KR100248202B1 - Chip scale package and method foe forming the same - Google Patents
Chip scale package and method foe forming the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR100248202B1 KR100248202B1 KR1019970016158A KR19970016158A KR100248202B1 KR 100248202 B1 KR100248202 B1 KR 100248202B1 KR 1019970016158 A KR1019970016158 A KR 1019970016158A KR 19970016158 A KR19970016158 A KR 19970016158A KR 100248202 B1 KR100248202 B1 KR 100248202B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- chip
- integrated circuit
- adhesive tape
- circuit chip
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/4826—Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73215—Layer and wire connectors
Abstract
본 발명은 스트립형의 적층 인쇄 회로 기판(Laminated Printed Circuit Board)을 이용한 칩 크기의 패키지(Chip Scale Package)을 제공하는 것을 목적으로 한다. 칩 크기의 패키지는 중앙부위에 슬롯 홀이 다수 형성된 기판으로서, 상기 기판은 제 1표면과 제 1표면의 반대편에 제 2표면을 가지며, 상기 슬롯 홀양쪽의 제 1표면상에 접착제 테이프가 부착되고 있고, 상기 제 2 표면상에 신호 패턴이 형성되어 있고, 다수의 전기적 접점을 가지며, 또한 신호패턴을 제외한 부분을 절연시키기 위한 절연성 레지스트가 도포되어 있는 기판; 상기 기판상의 제 1 표면상에 접착제 테이프에 의하여 부착되어 있는, 와이어 본딩 패드를 포함하는 집적회로 칩; 상기 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드와 상기 기판상의 신호패턴을 상기 슬롯 홀을 매개로하여 전기적으로 연결시키는 다수의 전도성 본드 와이어; 및 상기 다수의 전도성 본드 와이어가 배열된 상기 적층기판의 슬롯 홀을 매립하는 언더 필 용액을 경화시켜서 형성된 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chip scale package using a strip-shaped laminated printed circuit board. A chip-sized package is a substrate having a plurality of slot holes formed at a central portion thereof, the substrate having a second surface opposite to the first surface and the first surface, and an adhesive tape attached to the first surface on both sides of the slot hole. A substrate having a signal pattern formed on the second surface, having a plurality of electrical contacts, and coated with an insulating resist to insulate portions other than the signal pattern; An integrated circuit chip comprising a wire bonding pad attached to the first surface on the substrate by an adhesive tape; A plurality of conductive bond wires electrically connecting a wire bonding pad of the integrated circuit chip and a signal pattern on the substrate through the slot holes; And an insulating layer formed by curing an underfill solution that fills a slot hole of the multilayer board on which the plurality of conductive bond wires are arranged.
Description
본 발명은 칩 크기의 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스트립형의 적층 인쇄 회로 기판(Laminated Printed Circuit Board)을 이용한 칩 크기의 패키지(Chip Scale Package)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
종래, LOC 타입의 칩을 수용하는 칩 크기 패키지 또는 칩 사이즈 패키지(chip scale pcakage or chip size package)의 구조는 도1에 도시된 바와 같이, 집적회로 칩(1)의 한쪽 표면에 LOC용 접착제 테이프(2)가 부착되어 있고, 리이드 프레임(3)이 LOC용 접착제 테이프(2)에 부착되어 외부로 연장되도록 배열되어 있으며 본딩 와이어(4)에 의하여 집적회로 칩(1)과 리이드 프레임(3)이 전기적으로 연결되어 있다. 또한, 상기 부품들은 몰딩 수지(5)로 몰드되어 있다.Conventionally, the structure of a chip scale package or chip size package for accommodating a LOC type chip has an adhesive tape for LOC on one surface of the integrated
종래의 LOC 형의 칩을 수용하는 칩 크기 패키지는 상기와 같은 구조를 이루므로써, 다음과 같은 문제점이 있었다.The chip size package for accommodating the LOC chip of the related art has the following structure, and has the following problems.
첫째, 패키징시 일반적인 LOC 패키지 공정, 즉 다이싱 소오(dicing saw), 다이 부착, 와이어 본딩, 모울딩, 트림, 플래이팅, 신글레이션, 외관검사, 출하의 공정을 순차적으로 모두 실행하여야 한다.First, all LOC package processes such as dicing saw, die attach, wire bonding, molding, trim, plating, synergy, visual inspection, and shipment should be performed sequentially.
둘째, 사전에 일정한 형태가 형성된(일명 ; 다운-세트) 리이드 프레임을 사용하므로 작업성이 저하된다.Second, workability is degraded because lead frames having a predetermined shape (aka; down-set) in advance are used.
셋째, 모울드시, 칩과 리이드 프레임사이에 보이드가 발생할 가능성이 높다.Third, there is a high probability that voids will occur between the chip and the lead frame.
넷째, 모울드시, 리이드 프레임의 변형이 우려된다.Fourth, when the mold is concerned, deformation of the lead frame is concerned.
다섯째, 트림공정시, 리이드 프레임부근에 패키지 치핑 또는 클랙(package chipping or crack)이 발생할 가능성이 높다.Fifth, package chipping or cracks are likely to occur near the lead frame during the trimming process.
여섯째, 패키지의 두께의 조절이 어렵다.Sixth, it is difficult to control the thickness of the package.
본 발명은 상기의 문제점을 해소하기 위하여, 플립 칩(flip chip) 기술을 사용하지 않고, 종래의 와이어 본딩 기술을 사용하며, LOC타입의 칩을 LOC 조립기술과 BGA기술(ball gird array package technology)을 복합적으로 응용한 것을 기술적 원리로 하여, LOC 타입의 칩을 수용하는 CSP 및 CSP를 형성하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention does not use flip chip technology, but uses a conventional wire bonding technology, and uses LOC type chips for LOC assembly technology and BGA (ball gird array package technology). In order to provide a method for forming a CSP and a CSP for accommodating a LOC type chip, the application of a combination of the above techniques is a technical principle.
도1은 종래의 LOC 타입의 칩을 수용하는 칩 크기의 패키지의 구조를 설명하기 위한 개략적인 단면도.1 is a schematic cross-sectional view for explaining the structure of a chip sized package containing a conventional LOC type chip.
도2는 본 발명의 일실시예에서 사용되는 스티립형 기판을 나타내는 평면도.Figure 2 is a plan view showing a styrop substrate used in one embodiment of the present invention.
도3A 내지 도3C은 도2의 스트립형 기판의 구조를 상세하게 설명하기 위하여 하나의 유닛을 나타내는 확대된 단면도, 평면도, 및 저면도.3A to 3C are enlarged cross sectional views, a plan view, and a bottom view showing one unit for explaining the structure of the strip-shaped substrate of FIG. 2 in detail;
도4A 및 도4B는 본 발명의 일실시에에 따른 기판의 스롯 홀의 양쪽주변에 접착제 테이프가 부착된 상태를 나타내는 단면도 및 평면도.4A and 4B are cross-sectional views and plan views illustrating a state in which adhesive tape is attached to both sides of a slot hole of a substrate according to one embodiment of the present invention.
도5A 및 도5B는 본 발명의 일실시예에 따른 접착제 테이프위에 집적회로 칩이 기판의 스롯 홀에 대응하는 위치에 마운팅되어 있는 상태를 나타내는 단면도 및 평면도.5A and 5B are cross-sectional views and plan views showing a state in which an integrated circuit chip is mounted at a position corresponding to a slot hole of a substrate on an adhesive tape according to an embodiment of the present invention.
도6A 및 도6B는 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 본딩상태를 설명하기 위한 단면도 및 평면도.6A and 6B are a cross-sectional view and a plan view for explaining a wire bonding state according to an embodiment of the present invention.
도7A 및 도7B는 본 발명의 일실시에에 따른 와이어가 배열되어 있는 기판의 슬롯 홀부분에 언더 필(Under Fill) 용액이 경화되어 형성된 절연층을 나타내기 위한 단면도 및 평면도.7A and 7B are cross-sectional views and plan views illustrating an insulating layer formed by curing an under fill solution in a slot hole portion of a substrate on which wires are arranged according to one embodiment of the present invention;
도8A 및 도8B 는 본 발명의 일실시예에 따른 볼을 부착상태를 나타내기 위한 단면도 및 평면도.8A and 8B are a cross-sectional view and a plan view for showing a ball attached state according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
21 : 기판 22 : 접착제 테이프21: substrate 22: adhesive tape
23 : 집적회로 칩 24 : 본드 와이어23: integrated circuit chip 24: bond wire
25 : 본드 와이어 26 : 볼25: bond wire 26: ball
21A : 스롯 홀21A: Slot Hole
본 발명의 목적은 중앙부위에 슬롯 홀이 다수 형성된 기판으로서, 상기 기판은 제 1표면과 제 1표면의 반대편에 제 2표면을 가지며, 슬롯 홀 양쪽의 제 1표면상에 접착제 테이프가 부착되어 있고, 제 2표면상에 신호 패턴이 형성되어 있으며, 또한 다수의 전기적 접점을 가지는 기판; 상기 기판상의 제 1표면상에 접착제 테이프에 의하여 부착되어 있는, 와이어 본딩 패드를 포함하는 집적회로 칩; 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드와 상기 기판상의 신호패턴을 상기 슬롯 홀을 매개로하여 전기적으로 연결시키는 다수의 전도성 본드 와이어; 및 다수의 전도성 본드 와이어가 배열된 적층기판의 슬롯 홀을 매립하는 언더 필 용액을 경화시켜서 형성된 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 크기의 패키지에 의하여 달성된다.An object of the present invention is a substrate having a plurality of slot holes formed in a central portion, the substrate having a second surface opposite to the first surface and the first surface, and adhesive tape is attached to the first surface on both sides of the slot hole. A substrate having a signal pattern formed on the second surface and having a plurality of electrical contacts; An integrated circuit chip comprising a wire bonding pad attached to the first surface on the substrate by an adhesive tape; A plurality of conductive bond wires electrically connecting a wire bonding pad of an integrated circuit chip and a signal pattern on the substrate through the slot holes; And an insulating layer formed by curing an underfill solution filling a slot hole of a laminated substrate having a plurality of conductive bond wires arranged thereon.
본 발명의 다른 목적은 기판의 중앙부위에 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드가 노출되도록 스롯 홀을 형성하는 단계; 기판의 제1표면에 레지스트를 프린팅시키고, 기판의 제 1표면의 반대면에 해당되는 제 2표면에 신호 패턴을 형성시키며, 기판의 제 2표면에 와이어 본딩되는 부분과 소울더 볼이 마운트되는 부분을 제외하고 소울더 레지스트를 도포하여 절연을 시키는 단계; 기판의 중앙부위에 형성된 슬롯 홀의 양쪽에 집적회로 칩을 부착시키기 위하여 기판의 제 1표면상에 접착제 테이프를 부착시키는 단계; 제 1표면상에 접착테이프가 부착된 기판상에 집적회로 칩을 마운팅하는 단계; 기판의 중앙부위에 형성된 슬롯 홀사이에 배열되어 있는 와이어 본딩 패드와, 기판의 제 2표면에 노출되어 있는 와이어 본딩부사이를 와이어로 연결시키는 단계; 기판의 중앙부위에 형성된 슬롯 홀에 언더 필 용액을 주입하여 집적회로 칩과 기판사이의 좁은 틈새를 채우는 단계; 언더 필 용액을 건조하여 경화시키는 단계; 기판의 제 2표면에 형성된 소울더 볼 마운트 부위에 플럭스를 도팅하고 다수의 소울더 볼을 마운트하는 단계; 및 소울더 볼을 기판상에 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 크기의 패키지 형성방법에 의하여 달성된다.Another object of the present invention is to form a slot hole to expose the wire bonding pad of the integrated circuit chip in the central portion of the substrate; A resist is printed on the first surface of the substrate, and a signal pattern is formed on a second surface corresponding to the opposite surface of the first surface of the substrate, and the portion to which the wire bonds and the sole ball are mounted on the second surface of the substrate. Insulating by applying a solder resist except for; Attaching an adhesive tape on the first surface of the substrate to attach the integrated circuit chip to both of the slot holes formed in the central portion of the substrate; Mounting an integrated circuit chip on a substrate having an adhesive tape attached to the first surface; Connecting the wires between the wire bonding pads arranged between the slot holes formed in the center portion of the substrate and the wire bonding portions exposed on the second surface of the substrate with wires; Filling a narrow gap between the integrated circuit chip and the substrate by injecting an underfill solution into a slot hole formed in a central portion of the substrate; Drying and curing the underfill solution; Dotting the flux to the soul ball mount portion formed on the second surface of the substrate and mounting the plurality of soul balls; And attaching the sole ball on the substrate.
본 발명의 실시예에 의하면, 기판상에 형성된 슬롯 홀을 통하여 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드와 기판의 신호패턴을 전기적으로 연결시키는 구조로 되어 있어, 패키지의 크기를 줄일 수 있고, 또한 집적회로 칩과 기판의 사이로 모세관 현상을 이용하여 언더 필 용액을 주입함에 따라 패키지 내부의 보이드나 세라믹 기판에서의 변형문제를 제거할 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present invention, the wire bonding pad of the integrated circuit chip and the signal pattern of the substrate are electrically connected to each other through a slot hole formed on the substrate, thereby reducing the size of the package and further improving the integrated circuit chip. By injecting the underfill solution using a capillary phenomenon between the substrate and the substrate, the voids in the package or the deformation problem in the ceramic substrate can be eliminated.
[실시예]EXAMPLE
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
우선, 본 실시에에서 사용되는 기판을 도2에 의거하여 설명하면, 기판은 소정 위치에 다수개의 슬롯 홀(A)이 형성되어 있으며, 또한 트림공정에서 패키지의 유닛화를 이룰 수 있도록 브레이크 라인의 역할을 하는 다른 스롯 홀(B)이 각 슬롯 홀(A)의 주변에 형성되어 있다. 스롯 홀(B)이 이루는 사각형의 모서리에는 인덱스 홀(C)이 각각 형성되어 있다.First, the substrate used in the present embodiment will be described with reference to Fig. 2, where a plurality of slot holes A are formed at a predetermined position, and the break line of the break line can be formed in the trim process. Another slot hole B serving as a role is formed around each slot hole A. FIG. Index holes C are formed at the corners of the rectangle formed by the slot holes B, respectively.
도3A 내지 도3C은 기판의 구조를 상세하게 설명하기 위하여, 도2의 기판의 하나의 유닛을 나타내는 확대된 단면도, 평면도, 저면도를 각각 나타낸다.3A to 3C show enlarged cross-sectional views, top views, and bottom views, respectively, illustrating one unit of the substrate of FIG. 2 in order to explain the structure of the substrate in detail.
도3A에 도시된 바와 같이, 기판(21)은 2층으로 구성되어 있다. 그러나, 경우에 따라서는 기판은 1 층으로 되어 있거나, 또는 2 층이상의 다층으로 이루어질 수도 있다. 또한, 기판은 스트립형이거나, 또는 메트릭스형일 수 있다.As shown in Fig. 3A, the
기판(21)은 중앙부위에, LOC 타입 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드가 보이도록, 와이어 스롯 홀(21A)이 형성되어 있다. 기판(21)의 제 1표면에는 레지스트(21B), 바람직하게는 소울더 레지스트가 프린팅되어 있다. 또한 기판(21)의 제 1표면과 반대편의 제 2표면에는 배선패턴, 즉 신호패턴(21C )이 형성되어 있다. 여기서 신호패턴은 와이어 본딩부(211), 소울더 볼 에태치부(212) 및 회로라인부(213)를 포함한다. 제 2표면은 외부와 절연을 이루기 위하여 와이어 본딩부(211)및 소울더 볼 에태치부(212)를 제외한 부분은 레지스트(214), 바람직하게는 소울더 레지스트로 도포되어 있다.The
도4A 및 도4B에 도시된 바와 같이, 기판(21)의 중앙부위에 형성된 스롯 홀(21A)의 양쪽주변에 집적회로 칩을 부착시킬 수 있는 접착제 테이프(22), 바람직하게는 LOC용 접착제 테이프가 부착되어 있다.As shown in Figs. 4A and 4B, an
또한 도5A 및 도5B에 도시된 바와 같이, 접착제 테이프(22)위에는 집적회로 칩(23)이 상기 기판(21)의 스롯 홀(21A)에 대응하는 위치에 마운팅되어 있다.5A and 5B, on the
집적회로 칩(23)상에는 일렬로 배열된 와이어 본딩 패드(23A)가 형성되어 있으며, 이 와이어 본딩 패드(23A)는 기판의 제 2표면상에 형성된 신호패턴(21C)의 와이어 본딩부(211)와 전기적으로 와이어(24)에 의하여 연결되어 있다. 본 실시예에서는 기판(21)상에 형성된 스롯 홀(21A)을 통하여, 집적회로 칩(23)과 기판(21)상의 신호패턴(21C)이 연결되는 구조를 이룸으로써, 패키지의 크기를 줄일 수 있다.(도6A 및 도6B 참고).The
또한 도7A 및 도7B에 도시된 바와 같이, 와이어(24)가 배열되어 있는 기판(21)의 슬롯 홀(21A)부분에는 언더 필(Under Fill)용액이 경화되어 형성된 절연층(25)이 배열되어 있다.In addition, as shown in FIGS. 7A and 7B, an
기판(21)의 제 2표면상에 형성된 소울더 볼 에태치부(212)에는 도8A 및 도8B에 도시된 바와 같이, 볼(26) 바람직하게는 소울더 볼이 부착되어 있다.To the sole ball attach
도9는 본 발명에 따라 제조된 패키지된 집적회로 칩 소자에 대한 사시도를 나타내고 있다. 본 실시예에 의하여 패키지 크기를 CSP의 정도로 감소시킬 수 있다.9 shows a perspective view of a packaged integrated circuit chip device fabricated in accordance with the present invention. According to this embodiment, the package size can be reduced to the degree of CSP.
다음으로, 적층 기판을 갖는 칩크기의 패키지를 제조하는 단게를 순차적으로 설명한다.Next, the steps for manufacturing the chip size package having the laminated substrate will be described sequentially.
우선, 도3A에 도시된 바와 같이, 기판(21)의 중앙부위에, LOC 형 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드가 보이도록, 와이어 스롯 홀(21A)을 형성한다. 여기서 경우에 따라서는 기판은 1층으로 되어 있거나, 또는 2층이상의 다층으로 이루어질 수도 있다. 또한 기판은 스트립형이거나 또는 메트릭스 형일 수도 있다.First, as shown in FIG. 3A, a
한편, 기판(21)의 제1표면에는 레지스트(21B), 바람직하게는 소울더 레지스트를 프린팅한다. 또한 스트립형 기판(21)의 제1표면과 반대편의 제2표면에 신호패턴(21C)을 형성한다. 여기서 신호패턴은 와이어 본딩부(211), 소울더 볼 에태치부(212) 및 회로라인부(213)를 포함한다. 그리고나서, 제2표면을 외부와 절연을 이루기 위하여 와이어 본딩부(211) 및 소울더 볼 에태치부(212)를 제외한 부분에 레지스트(214), 소울더 레지스트를 도포한다. 스트립형 기판에 신호패턴을, 기판에 스롯 홀을 형성하기 이전에, 우선적으로 종래의 PCB 패턴형성방법으로 형성할 수도 있다.On the other hand, a resist 21B, preferably a soul resist, is printed on the first surface of the
다음으로, 도4A 및 도4B에 도시된 바와 같이, 기판(21)의 중앙부위에 형성된 스롯 홀(21A)의 양쪽주변에 집적회로 칩을 부착시킬 수 있는 접착제 테이프(22), 바람직하게는 LOC용 접착제 테이프를 부착시킨다.Next, as shown in Figs. 4A and 4B, an
그리고, 도5A 및 도5B에 도시된 바와 같이, 접착제 테이프(22)위에 집적회로 칩(23)을 상기 기판(21)의 스롯 홀(21A)에 대응하는 위치에 마운팅시킨다.5A and 5B, the
도6A 및 도6B에 도시된 바와 같이, 집적회로 칩(23)상의 와이어 본딩 패트(23A)와 기판의 제2표면상에 형성된 신호패턴(21C)의 와이어 본딩부(211)를 전기적으로 본도 와이어(24)에 의하여 연결시킨다.As shown in FIGS. 6A and 6B, the
와이어 본딩이 완료된 후, 도7A 및 도7B에 도시된 바와 같이, 와이어(24)가 배열되어 있는 스트립형 기판(21)의 슬롯 홀(21A)부분에 언더 필(Under Fill) 용액, 바람직하게는 에폭시계 수지를 디스펜서를 이용하여 주입하고, 건조하여 언더 필 용액을 경화시킨다. 이 때, 언더 필 용액은 모세관 현상에 의하여 집집회로 칩과 적층 기판사이의 좁은 틈새로 채워지게 된다. 볼 실시예에서는 언더 필 용액을 집적회로 칩의 엔드 라인까지 채워질 수 있는 정도로 주입한다.After the wire bonding is completed, as shown in Figs. 7A and 7B, an under-fill solution, preferably in the
상기 공정까지 완료된 제품은 도8A 및 도8B에 도시된 바와 같이, 기판(21)의 제 2표면에 형성된 소울더 볼 에티치부(212)에 플럭스를 도팅(dotting)하고 다수의 볼(26), 바람직하게는 소울더 볼을 마운트한 후, 적회선-리플로우 로(infrared radition-reflow furnace)를 통과시켜서 소울더 볼(26)을 기판상에 부착시킨다. 이 때 사용되는 적층 기판은 스트립 형 또는 메트립스 형의 기판 형태로 작업을 할 수 있으며, 작업이 완료된 후, 사전에 형성된 기판위의 슬롯 홀(브레이크 라인)을 이용하여 트림공정을 행하면서 유닛트화(singulation)한다.8A and 8B, the finished product is doped with a flux to the sole
본 발명의 실시예의 의하면, 기판상에 형성된 슬롯 홀을 통하여 집적회로 칩의 와이어 본딩 패드와 기판의 신호패턴을 전기적으로 연결시키는 구조로 되어 있어, 패키지의 크기를 줄일 수 있고, 또한 집적회로 칩과 기판의 사이로 모세관 현상을 이용하여 언더 필 용액을 주입함에 따라 패키지 내부의 보이드나 세라믹 기판에서의 변형문제를 제거할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the structure of electrically connecting the wire bonding pad of the integrated circuit chip and the signal pattern of the substrate through a slot hole formed on the substrate, it is possible to reduce the size of the package, and Capillary action is used to inject the underfill solution between the substrates to eliminate voids in the package or deformation problems in the ceramic substrate.
Claims (13)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019970016158A KR100248202B1 (en) | 1997-04-29 | 1997-04-29 | Chip scale package and method foe forming the same |
CN98108800A CN1201254A (en) | 1997-04-29 | 1998-04-29 | Packaged integrated circuit device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019970016158A KR100248202B1 (en) | 1997-04-29 | 1997-04-29 | Chip scale package and method foe forming the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19980078589A KR19980078589A (en) | 1998-11-16 |
KR100248202B1 true KR100248202B1 (en) | 2000-03-15 |
Family
ID=19504279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019970016158A KR100248202B1 (en) | 1997-04-29 | 1997-04-29 | Chip scale package and method foe forming the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100248202B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100629678B1 (en) * | 1999-08-30 | 2006-09-29 | 삼성전자주식회사 | Method for fabricating Chip scale package |
US7056766B2 (en) * | 2003-12-09 | 2006-06-06 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of forming land grid array packaged device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07245360A (en) * | 1994-03-02 | 1995-09-19 | Toshiba Corp | Semiconductor package and its manufacture |
-
1997
- 1997-04-29 KR KR1019970016158A patent/KR100248202B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07245360A (en) * | 1994-03-02 | 1995-09-19 | Toshiba Corp | Semiconductor package and its manufacture |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19980078589A (en) | 1998-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6452255B1 (en) | Low inductance leadless package | |
US6472732B1 (en) | BGA package and method for fabricating the same | |
US7109067B2 (en) | Semiconductor device and method for fabricating same | |
US7129572B2 (en) | Submember mounted on a chip of electrical device for electrical connection | |
US6110755A (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
KR20000050486A (en) | Encapsulation method of bga transfer molding in semiconductor | |
US5923957A (en) | Process for manufacturing a lead-on-chip semiconductor device package having a discontinuous adhesive layer formed from liquid adhesive | |
KR100248202B1 (en) | Chip scale package and method foe forming the same | |
JP3203228B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP3274343B2 (en) | Semiconductor device | |
KR100199851B1 (en) | Chil scale package and method for manufacturing thereof | |
KR100388211B1 (en) | Multi chip package | |
KR19990057564A (en) | Chip unit package and its manufacturing method | |
KR100762871B1 (en) | method for fabricating chip scale package | |
KR100520443B1 (en) | Chip scale package and its manufacturing method | |
KR100221918B1 (en) | Chip scale package | |
JPH0846091A (en) | Ball grid array semiconductor device | |
KR100459820B1 (en) | Chip scale package and its manufacturing method | |
KR0185514B1 (en) | Chip scale package and method of making the same | |
KR20000026099A (en) | Chip size semiconductor package and method for making the same | |
KR200179421Y1 (en) | Stack semiconductor package | |
KR101040311B1 (en) | Semiconductor package and method of formation of the same | |
KR100195507B1 (en) | Slim type semiconductor chip package device | |
KR20010069064A (en) | Manufacturing method for chip scale package | |
KR20040022584A (en) | Wire bonder and wire coater in-line apparatus and manufacturing method for chip stack type multi chip package |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121121 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131118 Year of fee payment: 15 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |