KR100240559B1 - 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템에 관한 것으로서, 특히 오븐 장치와 웨이퍼 트랜스퍼를 일체화하고 웨이퍼 트랜스퍼에서 오븐 장치까지 웨이퍼의 이송 작업을 자동화로 처리하는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템에 관한 것으로, 노이즈 필터와, DC 입력으로 구성되는 전원 공급부와; 웨이퍼 트랜스퍼 부품의 승강·이송·정렬·파지를 감지하는 작동 감지부와; 키 스위치와, PLC로 구성되는 제어부와; 펄스 제네레이터와, 상기 펄스 제네레이터와 동등한 역활을 하는 오븐 장치 입력, 키 램프, 부져, 액정 디스플레이로 구성되는 펄스 발생부와; 모터 드라이버로 구성되는 모터 드라이버부와; 홀더 이송 모터, 푸셔 승강 모터, 홀더 모터, 테이블 모터, 얼라이너 승강 모터, 얼라이너 롤러 모터, 홀터 승강 모터로 구성되는 모터부로; 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템을 제공하여, 접촉에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하고 번잡한 공정을 단순화하여 고품질의 제품을 생산할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있는 유용한 발명인 것이다.

Description

웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템
본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템에 관한 것으로서, 특히 오븐 장치와 웨이퍼 트랜스퍼를 일체화하고 타접촉을 방지할 수 있고 웨이퍼 트랜스퍼에서 오븐 장치까지 웨이퍼의 이송 작업을 자동화로 처리하여 이송 작업과 함께 웨이퍼의 플랫존 정렬을 동시에 처리하는 웨이퍼 트랜스퍼를 작동할 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼 트랜스퍼는 반도체 장치의 집적도가 증가하고 또한 웨이퍼 사이즈가 증가함에 따라 공정을 진행하는 도중에 파티클(Particle)에 대한 제어가 중요한 과제로 대두되고 있는 실정이다.
종래에는 카세트에 수납된 웨이퍼의 플랫존(flat zone)을 정렬시키고 이를 오븐 장치의 챔버 내부에 투입하기 위해 350℃ 고온에서 견디는 석영 캐리어에 이송한 다음 수작업으로 오븐 장치의 챔버내에 웨이퍼가 수납된 석영 캐리어를 투입하고 챔버내에서 건조 및 이물질 제거 작업을 마친 후, 다시 석영 캐리어를 챔버내에서 인출하여 원래의 카세트로 다시 이송하여 수납하였고, 이러한 작업은 수작업으로 행하였다.
그러나, 상기한 바와 같은 수작업을 통한 번거로움과 이송 공정을 거치면서 웨이퍼에 스크래치가 발생하고 더욱이 생산성의 효율이 떨어지는 문제점이 있어 첨부한 도면 제1도 및 제3도에 나타나 있는 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치를 개발하게 되었다.
제1도는 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치의 사시도이고, 제2도는 제1도의 웨이퍼 트랜스퍼 정단면도이며, 제3도는 제2도의 측면도이다.
카세트(C)에 수납된 웨이퍼(W)의 플랫존을 얼라이너(A)에 의해 정렬한 다음 상기 웨이퍼(W)를 카세트(C)의 하단에서 상측으로 퓨셔(2)에 의해 상승시키고 홀더가 장착된 헤드(H)가 웨이퍼(W)를 파지한 후, 이를 테이블(4)을 따라 타측에 위치한 석영 캐리어(6a,6b)상부에 이송하고 상기 헤드(H)를 하강한 후 웨이퍼(W)를 개방하여 상기 석영 캐리어(6a,6b)에 웨이퍼(W)를 수납하는 웨이퍼 트랜스퍼(10)와; 상기 석영 캐리어(6a,6b)를 파지하여 암(12)에 의해 상부에 위치한 챔버(14a,14b)내에 투입하여 건조한 후 다시 빼어내어 석영 캐리어(6a,6b)에 수납하는 오븐 장치(20)를; 일체화하여 자동화하는 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치가 개발되었다.
미설명 부호 B는 이송부이다.
본 발명은 상술한 웨이퍼 트랜스퍼와 오븐 장치가 결합된 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치중에서 웨이퍼 트랜스퍼를 자동화하여 오븐 장치에 까지 이송할 수 있게 안출된 것으로서, 접촉에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하고 번잡한 공정을 단순화하여 고품질의 제품을 생산할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼에 공급되는 전류의 노이즈를 제거하는 노이즈 필터와, 상기 노이즈 필터를 통과한 전류를 DC로 전환하여 공급하는 DC 입력으로 구성되는 전원 공급부와; 웨이퍼 트랜스퍼 장치의 승강·이송·정렬·파지를 감지하는 작동 감지부와; 키 스위치와 키 스위치의 조작 및 상기 작동 감지부의 시그널에 의해 웨이퍼 트랜스퍼의 작동을 제어하는 PLC로 구성되는 제어부와; 상기 제어부에 의해 펄스를 발생하는 펄스 제네레이터와 상기 펄스 제네레이터와 동등한 역활을 하는 오븐 장치 입력, 키, 램프, 부져, 액정 디스플레이로 구성되는 펄스 발생부와; 스테핑 모터를 동작시키는 모터 드라이버로 구성되는 모터 드라이버부와; 상기 모터 드라이버부에 의해 동작되는 홀더 이송 모터, 푸셔 승강 모터, 홀더 모터, 테이블 모터, 얼라이너 승강 모터, 얼라이너 롤러 모터, 홀터 승강 모터로 구성되는 모터부로 : 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템을 제공하고자 한다.
제1도는 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치의 사시도.
제2도는 제1도의 웨이퍼 트랜스퍼 정단면도.
제3도는 제2도의 측면도.
제4도는 본 발명에 따른 시스템 계통도.
제5도는 제4도의 플로우 챠트.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
A : 얼라이너 C : 카세트
H : 헤드 W : 웨이퍼
2 : 퓨셔 4 : 테이블
6a, 6b : 석영 캐리어 10 : 웨이퍼 트랜스퍼
12 : 암 14a, 14b : 챔버
20 : 오븐 장치 110 : 전원 공급부
120 : 제어부 130 : 작동 감지부
140 : 펄스 발생부 150 : 모터 드라이버부
160 : 모터부
이하 본 발명을 첨부된 도면 제4도 내지 제5도를 참고로 하되 첨부된 도면 제1도 내지 제3도를 보충 도면으로 하여 설명하면 다음과 같다.
제4도는 본 발명에 따른 시스템 계통도이고, 제5도는 제4도의 플로우 차트이다.
먼저 본 발명의 기본적인 구성을 살펴보면, 웨이퍼 트랜스퍼(10)에 공급되는 전류의 노이즈를 제거하는 노이즈 필터(111)와, 상기 노이즈 필터(111)를 통과한 전류를 DC로 전환하여 공급하는 DC 입력(112)으로 구성되는 전원 공급부(110)와; 웨이퍼 트랜스퍼(10) 장치의 승강·이송·정렬·파지를 감지하는 작동 감지부(130)와; 키 스위치(121)와, 키 스위치(121)의 조작 및 상기 작동 감지부(130)의 시그널에 의해 웨이퍼 트랜스퍼(10)의 작동을 제어하는 PLC(122)로 구성되는 제어부(120)와; 상기 제어부(120)에 의해 펄스를 발생하는 제네레이터(141,142,143)와, 상기 펄스 제네레이터(141,142,143)와 동등한 역활을 하는 오븐 장치 입력(144), 키 램프(145), 부져(146), 액정 디스플레이(147)로 구성되는 펄스 발생부(140)와; 스테핑 모터를 동작시키는 모터 드라이버(151∼157)로 구성되는 모터 드라이버부(150)와; 상기 모터 드라이버부(150)에 의해 동작되는 홀더 이송 모터(161), 푸셔 승강 모터(162), 홀더 모터(163), 테이블 모터(164), 얼라이너 승강 모터(165), 얼라이너 롤러 모터(166), 홀터 승강 모터(167)로 구성되는 모터부(160)로 : 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 작동 감지부(120)는 퓨셔부 센서(121), 홀더 센서(122), 이송부 센서(123), 테이블부(124), 얼라이너부(125), 홀더 승강부(126), 오븐 장치 PLC 출력(127)로 구성된다.
여기에서 테이블부(124)는 석영 캐리어(6a,6b)가 좌우로 이송하는 단이며, 오븐 장치 PLC 출력(127)은 오븐 장치(20)와 웨이퍼 트랜스퍼(10)와의 상호 인터페이스이다.
상기 펄스 발생부(140)를 구성하는 오븐 장치 입력(144), 키 램프(145), 부져(146), 액정 디스플레이(147)가 펄스 제네레이터(141,142,143)와 동등한 역활을 한다는 것은 예를 들어 얼라이너(A)가 상승하거나 하강하지 아니하면 키 램프(145)에서 발광하던 빛이 꺼지게 되며 상기 키 램프(145)에 연결된 모터 드라이버(155)가 얼라이너 승강 모터(165)를 동작시켜 얼라이너(A)를 상승시키거나 하강시킨 다는 것을 뜻한다.
상술한 구성으로 이루어진 작동 시스템의 작용 및 효과를 살펴보면 다음과 같다.
먼저 웨이퍼(W)가 수납된 카세트(C)를 웨이퍼 트랜스퍼(10)의 얼라이너(A)에 안착시킨다.
얼라이너(A)에 감지된 웨이퍼(W)가 수납된 카세트(C)는 고정된 상태로 상기 웨이퍼(W)의 플랫존을 상측으로 일정하게 정렬한 다음 헤드(H)가 본래의 위치인 홈 상태에서 하강하고 푸셔(2)가 웨이퍼(W)를 수납하면서 헤드(H)가 위치한 부위까지 상승한다.
상기 헤드(H)의 홀더에 의해 웨이퍼(W)는 파지되고 얼라이너(A)의 퓨셔(2)는 하방으로 다시 복원하며, 상기 헤드(H)는 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 상승한 후 타단에 위치한 석영 캐리(6a,6b)상부로 즉 우로 이송한다.
한편 상기 얼라이너(A)는 상기 헤드(H)가 타측의 석영 캐리어(6a,6b)로 이송할 때 함께 이송한다.
석영 캐리어(6a,6b) 상부로 이송된 헤드(H)는 상기 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 하강하고 퓨셔(2)는 헤드(H)가 위치한 부위까지 상승한다.
헤드(H)의 홀더에 파지되었던 웨이퍼(W)는 홀더가 개방됨에 따라 퓨셔(2) 상부에 위치된 슬롯에 수납하게 되고 웨이퍼(W)를 수납한 상태로 퓨셔(2)는 하강하여 석영 캐리어(6a,6b)에 웨이퍼(W)가 수납된다.
헤드(H)가 상승한 후 좌로 이송하여 홈 상태에 있게 되면 오븐 로딩 시그널이 웨이퍼 트랜스퍼(10)에서 오븐 장치(20)로 전송되어 이후부터는 오븐 장치(20)의 작동 시스템에 의해 작동된다.
이를 간략하게 설명하면 오븐 장치(20)의 암(12)에 의해 웨이퍼(W)가 수납된 석영 캐리어(6a,6b)가 상부 챔버(14a)나 하부 챔버(14b)에 선택적으로 투입되고 챔버(14a,14b)내에서 고온으로 건조된 후, 다시 암(12)에 의해 석영 캐리어(6a,6b)가 테이블(4)에 안착된다.
오븐 언로딩 시그널이 오븐 장치(20)에서 웨이퍼 트랜스터(10)에 전송되면 홈 상태에 있던 헤드(H)가 우로 이송된 후 하강하고 웨이퍼(W)가 수납된 석영 캐리어는 고정된 상태에서 퓨셔(2)가 상승하여 웨이퍼(W)를 수납하고 계속 상승하여 퓨셔(2)는 헤드(H)가 위치한 부위까지 상승한다.
헤드(H)의 홀더가 퓨셔(2)의 상부에 있던 웨이퍼(W)를 파지하고 퓨셔(2)는 다시 하강하며 웨이퍼(W)를 파지한 헤드(H)는 상승하여 카세트(C) 상측으로 즉 좌로 이송한다.
이때 상기 얼라이너(A)는 상기 헤드(H)가 타측의 카세트(C)로 이송할 때 함께 이송한다.
다시 헤드(H)는 하강하고 퓨셔(2)는 상승한 상태에서 헤드의 홀더가 개방되여 웨이퍼는 퓨셔 슬롯에 수납하게 되고 퓨셔(2)가 하강하면 웨이퍼(W)가 원래의 위치인 카세트(C)에 수납되는 것이고 헤드(H)는 상승하여 홈 상태에 위치하여 작동이 완료되는 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼와 오븐 장치와 결합된 웨이퍼 트랜스퍼 오븐 장치중에서 웨이퍼 트랜스퍼를 자동화하여 오븐 장치에까지 이송할 수 있게 안출된 것으로서, 접촉에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하고 번잡한 공정을 단순화하여 고품질의 제품을 생산할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있는 유용한 발명인 것이다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼 트랜스퍼(10)에 공급되는 전류의 노이즈를 제거하는 노이즈 필터(111)와, 상기 노이즈 필터(111)를 통과한 전류를 DC로 전환하여 공급하는 DC 입력(112)으로 구성되는 전원 공급부(110)와; 웨이퍼 트랜스퍼(10) 장치의 승강·이송·정렬·파지를 감지하는 작동 감지부(130)와; 키 스위치(121)와, 키 스위치(121)의 조작 및 상기 작동 감지부(130)의 시그널에 의해 웨이퍼 트랜스퍼(10)의 작동을 제어하는 PLC(122)로 구성되는 제어부(120)와; 상기 제어부(120)에 의해 펄스를 발생하는 펄스 제네레이터(141,142,143)와, 상기 펄스 제네레이터(141,142,143)와 동등한 역할을 하는 오븐 장치 입력(144), 키 램프(145), 부져(146), 액정 디스플레이(147)로 구성되는 펄스 발생부(140)와; 스테핑 모터를 동작시키는 모터 드라이버(151∼157)로 구성되는 모터 드라이버부(150)와; 상기 모터 드라이버부(150)에 의해 동작되는 홀더 이송 모터(161), 푸셔 승강 모터(162), 홀더 모터(163), 테이블 모터(164), 얼라이너 승강 모터(165), 얼라이너 롤러 모터(166), 홀터 승강 모터(167)로 구성되는 모터부(160)로; 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 작동 감지부(130)는 퓨셔부 센서(121), 홀더 센서(122), 이송부 센서(123), 테이블부(124), 얼라이너부(125), 홀더 승강부(126), 오븐 장치 PLC 출력(127)로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 작동 시스템.
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