KR100241295B1 - 고전압노이즈필터 및 그를 이용한 마그네트론장치 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야

고전압 노이즈필터 및 마그네트론장치.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제

고전압 노이즈필터 및 마그네트론장치에 있어서, 내전압특성의 향상 및 소형화하는 것을 목적으로 함.

3. 발명의 해결방법의 요지

코일부(3a) 및 (3b)의 도전층(34a) 및 (34b)의 끝단부 근방에 있어서, 절연피복(33a) 및 (33b)과 도전층(34a) 및 (34b)의 사이에 반도전층 또는 폴리이미드필름 등의 절연부재에 의한 고내전압층을 형성한 3층의 구성으로 함.

4. 발명의 중요한 용도

고주파장치에 사용되는 고전압 노이즈필터 및 마그네트론장치에 적용됨.

Description

고전압노이즈필터 및 그를 이용한 마그네트론장치.

제 1 도는 제 1 실시예의 고전압 노이즈필터의 요부평면도이다;

제 2A 도는 본 발명의 고전압 노이즈필터의 코일부의 평면도이다;

제 2B 도는 제 2A 도의 b-b 선 단면도이다;

제 2C 도는 제 2A 도의 c-c 선 단면도이다;

제 3A 도는 본 발명의 고전압 노이즈필터의 선재의 단면도이다;

제 3B 도는 종래의 고전압 노이즈필터의 선재의 단면도이다;

제 4 도는 제 3A 도및 3 B 도에 나타낸 선재의 각각의 절연층의 외주면의 전계강도의 분포를 나타낸 그래프이다;

제 5 도는 본 발명의 고전압 노이즈필터와 종래의 고전압 노이즈필터의 내전압특성을 나타낸 그래프이다;

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예의 고전압 노이즈필터의 요부평면도이다;

제 7 도는 제 6 도의 VII-VII 단면도이다;

제 8 도는 본 발명의 고전압 노이즈필터에 있어서의 전기저항과 내전압의 관계를 나타내는 그래프이다;

제 9 도는 본 발명의 고전압 노이즈필터를 갖춘 제 3 실시예의 마그네트론장치의 정면단면도이다;

제 10 도는 종래의 고전압 노이즈필터를 구비한 마그네트론장치의 요부단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 고전압 노이즈필터 1a,1b : 절연층

1c,1d : 단말부 1e,1f : 단말영역

2a,2b : 도전체 3a,3b : 코일부

3c,3d : 단말영역 4a,4b : 쵸크코일

4c,4d : 코어 4e,4f : 단말부

5a,5b : 스템단자 6 : 고주파 전원부

7a,7b : 조임탭 8a,8b : 도전부재

9 : 접지판 10 : 필터케이스

11 : 절연수지 12e,12f : 단말

14 : 도전부재 15 : 고압발생장치

16a,16b : 수지케이스 22 : 스템

23a,23b : 영구자석 24 : 요크

25 : 고전압 노이즈필터 29a,29b : 피복전서

30a,30b : 끝단부 31a,31b : 끝단부

32a,32b : 경계영역 33a,33b : 피복

34a,34b : 도전층 35a,35b : 고내전압층

40,41 : 선재 42 : 폴리이미드필름

[발명의목적]

[발명이속하는기술분야및그분야의종래기술]

본 발명은 고주파장치에 사용되는 고주파 노이즈필터 및 이 고전압노이즈필터를 구비한 마그네트론장치에 관한 것이다.

제 10 도는 종래의 고전압 노이즈필터(1)를 구비한 마그네트론의 요부의 저면도이다. 도면에 있어서, 마그네트론의 스템단자(5a) 및 (5b)로부터 기본파 노이즈 및 고조파노이즈가 누설하는 것을 방지하기 위하여, 스템단자(5a) 및 (5b)에는, 부분적으로 코일형상으로 권회된 도전체(2a) 및 (2b)가 각각 접속되어 있다. 도전체(2a) 및 (2b)는, 스템단자(5a) 및 (5b)에 접속되는 끝단부(30a) 및 (30b)의 부분을 제외하고 전부 절연물에 의하여 피복되어 있다. 쵸크코일(4a) 및 (4b)을 형성하는 코일부에서 도전체(2a) 및 (2b)는 절연층(1a) 및 (1b)에 의하여 피복되어 있다. 도전체(2a) 및 (2b)의 또 한쪽의 코일부(3a,) 및 (3b)에서는, 상기의 절연층(1a) 및 (1b)의 위에 다시 사선으로 도시한 도전층(34a) 및 (34b)을 형성하고 있다. 코일부(3a) 및 (3b)의 끝단부(31a) 및 (31)에서는 도전체(2a) 및 (2b)는 각각 절연층(1a) 및 (1b)만을 가지며, 단말은 고주파 전원부(6)에 접속되는 조임탭(조여붙임단자: 7a 및 7b)에 각각 접속되어 있다. 코일부(3a) 및 (3b)는 통형상의 도전부재(8a) 및 (8b)에 수납되어 있다. 도전층(34a) 및 (34b)은 각각 통형상의 도전성부재(8a) 및 (8b)의 내벽에 접촉하여 전기적으로 접속됨과 함께 통형상의 도전성부재(8a) 및 (8b)의 내부에서 기계적으로 고정되어 있다. 제 10 도는, 코일부(3a) 및 (3b)를 나타내기 위하여 통형상의 도전부재(8a) 및 (8b)가 단면을 나타내고 있다. 통형상의 도전부재(8a) 및 (8b)는 수지케이스(16a) 및 (16b)내에 수납되어 있다. 코일부(3a) 및 (3b)가 수납된 도전부재(8a) 및 (8b), 끝단부(31a) 및 (31b) 및 조임탭(7a) 및 (7b)과 끝단부(31a) 및 (31b)와의 접속부는 수지케이스(16a) 및 (16b)내에서 절연물의 수지(11)에 의하여 몰드되어 있다. 도전부재(8a) 및 (8b)는 접지판(9)을 통하여 필터케이스(10)에 전기적으로 접속되어 있다.

이러한 고전압노이즈 필터에 있어서는, 도전체(2a) 및 (2b)의 외주면에 구성된 절연층(1a) 및 (1b)이 내전압성에 큰 영향을 미친다. 특히, 코일부(3a) 및 (3b)의 단말영역(1e) 및 (1f)에 있어서, 도전층(34a) 및 (34b)의 끝단부 근방의 전계강도가 비정상적으로 높게 되는 경우가 있으며, 그 때문에 이 끝단부 근방에서 절연파괴가 발생하기 쉽다. 절연파괴를 방지하기 위하여는 도전체(2a) 및 (2b)의 절연층(1a) 및 (1b)의 내전압성을 향상시킬 필요가 있다. 그러나, 내전압성의 향상에는 절연층(1a) 및 (1b)의 두께를 극단적으로 두껍게할 필요가 있다. 절연층(1a) 및 (1b)의 두께를 증가하면, 코일부(3a) 및 (3b)가 크게 된다. 그 결과, 고전압 노이즈필터가 대형으로 됨과 함께 코일부(3a) 및 (3b)의 외주면과 도전체(2a) 및 (2b)의 사이의 정전용량의 저하를 초래하고, 노이즈필터로서의 특성을 현저하게 악화시키는 것으로 된다.

[발명이이루고자하는기술적과제]

본 발명은, 절연층(1a) 및 (1b)을 두껍게 하지 않고, 상기의 끝단부 근방의 전계집중을 완화하여, 고전압 노이즈필터의 내전압성의 향상을 도모하는 것을 목적으로 하는 것이다. 본 발명은 다양한 예에 대한 실험후에 실험적인 연구 및 개발을 통하여 이루어진 것이다.

[발명의구성및작용]

본 발명의 고전압 노이즈 필터는, 유도성 요소를 형성하기 위한 코일형상의 도전체와, 상기 도전체의 표면에 용량성 요소를 형성하기 위한 절연층과, 금속재료를 용사 또는 증착에 의하여 상기 절연층의 위의 일부에 형성된 도전층 을 포함하여 구성된다. 용량성 성분은 도전체, 절연층 및 도전층에 의하여 형성된다.

본 발명의 고전압 노이즈필터는, 반도전층 또는 절연부재층을 포함하는 고내전압층을 더욱 포함하여 구성되며, 고내전압층은 상기 도전층의 끝단부 근방의 절연층의 외주면과 상기 도전층의 사이에 형성된다.

이는, 도전층의 끝단부 근방의 전계집중을 완화한다.

결과적으로, 절연층은 신뢰성을 향상하기 위한 그의 내전압특정이 향상된다.

부가적으로, 절연층은 두께가 감소될 수 있으며, 따라서 낮은 비용으로 작은 크기의 고전압 노이즈필터를 제공하게 된다.

본 발명에 따른 고전압 노이즈필터의 다른 실시형태에 있어서는, 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내에 수납하고 있다.

상기 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내에 수납함으로써, 절연층의 외주에 형성한 도전층이 상기 통형상의 도전부재의 내벽에 다수의 접촉부를 형성하여 접촉한다. 그 결과 접지판에 전기적으로 접속된 상기 통형상의 도전부재를 통하여, 접속되는 도전층과 접지판의 사이의 저항이 낮아지고, 도전층의 전위가 저하함과 함께, 도전층의 끝단부 근방의 전계집중이 더욱 완화된다. 따라서 코일형상 도전체의 절연층의 내전압특성이 더욱 향상되고 신뢰성이 더욱 향상된다.

또한, 본 발명의 고전압 노이즈필터의 다른 실시형태에 있어서는, 상술한 반도전층은 전기저항율이 10^-4내지 10⁶Ωm 의 재료에 의하여 형성되어 있다.

고내전압층으로서, 전기저항율이 10^-4내지 10⁶Ωm 인 반도전층을 이용함으로써, 도전층의 끝단부 근방의 전계강도가 저하한다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 고전압 노이즈필터에 있어서는, 상기 절연부재는 폴리이미드수지이다.

고내전압층으로서, 폴리이미드재의 층을 형성함으로써 도전층의 끝단부 근방의 전계강도가 저하한다.

본 발명의 다른 실시형태에 따른 고전압 노이즈필터에 있어서, 상기 절연부재는 실리콘 수지이다.

고내전압층으로서, 실리콘재의 층을 형성함으로써 도전층의 끝단부 근방의 전계강도가 저하한다.

본 발명의 마그네트론장치는, 코일형상의 도전체의 표면에 절연층을 형성하고 또한 상기 절연층의 위의 일부에 도전층을 형성하고, 상기 도전층의 끝단부 근방의 절연층의 외주면과 상기 도전층의 사이에 반도전층 또는 절연부재층의 어느 한쪽으로 이루어지는 고내전압층을 형성한 고전압 노이즈필터를 구비하고 있다.

본 발명의 마그네트론장치는, 코일형상의 도전체의 도전층의 끝단부 근방의 절연층의 외주면과 도전층의 사이에 상기의 고내전압층을 형성한 내전압 특성이 개선된 고전압 노이즈필터를 구비하고 있으므로, 신뢰성이 개선된다.

본 발명에 따른 마그네트론장치는, 절연층 및 도전층을 가지는 상기 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내에 수납한 고전압 노이즈필터를 구비하고 있다.

상기 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내로 수납함으로써, 고전압 노이즈필터의 내전압특성이 다시 개선되고, 이것을 구비한 마그네트론장치의 신뢰성이 더욱 향상된다.

실시예

이하, 본 발명의 각 실시예에 대하여, 제 1 도 내지 제 9 도를 참조하면서 설명한다.

[제 1 실시예]

제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예의 고전압 노이즈필터의 평면도이다. 도면에 있어서, 도전체(2a) 및 (2b)는 선지름이 1내지 2 mm 인 동, 알루미늄 등의 선재로 구성된 유도성 요소이다. 거친 사선부의 도전체(2a) 및 (2b)는 도시하지 않은 마그네트론의 스템단자에 접속하기 위하여 절연피막이 없는 나선으로 되어 있다. 도전체(2a) 및 (2b)는, 두께 30 내지 500 ㎛, 바람직하게는 300 ㎛의 내열성 수지재료, 예를 들어 불소수지로 형성되어 있다. 폴리이미드수지, 실리콘수지 등의 기타의 재료도 사용이 가능하며, 그에 의하여 피복전선(29a) 및 (29b)가 구성되어 있다. 피복전선(29a) 및 (29b)을 감아서 형성된 쵸크코일(4a) 및 (4b)은, 예를 들면 외경이 10 내지 20 mm, 길이 15 내지 25 mm 의 코일형상으로 되어 있으며, 중공부에는 페라이트 등의 코어(4c) 및 (4d)가 각각 형성되어 있다.

쵸크코일(4a) 및 (4b)의 단말부(4e) 및 (4f)를 거쳐서 각각 형성되어 있는 코일부(3a) 및 (3b)는 쵸크코일(4a) 및 (4b)보다 외경이 크다. 코일부(3a) 및 (3b)에서 피복전선(29a) 및 (29b)에는, 상기의 불소수지 등의 내열성수지의 피복의 위에, 다시 도전층(34a) 및 (34b)이 형성되어 있다. 이 도전층(34a) 및 (34b)은 아연, 납, 동, 은플레이트 등의 금속재료의 적어도 한종의 것을 용사 또는 증착하여 형성하고 있다. 제 1 도에 있어서 피복전선(29a) 및 (29b)의 상기 도전층(34a) 및 (34b)을 가지는 부분은 조밀한 사선으로 나타내고 있다.

용량기들은 상술한 도전체(2a) 및 (2b), 피복(33a) 및 (33b), 및 도전층(34a) 및(34b)로 구성된다.

제 2A 도는, 제 1 도의 코일부(3b)만의 측면도이다. 코일부(3a)는, 감는 방향이 코일부(3b)와 반대(대칭형)인 것을 제외하고 형상 및 규격도 코일부(3b)와 같으며, 코일부(3b)를 나타내는 도면에 대한 이하의 상세한 설명은 코일부(3a)에 대해서도 마찬가지로 적용된다. 따라서, 제 2A 도 내지 제 2C 도는 코일부(3b)의 대응하는 참조부호에 수반된 코일부(3a)의 구성부의 참조부호와 같이 부여한다.

제 2A 도의 b-b 선에 따른 경계영역(12a) 및 (12b)의 피복전선(29a) 및 (29b)에 이어지는 단말부(1c) 및 (1d)의 단면을 제 2B 도에 나타낸다. 제 2B 도에 나타낸 바와 같이, 도전체(2a) 및 (2b)의 외주에는 절연층인 피복(33a) 및 (33b)이 형성되고, 절연층은 바람직하게는 불소수지이나, 폴리이미드수지, 실리콘수지등이 마찬가지로 사용가능하다. 피복(33a) 및 (33b)의 외주에 도전층(34a) 및 (34b)이 각각 형성된다.

제 2A 도의 단말영역(1e) 및 (1f)의 c-c 단면을 제 2C 도에 나타내었다. 제 2C 도에 있어서, 도전체(2a) 및 (2b) 둘레의 피복(33a) 및 (33b)의 소정부분(즉, 끝단부분을 제외한 부분)의 외주에 고내전압층(35a) 및 (35b)가 형성되어 있으며, 고내전압층의 소정 부분(즉 끝단부분을 제외한)은 각각 도전층(34a) 및 (34b)이 형성되어 3층의 구조를 형성하고 있다.

제 1 도에 있어서, 교차한 사선으로 나타낸 단말부(1c) 및 (1d)와, 코일부(3a) 및 (3b)의 각각의 단말영역(1e) 및 (1f)을 포함하는 경계영역(12a) 및 (12b)에는, 제 2A, 2B, 및 2C 도에 나타낸 바와 같이, 피복전선(29a) 및 (29b)의 피복(33a) 및 (33b)의 위에, 고내전압층(35a) 및 (35b)이 형성되어 있다.

고내전압층(35a) 및 (35b)은 반도전체층 또는 폴리이미드수지 및 실리콘수지 등의 수지재료로 형성된 절연부재에 의하여 만들어져 있다. 반도전체층은 절연체와 도체의 거의 중간의 전기저항율을 가지는 층으로서, 전기저항율이 10^-4내지 10⁶Ωm 의 것이 적합하다. 반도전체층의 재료의 예로서는, 황철광, 게르마늄, 아산화동, 셀레늄등이 있다. 이들 재료의 분말을 절연체에 혼합하여 필름형상 또는 튜브형상으로 성형한 것을 피복전선(29a) 및 (29b)의 피복(33a) 및 (33b)의 외주에 감아붙이거나 또는 씌움으로써 반도전체층에 의한 고내전압층(35a) 및 (35b)이 형성된다. 또한, 절연부재로서의 폴리이미드수지로서는 폴리이미드 필름을 감는 것이 실용적이다. 실리콘수지로서는 튜브형상의 것을 씌우거나, 페이스트 상태의 것을 도포하는 것이 실용적이다.

코일부(3a) 및 (3b)의 단말부(1c) 및 (1d)에 가까운 가까운 단말영역(1e) 및 (1f)에서는, 상기의 아연, 납 등의 비교적 연한 금 속의 용사에 의한 금속층(34a) 및 (34b)이 고내전압층(35a) 및 (35b)의 위에 형성되어 있다. 따라서, 상기와 같이 피복전선(29a) 및 (29b)의 피복(33a) 및 (33b)의 위에 상기 고내전압층(35a) 및 (35b)을 형성하고, 또한 그 위에 아연, 납 등의 도전층(34a) 및 (34b)을 형성한 구조로 되어 있다. 상기 고내전압층(35a) 및 (35b)은, 코일부(3a) 및 (3b)로부터 조임탭(7a) 및 (7b)에 이르는 경계영역(32a) 및 (32b)에도 형성되어 있다. 따라서 코일부(3a) 및 (3b)의 끝단부의 단말영역(3c) 및 (3d)도 상기의 단말영역(1e) 및 (1f)과 마찬가지로, 피복(33a) 및 (33b), 고내전압층 (35a) 및 (35b)및 도전층(34a) 및 (34b)의 3층의 구조로 되어 있다.

제 1 도에 있어서, 코일부(3a) 및 (3b)의 단말부(3c) 및 (3d)의 도전층 (34a), (34b)은 납 등의 도전부재(14)에 의하여 접지판(9)에 접속되어 있다. 코일부(3a)및 (3c)는 제 1 도의 단면으로 나타낸 수지케이스(16a)내에 수납된다. 코일부(3a) 및 (3b)의 경계부분(32a) 및 (32b)도 마찬가지로 제 1 도내의 단면에 의하여 나타낸 수지케이스(16b)내에 수납된다. 코일부(3a)및(3b)의 단말(12e) 및 (12f)은 케이스(16b)의 외부로 돌출하도록 수지케이스(16b)를 통하여 연장되는 각 조임탭(7a) 및 (7b)에 접속된다. 수지케이스(16a) 및 (16b)내에는 에폭시 수지 등의 절연수지(11)가 충전되고, 코일부(3a) 및 (3b)의 단말부(1c) 및 (1d)로부터 단말(12e) 및 (12f)과 조임탭(7a) 및 (7b)의 접속부까지가 상기의 절연수지(11)에 의하여 몰드되어 있다.

본 발명에 있어서 상기와 같이, 코일부(3a) 및 (3b )의 단말영역(1e) 및 (1f)및 (3c) 및 (3d)를 3층의 구조로 한 이유는, 단말영역(1e) 및 (1f) 및 (3c) 및 (3d)이 가장 전계집중이 일어나기 쉽고, 따라서 절연파괴가 생기기 쉬운 부분이기 때문이다.

그래서 제 3A 도에 나타낸 바와 같이 구성한 3층구조인 본 발명의 선재(40)와, 제 3B 도에 나타낸 종래의 2층구조의 선재(41)를, 각각 직선형상으로 이은 상태로 비교한 결과를 제 4 도에 나타내었다. 선재(40)는, 직경 1.4 mm 인 동의 도전체(2a)의 외주에, 두께 0.3 mm 인 불소수지의 피복(33a)을 형성하고 있다. 피복(33a)의 외주에는, 고내전압층(35a)으로서, 두께 0.2 mm 인 폴리이미드필름(42)을 중심선 P 를 중심으로 하여 길이 20 mm 의 범위로 설정한다. 또한, 중심선 P 로부터 우측의 영역에는 도전층(34a)으로서 두께 0.1 mm 인 납층을 형성한다. 실험에 의하면, 폴리이미드필름(42)의 길이가 20 mm 정도인 경우에 절연층의 내압특성이 형상될 수 있다고 하는 좋은 결과가 얻어졌다.

한편 제 3B 도에 나타낸 종래의 선재(41)는, 고내전압층으로서의 폴리이미드필름(42)을 형성하지 않고, 중심선 P 로부터 오른쪽의 영역에 도전층(34a)을 형성하고 있다. 선재(41)의 그 밖의 사양은 선재(40)와 마찬가지이다.

상기의 제 3A 도 및 3B 도의 선재(40) 및 (41)에 있어서, 도전체(2a)와 도전층(34a) 사이에 3000 V 내지 7000 V의 교류전압을 인가하였다고 가정하고, 유한요소법에 의하여 각 선재(40) 및 (41)의 피복(33a)의 외주면에 있어서의 전계강도를 계산을 구하였다. 그 결과를 제 4 도의 그래프로 나타낸다. 제 4 도에 있어서, 횡축은 중심선 P 를 0 점(중간)으로 하여 선재(40) 및 (41)의 좌우방향의 거리를 나타낸다. 종축은 전계강도의 계산치이다. 제 4 도의 실선으로 나타낸 본 발명의 선재(40)에서는, 중심선 P 의 전계강도가 약 4600 V/m 이다. 그리고 좌우 30 mm 의 위치에서 약 3100 V/m 이다. 이것에 대하여 일점쇄선으로 나타낸 종래의 선재(41)에서는, 중심선 P 의 전계강도가 7000 V/m 이다. 좌우 30 mm 의 위치에서는 약 3200 V/m 로 본 발명의 선재(40)와 큰차이는 없다.

이 그래프로부터 명백한 바와 같이 본 발명의 선재(40)에서는, 전계강도가 가장 높게되는 중심선 P 의 부근에서의 전계강도가 종래의 선재(41)의 전계강도에 비하여 대폭으로 저하하여 전계집중이 완화됨을 알 수 있다.

다음에, 제 1 도에 나타낸 본 실시예의 고전압 노이즈필터에 대하여 이하의 시험을 행하였다. 도전체(2a) 및 (2b), 피복(33a) 및 (33b), 고내전압층(35a) 및 (35b)및 도전층(34a) 및 (34b)의 사양은 상기 제 3A 도에 나타낸 것과 마찬가지였다. 조임탭(7a) 및 (7b)과 접지판(9)의 사이에 고전압 발생장치(15)를 접속하고, 교류인 5kV 내지 18 kV 의 전압을 인가하였다. 고내전압층(35a) 및 (35b)으로서 반도전체층, 폴리이미드필름 및 실리콘튜브를 각각 형성한 10개의 피시험체에 대하여, 피복(33a) 및 (33b)이 절연파괴에 이른 전압을 측정한 각각의 결과를 제 5 도에 나타낸다. 도면에 있어서, 검은 원은 각 피시험체의 절연파괴전압(kV)을 나타낸다. 또한, 검은 원을 잇는 종선에 교차하는 짧은 횡선은 절연파괴전압의 평균전압을 나타낸다. 제 5 도에 나타낸 종래예의 10개의 피시험체에 대하여는, 7 내지 10 kV 에서 전부 절연파괴하고, 그 평균전압은 약 9 kV 였다. 본 실시예의 피시험체에 대하여는, 고내전압층으로서, 반도전체층을 이용한 것의 평균전압이 약 14kV 였다. 폴리이미드필름 및 실리콘튜브를 포함하는 피시험체는 약 16kv 및 14kV 의 평균 절연파괴전압을 나타내었다. 실시예에 따른 고전압 노이즈필터가 절연파괴전압에 있어서 종래의 것에 비하여 약 50% 증가한 것을 알 수 있다. 특히 폴리이미드 필름을 이용한 것은 약 70% 증가하여 내전압특성이 현저하게 개선되었다.

[제 2 실시예]

제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예의 고전압 노이즈필터의 평면도이다. 제 6 도에 있어서, 쵸크코일(4a) 및 (4b)및 코일(3a) 및 (3b)의 구성은 제 1 도에 나타낸 제 1 실시예와 마찬가지이다. 제 1 실시예와 다른 점은, 코일부(3a) 및 (3b)가 각각 통형상의 도전성부재(8a) 및 (8b)내에 수납되어 있는 것이다. 제 7 도는 제 6 도의 VII-VII 단면을 나타낸다. 제 7 도에 나타낸 바와 같이, 코일(3a) 및 (3b)은 도전성부재(8a) 및 (8b)의 내벽에 밀착하도록 삽입되어 있다. 따라서 코일부(3a) 및 (3b)의 외주에 비교적 연질의 금속으로 만들어진 도전층(34a) 및 (34b)는 각각 도전성부재(8a) 및 (8b)의 내벽에 그 연질성 때문에 잘 접촉하여 전기적으로 접속되어 있다. 제 1 도에 있어서, 코일부(3a) 및 (3b)의 도전층(34a) 및 (34b)은 단말영역(3c) 및 (3d)에서 상기의 도전성부재(8a) 및 (8b)와 함께 납 등의 도전성부재(14)에 의하여 접지판(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 제 6 도 및 제 7 도에 나타낸 바와 같이, 코일부(3a) 및 (3b)가 삽입된 통형상의 도전성부재(8a) 및 (8b)는 수지케이스(16a) 및 (16b)내에 수납되고, 제 1 실시예의 경우와 마찬가지로 절연수지(11)에 의하여 몰드되어 있다.

제 2 실시예의 고전압 노이즈필터에 대하여, 제 1 실시예의 것과 마찬가지로, 조임탭(7a) 및 (7b)과 접지판(9)의 사이에 고전압 발생장치(15)에 의하여 교류의 고전압을 인가하고, 피복전선(29a) 및 (29b)의 피복(33a) 및 (33b)의 절연파괴 전압을 측정하였다. 그 결과를 제 8 도의 그래프로 나타내었다. 도면에 있어서 횡축은, 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 접지판(9)과 코일부(3a) 및 (3b)의 단말영역(1e) 및 (1f)의 사이에 전기저항계(26)를 접속하여 측정한 전기저항치이다. 이 전기저항치는, 제 1 실시예의 것에서는, 0.15Ω 내지 0.2Ω 에 대하여, 제 2 실시예의 것에서는 그것보다 훨씬 낮은 0.05Ω 내지 0.1Ω 였다. 그 이유는, 코일부(3a) 및 (3b)의 도전층(34a) 및 (34b)이 통형상의 도전부재(8a) 및 (8b)의 내벽에 복수의 접촉부에서 접촉하고 있기 때문이다. 종축은 고압발생장치(15)의 전압치이다. 측정의 결과, 제 1 실시예의 것이 11 내지 16 kV 에서 절연파괴됨에 대하여, 제 2 실시예의 것은, 17 내지 22 kV 에서 절연파괴되어, 제 1 실시예의 것에 비하여 내전압특성이 대폭으로 개선된 것을 나타내고 있다. 내전압특성은, 전기저항치가 적을수록 개선되는 것이 판명되었다. 이 이유는 다음과 같은 것이다. 연질의 금속으로 만들어진 도전층(34a) 및 (34b)이 도전부재(8a) 및 (8b)의 내벽에 다수의 접촉부에서 접촉하여 전기저항치가 감소할수록, 도전층(34a) 및 (34b)의 전위가 저하한다. 그 결과, 전계집중이 생기기 쉬운 단말영역(1e) 및 (1f) 및 (3c) 및 (3d)의 전위도 저하하므로 전계집중이 완화되어 내전압특성이 개선되는 것이다.

[제 3 실시예]

제 9 도는 제 1 실시예의 고전압 노이즈필터(25)를 형성한 마그네트론장치의 단면도이다. 도면에 있어서, 본 실시예의 마그네트론장치에서는, 마그네트론(13)은 트릴륨 텅스텐의 나선상태의 음극(17), 동으로 형성된 원통형상의 양극(18), 철 등의 자성재료로 이루어지는 한쌍의 자극편(19a) 및 (19b), 세라믹의 지지체(20), 고주파방출용의 안테나(21) 및 스템단자(5a) 및 (5b)를 가지는 스템(22)을 구비하고 있다. 또한 마그네트론부(13)에 외부로부터 자계를 부여하는 영구자석(23a) 및 (23b)과 요크(24)를 가지는 외부자기회로부를 구비하고 있다. 요크(24)에는 도전성부재로 만든 필터케이스(10)가 부착되어 있다. 필터케이스(10)내에는 상기 제 1 실시예의 고전압 노이즈필터(25)가 수납되어 있다. 고전압 노이즈필터(25)의 도전체(2a) 및 (2b)는 각각 스템단자(5a) 및 (5b)에 접속되어 있다. 제 9 도는 단면도이므로, 도면에 수직인 방향에 배열되어 있는 각각 2개의 쵸크코일(4a) 및 (4b)및 코일부(3a) 및 (3b) 중의 한쪽만이 도시되어 있다. 제 1 실시예의 고전압 노이즈필터의 대신에 제 2 실시예의 고전압 노이즈필터를 이용하여도 좋다. 본 실시예의 마그네트론장치에서는, 내전압특성이 우수한 제 1 또는 제 2 실시예의 고전압 노이즈필터를 채용함으로써 내전압특성이 우수한 긴 수명의 마그네트론장치를 얻을 수 있다.

비록 본 발명은 현재의 바람직한 실시예의 관점에서 기술되었으나, 그러한 기재가 한정적인 것으로 해석되어서는 않될 것이다. 당업자에게 있어서는, 상술한 기재사항을 일독한 후에는, 다양한 변경 및 변형이 명백함을 알 수 있다.

따라서, 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지 및 범위내에 속하는 모든 변형 및 변경을 포함하는 것으로서 해석되어야 함을 의도한 것이다.

Claims (7)

1. 임피던스의 유도성 성분을 생성하는 코일형상의 도전체와;

   상기 도전체의 표면에 형성된 임피던스의 용량성 성분을 생성하는 절연층과;

   상기 절연층의 일부에 형성된 도전층 및,

   상기 도전층의 끝단부 근방에 형성되어, 그의 일부가 상기 절연층의 외주면과 상기 도전층의 사이에 놓여지는 반도전체(半導電體) 또는 절연부재의 고내전압(高耐電壓)층을 가지는 고전압 노이즈필터.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 절연층 및 도전층을 가지는 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내에 수납하여 고정한 것을 특징으로 하는 고전압 노이즈필터
3. 제 1 항에 있어서, 상기 반도전체가 전기저항율이 10^-4내지 10⁶Ωm 인 것을 특징으로 하는 고전압 노이즈필터.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 절연부재가 폴리이미드수지인 것을 특징으로 하는 고전압 노이즈필터.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 절연부재가 실리콘수지인 것을 특징으로 하는 고전압 노이즈필터.
6. 임피던스의 유도성 성분을 생성하는 코일형상의 도전체와, 상기 도전체의 표면에 형성된 임피던스의 용량성 성분을 생성하는 절연층과, 상기 절연층의 일부에 형성된 도전층 및, 상기 도전층의 끝단부 근방에 형성되어, 그의 일부가 상기 절연층의 외주면과 상기 도전층의 사이에 놓여지는 반도전체 또는 절연부재의 고내전압(高耐電壓)층을 가지는 고전압 노이즈필터를 구비한 마그네트론 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 절연층 및 도전층을 가지는 코일형상의 도전체를 통형상의 도전부재내에 수납한 고전압 노이즈필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 마그네트론장치.

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