KR100236671B1 - 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈 - Google Patents

인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR100236671B1
KR100236671B1 KR1019970046367A KR19970046367A KR100236671B1 KR 100236671 B1 KR100236671 B1 KR 100236671B1 KR 1019970046367 A KR1019970046367 A KR 1019970046367A KR 19970046367 A KR19970046367 A KR 19970046367A KR 100236671 B1 KR100236671 B1 KR 100236671B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
circuit board
semiconductor chip
package
printed circuit
chip
Prior art date
Application number
KR1019970046367A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19990024962A (ko
Inventor
백중현
조장호
정일규
이태구
Original Assignee
윤종용
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019970046367A priority Critical patent/KR100236671B1/ko
Priority to TW087102341A priority patent/TW391043B/zh
Priority to JP10138121A priority patent/JPH1187574A/ja
Priority to US09/144,510 priority patent/US6326686B1/en
Publication of KR19990024962A publication Critical patent/KR19990024962A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100236671B1 publication Critical patent/KR100236671B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/10Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers
    • H01L25/105Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1017All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support
    • H01L2225/1023All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support the support being an insulating substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1017All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support
    • H01L2225/1035All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support the device being entirely enclosed by the support, e.g. high-density interconnect [HDI]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1047Details of electrical connections between containers
    • H01L2225/107Indirect electrical connections, e.g. via an interposer, a flexible substrate, using TAB
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/1011All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
    • H01L2225/1094Thermal management, e.g. cooling

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩 패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈에 관한 것이다. 종래의 수직실장형 패키지에 있어서 칩에서 발생되는 열이 봉지수지 또는 인쇄회로기판을 거쳐 방출되기 때문에 열 방출 효과가 미흡했으며, 본 발명은 이를 해결하기 위하여 칩을 직접 금속 방열판에 부착시키거나, 여러 금속층을 포함하는 인쇄회로기판을 사용하여 그 금속층에 금속 방열판이 접촉하도록 함으로써, 보다 우수한 열 방출 효과를 거둘 수 있는 수직실장형 패키지를 제공한다. 또한, 이러한 수직실장형 패키지들을 회로기판에 수직으로 실장하여 각각의 방열판에 방열 장치를 부착함으로써 열 방출 효과를 배가시키는 모듈을 제공하기도 한다. 이와 같이 열 방출 효과를 향상시킴으로써 차세대 메모리 소자로 부상하고 있는 램버스 디램(Rambus DRAM)의 패키지, 특히 64M급 이상의 램버스 디램 패키지에 있어서의 열 방출 문제를 해결할 수 있다.

Description

인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩 패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈
본 발명은 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩 패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 칩을 직접 금속 방열판에 부착시키거나 여러 금속층을 포함하는 인쇄회로기판을 사용함으로써 보다 우수한 열 방출 효과를 얻기 위한 수직실장형 반도체 칩 패키지 및 그 패키지들을 모듈화하고 방열 장치를 부착하여 열 방출 효과를 배가시킨 패키지 모듈에 관한 것이다.
전자기기에 있어서 데이터의 전송 속도 및 처리 속도의 증가로 인하여 전력 소비가 점점 더 커짐에 따라, 패키지(package)의 열 방출량이 증가하여 전자기기의 신뢰성이 저하되거나 수명 시간이 줄어들게 된다. 알려진 바에 의하면, 예를 들어 접합 온도가 10℃ 상승할 경우 소자의 동작 수명 시간은 반으로 줄어든다. 따라서, 고전력 패키지에 있어서의 열 방출 문제는 점점 더 중요한 문제가 되고 있다. 특히, 논리 칩(logic chip), 파워 트랜지스터(power transistor) 등의 비메모리 분야 뿐만 아니라, 데이터의 빠른 전송 속도를 필요로 하는 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등의 메모리 분야에서도 열적인 문제가 대두되고 있는 추세이다.
특히, 일반 디램(DRAM)의 경우, 메모리 칩의 정보처리 속도가 중앙처리장치(CPU)의 정보처리 속도를 따라가지 못해 데이터 병목 현상이 발생한다. 중앙처리장치가 연산하는 동안 명령어와 데이터를 일시 저장하는 디램(DRAM)에 있어서, 저장용량 자체는 현재 64M급의 제품이 생산되는 등 엄청나게 커졌지만, 데이터를 주고 받는 속도는 고성능화 추세에 있는 중앙처리장치에 비해 크게 뒤떨어진다.
그런데 최근에 기존 디램(DRAM)의 데이터 병목 현상을 제거하여 데이터 전송 속도의 향상을 꾀한 새로운 메모리 소자인 램버스 디램(Rambus DRAM)이 개발되어 소개되고 있다. 이 소자는 미국의 반도체 회사인 램버스사(Rambus Inc.)가 처음 개발한 소자로서, 초고속 정보처리로 시스템의 고성능화, 고속화를 실현할 수 있으며, 동영상 및 3차원 그래픽 처리가 가능한 차세대 메모리이다.
복잡한 신호 전송망을 병렬로 배치하여 단순화하는 이른바 '버스(bus)' 방식을 채택한 것으로 알려지고 있는 램버스 디램(Rambus DRAM)은, 그 특성상 칩의 입/출력 패드(I/O pad)가 칩 면의 한쪽 방향에 치우쳐 설계되기 때문에, 그에 대응되는 패키지의 리드(lead) 또는 핀(pin)도 한쪽 방향으로만 나와 있어야 한다. 이 램버스 디램(Rambus DRAM)의 패키지 형태로는 표면 수직실장형 패키지(SVP; surface vertical package)와 표면 수평실장형 패키지(SHP; surface horizontal package)가 있다.
표면 수직실장형 패키지(SVP)는 패키지의 한쪽 측면으로 돌출된 리드(lead)가 패키지 바깥 부위에서 직각으로 구부러졌으며, 구부러진 앞부분이 모 기판(mother board)에 닿도록 세워져서 실장된다. 실장 점유 면적은 전형적인 표면실장형 패키지인 SOJ(small outline J-lead package)의 1/7, ZIP(zigzag in-line package)의 1/3 정도로 매우 작다. 이 표면 수직실장형 패키지(SVP)를 모 기판에 실장하는 방법으로는, 패키지 양단에 형성된 돌기를 기판의 구멍에 꽂는 방법과, 패키지 양단에 형성된 여분의 핀이 좌우로 갈라져 패키지를 지지하는 방법 등이 가능하다.
반면에, 표면 수평실장형 패키지(SHP)는 TSOP(thin small outline package)와 유사한 구조로서, 실제 기능을 갖는 한쪽편의 리드들 및 단지 실장을 위해 반대편에 형성된 여분의 핀들에 의해 기판에 실장된다. 실장 높이는 일반적으로 SVP 형태가 SHP 형태보다 높다.
그런데, 16M 또는 18M 램버스 디램(Rambus DRAM)은 이상 설명한 바와 같이 리드 프레임을 사용하여 패키지될 수 있으나, 64M급 이상의 램버스 디램(Rambus DRAM)은 전기적 특성 때문에 다층의 회로배선이 형성된 인쇄회로기판에 탑재되어 패키지된다. 이 때 최대의 동작 전력은 2.0~2.1W 정도로서, 열 방출 문제가 대두된다.
도 1과 그 단면도인 도 2에 인쇄회로기판(16)을 사용한 종래의 수직실장형 패키지(10)의 한 예를 보이고 있다. 도 1과 도 2를 참조하면, 구리 배선(22)이 형성되어 있는 인쇄회로기판(16) 표면에 반도체 칩(12)을 열전도성/전기절연성 접착제(24)로 부착시킨 후, 외부와의 전기적 연결을 위해 칩(12) 상면의 칩 패드(14)와 기판 패드(18)를 금속 세선(26)으로 연결한다. 기판 패드(18)는 구리 배선(22)을 통하여 기판 한쪽의 접속 패드(20)와 연결되며, 접속 패드(20)가 모 기판(40)에 삽입되어 접속된다. 칩(12)은 외부 환경으로부터 보호하기 위하여 봉지수지(28)를 사용하여 성형된다. 기판(16)의 반대쪽 면에는 방열판(30)이 부착된다.
이와 같은 패키지(10)의 열 방출 경로는 다음과 같다. 칩(12) 상부면에서 발생한 고온의 열은 봉지수지(28), 기판(16) 및 방열판(30)을 통하여 패키지(10) 표면으로 전도되며, 패키지(10) 표면에 도달된 열은 대류 및 복사에 의하여 대기 중으로 방출된다. 도 3은 컴퓨터를 사용한 모의실험의 결과로서 온도 구배 분포를 보여주고 있다. 도 3에서 볼 수 있듯이, 봉지수지 및 수지 재질의 인쇄회로기판은 열전도성이 낮기 때문에, 칩에서 발생되는 열은 봉지수지 및 기판으로 둘러쌓이게 되어 효과적인 열 방출이 되지 않는다. 이러한 결과는 칩의 접합 온도를 상승시키게 되어, 데이터 처리 속도의 감소 및 사용상의 오동작, 전기적 특성의 불량들을 유발시키게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 효율적인 열 방출을 위하여 방열판을 포함하는 수직실장형 반도체 칩 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 전기적 특성의 향상을 위하여 인쇄회로기판을 포함하는 수직실장형 반도체 칩 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 수직실장형 패키지가 수직으로 회로기판에 실장되고 상부에 방열 장치를 포함하는 패키지 모듈을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 열 방출 특성과 전기적 특성이 우수한 램버스 디램 칩 패키지를 제공하는 데 있다.
도 1은 종래의 수직실장형 패키지의 한 예를 나타내는 평면도,
도 2는 도 1의 II-II선을 따라 절단한 단면도로서, 모 기판에 실장된 상태를 보여주는 도,
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 패키지의 온도 구배 분포를 보여주는 도,
도 4는 본 발명에 따른 수직실장형 패키지의 실시예를 나타내는 평면도,
도 5는 도 4의 V-V선을 따라 절단한 단면도로서, 패키지가 모 기판에 실장된 상태를 보여주는 도,
도 6은 본 발명에 따른 수직실장형 패키지의 다른 실시예를 나타내는 평면도,
도 7은 도 6에 도시된 패키지의 저면도,
도 8은 도 6의 VIII-VIII선을 따라 절단한 단면도로서, 패키지가 모 기판에 실장된 상태를 보여주는 도,
도 9는 본 발명에 따른 수직실장형 패키지의 또 다른 실시예를 나타내는 평면도,
도 10은 본 발명의 수직실장형 패키지를 포함하는 패키지 모듈의 실시예를 보여주는 도,
도 11은 도 4 및 도 5에 도시된 수직실장형 패키지의 온도 구배 분포를 보여주는 도,
도 12는 도 10에 도시된 패키지 모듈의 온도 구배 분포를 보여주는 도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10, 50, 80, 100 : 수직실장형 반도체 칩 패키지
12, 52, 82, 102 : 반도체 칩 14, 54, 104 : 칩 패드
16, 56, 84, 106 : 인쇄회로기판 18, 58, 108 : 기판 패드
20, 60, 86, 110 : 접속 패드 22, 62, 88, 112 : 회로배선
24, 64 : 접착층 26, 66, 116 : 금속 세선
28, 68, 92, 118 : 봉지수지 30, 70, 94, 120 : 방열판
40 : 모 기판 90 : 금속층
96 : 개재물질 130 : 패키지 모듈
132 : 방열 장치 134 : 제2 회로기판
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩 패키지를 제공한다. 본 발명의 수직실장형 패키지는 반도체 칩을 포함하며, 칩 상부면의 한쪽 가장자리에는 복수개의 칩 패드들이 형성된다. 금속 재질의 방열판은 칩의 하부면과 직접 접착되며, 인쇄회로기판은 칩의 외곽에 인접하여 형성된 복수개의 기판 패드들과, 기판 패드들과 회로배선을 통하여 각각 연결되며 외부 회로기판에 접속되기 위한 복수개의 접속 패드들을 포함한다. 칩 패드들과 기판 패드들은 각각 복수개의 금속 세선들에 의하여 전기적으로 연결되며, 반도체 칩과 금속 세선들과 기판 패드들은 봉지수지로 봉지된다.
본 발명의 수직실장형 반도체 칩 패키지는 램버스 디램(Rambus DRAM) 칩을 포함할 수 있으며, 특히 64M급 이상의 램버스 디램 칩을 적용할 경우에도 우수한 열 방출 특성과 전기적 특성을 나타낼 수 있다. 방열판의 크기는 칩의 크기보다 큰 것이 바람직하며, 이 때 인쇄회로기판은 칩의 외곽에 인접하여 방열판의 일부와 접착될 수 있다. 한편, 금속 세선은 금 세선이 바람직하며, 봉지수지는 에폭시 화합물이 바람직하다. 특히, 본 발명의 패키지는 2개 이상의 반도체 칩을 포함할 수 있다.
본 발명은 또한 상기 수직실장형 패키지들을 복수개 구비하는 패키지 모듈을 제공한다. 패키지 모듈은 제2 회로기판을 포함하며, 상기 패키지들이 각각의 인쇄회로기판을 통하여 제2 회로기판에 수직으로 실장되며, 인쇄회로기판의 접속 패드들을 통하여 제2 회로기판에 전기적으로 접속된다. 특히, 패키지 모듈은 각각의 방열판들과 접착되는 방열 장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 면에 의하여 제공되는 수직실장형 반도체 칩 패키지는, 반도체 칩이 인쇄회로기판의 회로배선이 형성된 면에 직접 접착된다. 이 때 방열판은 인쇄회로기판의 접속 패드가 형성된 반대편에 끼워진다. 인쇄회로기판은 그 내부에 복수개의 접지 금속층을 포함할 수 있으며, 접지 금속층의 일부가 인쇄회로기판의 표면으로 노출되어 방열판과 접촉될 수 있다. 방열판과 접촉되는 접지 금속층의 노출 부위는 인쇄회로기판의 적어도 1개면 이상에 2개 이상 형성되는 것이 바람직하다. 그리고 방열판과 인쇄회로기판 사이에는 열전도성을 갖는 물질이 개재되는 것이 바람직하다. 상기 수직실장형 패키지들도 방열 장치를 포함하는 패키지 모듈로서 제공될 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 전반을 통틀어 동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.
도 4는 본 발명에 따른 수직실장형 패키지(50)의 실시예를 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 4의 V-V선을 따라 절단한 단면도로서, 패키지(50)가 모 기판(40)에 실장된 상태를 보여주는 도이다. 도 4와 도 5를 참조하면, 램버스 디램 칩(52)의 상부면의 한쪽 가장자리에 복수개의 칩 패드들(54)이 형성되어 있다. 칩(52)의 하부면은 얇은 접착층(64)을 통하여 직접 금속 방열판(70; heat spreader)에 부착된다. 따라서, 칩(52)에서 발생되는 열은 직접 금속 방열판(70)을 통하여 방열되기 때문에, 일단 봉지수지를 거쳐 방열되는 종래의 패키지보다 훨씬 우수한 방열 효과를 거둘 수 있다.
한편, 칩(54)보다 그 크기가 더 큰 방열판(70)을 사용함으로써, 인쇄회로기판(56)이 칩(52)의 외곽에 인접하여 방열판(70)의 일부와 접착될 수 있도록 한다. 따라서, 칩(52)에서 방열판(70)으로 전도되는 열은 인쇄회로기판(56)을 통해서도 방출될 수 있다. 이는 단지 봉지수지(68) 만을 통하여 인쇄회로기판(56)으로 열이 전달되는 것보다 훨씬 우수한 방열 효과를 나타낼 수 있다.
인쇄회로기판(56)은 BT 수지, FR4, FR5 등의 재질로 이루어지며, 그 한쪽 면에 기판 패드들(58) 및 접속 패드들(60), 그리고 상기 패드들(58, 60)을 서로 이어주는 회로배선들(62)이 형성되어 있다. 기판 패드(58)는 칩(52)의 칩 패드(54)와 금속 세선(66)에 의하여 전기적으로 연결되는 곳이다. 따라서, 칩 패드(54)가 형성된 칩(52)의 가장자리에 최대한 근접하여 형성된다. 반면에, 접속 패드(60)는 패키지(50)가 모 기판(40, 또는 제2 회로기판)에 수직으로 실장될 때 전기적 접속 단자의 역할을 한다.
도 4에 도시된 금속 세선(66)과 회로배선(62)은 복잡함을 피하기 위하여 그 일부만 도시되었으며, 이는 다음 실시예들의 참조 도면인 도 6과 도 9에서도 마찬가지이다. 기판 패드(58), 접속 패드(60) 및 회로배선(62)은 구리(Cu)로 이루어지며, 필요한 경우 도금 처리될 수 있다. 열전도성 및 전기전도도가 우수한 구리배선을 미세패턴으로 형성할 수 있는 인쇄회로기판(56)을 사용하기 때문에, 본 발명의 패키지(50)는 우수한 전기적 특성을 나타낼 수 있다.
금속 세선(66)은 금(Au) 세선이 주로 사용되며, 금속 세선(66) 및 칩(52), 기판 패드(58), 회로배선(62)의 일부는 에폭시 화합물(epoxy compound)과 같은 봉지수지(68)에 의하여 봉지된다. 방열판(70)은 칩(52)과 인쇄회로기판(56)의 하부쪽 뿐만 아니라, 패키지(50)가 모 기판(40)에 수직으로 실장되었을 때 모 기판(40)의 반대편, 즉 패키지(50)의 상부쪽으로도 연장되어 형성될 수 있다. 이는 열 방출 효과를 더 높여줄 뿐만 아니라, 추후에 설명할 모듈 제조 시에 다른 방열 장치를 추가로 부착할 수 있도록 해 준다.
도 6과 도 7은 각각 본 발명에 따른 수직실장형 패키지(80)의 다른 실시예를 나타내는 평면도와 저면도이다. 그리고, 도 8은 도 6의 VIII-VIII선을 따라 절단한 단면도로서, 패키지(80)가 모 기판(40)에 실장된 상태를 보여주는 도이다. 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 램버스 디램 칩(82)은 전술한 예와는 달리 인쇄회로기판(84)에 부착된다. 즉, 인쇄회로기판(84)은 칩(82)의 외곽에 있지 않고, 회로배선(88)이 형성된 면이 칩(82)의 하부면과 접착되도록 칩(82)의 하부쪽에 위치한다. 한편, 접속 패드(86)는 인쇄회로기판(84)의 상부면 뿐만 아니라(도 6 참조), 하부면에도 형성될 수 있다(도 7 참조).
인쇄회로기판(84)은 열 방출 효과를 향상시키기 위하여 그 내부에 여러개의 접지 금속층(90)을 포함할 수 있다. 이 금속층(90)은 회로배선(88)이 형성된 부분을 제외하고 인쇄회로기판(84)의 내부 또는 표면 가까이에 형성될 수 있다. 따라서, 칩(82)에서 발생되는 열은 금속층들(90)을 통하여 보다 수월하게 패키지(80) 외부로 방출될 수 있다. 한편, 금속층(90)은 인쇄회로기판(84)의 표면으로 일부 노출(90a)되며, 금속 방열판(94)은 이 노출 부위(90a)와 접촉되도록 인쇄회로기판(84)의 한쪽 끝에 집게 형태로 끼워져 방열 효과를 더욱 높일 수 있다. 방열판(94)과 접촉되는 접지 금속층(90)의 노출 부위(90a)는 인쇄회로기판(84)의 어느 한쪽면 또는 양쪽면에 2개 이상 형성될 수 있다. 그리고 방열판(94)과 인쇄회로기판(84) 사이에는 빈 공간을 메움으로써 열전도율을 높이기 위하여 열전도성을 갖는 물질(96)을 개재할 수 있다. 도면 부호 92는 봉지수지를 나타낸다.
도 9는 본 발명에 따른 수직실장형 패키지(100)의 또 다른 실시예를 나타내는 평면도이다. 도 9를 참조하면, 본 실시예의 패키지(100)는 도 4 및 도 5에 도시된 패키지(50)와 그 구조가 유사하다. 즉, 상부면에 칩 패드(104)가 형성된 램버스 디램 칩(102)이 금속 방열판(120)에 부착되고, 인쇄회로기판(106)이 칩(102)의 외곽에 인접하여 방열판(120)의 일부와 접착된다. 인쇄회로기판(106)은 기판 패드(108), 접속 패드(110), 회로배선(112)을 포함하며, 칩 패드(104)와 기판 패드(108)는 금속 세선(116)에 의하여 연결된다. 금속 세선(116) 및 칩(102), 기판 패드(108), 회로배선(112)의 일부는 봉지수지(118)에 의하여 봉지된다.
반면에, 본 실시예의 패키지(100)가 전술한 패키지와 다른 점은 2개의 램버스 디램 칩(102)을 포함하고 있다는 점이다. 즉, 본 실시예는 램버스 디램을 채용한 멀티 칩 패키지(100; multi chip package)의 예를 보여준다. 본 발명에 따른 수직실장형 패키지는 본 실시예에서 보여 준 구조를 갖는 멀티 칩 패키지 뿐만 아니라, 방열판의 형태 및 크기, 인쇄회로기판의 형태 및 크기를 자유로이 변경함으로써 여러 가지 형태로 구현이 가능하다. 도 6 내지 도 8의 패키지(80)도 멀티 칩 패키지로의 응용이 가능하다.
다음은 본 발명의 수직실장형 패키지를 이용한 패키지 모듈(module)에 대하여 설명하겠다. 도 10은, 예를 들어, 도 4 및 도 5의 수직실장형 패키지(50)를 복수개 구비하는 패키지 모듈(130)을 도시한 것이다. 즉, 전술한 바와 같이, 램버스 디램 칩(52)과 인쇄회로기판(56)과 방열판(70)을 포함하는 수직실장형 패키지(50)들이 각각의 인쇄회로기판(56)을 통하여 제2 회로기판(134)에 수직으로 실장된다. 각각의 패키지(50)들과 제2 회로기판(134) 간의 전기적 접속은 각각의 인쇄회로기판(56)에 형성된 접속 패드들(도시되지 않음)을 통하여 이루어진다. 제2 회로기판(134)은 다시 모 기판(도 5 및 도 8의 40)에 실장된다.
본 발명에 의한 패키지 모듈(130)은 각각의 방열판들(70)과 접착되는 방열 장치(132; heat sink)를 더 포함할 수 있다. 즉, 방열판(70)은 칩(52)과 인쇄회로기판(56)의 하부쪽(도 10에서는 오른쪽) 뿐만 아니라, 칩(52)을 사이에 두고 인쇄회로기판(56)의 반대쪽(즉, 패키지(50)가 수직으로 실장된 상태에서 패키지(50)의 상부쪽)으로도 연장되어 형성될 수 있다. 따라서 모듈(130)의 방열 장치(132)는 패키지(50) 상부로 연장된 방열판(70)에 쉽게 부착될 수 있으며, 열 방출 효과를 극대화할 수 있다. 본 실시예의 모듈(130)은 도 4와 도 5에 도시된 패키지(50)를 예로 들어 설명하였지만, 도 6 내지 도 8의 패키지(80)와, 도 9의 멀티 칩 패키지(100)를 비롯한 본 발명에 따른 다른 패키지들도 본 실시예처럼 패키지 모듈의 구현이 가능하다.
도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 수직실장형 패키지 및 패키지 모듈의 열 방출 효과를 알아보기 위하여 컴퓨터 모의실험을 한 결과 얻어진 온도 구배 분포도이다. 도 11은 도 4 및 도 5에 도시된 패키지, 도 12는 도 10에 도시된 모듈의 온도 구배 분포를 각각 보여주는 도들이다. 도 11과 도 12를 종래의 패키지를 통하여 실험한 도 3의 결과와 비교하여 설명하겠다.
열해석 모의실험 조건은 다음과 같다: 분위기 온도 = 60℃ (유속이 없는 자연대류조건), 동작 전력 = 2W (단, 모듈의 경우에는 실제 동작시 동작되는 1개의 패키지만 2W를 소모하고, 나머지 대기 상태의 7개의 패키지는 0.3W를 필요로 하기 때문에 4.1W를 입력하였다). 이와 같이 동일한 조건에서 각각 실험한 결과, 칩의 접합 온도(junction temperature), 즉 칩의 상부면에서 측정되는 온도는 종래의 패키지의 경우에 117.800℃(도 3 참조), 본 발명의 패키지의 경우에 107.090℃(도 11 참조), 본 발명의 모듈의 경우에 90.689℃(도 12 참조)가 각각 얻어졌다.
칩의 접합 온도가 낮다는 것은 그만큼 열 방출이 수월하게 이루어짐을 증명하는 것으로, 본 발명의 열 방출 특성이 향상됨을 알 수 있다. 특히, 패키지의 열저항값 θja(=[접합온도-분위기온도]/동작전력)은 종래의 경우 28.9℃/W, 본 발명의 경우 23.6℃/W로서, 본 발명에 의한 패키지가 종래의 패키지보다 약 20% 정도 열 방출 효과가 향상된다는 사실을 알 수 있다.
도 3, 도 11, 도 12의 등온선들은 각각 칩 접합 온도(●)로부터 분위기 온도(60℃)까지를 20등분하여, 각각 2.890℃, 2.355℃, 1.534℃의 간격을 두고 나타낸 것들이다. 예를 들어, 칩 접합 온도(●)로부터 1번째, 6번째, 11번째의 등온선을 ▲, □, ▽으로 표시하였으며, 그 온도를 기재하였다. 특히, 도 3과 도 11의 1번째 등온선을 서로 비교해 보면, 도 3의 1번째 등온선은 인쇄회로기판과 방열판의 접면 근방에 있지만, 도 11의 1번째 등온선은 방열판 외부의 대기 중에 있음을 볼 수 있다. 이는 종래의 패키지(도 3)보다 본 발명의 패키지(도 11)에서 더 열 방출이 잘 되고 있음을 다시 한번 확인시켜 주는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 구조에 따르면, 반도체 칩을 직접 금속 방열판에 부착시키거나 여러 금속층을 포함하는 인쇄회로기판을 사용함으로써 열 방출 효과를 보다 효율적으로 거둘 수 있다.
더욱이, 본 발명의 수직실장형 패키지를 모듈화해서 방열 장치를 추가로 부착할 수 있기 때문에 열 방출 효과가 배가될 수 있다.
또한, 본 발명의 패키지는 열전도성 및 전기전도도가 우수한 구리배선을 미세패턴으로 형성할 수 있는 인쇄회로기판을 사용하기 때문에 우수한 전기적 특성을 나타낸다.

Claims (26)

  1. 복수개의 칩 패드들이 형성된 상부면을 포함하며, 상기 칩 패드들이 상기 상부면의 한쪽 가장자리에 형성되는 반도체 칩과;
    상기 반도체 칩의 하부면과 직접 접착되는 금속 재질의 방열판과;
    상기 반도체 칩의 외곽에 인접하여 형성되는 복수개의 기판 패드들과, 상기 기판 패드들과 회로배선을 통하여 각각 연결되며 외부 회로기판에 접속되기 위한 복수개의 접속 패드들을 포함하는 인쇄회로기판과;
    상기 칩 패드들과 상기 기판 패드들을 각각 전기적으로 연결하는 복수개의 금속 세선들; 및
    상기 반도체 칩과 상기 금속 세선들과 상기 기판 패드들을 봉지하는 봉지수지를 포함하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 칩은 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 반도체 칩은 64M급 이상의 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 방열판의 크기는 상기 반도체 칩의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은 상기 반도체 칩의 외곽에 인접하여 상기 방열판의 일부와 접착되는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 금속 세선은 금 세선인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 봉지수지는 에폭시 화합물인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 칩 패키지는 2개 이상의 반도체 칩을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  9. 복수개의 칩 패드들이 형성된 상부면을 포함하며, 상기 칩 패드들이 상기 상부면의 한쪽 가장자리에 형성되는 반도체 칩과;
    상기 반도체 칩의 외곽에 인접하여 형성되는 복수개의 기판 패드들과, 상기 기판 패드들과 회로배선을 통하여 각각 연결되며 외부 회로기판에 접속되기 위한 복수개의 접속 패드들을 포함하는 인쇄회로기판과;
    상기 인쇄회로기판의 상기 접속 패드가 형성된 반대편에 끼워지는 금속 재질의 방열판과;
    상기 칩 패드들과 상기 기판 패드들을 각각 전기적으로 연결하는 복수개의 금속 세선들; 및
    상기 반도체 칩과 상기 금속 세선들과 상기 기판 패드들을 봉지하는 봉지수지를 포함하며,
    상기 반도체 칩의 하부면은 상기 인쇄회로기판의 상기 회로배선이 형성된 면에 직접 접착되는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 반도체 칩은 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 반도체 칩은 64M급 이상의 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은 그 내부에 복수개의 접지 금속층을 포함하며, 상기 접지 금속층의 일부가 상기 인쇄회로기판의 표면으로 노출되어 상기 방열판과 접촉되는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 방열판과 접촉되는 상기 접지 금속층의 노출 부위는 상기 인쇄회로기판의 적어도 1개면 이상에 2개 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  14. 제 9 항에 있어서, 상기 방열판과 상기 인쇄회로기판 사이에는 열전도성을 갖는 물질이 개재되는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  15. 제 9 항에 있어서, 상기 반도체 칩 패키지는 2개 이상의 반도체 칩을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직실장형 반도체 칩 패키지.
  16. 복수개의 칩 패드들이 한쪽 가장자리에 형성된 상부면을 포함하는 반도체 칩과; 상기 반도체 칩의 크기보다 큰 크기를 가지며, 상기 반도체 칩의 하부면과 직접 접착되는 금속 재질의 방열판과; 상기 방열판의 일부와 접착되며, 상기 반도체 칩의 외곽에 인접하여 형성되는 복수개의 기판 패드들을 포함하고, 상기 기판 패드들과 회로배선을 통하여 각각 연결되며 외부 회로기판에 접속되기 위한 복수개의 접속 패드들을 포함하는 인쇄회로기판과; 상기 칩 패드들과 상기 기판 패드들을 각각 전기적으로 연결하는 복수개의 금속 세선들; 및 상기 반도체 칩과 상기 금속 세선들과 상기 기판 패드들을 봉지하는 봉지수지를 각각 포함하는 수직실장형 반도체 칩 패키지를 복수개 구비하는 패키지 모듈에 있어서,
    상기 패키지 모듈은 제2 회로기판을 포함하며, 상기 반도체 칩 패키지들이 각각의 인쇄회로기판을 통하여 상기 제2 회로기판에 수직으로 실장되며, 상기 인쇄회로기판의 접속 패드들을 통하여 상기 제 2 회로기판에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 반도체 칩 패키지들의 각각의 반도체 칩은 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 램버스 디램 반도체 칩은 64M급 이상의 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  19. 제 16 항에 있어서, 상기 패키지 모듈은 상기 각각의 방열판들과 접착되는 방열 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  20. 복수개의 칩 패드들이 한쪽 가장자리에 형성된 상부면을 포함하는 반도체 칩과; 상기 반도체 칩의 외곽에 인접하여 형성되는 복수개의 기판 패드들을 포함하고, 상기 기판 패드들과 회로배선을 통하여 각각 연결되며 외부 회로기판에 접속되기 위한 복수개의 접속 패드들을 포함하는 인쇄회로기판과; 상기 인쇄회로기판의 상기 접속 패드가 형성된 반대편에 끼워지는 금속 재질의 방열판과; 상기 칩 패드들과 상기 기판 패드들을 각각 전기적으로 연결하는 복수개의 금속 세선들; 및 상기 반도체 칩과 상기 금속 세선들과 상기 기판 패드들을 봉지하는 봉지수지를 포함하며, 상기 반도체 칩의 하부면은 상기 인쇄회로기판의 상기 회로배선이 형성된 면에 직접 접착되는 것을 특징으로 하는는 수직실장형 반도체 칩 패키지를 복수개 구비하는 패키지 모듈에 있어서,
    상기 패키지 모듈은 제2 회로기판을 포함하며, 상기 반도체 칩 패키지들이 각각의 인쇄회로기판을 통하여 상기 제2 회로기판에 수직으로 실장되며, 상기 인쇄회로기판의 접속 패드들을 통하여 상기 제 2 회로기판에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 반도체 칩 패키지들의 각각의 반도체 칩은 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 램버스 디램 반도체 칩은 64M급 이상의 램버스 디램인 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  23. 제 20 항에 있어서, 상기 패키지 모듈은 상기 각각의 방열판들과 접착되는 방열 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  24. 제 20 항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은 그 내부에 복수개의 접지 금속층을 포함하며, 상기 접지 금속층의 일부가 상기 인쇄회로기판의 표면으로 노출되어 상기 방열판과 접촉되는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 방열판과 접촉되는 상기 접지 금속층의 노출 부위는 상기 인쇄회로기판의 적어도 1개면 이상에 2개 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
  26. 제 20 항에 있어서, 상기 방열판과 상기 인쇄회로기판 사이에는 열전도성을 갖는 물질이 개재되는 것을 특징으로 하는 패키지 모듈.
KR1019970046367A 1997-09-09 1997-09-09 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈 KR100236671B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970046367A KR100236671B1 (ko) 1997-09-09 1997-09-09 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈
TW087102341A TW391043B (en) 1997-09-09 1998-02-19 Vertical semiconductor device package having printed circuit board and heat spreader, and module having the packages
JP10138121A JPH1187574A (ja) 1997-09-09 1998-05-20 垂直実装形半導体チップパッケージ及びそれを含むパッケージモジュール
US09/144,510 US6326686B1 (en) 1997-09-09 1998-08-31 Vertical semiconductor device package having printed circuit board and heat spreader, and module having the packages

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970046367A KR100236671B1 (ko) 1997-09-09 1997-09-09 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990024962A KR19990024962A (ko) 1999-04-06
KR100236671B1 true KR100236671B1 (ko) 2000-01-15

Family

ID=19521057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970046367A KR100236671B1 (ko) 1997-09-09 1997-09-09 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6326686B1 (ko)
JP (1) JPH1187574A (ko)
KR (1) KR100236671B1 (ko)
TW (1) TW391043B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9257418B2 (en) 2013-03-21 2016-02-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package having heat slug and passive device

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6008074A (en) 1998-10-01 1999-12-28 Micron Technology, Inc. Method of forming a synchronous-link dynamic random access memory edge-mounted device
US6900719B2 (en) * 2002-04-25 2005-05-31 Roseman Engineering Ltd. Method, device and system for providing anti-theft protection for electrical devices, particularly controllers in vehicle refueling systems
KR100631922B1 (ko) * 2004-02-23 2006-10-04 삼성전자주식회사 개선된 열 확산 성능을 갖는 다층 회로 보오드 및 그에따른 제조방법
KR100558065B1 (ko) * 2004-03-15 2006-03-10 삼성전자주식회사 방열체가 구비된 반도체 모듈
DE102004019435A1 (de) * 2004-04-19 2005-11-03 Siemens Ag An einer Kühlrippe angeordnetes Bauelement
US20060273450A1 (en) * 2005-06-02 2006-12-07 Intel Corporation Solid-diffusion, die-to-heat spreader bonding methods, articles achieved thereby, and apparatus used therefor
CN101118458A (zh) * 2006-07-31 2008-02-06 华硕电脑股份有限公司 配置均温板的电子装置
JP4937951B2 (ja) * 2008-03-25 2012-05-23 三菱電機株式会社 電力用半導体装置およびその製造方法
JP2010129806A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Mitsubishi Electric Corp 電力用半導体装置および製造方法
JP2014110249A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 半導体装置の埋設構造、及び半導体装置の埋設方法
TWI757654B (zh) * 2019-11-08 2022-03-11 立德電子股份有限公司 用於大功率電源供應器的導電導熱結構
CN113141122A (zh) * 2020-01-20 2021-07-20 珠海格力电器股份有限公司 一种智能功率模块及其制备方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0750753B2 (ja) * 1987-08-21 1995-05-31 株式会社東芝 トランジスタ装置
US5847467A (en) * 1990-08-31 1998-12-08 Texas Instruments Incorporated Device packaging using heat spreaders and assisted deposition of wire bonds
US5773877A (en) * 1997-02-07 1998-06-30 Ford Motor Company Plastic encapsulated IC package and method of designing same
US6008074A (en) * 1998-10-01 1999-12-28 Micron Technology, Inc. Method of forming a synchronous-link dynamic random access memory edge-mounted device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9257418B2 (en) 2013-03-21 2016-02-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package having heat slug and passive device

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990024962A (ko) 1999-04-06
US6326686B1 (en) 2001-12-04
TW391043B (en) 2000-05-21
JPH1187574A (ja) 1999-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3762844B2 (ja) 対向マルチチップ用パッケージ
US5444296A (en) Ball grid array packages for high speed applications
TW415056B (en) Multi-chip packaging structure
US7396702B2 (en) Module assembly and method for stacked BGA packages
US7202561B2 (en) Semiconductor package with heat dissipating structure and method of manufacturing the same
US5598031A (en) Electrically and thermally enhanced package using a separate silicon substrate
KR100586698B1 (ko) 수직 실장된 반도체 칩 패키지를 갖는 반도체 모듈
US5777345A (en) Multi-chip integrated circuit package
US6559525B2 (en) Semiconductor package having heat sink at the outer surface
KR100236671B1 (ko) 인쇄회로기판과 방열판을 구비하는 수직실장형 반도체 칩패키지 및 그를 포함하는 패키지 모듈
US5349235A (en) High density vertically mounted semiconductor package
US5978224A (en) Quad flat pack integrated circuit package
US6600651B1 (en) Package with high heat dissipation
US6392896B1 (en) Semiconductor package containing multiple memory units
GB2274738A (en) Cooling for 3-D semiconductor packages
US6137174A (en) Hybrid ASIC/memory module package
KR100195504B1 (ko) 열 방출형 볼 그리드 어레이(bga) 패키지
US20020050378A1 (en) Double-layered multiple chip module package
KR19990028206U (ko) 적층형 반도체 패키지
KR19990026510A (ko) 외장형 히트 싱크를 구비하는 수직실장형 반도체 패키지 모듈
JP3460930B2 (ja) 電子回路パッケージ
JPS61253843A (ja) 半導体装置
KR200180815Y1 (ko) 캐패시터를 갖는 반도체 패키지
JPH01111361A (ja) 半導体チップキャリア
KR19980083852A (ko) 방열판을 갖는 수직 표면 실장형 반도체 패키지와 그를 이용한 모듈

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20071001

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee