KR20100026323A - Transport device for glass using piezoelectric element - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transport device with a substrate sensor is provided to copes with external impact delivered to a substrate using a guide roller. CONSTITUTION: A substrate transport device with a substrate sensor(40) comprises a transport unit(20), a guide roller, and a substrate sensor. The transport unit transfers a substrate(10) in the fixed direction. The guide roller supports the substrate on one end of the transport unit. The substrate sensor is integrated with one side of the guide roller to detect the access of a substrate. A piezoelectric member senses a contact signal of substrate. A support block supports the piezoelectric member on the rear side of the piezoelectric member.

Description

기판 이송 장치{Transport device for glass using piezoelectric element}Substrate transport device {Transport device for glass using piezoelectric element}

본 발명은 기판이 방향을 따라서 이송되는 와중에도 기판의 파손 여부를 즉시 확인하여 불량 기판이 다음 공정으로 진행되지 않도록 하는 기판감지수단이 구비된 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판이 이송부에 의해서 일정한 방향을 따라서 이동되면서 이 이송부의 일측에 기판이 진입되는 것을 감지하는 기판감지수단을 구비하고 이 기판감지수단에 의해서 기판이 제대로 이송되었는지 여부를 확인하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer device having a substrate sensing means for immediately checking whether the substrate is damaged even when the substrate is transferred along the direction so that the defective substrate does not proceed to the next process. It relates to a substrate transfer device having a substrate sensing means for detecting that the substrate is entered into one side of the transfer portion while being moved along a predetermined direction by the substrate sensing means and whether or not the substrate is properly transferred by the substrate sensing means.

일반적으로 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비하여 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 크기의 액정표시장치에 비하여 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP; Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED; Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a liquid crystal display (LCD), which is one of flat panel display devices, has a better visibility than a cathode ray tube (CRT) and a smaller average power consumption than a liquid crystal display device of the same size, and also generates a small amount of heat, so that a plasma display device ( Along with plasma display panels (PDPs) and field emission displays (FEDs), they have recently been spotlighted as next-generation display devices for mobile phones, computers, monitors and televisions.

이러한 액정표시장치에는 영상을 출력하는 액정패널이 특히 중요한데, 이 액정패널은 2개의 기판이 면결합된 상태를 이루면서, 이 2개의 기판이 접하는 내부공간에는 액정물질이 삽입되어 있다.In such a liquid crystal display device, a liquid crystal panel for outputting an image is particularly important. The liquid crystal panel is in a state where two substrates are bonded to each other, and a liquid crystal material is inserted into an inner space where the two substrates are in contact with each other.

이러한 기판에 제조공정 또는 이송공정 중에 이상 유무를 감지하는 기판감지수단이 필요하게 하였다.The substrate sensing means for detecting the presence or absence of abnormality during the manufacturing process or the transfer process is required for such a substrate.

종래에는 기판의 기판감지수단으로서 플리커 센서(fliker sensor), 광센서(photo sensor), 광섬유 센서(optical fiber sensor) 등이 사용되어 왔었다.In the past, a flicker sensor, a photo sensor, an optical fiber sensor, and the like have been used as a substrate sensing means of a substrate.

이러한 각각의 센서들은 그 장단점을 살펴보면, 플리커 센서는 식각 장비 내에 화학 에천트(chemical etchant)나 화학 스트리퍼(chemical stripper) 등의 화학 약품들이 많이 사용됨으로 인해서 식각 과정에서 발생되는 석출물 등에 의한 이물질의 끼임 등으로 인해 On/Off 제어가 불안정해지거나, 에천트나 스트리퍼 등에 의해 자석추 노출에 따른 손상 등으로 인한 공정 에러 또한 종종 발생되는 문제점이 있었다.Each of these sensors has its advantages and disadvantages, and the flicker sensor is caught by foreign substances due to precipitates generated during the etching process due to the use of chemical etchant or chemical stripper in the etching equipment. Due to the on / off control is unstable, process errors due to damage due to the exposure of the magnetic weight due to the etchant or stripper, etc. also often had a problem.

그리고, 기판의 고속 이송시 자석추와 기판 사이에 충돌 등이 발생되는 경우, 이 충격으로 인해 센서가 원래 위치로 복귀되지 못하게 되어 더 이상 기판의 이송 상태를 센싱하지 못하게 되는 등의 불량도 발생되고 있었다.In addition, when a collision occurs between the magnetic weight and the substrate during the high speed transfer of the substrate, the impact may prevent the sensor from returning to its original position and thus no longer sense the transfer state of the substrate. there was.

한편, 광센서 및 광섬유센서는 습구간(wet zone)에서 기판의 이송상태를 센싱하는 데 적합하지 않은 문제점이 있었다.On the other hand, the optical sensor and the optical fiber sensor has a problem that is not suitable for sensing the transfer state of the substrate in the wet zone (wet zone).

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판감지수단으로서 기판으로부터 전달받는 외력에 의하여 감지되는 압전소자를 사용하고 압전소자에 형성되는 수지코팅 등에 의해서 습구간 등의 어떤 환경에서도 적용가능한 기판 이송 장치를 제공하는 것이고, 또한, 가이드롤러의 간단한 설치에 의하여 기판에 전달되는 외력에 대하여 대응할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to use a piezoelectric element is detected by the external force received from the substrate as a substrate sensing means and the wet section, such as by a resin coating formed on the piezoelectric element, etc. It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus applicable to any environment, and to provide a substrate transfer apparatus that can cope with an external force transmitted to a substrate by a simple installation of a guide roller.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판을 일정한 방향으로 이동되게 하는 이송부와, 상기 이송부의 일측에 형성되어 상기 기판을 지지하는 가이드롤러와, 상기 가이드롤러의 일측에 형성되어 상기 기판이 상기 가이드롤러와 접촉함으로써 상기 기판의 진입여부를 감지하는 기판감지수단을 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a conveying unit for moving the substrate in a predetermined direction, a guide roller formed on one side of the conveying unit to support the substrate, and formed on one side of the guide roller so that the substrate is the guide roller. It is configured to include a substrate detecting means for detecting the entry of the substrate by contact with.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 기판감지수단은 상기 기판의 접촉신호를 감지하는 압전소자와, 상기 가이드롤러의 하부와 상기 압전소자의 전면에 위치하여 상기 기판에 의해 상기 가이드롤러에 가해진 압력을 상기 압전소자로 제공하는 브라켓과, 상기 압전소자의 배면에 위치하여 상기 압전소자를 지지하는 지지블럭을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the substrate detecting means is a piezoelectric element for detecting a contact signal of the substrate, the lower portion of the guide roller and the front surface of the piezoelectric element is located on the pressure applied to the guide roller by the substrate It is preferably configured to include a bracket for providing a piezoelectric element, and a support block positioned on the rear surface of the piezoelectric element to support the piezoelectric element.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 압전소자는 상기 가이드롤러가 상기 기판에 접촉하는 외력에 의해 전압이 발생되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, the piezoelectric element is preferably a voltage is generated by the external force that the guide roller is in contact with the substrate.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 압전소자는 외주면에 수지코팅이 되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the piezoelectric element is preferably coated with a resin on the outer circumferential surface thereof.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 가이드롤러와 상기 기판감지수단은 상기 기판의 측면에 대응하도록 일정 간격을 두며 복수 개로 배치되는 것이 바람직하다.In addition, in the present invention, it is preferable that the guide roller and the substrate detecting means are arranged in plural numbers at regular intervals so as to correspond to the side surfaces of the substrate.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 기판감지수단으로서 압전소자를 사용하여 습구간 등의 환경에서도 적용가능하게 하는 효과가 있으며, 기판 이송 장치에 가이드롤러의 간단한 설치에 의하여 기판에 전달되는 외력 등의 충격에 대응할 수 있게 하는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of being able to be applied even in an environment such as a wet section using a piezoelectric element as the substrate sensing means, and the external force transmitted to the substrate by the simple installation of the guide roller in the substrate transfer device. It has the effect of being able to cope with the impact.

이하 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 기판 이송 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 “A”의 부분 확대도이고, 도 3는 본 발명의 기판 이송 장치의 가이드롤러와 기판감지수단의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 기판 이송 장치의 압전소자의 평면도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view of the substrate transfer apparatus of the present invention, Figure 2 is a partially enlarged view of "A" of Figure 1, Figure 3 is a perspective view of the guide roller and the substrate sensing means of the substrate transfer apparatus of the present invention, Figure 4 Shows a plan view of the piezoelectric element of the substrate transfer apparatus of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 기판(10)과, 이송부(20)와, 가이드롤러(30)와, 기판감지수단(40)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the present invention includes a substrate 10, a transfer unit 20, a guide roller 30, and a substrate sensing means 40.

기판(10)은 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)의 영상을 출력하는 액정패널의 한 구성을 이루는 것이다.The substrate 10 forms a configuration of a liquid crystal panel that outputs an image of a liquid crystal display (LCD), which is one of flat panel display devices.

이송부(20)는 기판(10)을 기판을 일정한 방향으로 이동되게 하는 것으로서, 이 이송부(20)에는 기판(10)의 진행방향에 따라 회전하는 롤러가 구비된다.The transfer unit 20 moves the substrate 10 in a predetermined direction, and the transfer unit 20 is provided with a roller that rotates in accordance with the advancing direction of the substrate 10.

이송부(20)는 수평방향으로 기판(10)을 이동시킨다.The transfer unit 20 moves the substrate 10 in the horizontal direction.

또는, 이송부(20)는 일정한 경사로 기울여 기판(10)을 이송시킬 수 있다.Alternatively, the transfer unit 20 may transfer the substrate 10 by inclining at a predetermined inclination.

가이드롤러(30)는 이송부(20)의 일측에 형성되어 기판(10)의 측면과 접촉하는 것으로서, 일정한 원통형으로 형성되어 있어서 기판(10)과의 접촉으로 인한 충격을 흡수하고 기판(10)을 지지한다.The guide roller 30 is formed on one side of the transfer part 20 to be in contact with the side surface of the substrate 10. The guide roller 30 is formed in a predetermined cylindrical shape to absorb the impact caused by the contact with the substrate 10 and to fix the substrate 10. I support it.

기판감지수단(40)은 상기 가이드롤러(30)의 일측에 형성되어 기판(10)이 이송되면서 진입여부를 감지하는 것으로서, 이 기판감지수단(40)은 기판(10)이 이송부(20)을 따라서 진행되면서 접촉되고 이 접촉신호에 의해 기판(10)의 진입여부를 판단하게 된다.Substrate sensing means 40 is formed on one side of the guide roller 30 to detect whether the substrate 10 is transported, the substrate sensing means 40 is the substrate 10 means that the substrate 10 is transferred to the transfer unit 20. Therefore, as the contact proceeds, the contact signal determines whether the substrate 10 has entered.

여기서, 가이드롤러(30)와 기판감지수단(40)은 기판(10)의 측면에 대응하도록 일정 간격을 두며 복수 개로 배치되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the guide roller 30 and the substrate sensing means 40 are arranged in plural at regular intervals so as to correspond to the side surfaces of the substrate 10.

가이드롤러(30)와 기판감지수단(40)의 한 세트를 이루면서 동일 간격 또는 임의의 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the guide roller 30 and the substrate sensing means 40 are arranged at the same interval or at an arbitrary interval.

한편, 기판감지수단(40)은 기본적으로 기판(10)이 들어오고 나가는 것을 감지할 수 있도록 이송부(20) 일측의 전단 및 후단에 각각 한 개씩 설치된다.On the other hand, the substrate sensing means 40 is basically provided one each at the front and rear ends of one side of the transfer unit 20 so as to detect the entry and exit of the substrate 10.

여기서, 도면 부호 40a는 이송부(20) 일측의 전단에 설치된 기판감지수단(40)인 인렛기판감지수단을 의미하며, 도면 부호 40c는 이송부(20) 일측의 후단에 설치된 기판감지수단(40)인 아웃렛기판감지수단을 의미한다.Here, reference numeral 40a denotes an inlet substrate sensing means, which is a substrate sensing means 40 installed at a front end of the transfer part 20, and reference numeral 40c denotes a substrate sensing means 40 installed at a rear end of one side of the transfer part 20. Means an outlet substrate sensing means.

그리고, 도면 부호 40b는 이송부(20) 일측의 중간에 일정 간격을 두고 설치 된 기판감지수단(40)인 중간기판감지수단을 의미한다.In addition, reference numeral 40b denotes an intermediate substrate sensing means, which is a substrate sensing means 40 installed at a predetermined interval in the middle of one side of the transfer part 20.

중간기판감지수간(40b)는 인렛기판감지수단(40a)와 아웃렛기판감지수단(40c) 외에 추가적으로 설치되어 작업 공정상 기판(10)의 위치 및 이송 속도를 감지하여 적합한 작업 공정이 수행되게 한다.The intermediate substrate sensing interval 40b is additionally installed in addition to the inlet substrate sensing means 40a and the outlet substrate sensing means 40c to sense a position and a transfer speed of the substrate 10 in a work process so that a suitable work process is performed.

그리고, 기판감지수단(40)은 압전소자(41)와, 브라켓(42)과, 지지블럭(43)을 포함하여 구성된다.The substrate detecting means 40 includes a piezoelectric element 41, a bracket 42, and a support block 43.

기판감지수단의 구성요소를 상세히 살펴보면 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 압전소자(41)는 피에조전기소자(piezoelectric element)라고도 하며, 수정, 전기석, 로셸염 등이 일찍부터 압전소자로서 이용되었으며, 근래에 개발된 티탄산바륨, 인산이수소암모늄, 타르타르산에틸렌디아민 등의 인공결정의 압전성이 우수한 것이 이용하여 압전기 현상을 이용한 소자이다.3 and 4, the piezoelectric element 41 is also called a piezoelectric element, and crystal, tourmaline, Rochelle salt, etc. are used as the piezoelectric element early on. It is a device using a piezoelectric phenomenon using the excellent piezoelectric properties of artificial crystals, such as barium titanate, ammonium dihydrogen phosphate, and ethylenediamine tartarate, which have been recently developed.

여기서, 압전기현상이란 어떤 종류의 결정판(結晶板)에 일정한 방향에서 압력을 가하면 판의 양면에 외력에 비례하는 양·음의 전하(電荷)가 나타나는 현상이다.Here, piezoelectric phenomenon is a phenomenon in which positive and negative charges in proportion to an external force appear on both sides of a plate when pressure is applied to a certain type of crystal plate in a certain direction.

즉, 압전소자(41)는 기판(10)이 가이드롤러(30)에 접촉하는 외력에 의해 전압이 발생되어 기판(10)의 접촉신호를 감지하는 것이다.That is, in the piezoelectric element 41, a voltage is generated by an external force that the substrate 10 contacts the guide roller 30 to detect the contact signal of the substrate 10.

압전소자(41)에는 브라켓(42)에 의해 압입되는 스위치인 압입부(41a)와, 이 압입부(41a)를 지지하는 지지부(41b)가 형성된다.The piezoelectric element 41 is formed with a press-fitting portion 41a, which is a switch press-fitted by the bracket 42, and a supporting portion 41b for supporting the press-fitting portion 41a.

브라켓(42)은 일정한 직사각형의 틀을 이루고 있으며, 가이드롤러(30)의 하부와 압전소자(41)의 전면에 위치한다.The bracket 42 forms a constant rectangular frame and is located at the bottom of the guide roller 30 and at the front of the piezoelectric element 41.

브라켓(42)은 가이드롤러(30)와 압전소자(41) 사이에 위치하여, 기판(10)과의 접촉으로 인하여 가이드롤러(30)에 전해지는 힘에 의해 전후진하게 되면서 브라켓(42)의 전후진 진행방향에 놓여있는 압전소자(41)에 그 힘을 전달한다.The bracket 42 is positioned between the guide roller 30 and the piezoelectric element 41, and moves forward and backward by the force transmitted to the guide roller 30 due to the contact with the substrate 10, and before and after the bracket 42. The force is transmitted to the piezoelectric element 41 lying in the direction of travel.

지지블록(43)은 압전소자(41)의 배면에 위치하며 압전소자(41)를 지지한다.The support block 43 is located on the rear surface of the piezoelectric element 41 and supports the piezoelectric element 41.

한편, 압전소자(41)는 외주면에 수지코팅이 되어 있는 것이 바람직하다.On the other hand, the piezoelectric element 41 is preferably coated with a resin on the outer peripheral surface.

수지는 유기화합물 및 그 유도체로 이루어진 비결정성 고체 또는 반고체로인 천연수지 또는 합성수지(플라스틱)로 구분된다.Resin is divided into natural resin or synthetic resin (plastic) which is an amorphous solid or semisolid consisting of organic compounds and derivatives thereof.

이러한 수지는 침수성에 대해 우수한 성질을 가지고 있어서, 압전소자(41)의 외주면에 수지로 코팅을 하면 압전소자(41)는 습구(wet zone)에서도 안정적으로 감지수단으로 사용될 수 있다.Such a resin has excellent properties for immersion, so when the outer circumferential surface of the piezoelectric element 41 is coated with a resin, the piezoelectric element 41 can be stably used as a sensing means even in a wet zone.

이상의 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the present invention made of the above configuration as follows.

먼저, 기판(10)은 이송부(20)를 따라서 수평으로 이동하게 된다.First, the substrate 10 moves horizontally along the transfer unit 20.

그리고, 이동되는 기판(10)의 일측면은 가이드롤러(30)에 접촉하게 된다.Then, one side surface of the substrate 10 to be moved is in contact with the guide roller 30.

가이드롤러(30)에 의해 전해지는 외력은 브라켓(42)을 후진시키고, 이 브라켓(42)은 압전소자(41)의 압입부(41a)을 누르게 된다.The external force transmitted by the guide roller 30 reverses the bracket 42, and the bracket 42 presses the press-in portion 41a of the piezoelectric element 41.

이때, 이 접촉에 의해 발생되는 전압(압전기현상)에 의해 압전소자(41)는 작동되어 기판(10)의 진입 유무를 감지하게 된다.At this time, the piezoelectric element 41 is operated by the voltage (piezoelectric phenomenon) generated by this contact to detect the presence of the substrate 10.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.The present invention is not limited to the above embodiments, and many variations are possible by those skilled in the art within the spirit of the present invention.

도 1은 본 발명의 기판 이송 장치의 사시도,1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus of the present invention,

도 2는 도 1의 “A”의 부분 확대도,FIG. 2 is a partially enlarged view of “A” of FIG. 1;

도 3는 본 발명의 기판 이송 장치의 가이드롤러와 기판감지수단의 사시도,3 is a perspective view of the guide roller and the substrate sensing means of the substrate transfer apparatus of the present invention;

도 4는 본 발명의 기판 이송 장치의 압전소자의 평면도를 나타낸 것이다.4 is a plan view of a piezoelectric element of the substrate transfer apparatus of the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **

10 : 기판 20 : 이송부10: substrate 20: transfer unit

30 : 가이드롤러 40 : 기판감지수단30: guide roller 40: substrate detecting means

40a : 인렛기판감지수단 40b : 중간기판감지수단40a: inlet substrate sensing means 40b: intermediate substrate sensing means

40c : 아웃렛기판감지수단 41 : 압전소자40c: outlet substrate detecting means 41: piezoelectric element

41a : 압입부 41b : 지지부41a: press-fit portion 41b: support portion

42 : 브라켓 43 : 지지블럭42: bracket 43: support block

Claims (5)

기판을 일정한 방향으로 이동되게 하는 이송부;A transfer unit for moving the substrate in a predetermined direction; 상기 이송부의 일측에 형성되어 상기 기판을 지지하는 가이드롤러; 및A guide roller formed at one side of the transfer part to support the substrate; And 상기 가이드롤러의 일측에 형성되어 상기 기판이 상기 가이드롤러와 접촉함으로써 상기 기판의 진입여부를 감지하는 기판감지수단;을 포함하여 구성되는 기판 이송 장치.And substrate sensing means formed on one side of the guide roller to sense whether the substrate is in contact with the guide roller. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판감지수단은,The substrate sensing means, 상기 기판의 접촉신호를 감지하는 압전소자;A piezoelectric element for sensing a contact signal of the substrate; 상기 가이드롤러의 하부와 상기 압전소자의 전면에 위치하여 상기 기판에 의해 상기 가이드롤러에 가해진 압력을 상기 압전소자로 제공하는 브라켓; 및A bracket positioned below the guide roller and in front of the piezoelectric element to provide the piezoelectric element with the pressure applied to the guide roller by the substrate; And 상기 압전소자의 배면에 위치하여 상기 압전소자를 지지하는 지지블럭;을 포함하여 구성되는 기판 이송 장치.And a support block positioned on a rear surface of the piezoelectric element to support the piezoelectric element. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 압전소자는 상기 가이드롤러가 상기 기판에 접촉하는 외력에 의해 전압이 발생되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The piezoelectric element is a substrate transfer apparatus, characterized in that the voltage is generated by the external force that the guide roller is in contact with the substrate. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 압전소자는 외주면에 수지코팅이 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The piezoelectric element is a substrate transfer apparatus, characterized in that the resin coating on the outer peripheral surface. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 가이드롤러와 상기 기판감지수단은 상기 기판의 측면에 대응하도록 일정 간격을 두며 복수 개로 배치되는 것을 특징으로 기판 이송 장치.And the guide roller and the substrate sensing means are arranged in plural at regular intervals so as to correspond to the side surfaces of the substrate.
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CN105068285A (en) * 2015-09-01 2015-11-18 武汉华星光电技术有限公司 Conveying device and cleaning device with same

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