KR100213436B1 - Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템 - Google Patents

Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100213436B1
KR100213436B1 KR1019970001837A KR19970001837A KR100213436B1 KR 100213436 B1 KR100213436 B1 KR 100213436B1 KR 1019970001837 A KR1019970001837 A KR 1019970001837A KR 19970001837 A KR19970001837 A KR 19970001837A KR 100213436 B1 KR100213436 B1 KR 100213436B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
lcd panel
glass
substrate
cutting
Prior art date
Application number
KR1019970001837A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19980066365A (ko
Inventor
박경호
김용수
Original Assignee
윤종용
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019970001837A priority Critical patent/KR100213436B1/ko
Publication of KR19980066365A publication Critical patent/KR19980066365A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100213436B1 publication Critical patent/KR100213436B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device

Abstract

본 발명은 유리 커팅 설비에 관한 것으로 커팅 설비와 일정간격 이격되어 폐유리를 폐기할 수 있는 폐기함과 폐유리를 폐기함으로 유입시키고 유리분진들을 제거하는 수평바를 설치함으로써 폐유리를 폐기처분 할 때 유리 분진이나 유리 파편이 청정실 바닥에 떨어지는 것을 방지할 수 있어 청정실 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 청정실 바닥에 유리 분진이나 유리 파편들이 떨어지지 않기 때문에 제 2 청정실 하부에 위치한 지하층에 파티션과 클린 필터 유닛이 제거됨으로써 공기 흐름이 원활하며 소비전력을 절감할 수 있다.

Description

LCD 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템
본 발명은 LCD 패널 제작 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 패널 제작용 유리 기판에서 LCD 패널을 분리한 후 나머지 유리 기판을 폐기처분 할 때 발생되는 유리 분진이나 유리 파편들로 인해 청정실이 오염되는 것을 방지하기 위해 폐유리 폐기함을 설치한 LCD 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 패널 제작 장치는 TFT 및 칼라 필터 제작용 유리 기판에 TFT 패턴과 칼라 필터 패턴을 각각 형성하고, TFT 패턴이 형성된 유리기판과 칼라 필터 패턴이 형성된 유리 기판을 부착한 후 TFT 기판과 칼라 필터 기판을 각각의 크기에 맞도록 유리 기판을 절단하는 설비이다.
절단 공정은 TFT 기판과 칼라 필터 기판이 부착된 유리기판 내부로 오염물질이 유입되는 것을 방지하기 위해서 보통 청정실에서 진행되는데, 커팅 공정이 진행되는 청정실 하부, 즉 지하층에는 유리 파편들이 청정실 시스템내의 다른 청정실 내부로 유입되는 것을 방지하기 위해서 단독 공조로 되어 있다. 또한, 단독 공조로 되어 있는 지하층에는 유리 분진들을 1차적으로 제거하기 위한 클린 필터 유닛(CFU;Clean Filter Unit)이 설치되어 있다.
이와 같이 LCD 패널 제작 공정이 진행되는 청정실 하부에 위치한 지하층은 단독 공조로 인한 파티션이 설치되어 있어 차압과 기류의 불균형이 유발되고, 또한, 공기가 흐르는 방향에 클린 필터 유닛이 설치되어 있어 클린 필터 유닛을 구동시키는데 많은 에너지 소비되었다.
도 1은 종래의 청정실 시스템을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 2는 LCD 패널 제작 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 청정실 시스템(10)은 3개의 층으로 나누어져 있는데, 공정이 진행되는 청정실(11)(13)을 중심으로 청정실(11)(13) 하부층에는 청정실 내부의 오염된 공기를 배출하기 위한 지하층(20)(21)이 설치되어 있고, 청정실(11)(13) 상부에는 지하층(20)으로 배출된 공기를 필터링하여 다시 청정실(11)(13) 내부로 공급하기 위한 상부층(30)으로 구성되어 있다.
여기서, 청정실(11)(13)은 복도(12)를 사이에 두고 TFT 제작용 유리기판과 칼라필터 제조용 유리기판을 부착하는 공정이 진행되는 제 1 청정실(11)이 좌측에 설치되어 있고, 제 1 청정실(11)에서 부착된 유리기판을 LCD 패널(TFT 기판과 칼라필터 기판이 부착된 상태)의 크기에 맞도록 절단하는 공정이 진행되는 제 2 청정실(13)이 우측에 설치되어 있다. 또한, 제 2 청정실(13) 하부에 위치한 지하층(21)에는 유리기판을 절단할 경우 유리 분진들이 제 1 청정실(11) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위해서 파티션(23)이 설치되어 있고, 파티션(23)이 형성되어 있는 지하층(21)에는 유리 분진들을 1차적으로 제거하기 위한 클린 필터 유닛(25)이 공기 흐르는 방향에 설치되어 있다. 또한, 상부층(30)에는 지하층(20)에서 상부층(30)으로 유입된 공기를 필터링하여 다시 제 1 및 제 2 청정실(11)(13)로 유입시키는 복수개의 팬 필터 유닛(31)이 설치되어 있다.
여기서, 제 2 청정실에는 도 2에 도시된 바와 같이 LCD 패널 제작 장치가 설치되어 있다.
LCD 패널 제작 장치는 TFT 제작용 유리기판(71)과 칼라 필터 제작용 유리기판(75)이 부착된 유리기판(70) 중 TFT 제작용 유리기판(71)에서 TFT 기판(미도시)을 절단하기 위한 TFT 기판 절단 챔버(40)가 설치되어 있으며, TFT 기판 절단 챔버(40) 우측에는 부착된 유리기판(70) 중 칼라필터 제작용 유리기판(75)에서 칼라필터 기판(미도시)을 절단하기 위한 칼라필터 기판 절단 챔버(50)가 설치되어 있다.
또한, 칼라필터 기판 절단 챔버(50) 우측에는 유리기판(70)에서 절단된 LCD 패널(73)을 분리하기 위한 작업대(60)가 설치되어 있다.
이와 같이 구성된 종래의 LVD 패널 제작 장치에서 LCD 패널을 절단하여 분리하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제 1 청정실(11)에서 12.4 인치 TFT 기판이 형성된 TFT 제작용 유리기판(71)과 12.4 인치 칼라필터 기판이 형성된 칼라필터 제작용 유리기판(75)이 부착되면 부착된 TFT 기판과 칼라필터 기판을 유리기판(70)에서 절단하기 위해 제 2 청정실(13)로 이송된다.
제 2 청정실(13)로 이송된 유리기판(70)은 로울러(미도시)에 의해 커팅 설비의 TFT 기판 절단 챔버(40) 내부로 이송되고, 이송된 유리기판(70)에서 TFT 제작용 유리기판(71)에 형성되어 있는 TFT 기판을 절단하기 위해 커팅 툴(미도시)을 이용하여 TFT 제작용 유리기판(71)에 형성되어 있는 커팅선을 따라 TFT 제작용 유리기판(71)에 선을 그어 절단 홈을 형성한다. 이후, TFT 제작용 유리기판(71)에 형성되어 있는 절단 홈 부분에 충격을 가하여 TFT 제작용 유리기판(71)에서 TFT 기판을 절단한다. 이때, 충격에 의해서 TFT 기판은 TFT 제작용 유리기판(71)에서 절단되지만 TFT 제작용 유리기판(71)과 칼라 필터 제작용 유리기판(75)의 가장자리, TFT 기판과 칼라필터 기판 가장자리가 부착되어 있으므로 TFT 기판이 TFT 제작용 유리기판(71)에서는 분리되지 않는다.
이어서, TFT 기판 절단 챔버(40)에 설치되어 있는 로봇 암(미도시)이 TFT 제작용 유리기판(71)을 흡착하여 180°회전시키면 칼라필터 기판 절단 챔버(75)에 설치되어 있는 로봇 암이 칼라필터 제작용 유리기판(75) 상부면을 흡착하여 칼라필터 기판 절단 챔버(50)로 유리기판(70)을 이송한다. 이후, 칼라 필터 제작용 유리기판(75)에서 칼라필터 기판을 절단하기 위해 커팅 툴을 이용하여 칼라 필터 제작용 유리기판(75)에 형성되어 있는 커팅선을 따라 선을 그어 절단 홈을 형성한다. 이후, 절단 홈이 형성된 칼라 필터 제작용 유리기판(75)에 충격을 가하면 충격에 의해서 절단 홈이 깨져 칼라필터 기판이 칼라필터 제작용 유리기판(75)에서 절단된다.
상기와 같은 과정을 통해 TFT 기판과 칼라필터 기판이 TFT 제작용 유리기판 및 칼라필터 제작용 유리기판(71)(75)에서 절단되면 칼라필터 기판 절단 챔버(50)에 설치되어 있는 로봇 암을 이용하여 유리기판(70)을 작업대(60)로 이송한다. 여기서, 유리기판(70)을 작업대(60)에 놓을 때 TFT 기판과 칼라필터 기판이 결합된 12.1인치 LCD 패널(73)을 유리기판(70)에서 분리하기 위해 유리기판(70)을 소정 높이에서 하강시킨다.
이후, LCD 패널(73)이 유리기판(70)에서 완전히 분리되면 작업자는 유리기판(70)에서 LCD 패널(73)만을 수거하여 캐리어에 적재하고 LCD 패널이 수거된 나머지 유리기판(70)은 작업자에 의해서 폐기처분된다.
한편, 공정이 진행되는 동안 제 1 청정실(11)과 제 2 청정실(13)의 청정도를 일정하게 유지하기 위해서 제 1 및 제 2 청정실(11)(13) 내부의 공기를 지하층(20)으로 배출시키는데, 제 1 청정실(11)에서 배출된 공기는 상부층(30)의 팬 필터 유닛(31)으로 유입되어 필터링된 후 다시 제 1 및 제 2 청정실(11)(13) 내부로 공급되지만, 제 2 청정실(13)에서 배출된 공기중에는 유리커팅으로 인해 유리파편이나 유리 분진들이 제 2 청정실(13) 내부에 존재함으로 클린 필터 유닛(25)에서 1차적으로 필터링한 후에 팬 필터 유닛(31)으로 유입되어 필터링된 다음 제 1 및 제 2 청정실(11)(13) 내부로 유입된다
그러나, 작업자가 수작업을 통하여 TFT 제작용 유리기판과 칼라필터 재작용 유리기판이 부착된 유리기판에서 LCD 패널을 수거하여 카세트에 적재하고, LCD 패널이 수거된 유리기판을 폐기처분함으로 작업 효율이 저하되었고, 또한 LCD 패널이 수거된 유리기판을 폐기처분할 때 유리기판이 깨지면서 유리 파편들과 분진들이 제 2 청정실 바닥으로 떨어져 제 2 청정실의 공기가 오염되었으며, 음전하를 가지고 있는 유리분진들이 양전하로 대전된 설비에 부착되어 정전기를 발생시키는 원인이 되었다.
또한, 제 2 청정실이 위치한 지하층에는 제 2 청정실에서 배기된 공기중에 존재하는 유리 분진들이 다른 청정실로 확산되는 것을 방지하기 위해서 파티션과 클린 필터 유닛을 설치되어 있어 공기 흐름이 방해되었고 소비 전력이 증가되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이송장치를 이용하여 유리기판에서 LCD 패널을 분리하고, LCD 패널이 분리된 나머지 유리기판을 폐기처분 할 경우 유리 분진과 유리 파편들이 제 2 청정실 바닥에 떨어지는 것을 방지하기 위해서 유리 커팅 설비에 이송장치와 폐기함을 설치하여 작업 효율이 저하되는 것과 청정실이 오염되는 것을 방지하기 위한 LCD 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 제 2 청정실 바닥에 존재하는 유리 분진과 유리 파편들이 지하층 내부로 흡입되는 것을 방지함으로써 지하층에 설치된 파티션과 클린 필터 유닛을 제거하여 소비전력을 절감하기 위한 LCD 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템을 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 청정실 시스템의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도이고,
도 2는 종래의 LCD 패널 제작 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 발명에 의한 청정실 시스템의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도이고,
도 4는 본 발명에 의한 LCD 패널 제작 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이며,
도 5는 본 발명에 의한 LCD 패널 제작 장치의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 상태도이다
* 도면 주요부분에 대한 부호의 설명
111 : 제 1 청정실 113 : 제 2 청정실
120 : 지하층 130 : 상부층
131 : 팬 필터 유닛 140 : TFT 기판 커팅 챔버
150: 칼라필터 기판 커팅 챔버 160: 폐기함
163: 가이드 레일 165 : 이동형 스테이지
170: 고정형 스테이지 181: 가이드
183 : 수평바 187 : 로봇 암
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 TFT 제작용 유리기판과 상기 칼라필터 제작용 유리기판이 부착된 유리기판을 소정의 크기로 절단하기 위한 커팅수단과, 상기 커팅수단에 의해 상기 유리기판에서 절단된 LCD 패널을 이송하기 위한 이송수단과, 상기 이송수단에 의해서 상기 LCD 패널이 분리된 폐유리를 폐기처분하기 위한 폐기수단과, 상기 폐기수단과 일정간격 이격되고 상기 이송수단에 의해 이송된 LCD 패널이 놓이는 고정형 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 의한 커팅 설비를 첨부된 도면 도 3과 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 3 은 본 발명에 의한 청정실 시스템을 내부 구조를 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명에 의한 커팅 설비를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발면에 의한 LCD 패널 제작 장치의 동작을 개략적으로 나타낸 상태도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 청정실 시스템(100)은 3개의 층으로 나누어져 있는데, 공정이 진행되는 청정실(111)(113)을 중심으로 청정실(111)(113) 하부층에는 청정실(111)(113) 내부의 오염된 공기를 배출하기 위한 지하층(120)이 설치되어 있고, 청정실(111)(113) 상부에는 지하층(120)으로 배출된 공기를 필터링하여 다시 청정실((111)(113) 내부로 공급하기 위한 상부층(130)으로 구성되어 있다.
여기서, 청정실(111)(113)은 복도(112)를 사이에 두고 TFT 제작용 유리기판(191)과 칼라필터 제작용 유리기판(195)을 부착하는 공정이 진행되는 제 1 청정실(111)이 좌측에 설치되어 있고, 제 1 청정실(111)에서 부착된 유리기판을 LCD 패널의 크기에 맞도록 절단하는 공정이 진행되는 제 2 청정실(113)이 우측에 설치되어 있다. 또한, 상부층(130)에는 지하층(120)에서 상부층(130)으로 유입된 공기를 필터링하여 다시 제 1 및 제 2 청정실(111)(113)로 유입시키는 복수개의 팬 필터 유닛(131)이 설치되어 있다.
여기서, 제 2 청정실(131)에는 도 4에 도시된 바와 같이 LCD 패널 제작 장치가 설치되어 있다.
LCD 패널 제작 장치는 로울러에 의해서 투입된 유리기판(190) 중 TFT 기판을 절단하기 위한 TFT 기판 절단 챔버(140)가 설치되어 있고, TFT 기판 절단 챔버(140) 우측에는 부착된 유리기판(190) 중 칼라필터 기판을 절단하기 위한 칼라필터 기판 절단 챔버(150)가 설치되어 있다.
또한, 칼라필터 기판 절단 챔버(150) 우측에는 LCD 패널(193)이 수거된 나머지 유리기판을 폐기처분하기 위한 폐기함(160)이 설치되어 있고, 폐기함(160) 우측에는 유리기판(190)에서 분리된 LCD 패널(193)을 놓기 위한 고정형 스테이지(170)가 설치되어 있다.
여기서, 폐기함(160)은 가장자리에서 일정길이만큼 연장된 벽면(161)이 일정한 기울기로 기울어져 있고, 폐기함(160) 내측 벽에는 가이드 레일(163)이 설치되어 있으며, 가이드 레일(163)에는 가이드 레일(163)을 따라 좌우로 이동하는 이동형 스테이지(165)가 축(167)에 의해서 연결되어 있다. 또한, 폐기함(160) 외측 중앙에는 막대형상의 가이드(181)가 수직으로 세워져 있고, 가이드(181) 상부에는 가이드(181)를 따라 상하로 이동되고 가이드(181)와 직각을 이루는 막대형상의 수평바(183)가 설치되어 있고, 수평바(183) 하부에는 유리분진들을 제거하기 위해서 진공 홀(미도시)이 형성되어 있으며, 가이드(181) 외부에는 수평바(183)와 연결된 진공관(185)이 설치되어 있다. 또한, 폐기함(160)과 고정형 스테이지(170) 사이에는 유리기판(190)으로부터 LCD 패널(193)을 분리하여 고정형 스테이지(170)로 이송하기 위해 회전하는 로봇 암(187)이 설치되어 있고, 로봇 암(187) 단부에는 상하로 이동되는 축(188)이 설치되어 있고 축(188)에는 흡착판(189)이 고정되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 LCD 패널 제작 장치에서 LCD 패널을 절단하여 분리하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제 1 청정실(111)에서 12.4 인치 TFT 기판이 형성된 TFT 제작용 유리기판(191)과 12.4 인치 칼라필터 기판이 형성된 칼라필터 제작용 유리기판(195)이 부착되면 부착된 TFT 기판과 칼라필터 기판을 유리기판(190)에서 절단하기 위해 제 2 청정실(113)로 이송된다.
제 2 청정실(113)로 이송된 유리기판(190)은 로울러(미도시)에 의해 커팅 설버의 TFT 기판 절단 챔버(140) 내부로 이송되고, 이송된 유리기판(190)에서 TFT 제작용 유리기판(191)에 형성되어 있는 TFT 기판을 절단하기 위해 커팅 툴(미도시)을 이용하여 TFT 제작용 유리기판(191)에 형성되어 있는 커팅선을 따라 TFT 제작용 유리기판(191)에 선을 그어 절단 홈을 형성한다. 이후, TFT 제작용 유리기판(191)에 형성되어 있는 절단 홈 부분에 충격을 가하여 TFT 제작용 유리기판(191)에서 TFT 기판을 절단한다. 이때, 충격에 의해서 TFT 기판은 TFT 제작용 유리기판(191)에서 절단되지만 TFT 제작용 유리기판(191)과 칼라 필터 제작용 유리기판(195)의 가장자리, TFT 기판과 칼라필터 기판 가장자리가 부착되어 있으므로 TFT 기판이 TFT 제작용 유리기판(191)에서는 분리되지 않는다.
이어서, TFT 기판 절단 챔버(140)에 설치되어 있는 로봇 암(미도시)이 TFT 제작용 유리기판(191)을 흡착하여 180°회전시키면 칼라필터 기판 절단 챔버(195)에 설치되어 있는 로봇 암이 칼라필터 제작용 유리기판(195) 상부면을 흡착하여 칼라필터 기판 절단 챔버(150)로 유리기판(190)을 이송한다. 이후, 칼라 필터 제작용 유리기판(195)에서 칼라필터 기판을 절단하기 위해 커팅 툴을 이용하여 칼라 필터 제작용 유리기판(195)에 형성되어 있는 커팅선을 따라 선을 그어 절단 홈을 형성한다. 이후, 절단 홈이 형성된 칼라 필터 제작용 유리기판(195)에 충격을 가하면 충격에 의해서 절단 홈이 깨져 칼라필터 기판이 칼라필터 제작용 유리기판(195)에서 절단된다.
상기와 같은 과정을 통해 TFT 기판과 칼라필터 기판이 TFT 제작용 유리기판 및 칼라필터 제작용 유리기판(191)(195)에서 절단되면 칼라필터 기판 절단 챔버(150)에 설치되어 있는 로봇 암을 이용하여 유리기판(190)을 이동형 스테이지(165)로 이송한다. 여기서, 유리기판(190)을 이동형 스테이지(165) 상부면에 올려놓을 때 TFT 제작용 유리기판이 위로향하게 한 상태에서 TFT 기판과 칼라필터 기판이 결합된 12.1인치 LCD 패널(193)을 유리기판(190)에서 분리하기 위해 유리기판(190)을 소정 높이에서 하강시킨다.
이후, 이동형 스테이지(165) 상부면에 유리기판(190)이 놓여지면 도 5(a)에 도시된 바와 같이 가이드 레일(163)과 연결되어 있는 이동형 스테이지 축(167)이 가이드 레일(163)을 따라 우측으로 이동하게 된다. 이후, 도 5(b)에 도시된 바와 같이 이동형 스테이지(165)의 상부면에 놓인 유리기판(190)에서 LCD 패널(193)(194)을 분리하기 위해 로봇 암(187)의 단부에 설치되어 있는 축(188)이 하강되고 축(188)에 고정되어 있는 흡착판(189)에 의해서 LCD 패널(193)이 유리기판(190)에서 분리되며, 로봇 암(187)이 회전하여 흡착판(189)에 흡착된 LCD 패널(193)을 고정형 스테이지(170)로 이송하게 된다. 이와 동일한 방법으로 또하나의 LCD 패널(194)을 고정형 스테이지(170)로 이송한다.
도 5(c)에 도시된 바와 같이 로봇 암(187)에 의해서 LCD 패널들(193)(194)이 고정형 스테이지(170)로 전부 이송되면 이동형 스테이지(165) 상부면에는 LCD 패널(193)(194)이 분리된 폐유리(192)만이 남게된다. 도 5(d)에 도시된 이와 같이 이동형 스테이지(165) 상부면에 놓인 폐유리(192)를 폐기처분하기 위해서 가이드(181)를 따라 수평바가 하강되면 이동형 스테이지(165)가 가이드 레일(163)을 따라 좌측으로 이동하기 때문에 이동형 스테이지(165) 상부면에 놓인 폐유리(192)를 밀게 되어 도 5(e)에 도시된 바와 같이 폐유리(192)는 폐기함(160)으로 떨어짐과 아울러 이동형 스테이지(165)에 존재하는 유리분진들은 수평바(183) 하부면에 형성되어 있는 진공 홀에 의해서 흡입된다. 따라서, 유리기판(190)에서 LCD 패널(193)을 수거하고, LCD 패널(193)(194)이 수거된 폐유리(192)를 폐기처분할 때 작업자가 수작업을 하지 않고 로봇 암(187)과 수평바(181)를 이용하여 작업을 진행함으로써 작업자의 노동력이 절감되었고, 유리분진이나 유리 파편들이 제 2 청정실(113) 바닥에 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 공정이 진행되는 동안 제 1 청정실(111)과 제 2 청정실(113)의 청정도를 일정하게 유지하기 위해서 제 1 및 제 2 청정실(111)(113) 내부의 공기를 지하층(120)으로 배출시키는데, 제 1 및 제 2 청정실(111)(113)에서 지하층(120)으로 배출된 공기는 상부층(130)으로 순환되고, 팬 필터 유닛(131)에 유입되어 필터링된 후 다시 제 1 및 제 2 청정실(111)(113) 내부로 공급된다.
따라서, 종래에서와 같이 제 2 청정실(113)이 위치한 지하층(120)을 단독 공조로 운영하지 않음으로써 파티션과 클린 필터 유닛이 제거되어 공기의 흐름이 원활하며 소비 전력을 절감할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 LCD 패널 제작 장치에 유리기판에서 LCD 패널을 분리한 후 폐유리를 폐기할 수 있는 이송장치와 폐기함을 설치함으로써 폐유리를 폐기처분할 때 유리파편과 유리분진들이 제 2 청정실 바닥에 떨어지는 것을 방지하여 제 2 청정실이 유리파편 및 분진들에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있고 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 청정일 바닥에 유리 분진이나 유리 파편들이 떨어지지 않기 때문에 제 2 청정일 하부에 위치한 지하층에 파티션과 클린 필터 유닛이 제거됨으로써 공기 흐름이 원활하며 소비전력을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. TFT 제작용 유리기판과 상기 칼라필터 제작용 유리기판이 부착된 유리기판을 소정의 크기로 절단하기 위한 커팅수단과, 상기 커팅수단에 의해 상기 유리기판에서 절단된 LCD 패널을 이송하기 위한 이송수단과, 상기 이송수단에 의해서 상기 LCD 패널이 분리된 폐유리를 폐기처분하기 위한 폐기수단과, 상기 폐기수단과 일정간격 이격되고 상기 이송수단에 의해 이송된 LCD 패널이 놓이는 고정형 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 커팅수단은 상기 TFT 제작용 유리기판에서 상기 TFT 기판을 절단하기 위한 TFT 기판 절단 챔버와, 상기 TFT 기판 절단 챔버와 연결되어 상기 칼라필터 제작용 유리기판에서 상기 칼라필터 기판을 절단하기 위한 칼라필터 기판 절단 챔버로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 폐기수단은 상기 칼라필터 기판 절단 챔버와 일정간격 이격되어 설치된 폐기함과, 상기 폐기함 외부에 설치된 가이드와, 상기 가이드를 따라 상하로 이동되며 상기 이송수단에 의해서 상기 LCD 패널이 분리된 나머지 유리기판을 상기 폐기함으로 유입시키기 위한 수평바로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 폐기함의 가장자리를 따라 형성되어 있는 상부면은 일정길이 연장되어 일정한 각도로 기울어진 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 수평바 하부면에는 유리 분진을 흡입하기 위해 진공 홀이 형성되어 있고, 상기 진공 홀에서 흡입된 상기 유리분진을 배기하기 위한 진공관이 상기 수평바와 연결된 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 이송수단은 상기 폐기함 내벽에 설치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이동되고 상부면에 유리기판이 놓이며 축에 의해서 상기 가이드 레일과 연결되는 이동형 스테이지와, 상기 폐기함과 상기 고정형 스테이지 사이에 설치되며 상기 이동형 스테이지 상부면에 놓인 상기 유리기판에서 상기 LCD 패널만을 분리하여 상기 고정형 스테이지로 LCD 패널을 이송하는 로봇 암으로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 로봇 암 단부에는 상하로 이동되는 축에 고정되어 상기 LCD 패널을 흡착하기 위한 흡착판이 설치된 것을 특징으로 하는 LCD 패널 제작 장치.
  8. TFT 제작용 유리기판과 칼라필터 제작용 유리기판을 상호 부착하는 제 1 청정실과, 제 1 항의 LCD 패널 제작장치가 설치되어 유리기판을 소정의 크기로 절단하여 LCD 패널을 제작하는 제 2 청정실과, 상기 제 2 청정실에 설치되어 상기 유리기판에 형성된 상기 LCD 패널을 절단하기 위한 유리 커팅 설비와, 상기 제 1 및 제 2 청정실 하부에 설치되어 상기 제 1 및 제 2 청정실 내부의 오염된 공기를 배기하는 지하층과, 상기 제 1 및 제 2 청정실 상부에 설치되어 상기 지하층으로 배기된 오염된 공기를 필터링하여 다시 상기 제 1 및 제 2 청정실에 공급하는 상부층을 포함하는 것을 특징으로 하는 청정실 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 상부층에는 지하층에서 유입된 공기를 필터링하여 상기 제 1 및 제 2 청정실 내부로 유입시키는 복수개의 팬 필터 유닛이 설치된 것을 특징으로 하는 청정실 시스템
KR1019970001837A 1997-01-23 1997-01-23 Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템 KR100213436B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970001837A KR100213436B1 (ko) 1997-01-23 1997-01-23 Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970001837A KR100213436B1 (ko) 1997-01-23 1997-01-23 Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980066365A KR19980066365A (ko) 1998-10-15
KR100213436B1 true KR100213436B1 (ko) 1999-08-02

Family

ID=19495332

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970001837A KR100213436B1 (ko) 1997-01-23 1997-01-23 Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100213436B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100683523B1 (ko) * 1999-12-30 2007-02-15 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 스크라이빙 장치
KR100596130B1 (ko) * 2006-02-06 2006-07-03 주식회사 탑 엔지니어링 평판 디스플레이용 기판 절단장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980066365A (ko) 1998-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101703032B1 (ko) 판유리 가공시스템
US6264550B1 (en) Clean room and method of remodeling clean room
US7004711B2 (en) Transporting apparatus
TW201600284A (zh) 槽加工頭之集塵機構及槽加工裝置
CN109808082A (zh) 一种桥式切石机
KR100213436B1 (ko) Lcd 패널 제작 장치 및 이를 이용한 청정실 시스템
JP4525789B2 (ja) 作業設備および作業設備における局所クリーンルーム
CN113479649A (zh) 一种液晶显示屏加工生产线用废料收集装置及工作方法
KR20120007849U (ko) 판재의 가공 장치
CN217395777U (zh) 一种多工位压力机用辅助清洁装置
KR100615027B1 (ko) 기판 세정 장치 및 기판 처리 시설
JP2007263441A (ja) 天井埋込み形空気調和機、天井埋込み形空気調和機用フィルタの塵埃除去装置、
JPH11191582A (ja) カセット搬送システム
CN112775063B (zh) 一种防护网自动清洗设备
JPH0569409A (ja) 切断機における集塵装置
JP2001170841A (ja) 板状体の加工装置
US10627809B2 (en) Multilevel fabricators
CN211368171U (zh) 一种牛津布加工生产用切割装置
CN218394125U (zh) 一种建筑施工用防尘装置
KR102401653B1 (ko) 산업시설용 집진 장치
JP7383118B2 (ja) 研削装置
JP4385310B2 (ja) 有機化合物の脱着方法およびその脱着機能付きクリーンルーム設備
JP2006000757A (ja) ダクト清掃ロボット及びそのダクト清掃方法
JP4441732B2 (ja) クリーンルーム
CN111442426B (zh) 一种整体式临时用无尘室

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070418

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee