KR100230695B1 - 프로우브 카드 - Google Patents

Abstract

LCD 기판상에 배열설치된 복수의 전극패드를 구비하는 LCD 의 반제품의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브카드는, 카드기판과 이것에 착설된 4각기둥 형상의 지지틀을 구비한다.

지지틀에는 상기 전극패드와 동일한 수의 안내홈이 형성되며, 긱 홈내에 프로우브침이 장착된다. 홈은 지지틀에 접착된 누름판에 의하여 부분적으로 폐쇄된다.

프로우브침은 홈으로부터 돌출하고, 앞끝단부에 전극패드에 접촉하기 위한 접촉부가 형성된다.

카드기판, 지지틀및 누름판은, LCD 기판과 실질적으로 동일한 재료로 형성되어, 프로우브침 사이의 간격과 전극패드 사이의 간격이 열팽창에 의하여 상위하지 않도록 되어 있다.

Description

프로우브 카드

제 1 도는, 종래의 검사장치를 나타내는 개략 측면도.

제 2 도는, 종래의 검사장치를 나타내는 개략 평면도.

제 3 도는, 본 발명의 일실시예에 관한 프로우브카드를 사용한 검사장치를 나타내는 개략 사시도.

제 4 도는, 제 3 도에 나타낸 카드의 프로우브침의 배치상태를 설명하는 사시도.

제 5 도는, 제 3 도에 나타낸 카드의 프로우브침의 착설상태를 설명하는 사시도.

제 6 도는, 제 3 도에 나타낸 카드의 프로우브침과 전극패드의 접촉상태를 설명하는 단면도.

제 7 도는, 제 3 도에 나타낸 카드의 프로우브침과 전극패드의 접촉상태를 설명하는 평면도.

제 8 도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 프로우브카드의 일부를 나타내는 단면도.

제 9도는, 제 8 도에 나타낸 카드의 프로우브침과 전극패드의 접촉상태를 설명하는 단면도.

제 10 도는, 기초대의 위치조정기구를 나타내는 개략 측면도.

제 11 도는, 길이가 긴 전극패드를 나타내는 평면도.

제 12 도는, 본 발명의 다른 실시예에 관한 프로우브카드의 프로우브침의 배치상태를 설명하는 사시도.

제 13 도는 제 12 도에 나타낸 카드의 프로우브침의 착설상태를 설명하는 사시도.

제 14 도는 제 12 도에 나타낸 카드의 프로우브침의 착설상태를 설명하는 정면도.

제 15 도는 제 12 도에 나타낸 카드의 프로우브침과 전극패드의 관계를 나타내는 단면도.

제 16 도는 제 12 도에 나타낸 카드의 프로우브침과 전극패드의 접촉상태를 설명하는 평면도.

제 17 도는 제 12 도에 나타낸 카드의 변경례를 나타내는 단면도.

제 18 도는 본 발명에 관한 프로우브카드를 사용한 검사장치의 다른 예를 나타내는 개략 평면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 프로우브 헤드 2 : FPC 필름

4 : 접촉 범프 5, 40 : 기초대

6, 16 : PFI 8, 8a : 전극패드

10 : 기판 12 : 지지체

14 : 글래스제 기판 16 : 표시부

18 : 가이드기구 20, 20a, 20b : 프로우브 카드

22 : 기판 24 : 개구부

26 : 프로우브침 28 : 지지틀

30 : 개구측면(제 2 면) 31 : 윗면(제 1 면)

32 : 홈 34 : 누름판

40 : 기초대 42 : Z 축 조정기구

44 : Y 축 조정기구 46 : X 축 조정기구

48 : 플레이트 50 : θ플레이트

52 : 마크 54 : 관측창

55 : 테스터 60 : 프로우브침

60b : 만곡부 60c : 수평부

60d : 앞끝단 62 : 홈

62a : 하부 64 : 누름판

76 : 연결판 78 : 가이드 레일

80 : 스텝핑 모우터 82 : 스크류 나사

본 발명은, 기판상에 배치된 복수의 전극패드를 구비하는 액정디스플레이의 반제품(이하 "PFI : Partially Fabricated Item"라 함)의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브 카드에 관한 것이다.

일반적으로, TFT(박막 트랜지스터)를 사용한 LCD(액정디스플레이)는 매우 우수한 고화질을 제공할수 있는 것으로서 주목되고 있다.

이러한 종류의 LCD 는 포토리소그래피 기술을 이용하여 제조된 다수의 화소(畵素)유니트를 구비한다. 화소유니트는, 예를 들면 한번이 수 100㎛ 정도인 각형을 하고 있으며, LCD 기판상에 수십만개 정도 배열되어 있다. LCD 기판은 예를 들면 글래스제의 판형상체로 이루어진다. 각 화소유니트는, TFT 및 이것에 병설된 화소전극을 구비한다. 화소전극은 TFT 의 드레인 전극에 전기적으로 접속된다.

각 화소유니트에 공통하며 투명한 전극이 LCD 기판상에 간극을 통하여 배열설치된다. 상기 간극에 액정이 봉입되고, LCD 가 구성된다.

LCD 에 있어서의 패턴의 미세화가 진행되고 , 대용량으로 될수록, 제품프로세스중의 미립자등에 기인하여, 결함이 발생하기 쉽게 된다. 이러한 결함은, 예를 들면 TFT 의 게이트, 드레인 사이 등의 쇼트나 배선패턴과 화소전극의 쇼트로 오게되는 것이다. 이들 결하은 액정봉입후에 수리하는 것이 곤란하다. 이때문에, 액정봉입전의 PFI 에 대하여, 각 화소유니트의 검사가 행해진다.

이 검사는, 예를 들면, 글래스기판의 뒷면쪽에 화소전극과 대향하도록 검사전극을 형성함으로서 행해진다. 게이트전극에 전압을 인가함과 함께, 상기 검사전극에 공통단자로부터 전류를 공급하고, 드레인 전류에 흐르는 전류를 검출하여 각 TFT 의 불량여부를 판정한다.

제 1 도 및 제 2 도에 종래의 검사장치를 나타내었다. 프로우브헤드(1)는, 유연한 필름상에 동(銅)에 의하여 회로가 패턴인쇄된 FPC(Flexible Print Circuit)필름(2)을 구비한다. 필름(2)상에는, 다수의 접촉범프(4)가, LCD 의 PFI(6)측의 다수의 전극패드(8)의 간극과 동일한 간격으로 형성된다. 필름(2)은, 예를 들면 글래스에폭시수지로 이루어지는 기판(10)에 형성된다. 기판(10)는 다시 탄성재료, 예를 들면 에라스토머제의 지지체(12)에 착설된다.

전극패드(8)는, 표시부(16)를 포위하도록 글래스제 기판(14)의 주위에 다수 배치된다. 제 2 도에 있어서는, 단순화를 위하여 5 개의 패드(8)로 이루어지는 전극패드군(G)이 나타내어져 있다. 프로우브헤드(1)는, 기초대(5)의 측부에 배열설치된 예를 들면 스크류 나사에 의하여 이루어지는 가이드기구(18)를 따라서 이동되고, 이 이동중에 범프(4)와 전극패드(8)가 차례로 접촉되고, 검사가 행해진다. 프로우브헤드(1)는, PFI(6)의 X, Y 방향으로 각각 전용으로 1개씩 형성된다. 또는 프로우브헤드(1)는 1개이고, PFI(6) 자체가 기초대(5)에서 90도 회전하도록 한 구조도 사용되고 있다.

전극패드의 크기를 통상 100 ㎛ ×100 ㎛ 또는 100㎛ ×200 ㎛ 정도의 매우 작은 것이다. 한편 LCD 기판은, 이미 450 ㎜ ×450 ㎜ 의 큰 사이즈의 것도 출현하고, 금후 다시 대형화하고 있는 경향에 있다. 이때문에, 이것에 따라서 패드수도 증가하게 된다.

따라서, 상술한 바와 같이 프로우브헤드(1)를 LCD 기판에 대하여 차례로 이동시키면서 패드군(G)에 대하여 여러차례 접촉시키는 검사방식으로는, 여러가지 문제점이 발생한다. 예를 들면, 작은 패드(8)가 다수 늘어선 패드군에 대하여, 어떤 패드에 대해서도 범프(4)를 패드(8)에 대하여 정확하게 위치시키기 위해서는, 범프(4)의 배치, 가이드기구 (18)에 의한 이송량, 프로우브헤드(1)의 착설등에 매우 높은 정밀도가 요구된다. 실제로는, 450 ㎜ 의 긴 범위에 분포한 전극패드(8)에 대하여 정확하게 범프(4)를 접촉시키는 것은 매우 곤란하다. 프로우브헤드를 대형화하여 각 전극패드를 일괄하여 검사하는 기술도 제안되어 있다. 그러나, 제작시와 사용시의 온도차에 기인하여, 프로우브헤드에 있어서의 헤드의 위치정밀도에 허용량 이상의 오차가 발생하는 경우가 있다.

접촉범프(4)의 대신에 프로우브침을 사용한 프로우브헤드도 제안되어 있다. 프로우브침은 통상 텅스텐과 같은 강성이 높은 재료로 형성된다. 이것은, 검사시에 프로우브침에 의하여 전극패드의 표면에 손상을 주고, 전극패드의 오염되지 않은 부분과 침을 접촉시킴에 의하여 양자간의 접촉저항을 작게 하기 위한 것이다. 그러나, 전극패드를 손상하는 때에, 먼지가 발생하여, 수율의 저하를 일으키는 요인으로 되고 있다. 또한 침과 전극패드는 점접촉으로 되어 있으므로, 그 접촉저항을 비교적 큰 값으로 된다.

본 발명의 목적은, LCD 의 PFI 의 전극패드에 대하여 프로우브헤드의 접촉부재를 정확하게 접촉시키는 구조를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 상기 전극패드와 접촉부재의 접촉저항을 저하시키는 구조를 제공함에 있다.

본 발명에 관한, LCD 기판상에 배열설치된 복수의 전극패드를 구비하는 LCD 의 PFI 의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브카드는, 카드기판과, 상기 카드기판에 착설된 지지틀과, 상기 지지틀에는 상기 전극패드와 동일한 수의 안내홈이 형성된 것과, 상기 지지틀이 상기 LCD 기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성된 것과, 각 상기 홈내에 장착된 프로우브침과, 상기 프로우브침의 상기 홈으로부터 돌출한 부분에 형성된 접촉부와, 상기 접촉부는 전극패드와 동일한 간격으로 배치되어 있는 것을 구비한다.

본 발명에 있어서는, 프로우브침을 지지하는 지지틀이, LCD 기판의 재료와 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 구성된다. 예를 들면, LCD 기판이 소오다글래스로 구성되는 경우에는, 지지틀도 동일한 선팽창률을 가지는 재료, 예를 들면 소오다글래스에 의하여 형성된다. 이것에 의하여 LCD 검사시에 있어서의 주위의 환경온도가 변화하여도, LCD 기판과 지지틀은 동일한 양만큼 신축하고, 결과적으로, 프로우브침과, LCD 기판의 전극패드와는 위치어긋남이 없게된다.

[실시예]

이하에, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상술한다.

제 3 도에 나타낸 본 발명의 제 1 실시예에 관하여, 프로우브헤드로 이루어진 프로우브카드(20)가, 기초대(40)에 대하여 이동가능하게 배치된다. 카드(2)는 기초대(40)상에 얹어놓인 LCD 의 PFI (16)의 기판(14)전체를 한번에 덮을수 있또록 그것보다는 약간 넓은 면적을 가진다.

LCD 의 기판(14)은, 예를 들면 소오다글래스로 형성되며, 그 크기는 예를 들면 450 ㎜ × 450 ㎜ 로 설정된다. LCD 의 표시부(16)를 규정하는 주변부의 긴변에 상당하는 부분에는, 100 ㎛ ×100 ㎛ 의 크기의 드레인용의 전극패드(8)를 수100㎛ 의 간격으로 다수개, 예를 들면 160개 나란하게 형성한 패드군(G)이 적절한 간격으로 6군(도면에는 3군만 도시됨) 배치된다. 따라서, 양쪽의 긴변에는 각각 예를 들면 960개의 전극패드(8)가 형성된다. 표시부(16)를 규정하는 주변부의 한쪽의 짧은 변에 상당하는 부분에는, 긴변과 같은 방식으로 예를 들면 480 개의 게이트용의 전극패드(8)가 형성된다.

PFI(16)를 검사하기 위한 프로우브카드(20)는, 기판 (22)및 지지틀(28), 또한 다수개의 프로우브침(26)을 구비한다. 기판(22)은, 그 중심부에 LCD 의 표시부(16)의 크기보다 약간 큰 크기의 개구부(24)를 가진다. 개구부(24)를 규정하는 4변을 따라서, 후술하는 방식으로 가공된 4개의 단면이 직사각형인 각기둥이 접합되고, 이것에 의하여 지지틀(28)이 구성된다. 기판(22)의 개구부(24)를 따라서 다수의 프로우브침(26)이, 지지틀(28)을 통하여 프로우브카드(20)에 착설된다. 프로우브침(26)으로서는, 텅스텐 선재료, 또는 금도금된 철선재료가 사용가능하다. 여기서 사용가능한 금도금된 철선재료는 사이파라는 상표명으로서 일본국 가부시끼가이샤 고오베 세이사꾸쇼에 의하여 시판되고 있다. 본 실시예에 있어서 프로우브침(26)은 100 ㎛ 의 직경을 가진다.

프로우브침(26)은, PFI(16)의 전극패드(8)의 설치위치와 대응하도록 배치된다. 구체적으로는, 프로우브침(26)은, 제 4 도에 도시한 바와 같이, 지지틀(28)의 개구측면(30)의 길이방향을 따라서 무리지어 다수 설치되어 있다. 각 프로우브침군(G1)은, 상술한 패드군 (G)과 동일하게 예를 들면 160 개의 프로우브침(26)으로 구성된다. 도면에 있어서는, 단순화를 위하여 5개의 프로우브침(26)만이 나타내어져 있다.

프로우브침(26)을 위치결정하는 지지틀(28)은, LCD 기판(14)을 구성하는 재료와 동일한 선팽창률을 가지는 재료, 예를 들면 동일재료로 구성된다. 구체적으로는, LCD 기판(14)이 소오다글래스에 의하여 구성되는 경우에는, 지지틀(28)도 예를 들면 동일한 선팽창률을 가지는 소오다글래스로 구성된다. LCD기판(14)이 석영글래스로 구성되는 경우에는, 지지틀(28)도 예를 들면 석영글래스로 구성된다. 동일하게, 프로우브카드(20)의 기판(20), 지지틀(28)의 개구측면(30)에 접착되는 누름판 (34)도, LCD 기판(14) 과 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성된다. 즉, 통상 이들 부재는, 지지틀(28)과 동일한 재료로, 예를 들면, 소오다글래스 또는 석영글래스로 형성된다.

기판(20), 지지틀(28), 누름판(34)을 LCD 기판(14)과 동일한 재료로 구성하지 않더라도, 선팽창률만 같은 절연성을 가지는 것이라면, 다른 재료의 조합이라도 좋다.

제 5 도에 나타낸 바와 같이, 지지틀(28)의 개구측면 (30)및 윗면(31)에는, 폭 L1이 예를 들면 110㎛ 정도의 L 자형상의 홈(32)이 소정의 피치로 다이시 쏘등에 의하여 형성된다. 홈(32)끼리의 간격 L2 은 예를 들면 80 ㎛ 정도로 설정된다. 홈(32)의 깊이는 프로우브침(26)이 이 홈내로 완전하게 수용될수 있는 깊이, 예를 들면 100 내지 300 ㎛ 로 되어 있다.

프로우브침(26)과 그 아래끝단부가 예를 들면 250 ㎛ 정도 아래쪽으로 돌출하도록, 홈(32)내에 배치된다. 그리고, 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 지지틀(28)의 개구측면(30)에 누름판 (34)이 접착되고, 지지틀(28)의 윗면(31)이 기판(22)에 접착된다. 이것에 의하여 홈(32)은 프로우브침(26)을 위한 안내구멍(36)으로 되고, 프로우브침(26)이 전극패드에 접촉할때의 이동을 안내하도록 된다.

각 프로우브침(26)의 기초부는, FPC 필름(29)에 형성된 각 신호선(제 3 도 참조)에 접촉된다. FPC 필름(29)상의 신호선은 테스터(55)에 접속된고, 이들 신호선을 통하여 LCD 의 PFI(6)를 검사하도록 구성된다.

제 10 도에 나타낸 바와 같이, PFI(6)를 얹어놓는 기초대 (40)는, Z(상하방향)방향을 조정하기 위하여, 상하로 이동가능하게 된 Z 축조정기구(42), Y(종방향) 방향을 조정하기 위하여 예를 들면 스텝핑 모우터에 의하여 구동되는 나사축이나 너트등을 가지는 Y축 조정기구(44), X (횡방향)방향을 조정하기 위하여 Y 축조정기구(44)와 동일하게 구성된 X 축조정기구(46)를 구비한다. X 축조정기구(46)상에는 플레이트(48)가 지지되고, 플레이트(48)에, θ 축조정용의 회전가능하게 된 θ플레이트(50)가 배열설치된다. PFI(6)는 θ플레이트(50)상에 얹어놓여 고정된다. 이들 조정기구는, 기초대(40)측이 아니고, 프로우브카드 (20)측에 배열설치하는 것도 가능하다.

제 3 도에 나타낸 바와 같이, LCD 기판(14)에는, 예를 들면 십자로 형성된 위치맞춤용의 마크(52)가 형성된다. 이것에 대하여, 프로우브카드(20)의 기판(22)에는, 마크(52)에 대응하는 부분에 CCD 카메라 또는 현미경과 연결되는 관측창(54)이 형성된다.

다음에, 이상과 같이 구성된 본 실시예의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, LCD 의 PFI(6)를 기초대(40)의 θ플레이트(50)에 착설고정한다. 위쪽으로부터 예를 들면 승강대에 착설된 프로우브카드(20)를 하강시켜 이 프로우브침(26)의 앞끝단부를 PFI(6)의 각 전극패드(8)에 접촉시킨다. 이 접촉에 있어서는, 프로우브카드(20)의 관측창(54)을 통하여 PFI(6)의 마크(52)를 CCD 카메라등에 의하여 주시하면서 기초대 (40)측의 각 조정기구를 작동시켜, X, Y, Z, θ등의 각 축을 조정한다. 이와 같이 하여 프로우브카드(20)와 PFI(6)를 서서히 접근시키면서 위치맞춤하고, 모든 프로우브침(26)과 전극패드를 일괄접촉시킨다. 그리고, 테스터(55)로부터 프로우브침(26)을 통하여 PFI(6)의 전극패드(8)에 소정의 주파수의 고주파 전압을 가하여 PFI 의 검사를 일괄하여 행한다.

본 실시예에서는, 프로우브카드(20)의 프로우브침(26)을 위치결정하여 고정하는 지지틀(28)이, LCD 기판(14)을 구성하는 재료, 예를 들면 소오다글래스와 동일한 선팽창률을 가지는 재료, 예를 들면 동일재료인 소오다글래스를 이용하여 구성된다. 이때문에, 예를 들면 프로우브카드(20)의 조립장소의 온도와 이 PFI(6)의 검사가 행해지는 장소의 온도에 차이가 있어도, 양부재가 함께 같은 정도의 길이만큼 열신축하는 것으로 된다. 따라서, 홈을 깍는 가공시의 온도를 지정하여 놓으면 양부재의 열신축은 상대적으로 상쇄되어 버림으로써, 결과적으로, 프로우브침 (26)의 앞끝단은, 위치어긋남이 거의 생기지 않고 PFI(6)의 대응하는 전극패드(8)에 접촉하는 것으로 된다. 즉, 450 ㎜ × 450 ㎜ 이상의 크기와 LCD 기판에 대해서도 프로우브침을 일괄하여 접촉시키는 것이 가능하고, 위치맞춤도 한번으로 끝나는 것이 가능하다.

프로우브침(26)을 위치결정하는 지지틀(28)은 절연저항치가 높은 글래스등에 의하여 구성되기 때문에, LCD 의 미세화에 대응하여 프로우브침(26)사이의 간극이 짧아도, 절연파괴를 일으킬 우려는 없다. 또한, 글래스는 강성이 높은 재료이므로, 접촉시의 침압력에 대해서도 그 변형왜곡을 종래재료인 알루미늄이나 글래스에폭시수지와 비교하여 큰 폭으로 억제하는 것이 가능하다. 또한 평면도(平面圖)를 내기쉬움에도 불구하고 흡습에 의한 변형도 없고, 크기정밀도를 한층 높게 유지하는 것이 가능하다.

동일한 글래스재료라도 석영글래스와 소오다글래스의 조합, 예를 들면 LCD 기판이 소오다글래스로, 프로우브침의 위치결정기판으로서 석영글래스를 사용한 경우에 대하여 검토한다. 예를 들면 양자의 선팽창률의 차는, 약 1 × 10^-5정도이다. 그러나, 한변이 450 ㎜ 인 LCD 기판에 있어서 10 ℃ 의 온도차가 있는 것으로 가정하며, 하기 식에 의하여 약 45 ㎛ 의 차가 생기고 만다.

450 ㎜ × 1 × 10^-5× 10 ℃ = 45 ㎛

예를 들면, 제 7 도에 나타낸 바와 같이, 한변의 길이 L3 가 100 ㎛ 인 전극패드(8)에 폭 L4 이 30 ㎛ 인 프로우브침(26)을 접촉시킨 상태를 상정하면, 이 양쪽의 허용간격 L5 은 각각 35 ㎛ 로 된다. 이 값은 상기한 차 45 ㎛ 보다 작기 때문에, 프로우브침(26)은 전극패드(8)로부터 벗어나게 되고, 접촉이 유지될수 없는 것으로 된다. 이와 같이 동일한 글래스질이라도 선팽창률이 다르면 적정한 조합은 될수 없다.

프로우브침(26)이 전극패드(8)에 접촉할 때에, 제 6 도에 나타낸 바와 같이, 프로우브침(26)은 전극패드(8)에 의하여 위쪽으로 눌린다. 그러나, 상술한 바와 같이, 프로우브침(26)의 직경이 100 ㎛ 임에 대하여, 홈(32b)의 깊이를 300 ㎛ 정도로 하여 놓으면, 프로우브침(26)의 수평부(26b)가 안내구멍(36)내로 활형상으로 굴곡하고, 프로우브침(26)의 앞끝단에 전극패드(8)에 대한 가하는 힘을 부여한다. 그 결과, 프로우브침(26)의 앞끝단은 위치어긋남되는 일이 없고 또한 학실하게 PFI(6)의 전극패드(8)에 접촉한다.

또한, 제 8도 및 제 9도에 나타낸 바와 같이, 프로우브침(26)의 수직부(26a)의 윗쪽에 홈(32)을 개방하는 것도 가능하다. 이 방식에 의하면, 프로우브침(26)은 전극패드(8)에 의하여 위쪽으로 누를때에, 프로우브침(26)의 수직부(26a)에 이것을 수용하는 안내구멍(36)을 따라서 그대로 위쪽으로 수직으로 들어올리고, 그 상부가 둘러싸인 상태로 안내구멍(36)의 개방부로부터 돌출한다. 이것에 의하여 프로우브침(26)의 앞끝단부에 전극패드(8)에 대한 가하여지는 힘이 부여되고, 그 앞끝단부는 위치어긋남이 없이 확실하게 PFI(6)의 전극패드(8)에 접촉한다. 또한 이 방식으로 하면, 프로우브침(26)의 크기의 어긋남에 의한 악영향을 경감하는 것이 가능하게 된다.

또한, 상기 실시예에서는, 지지틀(28)을 직접 기판(22)에 접착하고 있으나, 양자간에 탄성체를 개재하여도 좋다.

제 12 도 및 제 13도는 본 발명에 관한 프로우브카드의 다른 실시예를 나타낸다. 도면중, 제 4 도 및 제 5 도중의 부재와 대응하는 부재에는, 동일부호를 부여하였다. 이 실시예에서는, 프로우브침 (60)의 형상이 제 4 도 및 제 5도에 나타낸 프로우브침(26)과 크게 다르다.

프로우브침(60)은, 제 11 도에 나타낸 바와 같이 길다란 전극패드(8a)와 접촉하는 것에 특히 적합하다. 예를 들면, 전극패드(8a)는, 길이 L6, 폭 L7 이 각각, 약 2400 ㎛, 140 ㎛ 로 설정된다. 본 실시예는, 예를 들면 160 개의 이러한 전극패드(8a)로 이루어진 패드군이, 상술한 바와 같이, 복수의 기판상에 배치된 LCD 의 PFI 의 검사를 상정하여 구성된다.

제 13 도에 나타낸 바와 같이, 지지틀(28)에는, 폭 L11 이 예를 들면 110 ㎛ 정도인 홈(62)이 소정의 피치로 다이싱 쏘 등에 의하여 형성된다. 홈(62) 끼리의 간격 L 12 은 예를 들면 80 ㎛ 정도로 설정된다. 홈(62)의 깊이는 프로우브침(60)이 이 홈내로 완전하게 수용될수 있는 깊이로 되어 있다. 구체적으로는, 상부가 200 내지 300 ㎛로, 수직부는 약 100 ㎛, 하부(62a)는 이보다도 깊게, 그 깊이 L13 가 400 ㎛ 정도로 설정된다.

홈(62)내에 배열설치되는 프로우브침(60)은, 제 15 도에 나타낸 바와 같이, 대략 갈고리 형상을 가진다. 프로우브침(60)의 수직부(60a)의 아래끝단부에는 만곡부(60b)가 형성되고, 침(60)이 대략 90 도 굴곡된다. 만곡부(60b)는 반경이 약 0.5 ㎜ 의 링형상으로 돌출부로서 형성되고, 프로우브침(60)에 탄성력이 부여된다. 만곡부(60b)로부터 수평방향으로 연장되는 부분에는, 아래방향으로 돌출하고 또한 대략 수평인 길이 L 14 가 약 1 ㎜ 정도의 수평부(60c)가 형성된다. 수평부(60c)는, 길이 약 2.4 ㎜ 인 전극패드(8a)의 표면에 선접촉하기 쉽도록 구성된다.

수평부(60c)로부터 앞으로 연장되는 앞축(60d)은, 지지틀(28)로부터 사이를 두고, 자유끝단으로 된다. 이 때문에, 프로우브침(60)이 전극패드(8a)와 접촉할 때에 수평부(60c)에 부여되는 밀어누르는 힘이 탄성적으로 흡수된다.

지지틀(288)의 개구측면(30)에는 누름판(64)이 접착되고, 홈(62)이 안내구멍(64)으로서 구성된다. 누름판(64)은, 제 5 도에 나타낸 누름판(34)보다 짧고, 프로우브침(60)의 만곡부(60b)와 간섭하지 않도록 되어 있다.

본 실시예에서는, PFI 의 검사시에, 수평부(60c)가 긴 전극패드(8a)에 선형상으로, 소위 선접촉하는 것으로 된다. 따라서, 점접촉의 경우에 비하여, 접촉저항을 큰폭으로 작게 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 점접촉의 때에 형성되는 것과 같은 긁힘 손상이 전극패드(8a)에 발생하는 일이 없고, 따라서, 먼지도 발생하지 않기 때문에, 수율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 프로우브침(60)에 만곡부(60b)가 형성됨과 함께, 앞끝단(60d)이 자유끝단으로 되어 있기 때문에, 전극패드(8a)로의 접촉과 동시에 수평부(60c)는 만곡부(60b)를 중심으로 하여 위쪽으로 탄성적으로 들어올려 진다. 이때, 앞끝단(60d)이 홈(62)의 바닥으로 되는 지지틀(28)의 부분과 접촉하면 제 16 도에 나타낸 바와 같이, 앞끝단(60d)은 약간 수평방향으로 미끄러지도록 이동한다. 이와 같은 방식으로 하여, 수평부(60c)는 전극패드(8a)와 탄성적으로 접촉하기 때문에 프로우브침(60)의 제작 또는 착설시에 생기는 수평부(60c)의 돌출상태의 어긋남에도 불구하고, 수평부(60c)는 전극패드(8a)에 대하여 확실하게 접촉하는 것이 가능하다. 접촉압력의 균일성은, 기판(22)과 지지틀(28)의 사이에 탄성체를 끼워설치하면 한층 개선하는 것이 가능하다.

프로우브침 앞끝단(60d)은, 제 17 도에 나타낸 바와 같이, 본드등의 접착제(70)에 의하여 지지틀(28)에 접착하고, 고정끝단으로서 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 프로우브침(60)의 수평부(60c)의 탄성이 부족한 것도 고려되어야 하므로, 이 지지틀(28)과 기판(22)의 사이에 탄성체, 예를 들면 에라스토머로 이루어지는 완충부재를 개재시켜도 좋다.

프로우브침(60)은, LCD의 전체 전극패드에 일괄하여 접촉하는 방식의 프로우브카드뿐이 아니고, 제 18 도에 나타낸 바와 같이, 분할형의 프로우브카드에도 적용할수 있다. 제 18 도에 있어서, LCD 의 PFI(6)의 양쪽 긴변을 따라서 한쌍의 프로우브카드(20a),(20a) 가 대향하여 배열설치된다. 카드(20a),(20a)는 연결판 (76)에 의하여 연결된다. 연결판(76)은 PFI(6)의 길이방향을 따라서 늘어나는 한쌍의 가이드 레일 (78),(78)상을 따라서 이동가능하게 되어 있다. 연결판(76)은 예를 들면 스템핑 모우터(80)에 의하여 회전되는 스크류나사(82)에 의하여 구동된다. 또한, PFI(6)의 게이트용의 전극패드에 접촉하기 위하여 PFI(6)의 한쪽의 짧은변 측에는, 프로우브카드(20b)가 배열설치된다.

또한, 이상의 실시예에서는, 사각형의 LCD 를 위한 프로우브카드에 대하여 설명하였으나, 본 발명은, 예를 들면 삼각형, 받침대 형상의 LCD 를 위한 프로우브카드에도 적용하는 것이 가능하다.

Claims (17)

1. LCD 기판상에 배열설치된 복수의 전극패드를 구비하는 액정디스플레이의 반제품의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브카드로서, 카드기판(22)과, 상기 카드기판(22)에 착설되고, 상기 전극패드(8)과 대응한 안내홈(32)이 형성되며, 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되어 있는 지지틀(28)과, 상기 각 홈(32)내에 장착된 프로우브침(26)과, 상기 프로우브침(26)의 상기 홈(32)으로부터 돌출한 부위에 형성되고, 전극패드와 동일한 간격으로 배치되어 있는 접촉부를 구비하는 프로우브카드.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 홈(32)은, 상기 지지틀에 접착된 누름판(34)에 의하여 부분적으로 폐쇄되는 프로우브카드.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 카드기판(22)은 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되는 프로우브카드.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 누름판(34)이 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되는 프로우브카드.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 지지틀(28)이 상기 LCD기판과 실질적으로 동일한 재료로 형성되는 프로우브카드.
6. 제 3 항에 있어서, 상기 카드기판(22)이 상기 LCD기판과 실질적으로 동일한 재료로 형성되는 프로우브카드.
7. 제 4 항에 있어서, 상기 누름판(34)이 상기 LCD 기판과 실질적으로 동일한 재료로 형성되는 프로우브카드.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 지지틀(28)이 상기 카드기판에 접착되는 제 1면(31)과, 상기 제 1 면(31)에 인접하며 또한 이것과 각도를 이루는 제 2 면(30)을 구비하고, 상기 홈이 상기 제 1 및 제 2 면(31),(30)을 따라서 각각 실질적으로 연장되는 제 1 및 제 2 부분을 구비하고, 상기 프로우브침(26)의 상기 제 2 부분의 자유끝단에 상기 접촉부가 형성되는 프로우브카드.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 지지틀(28)의 상기 제 2 면(30)에 접착된 누름판(34)에 의하여 부분적으로 폐쇄되는 프로우브카드.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 지지틀(28)이 상기 카드기판(22)에 접착되는 제 1 면(31)과, 상기 제 1 면(31)에 인접하고 또한 이것과 각도를 이루는 제 2 면(30)과, 상기 제 1 면(31)과는 반대쪽에서 상기 제 2 면(31)과 인접하고 또한 이것과 각도를 이루는 제 3 면과를 구비하고, 상기 홈이 상기 제 1, 제 2 및 제 3 면에 각각 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 부분을 구비하고, 상기 프로우브침(26)이 상기 제 1, 제 2 및 제 3 면을 따라서 각각 실질적으로 연장되는 제 1, 제 2 및 제 3 부분을 구비하고, 상기 프로우브침(26)의 상기 제 3 부분의 측부가 일부 상기 홈의 제 3 부분에서 돌출하고, 여기에 상기 접촉부가 형성되는 프로우브카드.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 홈(32)이, 상기 지지틀(28)의 상기 제 2 면에 접착된 누름판(34)에 의하여 부분적으로 폐쇄된 프로우브카드.
12. LCD 기판상에 배열 설치된 복수의 전극패드를 구비하는 액정디스플레이의 반제품의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우브카드로서, 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되는 카드기판(22)과, 상기 카드기판(22)에 착설되고, 상기 카드기판(22)에 접착되는 제 1 면과, 상기 제 1 면에 인접하고 또한 이것과 각도를 이루는 제 2 면과를 구비하며, 상기 전극패드와 동일한 수의 안내홈(62)이 형성되고, 상기 홈(62)이 상기 제 1 및 제 2 면에 각각 형성된 제 1 및 제 2 부분을 구비하며, 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되는 지지틀(28)과,

    상기 각 홈(62)내에 장착되고, 상기 제 1 및 제 2 면을 따라서 각각 실질적으로 연장되는 제 1 및 제 2 부분을 구비하는 프로우브침(60)과, 상기 프로우브침(60)의 상기 홈(62)으로부터 돌출한 부위에 형성되고, 전극패드와 동일한 간격으로 배치되는 접촉부와, 상기 지지틀(28)의 상기 제 2 면에 접착되고, 상기 홈(62)을 부분적으로 폐쇄하며, 상기 LCD기판의 재료와 실질적으로 동일한 선팽창률을 가지는 재료로 형성되는 누름판(64)을 구비하는 프로우브카드.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 프로우브침(60)의 상기 제 2 부분의 자유끝단에 상기 접촉부가 형성되는 프로우브카드.
14. 제 12 항에 있어서, 상기 지지틀(28)은 또한 상기 제 1 면과는 반대쪽에 상기 제 2 면과 인접하고 또한 이것과 각도를 이루는 제 3 면을 구비하고, 상기 홈(62)는 또한 상기 제 3 면에 형성된 제 3 부분을 구비하고, 상기 프로우브침(60)은 또한 상기 제 3 면을 따라서 실질적으로 연장되는 제 3 부분을 구비하고, 상기 프로우브침(60)의 상기 제 3 부분의 측부가 일부 상기 홈(62)의 제 3 부분에서 돌출하고, 여기에 상기 접촉부가 형성되는 프로우브카드.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 프로우브침(60)의 상기 접촉부가 상기 제 3 면과 실질적으로 평행한 수평부(60c)에 의하여 형성되는 프로우브카드.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 프로우브침(60)의 상기 제 3 부분의 앞끝단(60d)이 상기 지지틀(28)과 비첩촉상태로 배치되는 프로우브카드.
17. 제 15 항에 있어서, 상기 프로우브침(60)의 상기 제 2 및 제 3 부분의 사이에, 상기 프로우브침(60)의 제 3 부분에 탄성력을 부여하기 위한 링형상 만곡부(60b)가 형성되는 프로우브카드.