KR100206587B1 - 유전체 필터 및 이의 제조 방법 - Google Patents

유전체 필터 및 이의 제조 방법 Download PDF

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KR100206587B1
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히데유키 가토
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무라따 야스따까
가부시끼가이샤 무라따 세이사꾸쇼
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Abstract

공진 주파수(f)를 지니는 유전체 필터는 유전체 블록, 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체 및 유전체 블록을 통하는 홀 및 홀의 내부면을 덮는 내부도체로 형성된 공진기를 포함한다. 유전체는 또한 유전체 블록의 표면에 위치하는 하나 이상의 전극, 및 외부 도체로부터 전극이 절연되도록 외부 도체 상에 위치한 갭을 포함한다. 이러한 유전체 필터에서, 외부 도체 상의 갭의 영역은 유전체 필터가 주파수(f)를 갖은 신호의 조파와 공진하지 않도록 결정된다.

Description

유전체 필터 및 이의 제조 방법
제1도는 본 발명의 제1양태에 따른 유전체 필터의 사시도이다.
제2도는 본 발명의 제2양태에 따른 유전체 필터의 사시도이다.
제3도는 본 발명의 제3양태에 따른 유전체 필터의 사시도이다.
제4도는 본 발명의 제4양태에 따른 유전체 필터의 사시도이다.
제5도는 본 발명의 제5양태에 따른 유전체 필터의 사시도이다.
제6도는 갭(21bg)의 영역과, TE101모드에서의 공진 주파수 사이의 관계를 보여주는 챠트이다.
제7도는 갭(21ag)의 영역과, TE101모드에서의 공진 주파수 사이의 관계를 보여주는 챠트이다.
제8도는 종래 유전체 필터의 사시도이다.
제9도는 종래 유전체 필터의 신호-통과 특성을 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b, 4a, 4b, 5a, 5b : 입축력 전극
1ag, 1bg, 2ag, 2bg, 3ag, 3bg, 4ag, 4bg, 5ag, 5bg : 갭(gap)
10 : 유전체 필터 10a 10b : 공진기
본 발명은 유전체 필터 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 외부면에 도포(塗布)된 외부 도체로부터 갭(gap)에 의해 절연되는 외부면 상의 입/출력 전극을 갖는 유전체 필터 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
제8도에 도시된 바와같이, 종래 TEM-모드 유전체 필터는 유전체 블록(20), 유전체 블록(20)을 관통하는 두 개의 공진기 홀(hole)(20a)와 (20b) 및 입출력 전극 (21a)와 (21b)를 포함하고 있다. 전도성 재료 각각이 유전체 블록(20)의 외부면 및 공진기 홀(20a)와 (20b)의 내부면에 도포되어, 외부 도체 및 내부 도체를 형성시킨다.
갭은 공진기 홀(20a) 및 (20b)의 내부면에 제공된다. 또한, 갭(21ag) 및 (21bg)는 외부 도체로부터 입출력 전극(21a) 및 (21b)가 절연되도록, 입출력 전극 (21a) 및 (21b)주위에 제공된다. 이 갭은 절단과 같은 적절한 방법으로 유전체에 도포된 전도성 재료를 제거함으로써 형성된다. 이 구성에서, 입출력 전극(21a) 및 (21b)는 공진기 홀 내부에 있는 도체와 용량 결합한다.
유전체 블록(20)이 인쇄 회로기판 상에 있을 때, 표면(25)는 기판과 접촉하고, 표면(25) 상의 전극(21a) 및 (21b)는 기판 상에 인쇄된 패턴으로 접촉되며, 땜납을 통해 접속된다. 전극(21b)는 블록의 측면(26)까지 연장된다. 연장된 전극은 전극과 땜납 사이의 접촉 영역을 확장시키도록 제공되어, 유전체 블록(20)을 기판에 더욱 견고하게 고정시킨다.
도면에서, 아래 방향으로 연장된 전극(21b)가 확장될 때, 또한 갭(21bg) 영역이 증가하고, 유전체 필터의 특성이 변한다. 그러므로, 전극(21b)의 크기를 땜납에 필요한 최소 영역을 갖도록 제한하는 것이 바람직하다.
각각 블록의 반인 상하 블록이 서로 다른 구성을 갖는 이러한 종류의 유전체 필터에서, TE101모드의 자기장이 제8도의 점선으로 도시된 바와같이 발생한다. 이 자기장이 TEM-모드의 주파수의 두 배인 약 2f0의 주파수에서 발생한 오신호에 공진하므로, TEM-모드의 주파수는 두 배가 되고, 유전체 필터(20)은 약 2f0의 주파수를 지니는 신호를 통과시킨다(제9도 참조), 이것이 f0의 타겟주파수를 갖은 유전체 필터(20)의 결점이다.
따라서, 본 발명의 목적은 TEM-모드에서 f0의 주파수를 갖은 신호를 통과시키며, 약 2f0의 주파수를 갖은 신호를 막을 수 있는 유전체 필터 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 원리를 설명한다.
유전체 블록(20)의 주위에서 발생되는 TE101모드에서의 전자기장의 분산에서, 자기장은 벽의 근방에서 블록의 내부에 집중되고, 전기장은 블록의 중심에 집중된다. 점선을 도면 상에 도시하기 쉽도록, 블록 주위에 도시하였지만, 자기장은 실질적으로 블록 내부에 분포되어 있다.
유전체 블록(20)의 전극(21a)들은 블록의 측면으로부터 블록의 중심을 향하여 연장되고, 전극(21b)는 도면에서 블록의 측면에 수직으롤 연장된다. 이것은 전극(21a)가 자기장에 비해 보다 큰 영향을 전기장에 준다는 것을 의미한다. 반대로, 전극(21b)는 전기장에 비해 보다 큰 영향을 자기장에 준다. 전극(21a)에 근접한 갭영역이 줄어들면, 유전체 블록(20)에서의 트랩(trap)하는 전기장의 수준이 증가되고, 유전체 블록에서의 전기 에너지도 증가한다.
각 공진 주파수에서의 변화 Δw와, 자기 에너지 및 전기 에너지에서 각각의 분변화 ΔWm및 ΔWe사이의 관계는 Mller 방정식에 의해 표현된다;
ΔW/Wo=(ΔWm-ΔWe)/W ------------(1)
여기에서, W0는 어떠한 모드에서의 전자기파의 각공진 주파수를 나타내고, Wm및 We는 공진기에서 트랩된 자기 에너지 및 전기 에너지의 시간 평균을 나타내며, Wt는 총 공진 에너지이다.
방정식 (1)에 따르면, 전극(21a)에 근접한 갭(21ag)영역이 줄어들어들면, 유전체 블록에 트랩된 TE101모드에서의 전기 에너지는 증가하고, 공진 주파수는 감소한다. 다시 말해, 공진 주파수는 2fo로부터 보다 낮은 주파수로 이동한다 (제 7도 참조). 제1도의 필터에서, 예를 들면, 갭의 폭(a)의 2mm의 감소로 인해, TE101모드에서의 공진 주파수는 보다 낮은 주파수쪽으로 97MHz로 이동된다.
동일한 방법으로, 전극(21b)에 근접한 갭영역이 줄어들면, 유전체 블록에 트랩된 자기 에너지가 증가하고, 공진 주파수는 2fo로부터 보다 높은 주파수로 이동한다(제6도 참조), 예를 들면, 갭의 폭 (b)의 2mm의 감소로 인해, TE101모드에서의 공진 주파수는 보다 높은 주파수 쪽으로 109MHZ로 이동되는 결과가 나타난다.
본 발명의 상기된 연구 결과에 따르면, 각각의 전극 근방에서의 갭영역, 즉 유전체의 노출 영역은 RE101모드의 공진 주파수가 필요한만큼 이동되도록 제어된다. 이 때문에, TEM-모드에서 약 2f0의 주파수를 갖은 조파와 TE101모드의 자기장 사이의 공진은 억제된다. 그 결과, 유전체 필터는 약2f0의 주파수를 갖은 신호의 통과를 제한한다.
본 발명의 상기 목적은, 유전체 블록; 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체; 유전체 블록을 관통하는 홀 및 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기 ;유전체 블록의 표면에 위치하는 적어도 하나의 전극; 및 외부 도체로부터 전극을 절연시키는 외부 도체 내의 갭을 포함하고 있으며, 이 외부 도체 내의 갭의 영역이 주파수(f)를 갖은 신호의 조파에서 유전체 필터가 실질적으로 공진하지 않도록 결정되는 것을 특징으로 하는 공진 주파수(f)를 가지고 있는 유전체 필터를 제공하는 본 발명의 한 특징을 통해 달성된다.
본 발명의 상기 목적은, 유전체 를록; 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체; 유전체 블록을 관통하는 홀 및 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기; 유전체 블록의 표면에 위치한 적어도 하나의 전극; 및 외부 도체로부터 전극을 절연시키는 외부 도체 내의 갭을 포함하고 있으며, 이 외부 도체 내의 갭의 영역이 TE101모드에서의 중심 주파수와 TEM-모드에서의 중심 주파수의 배수가 실질적으로 다르도록 결정되는 것을 특징으로 하는, TEM-모드 유전체 필터를 제공하는 본 발명의 다른 특징을 통해달성된다.
본 발명의 상기 목적은, 실질적으로 육면체 형상을 갖는 유전체 블록; 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체; 유전체 블록을 관통하는 홀 및 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기; 유전체 블록의 제1표면에 위치하는 제1 전극; 외부 도체로부터 제1전극이 절연되도록 제 1전극의 주위에 설치되는 외부 도체 내의 제 1갭; 제1전극에 접속되면서, 제1표면에 인접한 유전체 블록의 표면에 설치되는 제2전극; 및 외부 도체로부터 제2 전극이 절연되도록 제2전극의 주위에 설치되는 외부 도체 내의 제2갭을 포함하고 있으며, 외부 도체 내의 제1 및 제2갭 각각의 영역이 TE101모드에서의 중심 주파수와 TEM-모드에서의 중심 주파수의 배수가 실질적으로 다르도록 결정되는 것을 특징으로 하는, TEM-모드 유전체 필터를 제공하는 본 발명의 다른 특징을 통해 달성된다.
본 발명의 상기 목적은, 유전체 블록을 준비하고; 유전체의 외부면을 덮는 외부 도체를 제공하며; 유전체 블록을 관통하는 홀 및 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성되는 공진기를 제공하고; 제1전자기장 모드를 선택하며; 제1전자기장 모드에서 고전기장 밀도 또는 고자기장 밀도를 가지고 있는 유전체 블록에서의 영역을 특정화하고; 특정화된 영역 내에 적어도 하나의 전극을 위치시키며; 외부 도체로부터 전극이 절연되도록 외부 도체 상에 갭을 제공하고, 이 갭의 영역이 주파수(f)를 갖은 신호의 조파에서 유전체 필터가 실질적으로 공진하지 않도록 결정되는 것을 특징으로, 하는 공진 주파수(f)를 가지고 있는 유전체 필터의 제조 방법을 제공하는 본 발명의 다른 특징을 통해 달성된다.
하기 구현예들에서, 유전체 필터의 제조방법을 따로 특정하게 기술하지는 않을 것이며, 유전체 필터와 함께 이의 제조방법을 동시에 설명할 것이다. 제1도에 도시된 유전체 필터는 유전체 블록(10), 유전체 블록(10)을 관통하는 두 개의 공진기 홀(10a)와 (10b), 및 입출력 전극(1a)와 (1b)를 포함하고 있다. 전도성 재료를 유전체 블록(10)의 외부면 및 공진기 홀(10a)와(10b)의 내부면에 도포시켜, 외부 도체와 내부 도체를 형성시킨다.
갭은 공진기 홀(10a)및(10b)의 내부면에 제공된다(도면에 도시되지않음). 또한, 갭(1ag) 및 (1bg)는 외부 도체로부터 전극이 절연되도록 입출력 전극(1a)침 (1b)주위에 제공된다. 상기 갭은 절단과 같은 적당한 방법에 의해 유전체로부터 도포된 전도성 재료를 제거하여 형성시킨다. 이구성에서, 입출력 전극(1a) 및(1b)는 공진기 홀 내부에 있는 도체와 용량 결합한다.
이 유전체 필터에서, 전극(1a) 및 갭(1ag)의 합한 폭 (a)가 전극(1b) 및 갭(1bg)의 합한 폭(b)보다 작다. 그러나, 전극 (1a)및 (1b)의 폭은 동일하다. 따라서, 갭(1ag)의 영역은 갭(1bg)의 영역보다 작게 제조된다. 갭(1ag)의 영역을 감소시킴으로써 유전체 필터에서 전기장을 트랩하는 수준이 향상된다. 갭(1bg)의 영역을 증가시킴으로써, 유전체 필터에서 트랩하는 자기장의 수준이 저하된다.
방정식(1)에서 명확히 이해된 바와같이, TE101모드에서의 공진 주파수는 이 구성에서 보다 낮은 주파수로 이동한다. 그 결과, TE101모드의 자기장과 주파수 f0를 갖은 신호의 조파 사이의 결합이 감소하므로, 유전체 필터는 약 2f0의 주파수를 갖은 신호를 통과시키지 않는 특성을 갖는다. 또한, TE101모드에서의공진 주파수는 갭(1ag)의 영역이 갭(1bg)의 영역보다 크게 제조됨에 의해 보다 큰 주파수로 이동한다.
제2도는 본 발명의 또 다른 양태에 따른 유전체 필터를 도시한다. 제2도의 유전체 필터는 유전체 필터의 입/출력 전극(2a)와 (2b) 및 갭(2ag)와 (2bg)를 제외하고는 제1도에 도시된 유전체 필터와 동일하다. 이러한 유전체 필터에서, 갭의 폭은 동일하다. 갭(2ag)의 영역이 갭(2bg)의 영역보다 크게 제조되도록, 갭(2ag)의 릭이 (c)는 갭(2bg)의 길이 (d) 보다 길게 제조된다. 또한, 갭(2ag)의 영역은 갭(2bg)의 영역보다 작게 제조될 수 있다. 제3도에 도시된 유전체 필터에서, 추가의 갭이 상술된 어떤 양태 중에서 도시된 갭의 팁(tip)에 부가되어, T자-형상으로 형성된 갭(3ag)및 (3bg)를 형성시킨다. 부가된 갭 영역의 조정에 의해, 갭(3ag) 및 (3bg)의 영역은 바람직하게 설정될 수 있고, TE101모드에서의 공진 주파수를 바람직한 방향으로 바람직한 양만큼 이동시킬 수 있다.
제4도에 도시된 유전체 필터에서, 각각의 전극(4a) 및 (4b)와, 갭(4ag) 및 (4bg)의 합한 치수는 동일하지만, 전극의 폭 및 길이는 제 4도에 도시된 바와같이 상이하여, 갭(4ag) 및 (4bg)의 영역에 차이가 있게 한다.
제5도에 도시된 유전체 필터에서, 전극들의 형상은 다르지만, 갭(5ag) 및 (5bg)은 외형은 동일하다. 그러므로, 본 양태에서는, 갭(5ag)가 갭(5bg)보다 크다.
상기 양태를 통해서, 유전체 블록의 상면 상에 제공된 갭의 영역 및 블록의 측면 상에 제공된 갭의 영역이 TE101모드에서의 공진 주파수의 양 및 변화 방향에 상이한 영향을 미친다는 원리에 따라서, 갭의 영역이 결정된다는 것이 이해된다.
본 발명의 상기 양태에서, 전극 및 갭의 형상은 디자인 및 제조시의 편의에 따라 적절하게 선택될 수 있다. 길이, 폭, 형상 또는 이들 모든 특징이 입/출력 전극, 각각의 주위에 있는 갭, 또는 둘 다에 의해 결정될 수 있다. 또한, 또 다른 양태들이 본 발명의 컨셉(concept)내에서 고려될 수 있다.
유전체 블록의 표면 상에 제공된 갭의 수 및 위치는 상술한 상기 양태에 기재된 것만으로 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 목적에 따라서 다양한 종류의 갭이 선택될 수 있다. 본 발명의 양태에서는 육면체 형상의 유전체 필터가 도시되어 있다. 또한, 본 발명은 또,다른 형상의 유전체 필터에도 적용될 수 있다. 다시말해, 첫째로 전기장 및 자기장이 집중된 위치가 유전체 필터에서 특정화되고, 그 다음에 외부 도체로부터 절연된 전극 및 갭이 각각의 그러한 위치 근방에 제공된다. 갭의 영역은 바람직한 이점, 즉 특정화된 모드에서 공진 주파수의 바람직한 이동 방향 및 양을 얻을 수 있도록 조절된다.
본 발명은 본 발명의 특정 양태에 관하여 기술되었지만, 또 다른 변화, 변형 및 또 다른 용도가 본 기술 분야의 전문가에게는 자명할 것이다. 그러므로, 본 발명이 상기된 특정 양태로만 한정되는 것은 아니다.

Claims (20)

  1. 유전체 블록; 상기 유전체 블록의 외부면을 덮은 외부 도체; 상기 유전체 블록을 관통하는 홀 및 상기 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기; 상기 유전체 블록의 표면 상에 위치하는 전극; 및 상기 외부 도체로부터 상기 전극을 절연시키는 상기 외부 도체 내의 갭을 포함하고 있는 공진 주파수(f)를 가지고 있는 유전체 필터로서, 상기 외부 도체 내의 상기 갭의 영역은 주파수(f)를 가지고 있는 신호의 조파에서 상기 유전체 필터가 실질적으로 공진하지 않도록, 결정되는 것을 특징으로 하는 유전체 필터.
  2. 유전체 블록; 상기 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체 ; 상기 유전체 블록을 관통하는 홀 및 상기 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기; 상기 유전체 블록의 표면에 위치하는 전극; 및 상기 외부 도체로부터 상기 전극을 절연시키는 상기 외부 도체 내의 갭을 포함하고 있는 TEM-모드 유전체 필터로서 상기 외부 도체 내의 상기 갭의 영역은, TE101모드에서의 중심 주파수와 TEM-모드에서의 중심 주파수의 배수가 실질적으로 다르도록 결정되는 것을 특징으로 하는 TEM-모드 유전체 필터.
  3. 실질적으로 육면체 형상인 유전체 블록; 상기 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체; 상기 유전체 블록을 관통하는 홀 및 상기 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기; 상기 유전체 블록의 제1표면에 제공되는 제1전극; 상기 외부 도체로부터 상기 제1 전극이 절연되도록 상기 제1전극의 주위에 제공되는 상기 외부 도체 내의 제1 갭; 상기 제1 전극에 접속되며, 상기 제1 표면에 인접한 유전체 블록의 제2 표면 상에 제공되는 제2 전극; 및 상기 외부 도체로부터 상기 제2 전극이 절연되도록 상기 제2 전극의 주위에 제공되는 상기 외부 도체 내의 제 2갭을 포함하고 있는 TEM-모드 유전체 필터로서, 상기 외부 도체 내의 상기 제1 및 제2 갭의 각각의 영역은, TE101모드에서의 중심 주파수와 TEM-모드에서의 중심 주파수의 배수가 실질적으로 다르도록 결정되는 것을 특징으로 하는 TEM-모드 유전체 필터.
  4. 제3항에 있어서, 상기 외부 도체 내에 제공된 상기 제1 갭의 영역이 상기 외부 도체 내에 제공된 상기 제2 갭의 영역보다 실질적으로 큰 것을 특징으로 하는 TEM-모드 유전체 필터.
  5. 제3항에 있어서, 상기 외부 도체 내에 제공된 상기 제1 갭의 영역이 상기 외부 도체 내에 제공된 상기 제2 갭의 영역보다 실질적으로 작은 것을 특징으로 하는 TEM-모드 유전체 필터.
  6. 유전체 블록을 제공하고; 상기 유전체 블록의 외부면을 덮는 외부 도체를 제공하며; 상기 유전체 블록을 관통하는 홀 및 상기 홀의 내부면을 덮는 내부 도체로 구성된 공진기를 제공하고; 제1 전자기장 모드를 선택하며; 상기 유전체 블록에서, 상기 제 1전자기장 모드의 고전기장 밀도 또는 고자기장 밀도를 가지고 있는 영역을 특정화하고; 상기 특정화된 영역 내에 적어도 하나의 전극을 위치시키며; 상기 외부 도체로부터 상기 전극이 절연되도록 상기 외부 도체 상에 갭을 제공하고; 상기 유전체 필터가 주파수(f)룰 가지고 있는 신호의 조파에서 실질적으로 공진하지 않도록 상기 갭의 영역을 조절하는 것을 특징으로 하는, 공진주파수 f를 가지고 있는 유전체 필터의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 한 전극에 전기적으로 접속되며, 상기 한표면에 인접하고 있는 상기 유전체 블록의 제2 표면 상에 위치한 제2 전극; 및 상기 제2 전극을 상기 외부 도체로부터 절연시키는 상기 외부 도체 내의 제2갭을 더 포함하고 있는 유전체 필터로서, 상기 유전체 필터가 주파수(f)의 조파에서 상기 갭의 해당 영역과 상기 제2갭의 해당 영역 사이의 관계로 실질적으로 공진하지 않는 것을 특징으로 하는 유전체 필터.
  8. 제7항에 있어서 상기 갭 및 상기 제 2갭이 실질적으로 서로 다른 외형을 지님을 특징으로 하는 유전체 필터.
  9. 제7항에 있어서 상기 갭 및 상기 제 2갭이 실질적으로 서로 동일한 외형을 지님을 특징으로 하는 유전체 필터.
  10. 제 9항에 있어서 상기 전극 및 상기 제 2전극이 실질적으로 서로 다른 형상을 지님을 특징으로 하는 유전체 필터.
  11. 제7항에 있어서, 상기 전극 및 상기 제2전극이 실질적으로 서로 다른 형상을 지님을 특징으로 하는 유전체 필터.
  12. 제7항에 있어서, 상기 전극 및 상기 제2전극이 실질적으로 서로 동일한 형상을 지님을 특징으로 하는 유전체 필터.
  13. 제7항에 있어서, 상기 유전체 블록이 육면체 형상임을 특징으로하는 유전체 필터.
  14. 제2항에 있어서, 상기 한 전극에 전기적으로 접속되며, 상기 한표면에 인접하고 있는 상기 유전체 블록의 제2 표면 상에 위치한 제 2전극; 및 상기 외부 도체로부터 상기 제 2전극을 절연시키는 상기 외부 도체 내의 제2 갭을 더 포함하고 있는 유전체 필터로서. 상기 유전체 필터가 주파수(f)의 조파에서 상기 갭의 해당 영역과 상기 제2 갭의 해당 영역 사이의 관계로 실질적으로 공진하지 않는 것을 특징으로 하는 유전체 필터.
  15. 제6항에 있어서, 상기 유전체 블록에서 제2 전자기장 모드의 주파수(f)의 배수에서 고전기장 밀도 또는 고자기장 밀도를 가지고 있는 제 2영역을 특정화하고; 상기 제2영역 내에 적어도 하나의 제2전극을 위치시키고; 상기 외부 도체로부터 상기 제2전극이 절연되도록 상기 외부 도체 상에 제2갭을 제공하고: 상기 제2모드에서의 중심 주파수가 상기 제 1모드에서의 중심 주파수의 배수와 실질적으로 다르도록, 상기 제1 및 제2갭의 각 영역을 조절하는 것을 특징으로 하는 유전체 필터의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 갭 및 상기 제2 갭이 실질적으로 서로 다른 외형을 지님을 특징으로 하는 제조 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 갭 및 상기 제2 갭이 실질적으로 서로 동일한 외형을 지님을 특징으로 하는 제조 방법.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 전극 및 상기 제2 전극이 실질적으로 서로 다른 형상을 지님을 특징으로 하는 제조 방법.
  19. 제15항에 있어서, 상기 전극 및 상기 제2전극이 실질적으로 서로 다른 형상을 지님을 특징으로 하는 제조 방법.
  20. 제15항에 있어서, 상기 전극 및 상기 제2 전극이 실질적으로 서로 동일한 형상을 지님을 특징으로 하는 제조 방법.
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