KR100234955B1 - 전자부품 도금용 수직(y축) 이송장치 - Google Patents

전자부품 도금용 수직(y축) 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 도금공정등에서 반도체 재료인 웨이퍼와 같은 고정밀을 요하는 이송물체를 수직으로 반복 이송시키는 전자부품 도금용 수직(Y축) 이송장치에 관한 것으로 그 기술적인 요지는, 베이스판(11)의 상측에 수직 착설된 지지블록(12)의 상측에는 상부풀리(22)가 베어링(23)으로서 회전 작동토록 설치되며, 하측에는 모터풀리(24)와 하부풀리(25)가 그 양측으로 설치된 베어링(26)에 회전작동토록 설치되어 상기 상,하부 풀리(22)(25)에는 타이밍벨트(27)가 체결되며, 상기 모터풀리(24)의 후방에 설치된 구동모터(28)의 풀리(29)와 상기 모터풀리(24)에는 구동벨트(30)가 체결되고, 상기 지지블록(21)의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드레일(41)를 따라 이송블록(42)이 수직 이송토록 연설되어 그 상부면에는 이송물체(2)가 설치되는 지지판(43)이 결합됨을 특징으로 한다.
이에따라, 수직 이송장치의 등가속 이송으로 웨이퍼등과 같은 전자부품의 도금공정이 극히 정밀하게 수행토록 되어 제품의 신뢰성이 향상됨은 물론, 정밀한 위치제어 및 고속 이송이 용이하여 도금공정의 원활한 진행으로 작업성 및 생산성이 가일층 향상되는 한편, 수직 이송되는 이송물체의 중량이 무거워도 수직 이송이 원활하게 이루어지며, 이송작동시의 소음 발생도 감소되는 것이다.

Description

전자부품 도금용 수직(Y축) 이송장치
본 발명은 이송물체, 특히 도금공정등에서 반도체 재료인 웨이퍼와 같은 고정밀을 요하는 이소물체를 수직으로 반복 이송시키는 수직(Y축) 이송장치에 관한 것으로 보다 상세하게 설명하면, 베이스판의 상측에 수직 착설된 지지블록의 상측에는 상부풀리가 베어링으로서 회전 작동토록 설치되며, 하측에는 모터풀리와 하부풀리가 그 양측으로 설치된 베어링에 회전작동토록 설치되어 상기 상,하부 풀리에는 타이밍벨트가 체결되며, 상기 모터풀리의 후방에 설치된 구동무터의 풀리와 상기 모터풀리에는 구동벨트가 체결되고, 상기 지지블록의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드레일을 따라 이송블록이 수직 이송토록 연설되어 그 상부면에는 이송물체가 설치되는 지지판이 결합토록 된다.
이에따라, 수직 이송장치의 등가속 이송으로 웨이퍼등과 같은 전자부품의 도금공정이 극히 정밀하게 수행토록 되어 제품의 신뢰성이 향상됨은 물론, 정밀한 위치제어 및 고속 이송이 용이하여 도금공정의 원활한 진행으로 작업성 및 생산성이 가일층 향상되는 한편, 수직 이송되는 이송물체의 중량이 무거워도 수직 이송이 원활하게 이루어 지며, 이송작동시의 소음 발생도 감소될 수 있도록 한 전자부품 도금용 수직(Y축) 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 알려진 종래의 전자부품 수직 이송장치에 있어서, 제1a도에서 도시한 바와 같이, 구동모터(101)와 회전 작동토록 연설된 볼스크류(102)에는 이를 따라 상하 이송되는 이송블록(103)이 체결되며, 상기 이송블록(103)에 수직 이송되는 이송물체(104)가 연설되는 구조로 이루어 진다. 이와 같은 종래의 수직 이송장치에 있어서는, 구동모터(101)가 회전하면 볼 스크류(102)가 일체로 회전작동하고, 이에 체결된 이송블록(103)은 상기 볼스크류(102)를 따라 수직 이송되며, 따라서 이송블록(103)에 연설된 이송물체(104)는 수직 이송되며, 이에따라 웨이퍼 등과 같은 전자부품인 이송물체(104)의 도금공정의 도금조 내 침적작업시 상기 수직 이송장치가 사용되는 것이다.
그러나, 상기와 같은 볼 스크류(102)에 의한 종래의 수직 이송장치는, 제1a도에서 도시한 바와 같이, 볼스크류(102)로서 이송블록(103)의 수직 이송이 수행됨으로 인하여, 고속 이송이 어렵게 되는 한편, 이송물체(54)의 무게에 따라 모터부하가 많이 받게되어 손쉽게 파손되는 한편, 순간 가속 작동등이 어렵게 되어 작동성도 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 다른 전자부품 수직 이송장치에 있어서는, 제1b도에서 도시한 바와 같이, 리니어모터(110)를 수직 설치하여, 그 이송블록(111)에 이송물체(112)가 연설되어 수직 이송작동이 수행되는 것이다.
그러나, 이와 같은 종래의 리니어모터(110)에 의한 수직 이송장치에 있어서는, 제1b도에서 도시한 바와 같이, 상기 리니어모터(110)의 가격이 고가임으로 인하여, 설치비용이 극히 상승되는 한편, 이송될 수 있는 이송물체(112)의 중량이 한계가 있게되며, 수직 이송작동시 모터부하가 손쉽게 발생하여 리니어모터(110)의 사용기간이 극히 짧게되는 등의 여러 문제점들이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 여러 문제점들을 개선시키기 위하여 안출된 것으로서 그 목적은, 수직 이송장치의 등가속 이송으로 웨이퍼등과 같은 전자부품의 도금공정이 극히 정밀하게 수행토록 되어 제품의 신뢰성이 향상됨은 물론, 정밀한 위치제어 및 고속 이송이 용이하여 도금공정의 원활한 진행으로 작업성 및 생산성이 가일층 향상되는 한편, 수직 이송되는 이송물체의 중량이 무거워도 수직 이송이 원활하게 이루어 지며, 이송작동시의 소음 발생도 감소되는 전자부품 도금용 수직 이송장치를 제공하는데 있다.
제1a도는 일반적인 볼 스크류에 의한 수직 이송상태를 도시한 개략도.
제1b도는 종래의 리니어 모터에 의한 수직 이송상태를 도시한 개략도.
제2도는 본 발명에 다른 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 측면 구성도.
제3a도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 정면도.
제3b도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 배면도.
제4도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 'A-A' 선 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 이송장치 2 : 이송물체
10 : 몸체부 11 : 베이스판
12 : 지지블록 20 : 구동부
22, 25 : 상,하부 풀리 23, 26 : 베어링
24 : 모터풀리 27 : 타이밍벨트
28 : 구동모터 40 : 이송부
41 : 가이드레일 42 : 이송블록
51 : 가이드바아 53 : 카운터웨이트(C/W)
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 기술적인 수단은, 베이스판의 상측에는 지지블록이 수직으로 착설되는 몸체부와, 상기 지지블록의 상측에는 상부풀리가 베어링으로서 회전작동토록 설치되며, 하측에는 모터풀리와 하부풀리가 결합되어 그 양측으로 설치된 베어링에 회전 작동토록 연설되며, 상기 상,하부 풀리에는 타이밍 벨트가 체결되고, 상기 모터풀리의 후방에 설치된 구동모터의 풀리 상기 모터풀리에는 구동벨트가 체결되는 구동부 및, 상기 지지블록의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드레일를 따라 이송블록이 수직 이송토록 연설되며, 상기 이송브록의 상부면에는 이송물체가 설치되는 지지판이 설치되는 이송부를 포함하여 구성되는 전자부품 도금용 수직 이송장치를 마련함에 의한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 발명에 따른 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 측면 구성도이고, 제3a도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 정면도이며, 제3b도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 배면도이고, 제4도는 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치를 도시한 제2도의 'A-A' 선 단면도이다. 본 발명은 몸체부(10)와 구동부(20) 및, 이송부(40)로서 구성된다.
상기 이송장치(1)의 몸체부(10)는, 바닥에 착설된 사각형 형상의 베이스판(11) 상측에는 지지블록(12)이 수직으로 일체로 결합 고정된다.
또한, 구동모터(28)로서 회전 작동토록 되는 구동부(20)는, 상기 지지블록(12)의 상측에는 상부풀리(22)가 베어링(23)으로서 회전 작동토록 설치되며, 상기 지지블록(12)의 하측에는 모터풀리(24)와 하부풀리(25)가 결합되어 그 양측으로 설치된 베어링(26)으로서 회전 작동토록 연설되며, 상기 상,하부 풀리(22)(25)에는 타이밍벨트(27)가 체결되고, 상기 모터풀리(24)의 후방에 설치된 구동모터(28)의 풀리(29)와 상기 모터풀리(24)에는 일체로 회전 작동토록 구동벨트(21)가 체결된다.
또한, 상기 이송부(40)는, 상기 지지블록(12)의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드레일(41)을 따라 이송블록(42)이 수직 이송토록 연설되며, 상기 이송블록(42)의 상부면에는 웨이퍼등과 같은 도금용 전자부품인 이송물체(2)가 설치되는 지지판(43)이 설치토록 된다.
한편, 상기 지지블록(12)의 후방면 양측에는 가이드바아(51)가 각각 수직 착설되며, 상기 상,하부 풀리(22)(25)에 체결된 타이빙벨트(27)의 후방에는 상기 가이드바아(51)에 후단부(52)가 끼워져 수직 이송되는 카운터웨이트(53)가 결합토록 되는 구성으로 이루어 진다.
상기와 같은 구성으로 된 본 발명의 잘용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
제2도 내지 제4도에서 도시한 바와 같이, 반도체의 소재가 되는 웨이퍼(wafer)등과 같은 고정밀을 요하는 전자부품을 도금할 때에는, 도금액내에 침적되는 시간과 속도등이 매우 중요한데, 이와 같은 경우 이송물체인 전자부품을 수직이송을 하는 수직 이송장치는 정밀성이 요구되며, 동시에 그 처리속도(이송속도)도 고속으로 수행되어야 하는데 이와 같은 수직 이송장치(1)는 다음과 같다.
사각형의 베이스판(11) 상측에는 일체로 된 지지블록(12)이 수직으로 견고하게 착설되고, 상기 지지블록(12)의 상측에 형성된 개구부에 설치된 베어링(23)에는 상부풀리(22)가 회전가능토록 연설되며, 상기 지지블록(12)의 하측에 형성된 개구부에는 모터풀리(24)와 하부풀리(25)가 일측으로 결합되고, 그 양측으로 설치된 베어링(26)에 회전 작동토록 연설됨으로써, 상기 상,하부 풀리(22)(25)는 회전 작동되며, 이에 상기 상,하부 풀리(22)(25)에 위치제어가 용이한 타이밍벨트(27)가 체결된다.
한편, 상기 모터풀리(25)의 후방에 설치된 구동모터(28)의 풀리(29)와 상기 모터풀리(24)에는 구동벨트(21)가 체결됨으로써, 상기 구동모터(28)가 회전 작동하면, 상기 구동벨트(21)로서 모터풀리(24)가 회전하며, 따라서 일측으로 결합된 하부 풀리(25)가 일체로 회전하며, 상기 하부풀리(25)의 회전시 상,하부 풀리(22)(25)에 체결된 타이밍벨트(27)는 회전 작동된다.
이에더하여, 상기 지지블록(12)의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드렝일(41)를 따라 이송블록(42)이 수직 이송토록 연설되며, 상기 이송블록(42)의 상부면에는 지지판(43)이 설치됨으로써, 상기 타이밍(27)가 회전하면, 이에 결합된 이송블록(42)은 상기 가이드레일(41)을 따라 수직 이송되며, 이때, 상기 이송블록(42은 가이드레일(41)에 의하여 그 수직 운동이 정밀하게 수행되는 것이다.
따라서, 상기 이송블록(42)의 수직 이송시 그 상측으로 설치된 지지판(420에 연결된 웨이퍼등과 같은 전자부품인 이송물체(2)가 일체로 수직 이송되며, 이로 인하여 이송물체(2)의 도금조내 침적작업이 원활하면서도 정밀하게 수행되는 것이다.
계속해서, 상기 지지블록(12)의 후방면 양측에는 가이드바아(51)가 각각 수직 착설되며, 상기 상,하부 폴리(22)(25)에 체결된 타이빙벨트(27)에는 상기 가이드바아(51)에 후단부(52)가 끼워져 수직 이송되는 카운터웨이트(53)가 결합됨으로써, 상기 구동모터(28)의 작동시 타이밍(27)에 결합된 이송블록(42)이 하강할 때에는, 카운터 웨이트(53)가 상승하여 이송물체(2)의 도금조 투입이 균일한 속도로 수행되며, 반대로 이송블록(42)이 상승하면 상기 타이밍벨트(27)의 후방에 결합된 카운터웨이트(53)에 의하여 가속적으로 상승할 수 있게 되어 이송블록(42) 즉, 이송물체(2)의 수직 이송이 보다 원활하게 수행될 수 있는 것이다.
이에따라서, 타이밍벨트(27)의 회전시 이송블록(42)이 일체로 이송되며, 상기 이송블록(42)은 가이드레일(41)을 따라 수직 이송되어 그 이송이 균일하고 정밀하게 이루어 지는 동시에, 등가속 이송작동이 가능토록 되어 웨이퍼와 같은 전자부품의 도금고정이 보다 원활하게 수행될 수 있는 것이다.
이와 같이 본 발명인 전자부품 도금용 수직 이송장치에 의하면, 수직 이송장치의 등가속 이송으로 웨이퍼등과 같은 전자부품의 도금공정이 극히 정밀하게 수행토록 되어 제품의 신뢰성이 향상됨은 물론, 정밀한 위치제어 및 고속 이송이 용이하여 도금공정의 원활한 진행으로 작업성 및 생산성이 가일층 향상되는 한편, 수직 이송되는 이송물체의 중량이 무거워도 수직 이송이 원활하게 이루어 지며, 이송 작동시의 소음 발생도 감소되는 우수한 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 베이스판(11)의 상측에는 지지블록(12)이 수직으로 착설되는 몸체부(10)와, 상기 지지블록(12)의 상측에는 상부풀리(22)가 베어링(23)으로서 회전작동토록 설치되며, 하측에는 모터풀리(24)와 하부풀리(25)가 결합되어 그 양측으로 설치된 베어링(26)에 회전 작동토록 연설되며, 상기 상,하부 풀리(22)(25)에는 타이밍벨트(27)가 체결되고, 상기 모터풀리(24)의 후방에 설치된 구동모터(28)의 풀리(29)와 상기 모터풀리(24)에는 구동벨트(21)가 체결되는 구동부(20) 및, 상기 지지블록(12)의 전방면 양측에 수직 설치된 가이드레일(41)을 따라 이송블록(42)이 수직 이송토록 연설되며, 상기 이송블록(42)의 상부면에는 이송물체(2)가 설치되는 지지판(43)이 설치되는 이송부(40)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전자부품 도금용 수직 이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지블록(12)의 후방면 양측에는 가이드바아(51)가 각각 수직 착설되며, 상기 상,하부 풀리(22)(25)에 체결된 타이밍벨트(27)에는 상기 가이드바아(51)에 후단부(52)가 끼워져 수직 이송되는 카운터웨이트(53)가 결합됨을 특징으로 하는 전자부품 도금용 수직 이송장치.
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