KR100247241B1 - CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치 - Google Patents

Abstract

개시된 내용은 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치에 관한 것으로 수개의 검사 대상 CCD IC가 수용된 보트를 공급하고 공급된 보트의 CCD IC를 하나씩 고배율 현미경을 통하여 카메라에 촬상하도록 한 뒤 촬상 상태를 모니터에서 판정하고, 보트 수용의 CCD IC 검사가 끝나면 보트가 재치된 테이블을 이동시켜 검사후 보트를 퇴출시키도록 하는 일련의 작동이 자동적으로 이루어지도록 하는 자동 검사장치를 제공함을 기술적 과제로 하여, 기대(90) 일측면에 설치되어 CCD IC(1) 수용수단(2)을 적재한 상태에서 상승 및 하강시키는 승강구조(35)와, 상승된 수용수단을 스텝 이동시키기 위한 푸쉬수단(37)을 구비하여 수용수단(2)을 기대(90) 상면의 검사위치에 공급함과 동시에 스텝 이송시키는 CCD IC 보트 공급부(30); 상기 수용수단(2)의 상방에 확대수단(54)과, 확대된 CCD IC를 촬상,전송하기 위한 촬상수단(52)을 각각 구비하여 각 CCD IC의 이상 유무를 검사하는 검사부; 상기 1차 공급된 수용수단을 안내하는 가이드 부재(42)와, 전후진 이동 가능한 이동 테이블(46)로 이루어진 이송부; 및 검사후 수용수단을 수납,승하강 시키는 제 2승강 구조를 구비한 보트 퇴출부;를 포함하여 이루어지는 CCD IC 검사장치를 제공하는 것으로 CCD IC를 모니터링하여 불량 유무를 판정하는 특징이 있다.

Description

CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치

본 발명은 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치에 관한 것으로 수개 배열된 CCD IC 수용의 보트를 다수 적재하여 이동 가능한 보트랙을 재치상태로 승강 가능하게 하고 이 보트랙으로부터 공급된 보트 개개를 이동 조절하면서 그 내부에 수용된 CCD IC의 위치에 따라 고배율 확대수단과 촬상장치로서 불량 유무를 자동 검사 하도록 하며, 검사후 CCD IC 수용의 보트는 불량유무에 따라 선별하여 구분한 뒤 자동 퇴출 시키는 CCD IC 검사장치에 관한 것이다.

종래에는 첨부 도면중 도 1에서 도시하는 바와같이 기대(100)와, 이 기대(100)의 위치 까지 작업자가 이동시키는, 검사대상 CCD IC(110)가 일정개수 수용된 보트(102)를 적재한 보트 랙(104)과, 상기 보트 랙(104)에서 인출된 보트(102)를 재치한 상태에서 검사위치를 조절하는 직교 좌표용 축 조절 테이블(106)과,상기 보트(102)를 재치한 테이블(106) 상방에 설치된 고배율 현미경의 검사기구(108)의 검사장비로서 CCD IC의 불량유무를 검사하여 왔다.

이와같은 검사장비에 의한 CCD IC 불량 유무의 검사에는 위에서 설명한 바와같이 검사대상의 CCD IC를 수용한 수개의 보트를 보트 랙(104)에 적재시킨 뒤 이 보트 랙(104)을 작업자가 검사위치의 테이블로 운반하고, 운반된 보트랙에서 하나의 보트를 인출하여 비젼 광학기구가 설치된 X,Y축 테이블에 보트를 고정시켜 놓고 검사기구에 설치된 X,Y축 테이블(106)을 손으로 돌려 가면서 그 위치를 조절하면서 테이블에 재치된 고배율 현미경을 통하여 육안으로 보트상의 CCD IC 촬상면을 검사 하여 왔다.

뿐만 아니라 한 개의 보트에 수용된 각각의 CCD IC 검사가 완료되면 불량 CCD IC는 사람의 손으로 일일이 꺼내어 불량 처리하고 불량이 아닌 CCD IC의 경우에는 보트랙에 삽입 적재하며 검사후 CCD IC 처리에 있어서도 작업자가 불량 표시를 일일이 하고, 적재하여 왔다.

이와같은 작업자의 수공적인 보트의 적재방식, 보트 인출, 보트 위치 조정의 테이블 조작 및 검사기구를 통한 육안 검사등의 검사 과정을 일일이 작업자가 담당해야 하므로 작업 능률의 저하를 초래하고, 촬상면의 이물질 여부를 검사하기 위한보다 고도의 숙련도를 갖추어야 하며, 청정 환경하에서 검사 작업을 수행함에 따라 작업자들의 건강을 해치게 되었으며, 이와같은 작업과정의 번거로움등으로 인해 CCD IC 검사공정이 작업자들로 부터 기피되는 원인이 되기도 하였다.

상기와 같은 CCD IC의 적재, 이송, 검사, 불량 표시,불량 CCD IC의 분리 공정을 수행함에 따른 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해서는 검사공정의 자동화가 필요로 되었다.

본 발명의 목적은 Class 10의 청정도 조건에서 생산되는 CCD IC의 제조 공정에 있어서,종래 인력으로 행하던 CCD IC가 수용된 보트 랙의 승강, 인출된 보트의 검사 위치 조정,고배율 현미경과 카메라로 이루어진 검사기구를 통한 자동적인 불량표시,검사후 불량 CCD IC의 자동 마킹 및 퇴출랙에서의 적재등을 자동화하기 위한 CCD IC의 검사장치를 제공함에 그 목적이 있으며 궁극적으로 이와같은 자동화한 검사장치로서 CCD IC의 품질을 안정화하고, 제품의 생산성을 증대하며, 검사의 신뢰도등을 향상시키고자 하는 것이다.

도 1은 종래 CCD IC 검사장치의 개략 정면도

도 2a는 본 발명의 검사대상 CCD IC의 예시도이고, 도 2b는 CCD IC의 수용을 위한 보트를 나타내며, 도 2c는 보트랙의 사시도이다.

도 3은 본 발명 검사장치 전체를 나타내는 사시도

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: CCD IC 2:보트

31: 보트 랙(Rack) 37:푸쉬 수단

30:보트 공급부 40:이송부

50:검사부 60:보트 퇴출부

70:콘트롤부 80:디스플레이부

90:기대

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기대 일측면에 설치되어 CCD IC 보트를 적재 상태에서 상승 및 하강시키는 승강구조와, 상승된 보트를 스텝 이동시키기 위한 푸쉬수단을 구비하여 보트를 기대 상면의 검사위치에 공급함과 동시에 스텝 이송시키는 CCD IC 보트 공급부; 이송되어 위치가 설정된 상기 보트의 상방에서 각 CCD IC 이상유무를 검사하기 위한 확대수단과, 확대된 CCD IC를 촬상,전송하기 위한 촬상수단을 각각 기대 상면의 공간부에서 이격 설치시켜 각 CCD IC의 이상 유무를 검사하기 위한 검사부; 상기 검사부의 직하방에서 상기 1차 공급된 보트가 상기 CCD IC의 수용 순서대로 일정하게 스텝 이동하도록 안내하는 가이드 부재와, 구동모터의 구동스크류로서 전후진 이동되는 이송 테이블로 이루어진 이송부; 그리고, 상기 이송부의 이송완료 위치에서 상기 검사후 보트를 적재 및 승하강 가능하도록 하기 위한 승강구조와, 퇴출 보트랙을 구비한 보트 퇴출부를 포함하여 서 되는 것으로 CCD IC를 인력의 동원 없이 자동 검사하게 되는 특징이 있다.

이와같은 자동 검사장치에 있어 CCD IC 보트의 승강구조는, 다수 보트를 적재 가능한 보트랙을 승강 및 퇴출 시키기 위한 승강구조로서 가이드 축과, 구동축및 구동 모터로 이루어지므로서 보트랙의 승강 및 자동 퇴출을 달성하게 되는 특징을 가지며, 상기 가이드부재에는 그 양측에 마주보게 설치되어 이송되는 보트의 이동 유무를 검출하기 위한 감지센서를 더 포함하며 아울러 불량 처리를 위한 마킹수단을 함께 구비하여 보다 이상적인 자동 검사장치를 실현하게 되는 특징이 있다.

이하에서 본 발명의 구성 및 작용을 설명하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

첨부 도면 도 2a는 본 발명 검사대상 CCD IC의 예시도이고,도 2b는 상기 CCD IC가 수용되는 보트의 평면도이고, 도 2c는 본 발명에 적용되는 보트랙의 사시도이며,도 3은 본 발명 CCD IC 검사장치의 전체 도면으로서 이 도면에 따르면, 본 발명은 크게 기대(90)위의 일측에 설치되는 CCD IC 보트 공급부(30)와, 기대(90)의 직상방 공간부에 설치되는 검사부(50)와, 기대(90) 상면에 설치되는 이송부(40)와, 기대 타측에 설치되는 보트 퇴출부(60), 콘트롤부(70) 및 디스플레이부(80)로 이루어진다.

구체적으로 상기 보트 공급부(30)는, 상기 기대 일측면에 CCD IC 보트를 상하방으로 다수 적재하는 제 1보트랙(31)과, 이 제 1보트랙(31)을 재치시켜 상승 및 하강시키기 위한 승강구조(35)를 갖추어서 되고 이 승강구조(35)는 가이드바(34)와, 상기 가이드 바(34)에 동력을 부여하기 위하여 구동축(36)을 갖는 제 1구동모터(32)와,상승된 제 1보트랙(31)에 적재된 CCD IC 보트(2)를 향하여 이송력을 부여하여 검사위치로 이송시킨 뒤 각 CCD IC를 스텝 이동시키기 위한 푸쉬수단(37)으로 이루어진다.

상기 CCD IC 검사부(50)는, 이송되어 위치가 설정된 상기 보트의 상방에서 각 CCD IC 이상유무를 검사하기 위하여 구비되는 고배율의 현미경등으로 이루어지는 확대수단(54)과,확대된 상을 촬상, 전송하기 위한 카메라등의 촬상수단(52)과,마킹 유닛(51) 및 감지센서(53)로 이루어진다.

콘트롤부(70)는 촬상된 CCD IC의 불량 유무를 검사하기 위한 비젼 콘트롤러(72)와, 전체 시스템을 제어하기 위한 운영 콘틀롤러(74)와, 전원부(76)으로 이루어진다. 이 콘트롤부(70)의 제어상태는 디스플레이부(80)의 검사 부위 디스플레이용 비젼 모니터(82)와, 검사 프로그램의 동작 과정을 보여주기 위한 운영 콘트롤러(74)용 운영 모니터(84)로 검사부위의 확대 촬상과 동시에 촬상 화면을 통하여 불량 CCD IC를 선별하게 된다.

상기 보트 이송부(40)는, 상기 검사기구의 직하방에서 상기 1차 공급된 보트를 상기 푸쉬수단(37)의 이송력으로 상기 CCD IC(1)의 수용 순서대로 일정하게 스텝 이동하도록 안내하기 위하여 일정한 간격을 두고 서로 마주 보는 위치에서 가이드 홈을 형성한 복수의 가이드 부재(42)와, 이 가이드 부재(42)를 갖춘 상태에서 제 2구동모터(43)의 회전력으로 회전되는 볼 스크류(44)로서 전후진 이동력을 부여받는 이동 테이블(41)과, 이동 테이블(41)을 안내하기 위하여 LM 가이드(45)로 이루어진다.

상기 보트 퇴출부(60)는, 상기 이송부(40)를 통하여 이송된 보트(2)가 이송후 정지되는 위치에서 상기 검사후 보트(2)를 적재한 제 2보트랙(61)을 승강구조(65)로서 자동 하강시키게 된다.즉, 제 2보트랙(61)을 재치한 승강구조(65)는 가이드 바(64)와, 구동모터(62)와 구동축(63)으로 이루어진다.

상기 보트 공급부(30)와 상기 검사부(50)는 상기 제 1승강플레이트(33)로서 승강되는 제 1보트랙(31)의 적재된 보트(2)를 향하여 푸쉬수단(37)이 전진되도록 하므로서 상기 검사부(50)의 직하방에 상기 보트의 첫번째 CCD IC가 위치하도록 상기 이송부(40)의 가이드 부재(42) 양측으로 가이드 되게 설치된다. 적재 1번의 보트가 푸쉬수단(37)으로 이동되는 것은 CCD IC의 배치순서에 따라 스텝 이송된다.

또한, 상기 검사부(50)와, 보트 이송부(40)는 이송 테이블(41)이 보트 공급부(30)를 향하여 일측으로 이동된 상태의 상면에 설치된 검사부(50) 위치에서 1차 스텝 이송 작동을 하면서 검사가 진행되도록 설치한다. 즉, 이송 테이블(41)의 상면에 다시 스텝 이송되는 가이드 부재(42)와 이 가이드 부재(42)를 밀어주는 푸쉬수단(46)을 설치하므로서 이송 테이블(41) 정지 상태에서 CCD IC(1) 수용 보트(2)가 스텝 이동되면서 각 CCD IC(1)의 불량 여부를 검사하게 된다. 불량 여부가 결정되면 마킹 유닛(51)으로 불량유무를 마킹시킨다.

특히 이와같은 보트(2)에 수용된 CCD IC의 불량 여부 검사후에는 푸쉬수단(37)으로 일정 간격 스텝 이동되며 이 스텝 이동상태를 감지센서(53)로 검출하여 스텝 이동 유무를 전송하게 된다.

상기 이송부(40)와 보트 퇴출부(60)는 상기 검사부(50)의 직하방에서 상기 1차 공급된 보트(2)를 이동시키는 가이드 부재(42)를 갖춘 이동 테이블(41)의 종지 위치에 상기 검사후 보트를 적재하기 위한 제 2보트랙(61)을 위치시키되 이 제 2보트랙(61)의 승강을 조정하기 위한 승강구조--승강 구동축(63), 구동모터(62),가이드 바(64)--를 함께 설치하여서 된다.

본 발명의 검사과정은 다음과 같다.

CCD IC 공급부(30)에서 기대(90) 직상방의 공간부에 설치되는 검사부(50)로 CCD IC(1)를 적재한 보트(2)를 공급시키고, 기대(90) 상면에 설치되는 이송부(40)에 의하여 상기 보트(2)가 전,후진 이송되어 검사부(50)에 위치시킨 뒤 불량 유무를 검사 받게 되며 검사후에는 상기 이송부(40)의 작동으로 보트 퇴출부(60)로 이동 퇴출되는 일련의 과정으로 이루어진다.

구체적으로 검사 대상 CCD IC(1)를 보트(2)에 수용한 뒤 이 보트(2)를 상기 제 1보트랙(31)에 다층으로 적재한다. 다수 보트가 적재된 제 1보트랙(31)을 상기 승강구조(35)에 재치시킨다. 제 1보트랙(31)의 장착이 완료되면 제 1구동모터(32)를 가동시켜 1번 보트(2)가 가이드 부재(42)의 가이드 홈(부호생략)높이와 동일 선상에 오도록 제 1보트랙(31)의 높이를 상승 또는 하강시킨다.

높이가 설정된 제 1보트랙(31)에서 보트(2)를 상기 검사부(50)로 이송시키기위하여 상기 푸쉬수단(37)을 온(ON)시키면 제 1번 보트(2)가 상기 제 1보트랙(31)에서 퇴출되어 상기 검사부(50)의 직하방 감지 센서(53)의 위치 까지 이동된다.

1번 보트의 퇴출이 완료되면 푸쉬수단(37)은 원위치로 후진 원복되며, 동시에 다음의 제 2보트랙이 다음 위치로 이동하여 검사 대기 한다.

이와같은 1번 보트의 검사준비가 끝나면 이송부의 제 2구동모터(43)로서 이송 테이블(41)을 이동조절하여 보트(2)에 장착된 1번 CCD IC(1)가 검사부(50)의 직하방에 오도록 위치를 설정한다.이후 운영 콘트롤러(74)에서는 카메라에 CCD IC가 촬상 되도록 신호를 보낸다. 카메라 촬상이 완료되면 비젼 콘트롤러에서 CCD IC 표면에 이물질 부착 유무를 판정한다. 콘트롤부(70)는 촬상된 CCD IC의 불량 유무를 검사하기 위한 비젼 콘트롤러(72)와, 전체 시스템을 제어하기 위한 운영 콘틀롤러(74)와, 전원부(76)로 이루어지므로 콘트롤부(70)의 제어상태는 디스플레이부(80)의 운영 모니터(84)를 통하여 이동 위치의 제어상태를 확인 하고 이어서 CCD IC(1)의 검사 부위를 디스플레이하는 비젼 모니터(82)를 통하여 검사부위가 확대 촬상되므로 촬상 화면을 통하여 불량 CCD IC를 선별하게 된다. 이어서 다음의 CCD IC를 촬상하면서 이물질 유무를 검사하게 되는 것이다.

이와같은 촬상 및 이물질 유무검사는 하나의 보트에 수용된 CCD IC전체의 검사가 완료 될 때 까지 반복되며 운영 콘트롤러(74)가 이를 연속 제어하게 된다.

콘트롤부(70)의 제어는 디스플레이부(80)의 검사 부위 디스플레이용 비젼 모니터(82)가 검사 대상 CCD IC(1)를 촬상 한상태에서 운영 콘트롤러(74)의 운영 모니터(84)를 통하여 전체 시스템의 퇴출 작동 산태를 촬상과 동시에 작동확인 하게 된다.

이때 검사과정에서 발견되는 불량 CCD IC는 보트 전체의 CCD IC검사가 끝난 뒤 마킹 작동을 하게 된다. 즉,불량 CCD IC의 위치를 감안하여 마킹유닛(51) 위치 까지 보트가 이동되도록 제 2구동모터(43)를 구동시켜 이동 시키며, 불량 마킹 위치는 CCD IC의 촬상 부위를 벗어난 위치에서 마킹이 이루어진다.

이후 보트에 수용된 전체 CCD IC의 검사가 끝나면 구동모터를 구동시켜 테이블위의 가이드 부재에 놓인 보트를 보트퇴출부의 제 1보트 랙이 있는 위치까지 이동 시킨다. 보트퇴출부에 이미 대기 중인 제 2보트 랙의 수납 공간에 검사후 보트를 이송구조의 푸쉬수단으로 밀어넣어 검사후 보트를 적재 시킨다.이때에도 제 2승강플레이트등의 승강구조를 작동시켜 다음 보트의 적재 위치를 설정하도록 제 2보트랙을 승강콘트롤하게 된다.

상기와 같이 검사후 보트가 제 2보트 랙에 적재 완료되면 이송부의 구동모터는 테이블을 원위치로 복귀시킨다. 이어서 다음의 보트를 검사하기 위한 전술한 작동이 반복된다. 이어서 제 1보트 랙의 모든 보트내에 수용된 CCD IC의 마킹 및 검사가 끝나면 제 2승강구조의 제 2보트랙을 상승시킨 뒤 제 2보트랙을 교체하여 다음의 검사시 보트 적재가 이루어지도록 하게 된다.

이와같은 본 발명의 보트 랙 승강구조 및 전체 장치의 제어 운영은 전원을 공급하는 전원부와, 비젼 콘트롤러와, 운영 콘트롤러와, 비젼 모니터와, 운영 모니터를 통하여 일련의 자동화한 제어로서 그 목적을 달성한다.

본 발명은 Class 10의 청정도 조건에서 생산되는 CCD IC의 제조 공정에 있어서,종래 인력으로 행하던 CCD IC가 적재된 보트 랙의 승강,검사위치의 조정,고배율 현미경과 카메라로 이루어진 검사기구를 통한 검사,검사후 불량 CCD IC의 자동 마킹, 및 퇴출랙에서의 자동 적재등을 달성하는 CCD IC의 자동 검사장치를 제공하므로서 제품 품질의 안정화, 제품 생산성 증대, 검사 신뢰도 향상등을 달성하게 된다.

Claims (5)

1. CCD(Charge-coupled device)IC 검사장치에 있어서,

   기대 일측면에 설치되어 CCD IC 보트 적재 상태에서 적재수단을 상승 및 하강시키는 승강구조와, 상승된 보트 적재수단의 보트를 스텝 이동시키기 위한 푸쉬수단을 구비하여 보트를 기대 상면의 검사위치에 공급함과 동시에 스텝 이송시키는 CCD IC 보트 공급부;

   이송되어 위치가 설정된 상기 보트의 상방에 설치된 확대수단과, 확대된 CCD IC를 촬상,전송하기 위한 촬상수단으로 이루어져 각 CCD IC의 크기를 고배율로 확대시키 뒤 이를 촬상 화면으로 전송시켜 이물질 침투여부를 판별하기 위한 검사부;

   상기 검사부의 직하방에서 상기 1차 공급된 보트가 상기 CCD IC의 수용 순서대로 일정하게 스텝 이동하도록 안내하는 가이드 부재와, 이 가이드 부재를 갖춘 상태에서 구동모터의 구동스크류로서 전후진 이동 가능한 이송 테이블로 이루어진 이송부; 및,

   상기 이송부의 정지 위치에서 상기 검사후 보트를 적재한 퇴출 보트 랙을 승강시키기 위한 승강구조를 구비한 보트 퇴출부;

   를 포함하여 이루어지는 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 CCD IC 보트 공급부의 승강구조가, 복수의 가이드 축과, 이 가이드 축의 안내로 승강 가능한 구동축 및 구동 모터로 이루어진 것을 특징으로 하는 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 검사부는, 가이드 부재 양측에서 마주보게 설치되어 보트랙의 이동 상태를 검출하기 위한 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치.
4. 제 1항에 있어서, 검사부는,그 일측에 검사후 보트의 불량 여부에 따라 작동되는 마킹 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치.
5. 제 1항에 있어서, 검사부는, 보트의 불량 유무를 촬상 가능한 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD(Charge-coupled device) IC 검사장치.

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