KR100249426B1 - 오존생성기및그제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오존생성기 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 오존생성기(10)는 제 1 금속전극(14)과 제 2 금속전극(20)을 구비하고 이들 사이에 방전갭(18)이 형성되며, 제 1 전극(14)은 유전체로 피복되며 적어도 제 1 전극(14)은 유리 기판위에 코팅된 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 만들어지고, 유전체(16)는 바람직하게 α-산화알루미늄, 산화타이타늄 또는 산화하프니윰으로 만들어진 세라믹 필름을 열분사하여 형성되고, 또한 오존 생성기의 제조방법은 유전체(16)로 작용하는 세라믹 필름을 제 1 전극(14)상에 열분사에 의해 도포하고, 두개의 전극(14,20)을 모두 바람직하게 열분사에 의해 형성하므로, 오존 생성기는 특히 높은 수율과 내부식성을 나타내고 간단하고 저비용으로 제조될 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

오존 생성기 및 그 제조방법{OZONIZER AND METHOD OF MANUFACTURING IT}
본 발명은 제 1 전극과 제 2 전극을 구비하고 이들 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 방전 갭이 형성되고, 상기 제 1 전극은 유전체로 덮여있는 오존 생성기에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 두개의 전극을 구비하고 이들 두개의 전극 사이에 방전 갭이 형성되고, 전극 사이에는 유전체가 배치되어 있는 오존 생성기의 제조방법에 관한 것이다.
오존 생성기는 조용한 전기 방전의 원리에 의해 작동하여 오존을 생성한다. 오존 생성기는 기본적으로 두개의 대향하게 배치되고, 한 전극으로부터 다른 전극이 방전갭 및 유전체에 의해 분리된 전극을 포함한다. 공기 또는 순수한 산소등의 산소 함유가스가 방전갭을 통과하면, 오존이 방전 갭내에서의 전기 방전에 의해 생성된다. 전극에는 50 내지 60Hz의 교류 주파수를 갖는 대략 5 내지 20kV의 전압이 공급된다. 직렬 주파수 변환기의 접속에 의해 얻을 수 있는 더 높은 주파수는 오존 생성량을 증가시킨다.
오존 생성기의 수율, 즉 단위 면적당 생성된 오존량은 유전체의 유전율에 비례하고 유전체의 두께에 반비례한다.
유전체는 조용한 방전이 적은 양의 오존을 생성하는 글로우 방전 또는 아크 방전으로 점차적으로 변화하는 것을 방지한다.
EP 0 202 501 B1에는 청구항 1의 전제부에 따른 오존 생성기로서, 내부 금속 튜브가 전극으로 작용하고, 금속 튜브는 그 외측에 산화타이타늄 세라믹으로 만들어진 유전체 필름이 피복되고, 유리 비활성화층으로 밀봉되어 있는 오존 생성기가 개시되어 있다. 바깥쪽 전극은 외부 금속 튜브에 의해 제공되므로 방전갭은 내부 금속 전극상의 유전체와 외부 금속 튜브 사이에 형성된다.
이와 같은 형태의 오존 생성기의 금속 전극은 생성된 오존에 의한 심각한 화학적 부식에 노출된다. 오존에 의한 심각한 부식 공격에 대항하기 위해, 유리 비활성화층으로 피복된 이산화 타이타늄 층은 피복된 금속 튜브의 부식을 방지하기 위해 매우 주의를 기울여 만들어져야 한다. 또한, 산화타이타늄층과 부가적인 비활성화층을 적용시키는 것은 상대적으로 복잡하고 비용이 드는 공정이다.
동일한 종류의 다른 오존 생성기가 EP 0 172 756 A1에 개시되어 있다.
상기 공지된 오존 생성기는 안쪽 표면이 메탈라이징(metallizing)된 내부 세라믹 튜브를 포함하고, 내부 세라믹 튜브는 외부 금속 튜브로 둘러싸여 이들 사이에 방전갭이 형성된다. 이 경우, 유전체는 세라믹 튜브 자체에 의해 구성된다.
제조 공정과 관련된 기술적인 이유를 고려할때, 세라믹 튜브를 최소 두께로 해야 하며, 또한 이와 같은 오존 생성기에 의한 오존 생성량은 낮다. 또한, 세라믹 튜브를 요구되는 정밀도로 제조하는 것은 매우 복잡하고 비용도 많이 든다.
동일 종류의 다른 오존 생성기가 DE 26 18243 C3에 개시되어 있으며, 이는 적어도 하나의 플레이트 형상 또는 실린더형상 유전체를 포함하고 이들의 양쪽에는 공기가 흐르게 되고, 유전체는 플레이트 형상 또는 실린더형상 고압 전극과 플레이트 형상 또는 실린더형상 접지 전극 사이에 평행하게 또는 동심으로 배치된다. 이 경우 유전체는 70 내지 95%의 산화알루미늄, 25% 미만의 산화 실리콘 및 10% 미만의 적어도 하나의 알칼리 산화물 또는 알칼리토 산화물을 함유하는 세라믹 물질로 만들어지고, 상대 유전율은 5 내지 10 이고 두께는 0.5 내지 1mm이다.
오존 수율은 유전율에 비례하고 유전체 두께에 반비례하므로, 좋은 오존 수율은 유전체 층을 상대적으로 얇게 하고 상대적으로 높은 유전율을 부여함으로써 얻을 수 있다.
상기 공지된 오존 생성기 제조시의 문제점은 세라믹 물질로 충분한 정밀도를 갖는 튜브나 플레이트를 만드는 것이며; 이는 실제로 등압 압축성형(isostatic pressing)과 이어지는 소결공정에 의해서만 이루어질 수 있다.
또한 EP 0 385 177 A1은 오존 생성기와 그 제조방법을 개시하고 있으며, 여기서 방전갭은 두개의 동심 배치된 금속 튜브 사이에 형성되고, 내부 금속 튜브는 알루미늄층으로 피복되고, 결국 다른 유전율을 갖는 몇개의 겹친층으로 구성된 유전체 층에 의해 피복되고, 방전갭에 인접한 첫번째 층은 다음의 두번째 에나멜 층보다 낮은 유전율을 갖는다.
상기 공지된 배치 및 제조방법은 다른 에나멜 층들을 붙이는 공정이 복잡하고 비용이 많이 든다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래기술의 문제점을 해결하여, 제조가 간단하고 비용이 저렴하며 가능한 한 최대 오존 생성수율을 보증하고 장시간 사용시 오존생성기의 부식 저항이 좋은 오존 생성기 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의하면, 전극의 기판으로 유리-세라믹 또는 유리를 사용함으로써, 저렴하게 제조될 수 있고 매우 높은 제조 정밀도를 가지며 동시에 우수한 내 부식성을 나타내는 기판을 제공한다. 또한, 기판은 본래적으로 가스가 새지 않으며, 이는 소결에 의해 제조되는 세라믹 튜브에서는 자동적으로 얻어지지 않는 것이다.
일반적으로, 종래의 오존 생성기와 관련하여 유리 튜브를 유전체로 사용하는 것이 알려져 있지만; 본 발명에 의하면 유리 또는 유리-세라믹 물질은 유전체로 사용되지 않고, 그 위에 금속층이 전극으로 붙여지는 기판으로만 사용되고, 전극은 유전체로 작용하는 세라믹 층으로 피복된다.
따라서 본 발명은 유전율이 유리의 유전율보다 몇 배 큰 세라믹 물질을 유전체로 사용할 수 있기 때문에 상당한 에너지 수율의 증가를 얻을 수 있다. 즉, 종래의 유리 형태의 유전체는 유전율이 대략 3 내지 5 인 반면에 세라믹은 유전율이 대략 20 내지 30 이다.
전극 및 유전체에 매우 높은 정밀도로 제조된 기판을 사용함으로써 유전체를 필름 두께 수십 밀리미터 정도로 상대적으로 얇은 층으로 하면서, 충분히 높은 파열 강도를 유지할 수 있다.
에너지 수율은 유전체의 필름 두께에 반비례하고, 따라서 본 발명은 에너지 수율을 더 높일 수 있다.
본 발명에 의하면, 층 구조는 위에 세라믹 유전체 층을 붙인 금속 전극이 피복된 유리 또는 유리-세라믹 기판을 포함하고, 특히 오존 생성기의 튜브 또는 플레이트가 충분히 온도-저항성이 있고 열 충격에 저항을 갖도록 하기 위해 열 분사에 의해 제조될 수 있다.
지금까지, 유리 또는 유리-세라믹 기판을 포함하는 이와 같은 형태의 층 구조는, 일반적으로 과도하게 높은 전압에 의한 열팽창 계수의 차이가 예상되므로 불가능하다고 생각되었다.
그러나 본 발명은 이와 같은 편견을 명확히 보다 높은 에너지 수율을 갖는 오존 생성기를 얻을 수 있다는 결과에 의해 극복했다.
본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 제 2 전극도 마찬가지로 제 2 유리 또는 유리-세라믹 기판위의 금속층으로 만들어진다. 다른 형태에 의하면, 대향 전극으로 작용하는 제 2 전극은 바람직하게 고품위 강철로 만들어진 고체 금속 전극으로 할 수 있다. 치수 정밀도 및 부식-저항의 관점에 따른 대향-전극에 대한 요구는, 전극 치수 정밀도에 대한 요구가 전극 위에 붙이는 유전체에 영향을 주는 제 1 전극에 대한 요구만큼 엄격하지 않으므로, 바람직하게 고품위 강철로 만들어진 고체 금속 전극의 사용으로 충분할 것이다.
본 발명에 의한 오존 생성기는 터뷸러 오존 생성기로 설계될 수 있다.
그리고, 상기 오존 생성기는 플레이트-타입 오존 생성기로도 설계될 수 있고, 이는 특히 최근의 공정이 유리 플레이트(플로우트 유리로 알려짐)를 높은 제조 정밀도로 제조할 수 있게 되었기 때문이다.
본 발명에 따른 오존 생성기가 플레이트-형태 오존 생성기로 설계된다면, 복수의 방전갭이 하나의 전극과 이에 관련된 반대-전극 사이에 각각 제공될 수 있다.
이와 같은 샌드위치 구조는 오존 생성기를 특히 컴팩트한 형태로 할 수 있게 한다.
본 실시형태에 있어서, 바람직하게 적어도 하나의 기판은 그 양쪽에 전극과 나중 전극의 윗면에 붙인 유전체를 구비한다.
이 구조는, 기판의 양쪽을 이용할 수 있으므로,크기를 더 감소시키고 비용을 더 절감할 수 있다.
본 발명의 부가적인 이점에 의하면, 유리 또는 유리-세라믹 기판상에 제공된 전극은 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 타이타늄 또는 타이타늄합금으로 만들어진다.
알루미늄과 타이타늄은 모두 표면에 얇지만 매우 효과적인 부동태 층(passivation layer)을 형성하기 때문에 오존에 대하여 높은 화학적 저항성을 가진다. 또한, 알루미늄과 타이타늄은 모두 유리 네트워크에 전이 이온으로 알려진것으로 결합될 수 있기 때문에 유리 또는 유리-세라믹에 대하여 좋은 접착성을 얻을 수 있다.
50 중량% 이하의 실리콘을 함유하는 알루미늄 합금이 특히 이와 같은 결합에 바람직하다.
공지된 바와 같이, 알루미늄 합금에 실리콘을 첨가하면, 한편으로 용융점을 낮추므로 공정을 간단화하고, 다른 한편으로 유리 표면에 대한 접착성을 더 개선하는 효과를 얻는다. 알루미늄 합금에 실리콘을 혼합하면, 실리콘이 유리질화제(vitrifier)이므로 유리에 대한 보다 높은 친화력을 가져 접착성이 더 향상된다. 또한, 합금첨가제로 실리콘의 사용은 알루미늄 합금의 색을 변화시키지 않으므로 유리 표면은 좋은 거울 효과를 가지고 따라서 오존 생성시 좋은 수율을 얻을 수 있다.
니켈 첨가 또는 타이타늄의 첨가도 마찬가지로 알루미늄 합금 색을 변화시키지 않으므로, 본 발명의 다른 실시형태에서 니켈 또는 타이타늄을 함유하는 합금을 사용할 수 있다. 실리콘, 타이타늄 및 니켈과 혼합된 알루미늄 합금도 물론 사용될 수 있음을 알 수 있다.
알루미늄 합금의 경우, 합금내 실리콘 함량은 대략 50중량%를 초과하면 안되고, 이는 과공정 조성일때 Al-Si 합금의 전도성이 떨어지기 때문이다.
따라서, 공정 또는 약간 아공정 조성의 Al-Si 합금이 특히 바람직하다. 거의 공정 조성인 합금은 용융점이 명확히 하강하기 때문에 공정을 특히 저비용이고 간단하게 할 수 있는 부가적인 이점이 있다.
반대로, 니켈 또는 타이타늄이 첨가된 알루미늄 합금의 경우 전술한 형태의 제한은 없으며 이와 같은 첨가는 전도성에 미세한 영향을 줄 뿐이다.
본 발명의 다른 이점이 있는 실시형태에 의하면, 유전체는 산화알루미늄, 산화타이타늄 또는 산화하프니윰을 함유한다.
산화알루미늄은 높은 유전율을 가지고, 저비용으로 쉽게 제조되고 기본 전극위에 열 분사에 의해 요구되는 필름 두께로 쉽게 붙일수 있기 때문에, 산화알루미늄은 특히 유전체로 적합하다. 순수 α-산화알루미늄은 특히 이와 같은 적용에 바람직하다.
마찬가지로, 산화타이타늄도 상대적으로 귀하고 비싸기는 하지만 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에 의하면, 기판 또는 기판들은 붕규산 유리로 만들어진다.
이는 튜브 및 유리 플레이트가 붕규산 유리로 매우 높은 정밀도 및 낮은 비용으로 만들어질 수 있다는 이점을 제공한다. 이는 특히 붕규산 유리가 스카트 사의 상품명 듀란(Duran)인 경우 그러하다.
이와 다르게, 유리-세라믹이 기판으로 사용될 수 있다. 이 종류의 유리-세라믹은, 리튬 첨가가 핵생성제로 작용하므로 광범위한 결정화 효과를 얻기 위해 제조후 열처리하기 쉬운 리튬 유리이다. 이 형태의 유리-세라믹은 섭씨 800도 까지의 고온 저항성과 열팽창 계수가 거의 제로에 가깝기 때문에 열충격에 높은 저항성을 가지는 것이 특징이다. 이 형태의 유리-세라믹은 예를 들면, 스카트 사의 상품 세란(Ceran) 및 세로더(Cerodur)로부터 얻을 수 있다. 이 형태의 유리-세라믹의 사용은 이 형태의 유리-세라믹이 특히 플레이트 형태로 높은 정밀도로 제조될 수 있기 때문에 오존 생성기가 플레이트 형태일 때 특히 바람직하다.
본 발명은 하기 단계를 구비한 오존 생성기 제조방법을 제공한다.
(a) 제 1 유리 또는 유리-세라믹 전극상에 금속 필름을 제 1 전극으로 붙이는 단계;
(b) 상기 제 1 전극상에 세라믹 필름을 유전체로 붙이는 단계; 및
(c) 상기 제 1 전극과 제 2 전극을 상기 유전체와 상기 제 2 전극 사이에 방전갭이 형성되도록 떨어지게 배치하는 단계.
이미 설명한 바와같이, 유리 또는 유리-세라믹의 기판으로의 사용은 유리 또는 유리-세라믹이 관형태 및 플레이트 형태로 충분히 높은 정밀도와 낮은 비용으로 제조될 수 있기 때문에 이점이 있다. 기판의 정밀한 기하학적 치수는 금속 전극 및 유전체를 붙이는데 있어서 이점을 제공하고, 높은 유전 강도를 가진 유전체의 적은 필름 두께를 얻을 수 있게 한다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 의하면, 유전체는 열분사에 의해 붙여진다.
열분사에 의한 세라믹 코팅으로 전극에 유전체를 붙이는 것은, 요구되는 필름 두께를 매우 높은 정밀도로 얻을 수 있는 상대적으로 저비용 공정이다. 그리고 이는 결국 충분히 높은 유전강도를 갖는 얇은 유전체 필름이 사용될 수 있게 하고 따라서 에너지 수율을 개선한다. 또한, 이 방법에 의하면 유전체로서 특히 바람직한 순수한 산화알루미늄 또는 산화타이타늄 필름을 붙일수 있다. 따라서, 종래기술에서 통상적으로 사용되는 에나멜 층을 사용하지 않을 수 있다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시형태에 의하면, 유리 기판상에 제공되는 전극은 마찬가지로 기판에 열분사에 의해 붙일 수 있다.
이는 유리 또는 유리-세라믹 기판상에 쉽게 저비용 및 고정밀도로 요구되는 필름 두께를 형성할 수 있다.
이 방법과 관련하여 거의 공정 조성인 알루미늄 합금의 사용은 용융점을 크게 낮추므로 특히 바람직하다. 반대로, 타이타늄 또는 타이타늄 합금은 예를 들면 큰 노력과 고비용을 필요로 하는 상당히 높은 처리 온도를 필요로 한다.
그러나 이와 다르게, 유리 기판에 선처리에 의해 금속 코팅을 하고 이후 전기도금 공정에 의해 전극 재료를 붙이는 것을 생각할 수 있다.
이 방법을 사용할 때, 타이타늄, 타이타늄 합금 또는 다른 고융점 금속들이 오존에 대한 충분한 내부식성을 제공한다면 사용될 수 있다.
본 발명에 의하면, 전극 재료 및 유전체를 붙이기 위해, 밑의 층을 예를 들면 샌드 블라스팅에 의해 처음에 거칠게 하는 것이 바람직하다. 본 발명과 관련하여 상기 거칠게 하는 공정은 유리 또는 유리-세라믹이 파손될 위험 없이 실행될 수 있음이 밝혀졌다.
전술한 특징 및 이하에서 설명하는 것은, 본 발명의 요지를 벗어나지 않으면서 지적된 각각의 조합에 사용될 뿐만아니라 다른 조합에도 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 의한 오존 생성기의 제 1 실시형태의 선단면도;
도 2는 플레이트-형태로 설계된 본 발명에 의한 오존 생성기의 제 2 실시형태의 선단면도이고;
도 3은 플레이트-형태로 설계된 본 발명에 의한 오존 생성기의 제 2 실시형태를 나타내는 도면이다.
도 1에서, 본 발명에 의한 오존 생성기는 참조부호 "10"으로 표시된다. 오존 생성기는 두개의 동심 배치된 기판으로 작용하는 유리 튜브, 즉 제 1 내부기판(12) 및 제 2 외부기판(22)을 구비한다. 전극(14)으로 작용하고 두께가 대략 30 내지 70m 인 외부필름이 제 1 기판(12)의 외부표면상에 열분사 바람직하게는 화염-분사에 의해 도포되었다.
금속 필름(14)은 순도 99.95% 이상인 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 바람직하게는 거의 공정조성(대략 11.7 중량% 실리콘)인 알루미늄-실리콘 합금으로 이루어진다. 반면에, 알루미늄-니켈 합금 또는 알루미늄-타이타늄 합금도 사용될 수 있다. 또한 혼합된 합금도 사용될 수 있다.
제 1 전극(14)의 윗면에 α-산화알루미늄 또는 산화타이타늄이 유전체(16)로서 열분사 바람직하게 플라즈마 분사에 의해 도포된다.
충분한 파단 강도를 보증하기 위해, 유전체(16) 필름 두께는 전극(14) 필름두께보다 커야 하고 0.3 내지 0.5mm 범위이다.
외부 기판(22)의 내부 표면은 마찬가지로 외부 전극(20)으로서 순수 알루미늄 또는 알루미늄 합금 코팅을 구비하고, 이 코팅은 열분사에 의해 도포된다.
여기서 또다시 순수 알루미늄 또는 거의 공정 조성을 갖는 알루미늄-실리콘 합금이 바람직하다.
이와 같은 설명한 배치 대신에 고품위 강철의 외부 전극도 또한 사용될 수 있음을 알 수 있다.
유전체(16)와 제 2 외부 전극(20) 사이에 오존 생성을 위해 산소-함유가스가 도입되는 방전갭(18)이 형성된다.
도 1은 실제 크기가 아니며, 기판(12,22) 각각의 두께는 수 밀리미터 범위이고 다른 필름의 두께는 이보다 더 얇음을 알수 있다.
전극(14,20)은 참조부호 "24"로 표시된 교류전원에 참조부호 "26" 으로 표시된 전선에 의해 연결된다.
이 연결은 바람직하게 유리 튜브의 외부 단부에서 되며, 이들의 단부는 적합한 하우징(도시 안함)내에 지지된다. 또한, 기판(12,22)은 냉각액체에 의해 공지된 방식으로 냉각된다.
오존 생성기는 일반적으로 알려진 바와같이, 대략 5 내지 20kV 전압범위, 50 내지 60Hz 또는 중간 주파수에서 작동한다.
도 2는 참조부호 "100"으로 표시된 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 도면이다.
오존 생성기(100)는 서로 평행하게 배치된 두개의 유리 플레이트, 즉 제 1 기판(112) 및 제 2 기판(122)과 이들 사이에 형성된 방전갭(118)을 구비한다. 제 1 전극(112) 표면은 제 2 전극(122)을 마주하는 쪽에 알루미늄 또는 알루미늄 합금 바람직하게 거의 공정조성을 갖는 알루미늄-실리콘 합금의 필름(114)을 구비하고, 이 필름은 열분사에 의해 도포되고 제 1 전극으로 작용한다. 상기 제 1 전극(114)의 윗면에는 α-산화알루미늄 필름이 유전체(116)로서 바람직하게 플라즈마 분사에 의해 도포된다.
제 2 기판(122)은 유전체(116)와 대향하는 쪽에 순수 알루미늄 또는 거의 공정 조성을 갖는 알루미늄-실리콘 합금의 필름을 구비하며, 이 필름은 반대-전극으로 작용하고 열분사 바람직하게 화염-분사에 의해 도포된다. 여기서 또다시 전극(114,120)은 전선(126)에 의해 교류전원(124)에 연결된다.
본 발명의 다른 실시형태를 도 3에 참조부호 "200"으로 나타내었다.
이 오존 생성기는 마찬가지로 플레이트-형태이지만, 도 2에 도시된 오존 생성기와는 다르게, 다른 방전갭들(218,228,238,248)이 서로 평행하게 배치 형성되도록 하나의 방전갭 옆에 다른 방전갭이 배치되는 다른 층들로 구성된 샌드위치 구조이다.
구조를 간단히 하기 위해, 각 유리 또는 유리-세라믹 기판(121) 또는 (232)은 양쪽에 순수 알루미늄 또는 알루미늄-실리콘 합금 전극층(214,224) 또는 (234,244)을 구비하고, 이들 각 층의 윗면에 열분사에 의해 도포된 유전체 층(216,226) 또는 (236,246)을 구비한다.
두개의 기판(212,232) 사이에, 고품위 강철판으로 만들어진 전극(230)이 제공된다. 마찬가지로, 두개의 외부 전극(220,250)은 고품위 강철판으로 형성된다.
결국, 이 형태는 각 기판(212,232)의 양쪽이 사용되므로 오존 생성기를 특히 컴팩트화한다.
높은 생성수율의 오존 생성기가 요구될 때, 오존 생성기 플레이트를 샌드위치 구조에 전술한 조합으로 더 부가함으로써 방전갭을 부가하는 것이 가능함을 알 수 있다.

Claims (26)

  1. 제 1 전극(14;114;214)과 제 2 전극(20;120;220) 및 이들 사이에 형성된 방전갭(18;118;218)을 구비하고, 상기 제 1 전극(14;114;214)은 유전체(16;116;216)로 피복되어 있는 오존 생성기에 있어서,
    상기 제 1 전극(14;114;214)은 유리 또는 유리-세라믹 기판(12;112;212)상의 금속층이고, 상기 유전체(16;116;216)는 상기 제 1 전극(14;114;214)상의 세라믹층인 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극(20;120)은 제 2 유리 또는 유리-세라믹 기판(22;122)상의 금속층인 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극(220)은 고체 금속 전극인 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 오존 생성기가 튜브형 오존 생성기인 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 오존 생성기가 각각의 전극(214,224,234,244)과 관련된 대향 전극(220,230,240,250) 사이에 제공된 복수의 방전갭(218,228,238,248)을 구비한 플레이트 형 오존 생성기인 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  6. 제 5 항에 있어서,
    적어도 하나의 기판(212,232)이 양측에 전극(214,224,234,244) 및 상기 전극 윗면에 배치된 유전체(216,226,236,246)를 구비하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리 또는 유리-세라믹 기판(12,22;112,122;212,232)상에 제공된 전극(14,20;114,120;214,224;234,244)이 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 타이타늄 또는 타이타늄 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 알루미늄 합금이 15 중량% 이하의 실리콘을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 알루미늄 합금이 니켈을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  10. 제 7 항, 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 알루미늄 합금이 타이타늄을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  11. 제 3 항에 있어서,
    고체 전극인 상기 전극(220,230,250)이 고품위 강철로 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 유전체가 산화알루미늄을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 유전체가 산화타이타늄을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 유전체가 산화하프니윰을 함유하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판(12,22;112,122;212,232)이 붕규산 유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판(212,232)이 유리-세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극의 적어도 하나가 알루미늄과 실리콘, 알루미늄과 니켈 또는 알루미늄과 타이타늄의 공정합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 생성기.
  18. 제 1 유리 또는 유리-세라믹 기판(12;112;212)상에 제 1 전극(14;114;214)으로서 금속 필름을 붙이는 단계;
    상기 제 1 전극(14;114;214)상에 유전체(16;116;216)로서 세라믹 필름을 붙이는 단계; 및
    상기 제 1 전극(14;114;214)과 제 2 전극(20;120;220)을 서로 떨어지게 배치하여 상기 유전체(16;116;216)와 제 2 전극(20;120;220) 사이에 방전갭(18;118;218)을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 유전체를 열 분사에 의해 붙이는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  20. 제 18 항 또는 제 19 항에 있어서,
    상기 전극의 적어도 하나를 열분사에 의해 기판상에 붙이는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  21. 제 18 항 또는 제 19 항에 있어서,
    상기 기판이 메탈라이징된 후, 상기 전극의 적어도 하나를 전기도금 공정에 의해 붙이는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  22. 제 20 항에 있어서,
    코팅을 하기 전에 밑의 층을 거칠게 하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  23. 제 18 항에 있어서,
    상기 전극의 적어도 하나에 15중량% 이하의 실리콘을 함유하는 알루미늄 합금을 사용하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  24. 제 18 항에 있어서,
    산화알루미늄을 함유하는 세라믹을 유전체로 사용하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  25. 제 18 항에 있어서,
    산화타이타늄을 함유하는 세라믹을 유전체로 사용하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
  26. 제 18 항에 있어서,
    산화하프니윰을 함유하는 세라믹을 유전체로 사용하는 것을 특징으로 하는 오존 생성기 제조방법.
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