는 기판의 크기에 따라 상승하여 기판의 진행을 가이드하는 다수의 보조 가이드 롤러와, 반송하고자 하는 기판의 크기를 판단하여 상기 다수의 보조 가이드 롤러 중 어느 하나를 상승시키는 보조 가이드 롤러 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치.Cylindrical shaft that is rotated by external power, a plurality of ring rollers which are extrapolated to the shaft at predetermined intervals to contact the lower surface of the substrate to advance the substrate, and are fixedly installed at both ends of the shaft. Guide rollers for guiding the progress of the substrate, a plurality of auxiliary guide rollers which are installed at the lower part of the shaft and rise according to the size of the substrate to be conveyed to guide the progress of the substrate, and And a sub guide roller driving unit for raising one of the plurality of sub guide rollers by determining a size thereof. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 가이드 롤러 구동부는 기판이 로딩(loading)되어 일측의 가이드 롤러에 밀착된 후 기판의 크기에 따른 신호를 출력하는 감지수단과, 상기 감지수단의 출력신호에 따라 기판의 크기를 판단하여 특정 보조 가이드 롤러의 상승을 결정하는 제어수단과, 상기 제어수단의 제어신호에 따라 동력을 발생하여 특정의 보조 가이드 롤러를 상승시키는 동력공급수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 제조장비의 기판 반송장치.The auxiliary guide roller driving unit includes a sensing means for outputting a signal according to the size of the substrate after the substrate is loaded and adhered to the guide roller on one side, and the size of the substrate is determined according to the output signal of the sensing means. And control means for determining the rise of the guide roller, and power supply means for generating power in accordance with the control signal of the control means to raise a specific auxiliary guide roller. Device.
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