KR100257477B1 - 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법 - Google Patents

자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100257477B1
KR100257477B1 KR1019970071987A KR19970071987A KR100257477B1 KR 100257477 B1 KR100257477 B1 KR 100257477B1 KR 1019970071987 A KR1019970071987 A KR 1019970071987A KR 19970071987 A KR19970071987 A KR 19970071987A KR 100257477 B1 KR100257477 B1 KR 100257477B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
self
composite powder
reactor
carbon
sic composite
Prior art date
Application number
KR1019970071987A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19990052496A (ko
Inventor
원창환
조성석
Original Assignee
원창환
조성석
천병선
대한민국충남대학교부속급속응고신소재연구소
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 원창환, 조성석, 천병선, 대한민국충남대학교부속급속응고신소재연구소 filed Critical 원창환
Priority to KR1019970071987A priority Critical patent/KR100257477B1/ko
Publication of KR19990052496A publication Critical patent/KR19990052496A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100257477B1 publication Critical patent/KR100257477B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16—Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/10—Inert gases
    • B22F2201/11—Argon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

산화규소(SiO2)를 원료 물질로 사용하고 알루미늄(Al)과 탄소(C)를 첨가하여 반응물을 만든 후, 자체 연소 반응법(Self-propagating High-temperature Synthesis)을 이용하여 Al2O3-SiC 복합분말을 제조하는 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따르면, 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 일정 몰비로 혼합한 후, 80MP의 성형 압력을 가하여 압축시켜서 펠렛을 형성한다. 다음에는, 펠렛을 자체 연소 반응기 내로 장입한 후, 400℃의 온도로 예열하여 반응물의 초기 온도를 높인다. 그런 후에, 아르곤(Ar) 가스 분위기하의 자체 연소 반응기 내에서 반응물을 점화·연소시킨다. 그 결과로서 생성된 연소 생성물 Al2O3-SiC 복합분말은 99.948% 이상의 고순도를 나타낸다.

Description

자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SiC 복합분말을 제조하는 방법
본 발명은 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al), 및 탄소(C)로부터 Al2O3-SiC 복합분말을 제조하는 방법에 관한 것이며, 특히 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al), 및 탄소(C)를 일정 몰비로 혼합하고 자체 연소 반응법(Self-propagating High-temperature Synthesis; 이하, SHS라 칭함)을 이용하여 Al2O3-SiC 복합분말을 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 알루미늄(Al)의 지금(地金)인 알루미나(Al2O3)를 제조하는 과정은 다음과 같다. 먼저, 원광석인 보오크사이트 분말을 혼합조에서 가성소오다 용액과 혼합한 후 가열 가압하면 하기 반응식(Ⅰ)과 같이 알루민산소오다와 적니(赤泥)를 얻을 수 있다.
Al2O3+ 2NaOH = 2Na·AlO2+ H2O ……………………(I)
다음으로, 알루민산소오다만을 취하여 장시간 가수 분해하면 하기 반응식(Ⅱ)과 같이 반응한다.
Na·AlO2+ 2H2O = NaOH + Al(OH)3……………………(II)
그 결과, 백니(白泥) Al(OH)3를 얻게 되는데, 이것을 회전로 내에서 1,300℃의 온도로 소성하여 무수(無水)의 백분(白粉) 알루미나(Al2O3)를 얻는다. 이러한 과정을 거쳐서 얻은 알루미나(Al2O3)는 3.96Mg·m-3의 밀도, 20,000MPa의 인장강도 및 430Gpa의 인장 탄성율을 가지며, 섬유강화형 복합재료의 일종으로 사용된다.
한편, 탄화규소(SiC)는 탄소(C), 알루미나(Al2O3)등과 마찬가지로 섬유 강화형 복합재료의 강화용으로 사용된다. 탄화규소(SiC)는 3.18Mg·m-3의 밀도, 20,000MPa의 인장강도 및 450GPa의 인장 탄성율을 갖는다.
상기한 바와 같은 알루미나(Al2O3)와 탄화규소(SiC)가 합체해서 만드는 Al2O3-SiC 복합재료는 내열 충격성, 고온 강도, 내마모성이 우수하여 고경도재, 난삭재 등을 가공하는 고성능 세라믹 절삭공구 및 연삭재로 이용되므로, 보다 경제적으로 제조되는 것이 요구되어진다.
현재까지, 상기한 바와 같은 알루미나(Al2O3)와 탄화규소(SiC)의 제조방법으로는 여러 가지가 알려져 왔으나, 기존의 제조방법은 고온 반응로 또는 진공 반응기를 필요로 하고 다량의 에너지를 소비하므로 경제성이 없다는 결점을 가지고 있다. 따라서, 전술한 바와 같은 잇점을 갖고있는 Al2O3-SiC 복합재료를 동일한 반응기내에서 경제적으로 제조하는 방법을 개발해내는 것이 중요한 과제로 대두되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al), 및 탄소(C)를 실정 몰비로 혼합하고 SHS를 이용함으로써 제조 공정이 단순하고 에너지 효율이 높으며 고순도를 나타내는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조 방법을 제공하는데 있다.
제1도는 본 발명에 따른 Al2O3-SiC 복합분말의 제조 공정도이다.
제2도는 본 발명을 수행하는데 사용되는 자체 연소 반응기의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
제3도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라서 3SiO2+4Al+3C = 2Al2O3+3SiC의 반응식에서 탄소(C)의 몰비를 3.0∼10.0의 범위로 변화시켜가면서 만든 반응물로 자체 연소 반응을 실시한 후의 몰비의 변화에 따른 반응 생성물의 X-선 패턴 결과를 나타낸 그래프이다. 그리고
제4도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라서 3SiO2+4Al+3C = 2Al2O3+3SiC의 반응식에서 탄소(C)의 몰비를 3.0∼6.0의 범위로 변화시켜가면서 만든 반응물을 예열하여 자체 연소 반응을 실시한 후의 몰비의 변화에 따른 반응 생성물의 X-선 회절 결과를 나타낸 그래프이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 예열로 12 : 그린펠렛
14 : 열전대 16 : 데이터 수집기
20 : 컴퓨터 22 : 텅스텐(W) 필라멘트
24 : 전력 공급원 26 : 내열유리
28 : 진공 펌프 30 : 불활성 가스 공급원
32 : 통기구 34 : 냉각 장치
36 : 진공 계기판 100 : 자체 연소 반응기
102 : 반응기 챔버
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,
산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 일정한 비율로 혼합하는 단계(S1);
상기 단계(S1)에서 형성된 혼합물을 펠렛으로 성형하는 단계(S2);
상기 펠렛을 자체 연소 반응기 내로 장입하는 단계(S3);
상기 자체 연소 반응기 내에서 상기 펠렛을 연소시키는 단계(S4); 및
상기 단계(S4)에서 만들어진 연소 생성물을 상기 자체 연소 반응기로부터 취출하는 단계(S5)를 포함하는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법을 제공한다.
바람직하게는, 상기 방법은, 상기 단계(S3)후에, 상기 펠렛을 예열시키는 단계를 더 포함한다.
상기 산화규소(SiO2), 상기 알루미늄(Al) 및 상기 탄소(C)는 3:4:3의 몰비로 혼합된다.
상기 자체 연소 반응기 내에는 진공 분위기 또는 아르곤(Ar) 가스 분위기가 조성된다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법에서는, 산화규소(SiO2)를 원료물질로 사용하고 알루미늄(Al)과 탄소(C)를 사용하여 이들의 혼합물을 만들면서 반응식 몰비를 변화시켜 혼합·성형한 다음, 자체 연소반응기 내에서 예열·점화·연소시킨다. 그러므로, 제조 공정이 단순하고 에너지 효율이 높다. 또한, 99.948% 이상의 고순도를 나타내는 Al2O3-SiC 복합분말을 얻을 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조로 하여 본 발명에 따른 고순도 Al2O3-SiC 복합분말의 제조 공정을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제2도는 본 발명을 수행하는데 사용되는 자체 연소 반응기의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 제2도를 참조하면, 자체 연소 반응기(100)는 주로 반응기 챔버(102) 및 그 주변 장치로 구성된다. 자체 연소 반응기(100)는 반응기 챔버(102)내에 진공 또는 불활성 가스 분위기를 조성하고 반응기 챔버(102) 내에 위치하는 시편을 점화시킬 수 있는 구조라면 어떠한 형태라도 무방하다.
자체 연소 반응기(100)의 반응기 챔버(102) 내부 중앙에는 예열로(10)가 위치한다. 바람직하게는, 예열로(10)는 직경 30cm, 길이 40cm의 원통형으로 이루어진다. 예열로(10) 내에는 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)와의 혼합물을 소정의 성형 압력을 가하여 만든 그린 펠렛(green pellet)(12)이 위치된다. 예열로(10)의 일측에는 예열로(10) 내에서 연소될 그린 펠렛(12)의 온도를 측정하기 위한 열전대(14)가 장착된다. 열전대(14)는 데이터 수집기(16)를 거쳐서 컴퓨터(20)에 전기적으로 접속된다.
반응기 챔버(102) 내에서, 예열로(10)의 바로 윗쪽에는 예열로(10) 내에 위치된 그린 펠렛(12)을 점화시키기 위한 텅스텐 필라멘트(22)가 위치한다. 텅스텐 필라멘트(22)는, 반응기 챔버(102) 외부에 위치된 전력 공급원(24)으로부터 전류를 인가받는다. 반응기 챔버(102)의 일측벽에는 개폐 가능한 디스크 형상의 내열 유리(26)가 위치한다. 내열 유리(26)는 필요에 따라 개폐되면서 그린 펠렛(12)의 투입구 및 배출은 기능을 수행하며, 작업자로 하여금 내열 유리(26)를 통해서 육안으로 그린 펠렛(12)의 연소상태를 확인할 수 있게 한다.
반응기 챔버(102)의 하단에는 반응기 챔버(102) 내에 진공을 조성하기 위한 진공 호스(29)가 연결된다. 진공 호스(29)는 반응기 챔버(102) 외부에 위치하는 진공 펌프(28)까지 연장된다. 진공 펌프(28)는 필요에 따라서 반응기 챔버(102) 내의 공기를 빼내어 진공을 조성한다. 또한, 반응기 챔버(102)의 하단에는 반응기 챔버(102) 내로 불활성 가스를 도입하기 위한 불활성 가스 공급용 호스(31)가 연결된다. 불활성 가스 공급용 호스(31)는 반응기 챔버(102) 외부에 위치하는 불활성 가스 공급원(30)까지 연장된다. 불활성 가스 공급원(30)은 필요에 따라서 반응기 챔버(102) 내로 수소(H2) 또는 아르곤(Ar)과 같은 불활성 가스를 제공한다. 또한, 반응기 챔버(102)의 하단 일측에 형성된 통기구(32)는 반응기 챔버(102)의 압력을 일정하게 유지하거나 또는 내열 유리(26)를 여는 경우에 반응기 챔버(102) 내의 압력을 외부로 배출시킨다.
반응기 챔버(102)의 내측 상하부에는 반응기 챔버(102) 내의 온도를 일정하게 유지하기 위한 냉각 장치(34)가 설치된다. 반응기 챔버(102)의 외부 윗쪽에는 반응기 챔버(102) 내에 조성된 진공 상태를 알리기 위한 진공 계기판(36)이 설치된다.
한편, 제1도는 본 발명에 따른 Al2O3-SiC 복합분말의 제조 공정도이다. 제1도 및 제2도를 참조하여 전술한 바와 같은 자체 연소 반응기(100)를 이용하는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조 공정을 설명한다.
본 발명은 원료물질인 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 일정 몰비로 혼합한 뒤 SHS에 의해 Al2O3-SiC 복합분말을 얻는 방법이다. 본 발명에서 이용하는 SHS는, 일반적으로 고체와 고체간의 화학적 반응이 발열 반응임을 이용하여, 외부로부터의 에너지 공급 없이, 소재의 점화 후에 자체적인 화학 반응열을 이용하여 소재를 합성하는 자체 연소 반응법이다.
본 발명에서 사용되는 원료 분말로는 100메쉬(mesh)를 통과한 입자 크기를 갖는 산화규소(SiO2), 44μm이하의 입자 크기를 갖는 알루미늄(Al) 및 탄소(C)(활성탄)가 채용된다. 이때, 원료 분말인 산화규소(SiO2) 및 알루미늄(Al)의 순도는 본 발명에서 얻고자하는 Al2O3-SiC 복합분말의 순도와도 밀접한 관련을 갖는다. 즉, 산화규소(SiO2)와 알루미늄(Al)의 순도를 높이면 높일수록 Al2O3-SiC 복합분말의 순도는 증가된다. 바람직하게는, 산화규소(SiO2)는 98.74%이상, 알루미늄(Al)은 99.5%이상의 순도를 갖는 것을 사용한다.
상기 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 마련한 후에는, 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 3:4:3의 몰비로 균일하게 혼합한다. 다음에는, 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)와의 혼합물을 소정의 성형 압력을 가하여 압축시킨다. 바람직하게는, 80MPa의 성형 압력을 가하여 압축시킨다.
혼합물을 압축시킨 후에는 자체 연소 반응기(100)내에서 예열 및 연소시킨다. 이를 위해서, 자체 연소 반응기(100)의 내열 유리(26)를 열고 압축된 혼합물로 이루어진 그린 펠렛(12)을 반응기 챔버(102) 내로 장입한다. 즉, 그린 펠렛(12)을 예열로(10) 내에 위치시킨다. 이러한 상태하에서 내열 유리(26)를 닫은 후, 진공펌프(28)를 작동시켜서 반응기 챔버(102)내에 진공을 조성하거나, 또는 불활성 가스 공급원(30)을 작동시켜서 반응기 챔버(102) 내로 불활성 가스, 바람직하게는 아르곤(Ar) 가스를 도입시킨다. 그런 후에는, 내열 유리(26)를 닫고, 전력 공급원(24)으로부터 텅스텐 필라멘트(22)로 전류를 인가하여 그린 펠렛(12)을 400℃의 온도로 예열한다. 충분한 예열이 이루어진 후에는, 그린 펠렛(12)을 점화 및 연소시키기에 충분한 양만큼의 전류를 전력 공급원(24)으로부터 텅스텐 필라멘트(22)로 인가하여 그린 펠렛(12)을 점화 및 연소시킨다.
이와는 달리, 그린 펠렛(12)의 연소 반응은 진공이 조성된 반응 챔버 내에 위치시킴이 없이 대기 중에서도 수행될 수 있다.
이때, SHS를 이용하여 Al2O3-SiC 복합분말이 형성되는 과정은 하기 반응식(Ⅰ)과 같다.
3SiO2+ 4Al + 3C = 2Al2O3+ 3SiC ……………………(I)
이때, 탄소(C)의 몰비를 3.0∼10.0mole의 범위 내에서 변화시켜가면서 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 혼합한다.
제3도에는 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)의 반응식에서 탄소(C)의 몰비를 3.0∼10.0의 범위로 변화시켜가면서 만든 반응물로 자체 연소 반응을 수행한 후, 몰비의 변화에 따른 반응 생성물의 X-선 패턴 결과가 나타나 있다.
제3도를 참조하면, 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 반응시켜서 Al2O3-SiC 복합분말을 만드는 경우, 탄소(C)의 몰비가 6.0일 때 최적의 반응 생성물을 얻을 수 있음을 알 수 있다.
이와는 달리, 제4도에는 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)의 반응식에서 탄소(C)의 몰비를 3.0∼6.0의 범위로 변화시켜가면서 만든 반응물을 400℃의 온도로 예열하고 자체 연소 반응을 수행한 후, 몰비의 변화에 따른 반응 생성물의 X-선 패턴 결과가 나타나 있다. 제4도를 참조하면, 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 반응시켜서 Al2O3-SiC 복합분말을 만드는 경우, 미반응물이 없는 생성물을 얻기 위한 탄소(C)의 최소몰비는 5.0∼6.0mole임을 알 수 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따라 제조된 Al2O3-SiC 복합분말은 연소 과정 중에 불순물이 휘발되므로, 최종 반응 생성물은 99.948% 이상의 고순도를 나타낸다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 간략하게 설명한다.
[실시예]
원료 물질로서 산화규소(SiO2)(일본국 순정화학 주식회사 시약 제품), 알루미늄(Al)(주식회사 창성의 시판제품) 및 탄소(C)(시약급)를 상기 반응식(Ⅰ)에 따라서 혼합한다. 즉, 상기 반응식(Ⅰ)에서 탄소(C)의 몰비를 3.0∼10.0의 범위 내에서 변화시키면서, 볼밀에서 3시간 이상 혼합한다.
다음에는, 혼합된 분말을 80MPa의 성형 압력을 가해서 직경 20mm의 펠렛을 만든다. 이렇게 성형된 펠렛을 자체 연소 반응기 내에 위치시킨 후, 불활성 가스분위기, 바람직하게는 아르곤(Ar) 가스 분위기하에서 먼저 400℃의 온도로 예열한다. 다음에는, 예열된 펠렛을 점화 ·연소시킨다. 그런 후에, 생성된 시료를 엑스선회절법(X-Ray Diffraction; 이하, XRD라 칭함)을 이용하여 분석한다. 즉, XRD를 이용하여 생성된 시료의 결정 구조를 조사하고, 주사전자현미경(SEM)으로 미세 조직을 관찰하여 반응 생성물의 결정상의 입자가 일정 범위의 입도분포를 갖고 있음을 알 수 있다. 또한, 최종 생산물을 원자 흡광분석기로 측정한 결과, 99.948% 이상의 고순도 분말임을 확인하였다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법에서는, 산화규소(SiO2)를 원료물질로 사용하고 알루미늄(Al)과 탄소(C)를 이용하여 이들의 혼합물을 만들면서 반응식 몰비를 변화시켜 혼합·성형한 다음, 자체 연소반응기 내에서 예열·점화·연소시킨다. 그러므로, 기존의 복합분말 제조방법에서 요구되는 고온 반응로가 불필요해지고, 제조 공정이 단순해진다. 또한, 자체 발열량에 의해서 반응물의 연소 반응이 자동적으로 진행되므로 에너지 효율이 높고, 99 948% 이상의 고순도를 나타내는 생성물을 얻을 수 있다. 게다가, 반응물의 연소반응이 진공이 조성된 반응기 없이 대기 중에서도 수행될 수 있다는 잇점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (3)

  1. 산화규소(SiO2), 알루미늄(Al) 및 탄소(C)를 3:4:3의 몰비로 혼합하는 단계(S1); 상기 단계(S1)에서 형성된 혼합물을 80MPa의 성형압력으로 가하여 펠렛으로 성형하는 단계(S2); 상기 펠렛을 불활성 가스 분위기가 조성된 자체 연소 반응기 내로 장입하는 단계(S3); 상기 자체 연소 반응기 내에서 상기 펠렛을 연소시키는 단계(S4); 및 상기 단계(S4)에서 만들어진 연소 생성물을 상기 자체 연소 반응기로부터 취출하는 단계(S5)를 포함하는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단계(S3)후에, 상기 펠렛을 예열시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 불활성 가스 분위기가 아르곤(Ar) 가스 분위기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Al2O3-SiC 복합분말의 제조방법.
KR1019970071987A 1997-12-22 1997-12-22 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법 KR100257477B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970071987A KR100257477B1 (ko) 1997-12-22 1997-12-22 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970071987A KR100257477B1 (ko) 1997-12-22 1997-12-22 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990052496A KR19990052496A (ko) 1999-07-15
KR100257477B1 true KR100257477B1 (ko) 2000-06-01

Family

ID=19528180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970071987A KR100257477B1 (ko) 1997-12-22 1997-12-22 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100257477B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100491328B1 (ko) * 2002-08-27 2005-05-25 한국기계연구원 연쇄고온합성 공정에 의한 이규화 몰리브덴계 다공성 재료및 그의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990052496A (ko) 1999-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2874925B2 (ja) 均一な、微細なホウ素含有セラミツク粉末を製造する装置および方法
CN112125315B (zh) 一种低成本高纯六硼化硅生产工艺
US5194234A (en) Method for producing uniform, fine boron-containing ceramic powders
US4944930A (en) Synthesis of fine-grained α-silicon nitride by a combustion process
US5021230A (en) Method of making silicon carbide
KR100257477B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SIC 복합분말을 제조하는 방법
KR100257479B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 Al₂O₃-SiC-TiC 복합분말을 제조하는 방법
Zhang et al. The effect of carbon sources and activative additive on the formation of SiC powder in combustion reaction
CN102531611B (zh) 氮化铝的制备方法
KR100257476B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 산화티탄으로부터 순수 티타늄 분말을 제조하는 방법
US7217403B2 (en) Method for synthesizing aluminum nitride
KR20000025718A (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 알루미나-탄화텅스텐 복합분말을제조하는 방법
Chanadee SHS synthesis of Si-SiC composite powders using Mg and reactants from industrial waste
KR100257478B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 파라텅스텐산 암모늄으로부터 고순도 텅스텐 분말을 제조하는 방법
JPS63147812A (ja) 炭化珪素粉末の製造方法
KR100276109B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 탄화크롬-알루미나 복합분말을 제조하는 방법
US4917866A (en) Production process of silicon carbide short fibers
KR100386510B1 (ko) 자전고온 합성법을 이용한 질화 알루미늄 분말 제조방법
CN100398432C (zh) 一种氮化铝的合成方法
KR100276110B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 탄화크롬 분말을 제조하는 방법
KR100273197B1 (ko) 자체 연소 반응법을 이용하여 산화텅스텐과 아연으로부터 고순도 텅스텐 분말을 제조하는 방법
KR100273198B1 (ko) 자체연소반응법을이용하여산화규소로부터고순도규소분말을제조하는방법
KR0180075B1 (ko) 자전연소반응법에 의한 탄화붕소분말 및 티타늄-알루미나 복합체의 제조방법
KR100341723B1 (ko) 자전 고온반응 합성법을 이용한 육방정 질화붕소 분말의제조 방법
CN107055534A (zh) 利用低纯度钛原料制备高纯度碳化钛的方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160810

Year of fee payment: 20