KR100237304B1 - 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치 검출방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 불량의 크기에 관계없이 상태를 검사할 수 있으며, 불량 위치의 검출을 용이하게 할 수 있는 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치를 검출하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 기준 모델 화상과 검사 대상 화상을 수평 수직 각 라인별로 코릴레이션 연산하여 서로 비교하고, 기준 모델 화상에 비해 연산 값이 낮은 검사 대상 화상의 라인 시작점과 끝점을 저장한 후, 저장된 지점을 연결 했을 때, 중복되는 영역이 있으면 불량 판정을 하며, 그 중복되는 영역을 불량의 위치로 판별하도록 함으로써 기존의 작은 영역 사이에 걸쳐 있는 불량의 경우나 작은 불량의 경우에도 정확한 불량 판정 및 불량의 위치를 검출할 수 있게 된다.

Description

화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치 검출 방법

본 발명은 화상을 비교하여 불량 여부 및 불량 위치를 검사하는 방법에 관한 것으로서, 특히 불량의 크기에 관계없이 상태를 검사할 수 있으며, 불량 위치의 검출을 용이하게 할 수 있는 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치를 검출하는 방법에 관한 것이다.

종래의 반도체 IC 마크 등에서 인쇄 상태를 검출하는 방법으로는 기준이 되는 모델을 등록하고, 그 모델 전체의 데이터와 검사하고자 하는 화상 데이터 전체의 데이터를 코릴레이션 연산을 하여 그 값에 따라 양/불을 판정하였다. 또한 불량 위치를 판별하기 위해서는 검사 영역을 작은 영역으로 세분화 하여 각각의 영역에서 코릴레이션 연산값을 가지고 기준 이하의 영역을 불량 위치로 판별한다.

이와 같은 종래 기술의 문제점을 살펴보면, 도 1과 같이 작은 영역(SEGMENT) 사이에 걸쳐 있는 불량의 경우 불량의 영역이 분할되므로 각각의 작은 영역에서는 검사가 안되는 경우가 발생한다. 또한 도 2와 같이 작은 영역(SEGMENT)DM 크기가 작은 불량의 경우 작은 영역의 크기를 증가하면 불량이 양품이 되는 결과 만들어지게 된다. 만일 이 때 불량의 결과를 얻으려면 판정기준(코릴레이션 연산값)을 조정해주어야 한다. 그리고 작은 영역의 크기가 너무 작을 경우에는 도 3과 같이 코릴레이션 수치 변화가 너무 민감하여 양/불 판정의 기준을 설정하기가 곤란하게 된다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 불량의 크기에 관계없이 상태를 검사할 수 있으며, 불량 위치의 검출을 용이하게 할 수 있는 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치 검출 방법을 제공하는 데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 화상 비교 검사시 양/불 판정 방법은 기준이 되는 모델 화상과 검사 대상의 입력화상을 수평 수직 라인별로 코릴레이션 연산하는 단계; 상기 코릴레이션 연산 단계에서 연산된 기준 모델 화상과 검사 대상 화상의 각 연산 값을 라인별로 서로 비교하는 단계; 상기 비교 단계에서 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝지점을 저장하는 단계; 및 상기 저장 단계에서 저장된 지점을 연결하여 중복되는 영역이 있는 경우에 불량으로 판단하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 불량 위치 검출 방법은 기준이 되는 모델 화상과 검사 대상의 입력화상을 수평 수직 라인별로 코릴레이션 연산하는 단계; 상기 코릴레이션 연산 단계에서 연산된 기준 모델 화상과 검사 대상 화상의 각 연산 값을 라인별로 서로 비교하는 단계; 상기 비교 단계에서 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝지점을 저장하는 단계; 및 상기 저장 단계에서 저장된 지점을 연결하여 중복되는 영역을 불량의 위치로 검출하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.

도 1 은 인쇄 상태의 불량이 영역 사이에 걸쳐 있는 경우를 나타낸 도면.

도 2 는 인쇄 상태의 불량이 매우 작은 경우를 나타낸 도면.

도 3 은 본 발명에 따른 인쇄 상태 양/불 판정 방법을 설명하기 위한 순서도.

도 4 는 본 발명에 따른 인쇄 상태 불량 위치 검출 방법을 설명하기 위한 순서도.

도 5 는 본 발명에 따른 라인별로 코릴레이션 연산하는 과정을 나타낸 도면.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 인쇄 상태 양/불 판정 방법을 설명하기 위한 순서도로서, 먼저 도 5에서 보이는 것처럼 수평 수직 각 라인별로 기준 모델 화상과 검사 대상 화상을 코릴레이션 연산(S1) 하도록 하고, 다음으로 연산된 각 화상을 각 라인별로 비교(S2)한다. 비교 결과 기준 모델 화상의 각 수평 수직 라인 연산 값보다 검사 대상 화상의 각 수평 수직 라인 연산값이 낮은 라인이 있는가를 체크(S3)하여 연산 값이 일정 이상 동일하면 양호 판정(S7)을 하도록 하고, 연산 값이 낮은 라인이 있는 경우에는 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산 값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝점을 저장(S4)하도록 한다. 그리고 검사 대상 화상의 저장된 라인의 시작점 및 끝점을 연결 하였을 때 중복되는 영역이 있는가를 판단(S5)하여 중복되는 영역이 없는 경우에는 양호 판정(S7)을 하도록 하고, 중복되는 영역이 있는 경우에는 인쇄 상태 불량 판정(S6)을 하도록 한다.

또한 도 4는 본 발명에 따른 인쇄 상태 불량 위치 검출 방법을 설명하기 위한 순서도로서, 마찬가지로 도 5에서 보이는 것처럼 수평 수직 각 라인별로 기준 모델 화상과 검사 대상 화상을 코릴레이션 연산(S11) 하도록 하고, 다음으로 연산된 각 화상을 각 라인별로 비교(S12)한다. 그리고 비교 결과 기준 모델 화상의 각 수평 수직 라인 연산 값보다 검사 대상 화상의 각 수평 수직 라인 연산값이 낮은 라인이 있는가를 체크(S12)하여 연산 값이 일정 이상 동일하면 양호 판정(S17)을 하도록 하고, 연산 값이 낮은 라인이 있는 경우에는 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산 값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝점을 저장(S14)하도록 한다. 그리고 검사 대상 화상의 저장된 라인의 시작점 및 끝점을 연결 하였을 때 중복되는 영역이 있는가를 판단(S15)하여 중복되는 영역이 없는 경우에는 양호 판정(S17)을 하도록 하고, 중복되는 영역이 있는 경우에는 중복되는 영역을 인쇄 상태 불량의 위치로 검출(S16)하도록 한다.

이와 같이 본 발명은 기준 모델 화상과 검사 대상 화상을 수평 수직 각 라인별로 코릴레이션 연산하여 서로 비교하고, 기준 모델 화상에 비해 연산 값이 낮은 검사 대상 화상의 라인 시작점과 끝점을 저장한 후, 저장된 지점을 연결 했을 때, 중복되는 영역이 있으면 불량 판정을 하며, 그 중복되는 영역을 불량의 위치로 판별하도록 함으로써 기존의 작은 영역 사이에 걸쳐 있는 불량의 경우나 작은 불량의 경우에도 정확한 불량 판정 및 불량의 위치를 검출할 수 있게 된다.

이처럼 각 수평 수직 라인별로 코릴레이션 연산을 하고 각 라인별로 기준 모델과 검사 대상의 비교를 하는 방식은 기존의 화상처리를 이용한 검사의 대부분이 기준 모델과의 비교를 행하여 얼마나 화상의 차이가 나는지를 비교하는 방식이므로 종래의 기술보다 더 명확한 차이점을 나타낼 수 있게 되는 것이다.

따라서 본 발명은 기준 모델과의 차이를 비교하는 많은 종류의 상태 검사에 광범위하게 적용될 수 있다.

본 발명은 상기와 같이 기준 모델 화상과 검사 대상 모델의 화상을 비교함에 있어서, 보다 세분되게 비교를 할 수 있으므로 양/불 판정을 명확하게 할 수 있으며, 불량 위치의 검출을 손쉽게 파악할 수 있게 된다.

Claims (2)

1. 기준이 되는 모델 화상과 검사 대상의 입력화상을 수평 수직 라인별로 코릴레이션 연산하는 단계; 상기 코릴레이션 연산 단계에서 연산된 기준 모델 화상과 검사 대상 화상의 각 연산 값을 라인별로 서로 비교하는 단계; 상기 비교 단계에서 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝지점을 저장하는 단계; 및 상기 저장 단계에서 저장된 지점을 연결하여 중복되는 영역이 있는 경우에 불량으로 판단하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법.
2. 기준이 되는 모델 화상과 검사 대상의 입력화상을 수평 수직 라인별로 코릴레이션 연산하는 단계; 상기 코릴레이션 연산 단계에서 연산된 기준 모델 화상과 검사 대상 화상의 각 연산 값을 라인별로 서로 비교하는 단계; 상기 비교 단계에서 기준 모델 화상의 연산 값보다 낮은 연산값을 갖는 검사 대상 화상의 수평 수직 라인의 시작점 및 끝지점을 저장하는 단계; 및 상기 저장 단계에서 저장된 지점을 연결하여 중복되는 영역을 불량의 위치로 검출하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 화상 비교 검사시의 불량 위치 검출 방법.

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