KR100206195B1 - Heater of glass substrate for lcd - Google Patents
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Abstract
액정표시판을 구성하는 유리기판의 맞추어붙이기장치에 장비되는 상하정반의 개량에 관한 것이다.The present invention relates to an improvement of a top and bottom plate equipped in a bonding apparatus for a glass substrate constituting a liquid crystal display panel.
하부정반을 구비한 고정받침판(2)과 상부정반을 구비한 가동받침판(3)으로 구성된 맞추어붙이기장치에 있어서, 금속제 정반본체(19)에 있어서의 유리기판(b)과, 대향하는 면에 주위의 가장자리를 남겨놓고 오목부(21)를 뚫어서 설치하고, 그 오목부(21)의 아래면 개구를 얇은 판으로 폐쇄한다.A joining device consisting of a fixed support plate (2) having a lower surface plate and a movable support plate (3) having an upper surface plate, wherein the glass substrate (b) of the metal surface body (19) is surrounded by an opposing surface. The recess 21 is drilled and installed leaving the edge of the recess 21 closed, and the bottom opening of the recess 21 is closed with a thin plate.
Description
제1도는 본 발명에 관한 정반을 장비한 맞추어붙이기장치의 한가지 실시예를 표시하는 단면도.1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a pasting device equipped with a surface plate according to the present invention.
제2도는 맞추어붙이기장치에 장비되는 정반을 표시하는 한부분을 자른 평면도.2 is a plan view of a portion cut away showing the surface plate installed in the paste fitting device.
제3도는 제2도의 (3)-(3)선을 따르는 단면도.3 is a cross-sectional view taken along the line (3)-(3) of FIG.
제4도는 제2도의 (4)-(4)선을 따르는 단면도.4 is a cross-sectional view taken along the line (4)-(4) of FIG.
제5도는 상기한 정반에 의한 유리기판의 맞추어붙이기 동작을 표시하는 설명도.5 is an explanatory diagram showing a bonding operation of the glass substrate by the above-described platen.
본 발명은, 액정표시판을 구성하는 유리기판(상하전극판)의 맞추어붙이기장치에 장비되는 상하정반의 개량에 관한 것이다.The present invention relates to an improvement of the upper and lower platen provided in the bonding apparatus for the glass substrate (upper and lower electrode plates) constituting the liquid crystal display panel.
액정표시판(LCD)은, 투명하고 도전성의 전극을 피복한 2매의 유리기판 사이에 수㎛의 스페이서를 사용하여 소정의 간격으로 유지하고, 시일재료로 구획한 내부의 공간내에 액정을 봉입한 것으로서, 그 2매의 유리기판은 위치맞춤마아크에 의하여 차질없이 맞추어붙이기 되어 있다.A liquid crystal display panel (LCD) is a liquid crystal in which a liquid crystal is enclosed in an internal space partitioned by a sealing material while being kept at predetermined intervals using a spacer having a thickness of several μm between two transparent glass substrates coated with conductive electrodes. The two glass substrates are bonded together by a positioning mark without difficulty.
그런데, 종래의 맞추어붙이기장치에 있어서의 2매의 유리기판의 맞추어붙이기는, 미리 유리기판에 실시되어 있는 위치맞추기마아크를 x방향으로 이동시키는 상부정반과, y방향과 θ방향으로 이동시키는 하부정반을 현미경과 카메라로 되어 있는 마아크검출수단의 검출데이터로 구동하고, 이동하고 조절하여 대략의 맞추기와 세밀한 맞추기를 해서 마아크맞추기를 완료한 시점에서 2매의 유리기판을 가압하여 시일재료를 메워서 상하의 유리기판간의 간격을 일정하게 하는 것이다.By the way, the joining of the two glass substrates in the conventional pasting apparatus includes the upper surface plate for moving the alignment mark previously performed on the glass substrate in the x direction, and the lower surface plate for moving in the y direction and the θ direction. Is driven by the detection data of the microscopic and camera-marked detection means, and is moved and adjusted to approximate and finely aligned to press the two glass substrates to fill the seal material. The gap between the glass substrates is made constant.
상기한 종래의 맞추어붙이기장치에 있어서의 상·하정반은, 금속재를 가공해서 표면은 평탄하게 마무리되어 있지만, 상·하정반의 표면의 평행도는 미크론단위의 경사가 지고 있거나, 맞추어붙이기되는 상·하의 유리기판의 두께에 미크론단위의 테이퍼가 지고 있으므로 맞추어붙이기로 형성되는 액정표시판의 유리기판 사이의 간격을 5μ~7μ 사이에서 일정하게 할려고 해도, 상·하의 유리기판(a,b)을 가압해서 시일재료(c)를 메웠을때, 시일재료가 불균일하게 메워져서 상·하의 유리기판 사이의 간격은 불균일하게 된다. 유리기판의 간격이 불균일하게 될 경우에는, 액정표시판으로 완성된 것은, 예를 들면, 색얼룩이 발생되어서, 불량품으로 되는 것이다.The upper and lower plates in the conventional pasting device are processed with a metal material and the surface is finished flat, but the parallelism of the surfaces of the upper and lower plates is in the order of microns, or the upper and lower surfaces to be fitted. Since the thickness of the glass substrate is tapered in microns, even if the gap between the glass substrates of the liquid crystal display panel formed by sticking is made constant between 5 μm and 7 μm, the upper and lower glass substrates (a, b) are pressed and sealed. When the material (c) is filled, the sealing material is unevenly filled so that the gap between the upper and lower glass substrates becomes uneven. When the glass substrates are unevenly spaced, what is completed with the liquid crystal display panel is, for example, color stains are generated, resulting in defective products.
그래서, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 금속제 정판 대신에 에어백 모양의 것을 상·하정반의 양쪽 또는 가동측의 정반에 사용하여서 유리기판에 테이퍼가 지고 있어서 기판 사이의 간격을 일정하게 확보하는 기술이 개발되고 있다.Therefore, in order to solve the above problems, instead of the metal top plate, an airbag-shaped one is used on both the upper and lower platen or the movable platen, so that the glass substrate is tapered so that the space between the substrates is kept constant. Is being developed.
그러나, 상기한 에어백 모양의 것은, 맞추어붙이기에 제공되는 유리기판을 정반쪽으로 흡착되어 유지시킬 수가 없으며, 따라서 상·하 유리기판을 맞추어붙이기전에 실시하는 마아크맞추기작업은, 상기한 에어백정반을 구비한 맞추어붙이기장치로는 할 수가 없다. 그러므로, 상·하 유리기판의 마아크맞추기는 다른 장치로 실시해서 마아크맞추기를 완료한 2매의 유리기판이 어긋나지 않도록 수지계 접착제등을 사용해서 가고정하고, 그 상태로 상기한 맞추어붙이기 장치에 의해서 맞추어붙이기를 하게 된다.However, the above airbag-shaped thing cannot adsorb and hold the glass substrate provided for the fitting to the surface plate. Therefore, the mark fitting operation performed before the upper and lower glass substrates are bonded together is provided with the air bag surface plate. It cannot be done with a paste device. Therefore, the alignment of the upper and lower glass substrates is performed by another device, and temporarily fixed using a resin adhesive or the like so that the two glass substrates on which the alignment is completed are not misaligned. Will be
따라서, 상기한 장치로는 마아크맞추기작업과, 맞추어붙이기작업을 별도의 장치로 실시해야 한다고 하는 불편함이 있을 뿐아니라, 마아크맞추기공정에서 다음 공정인 맞추어붙이기공정으로 옮기기 위하여 가고정이라고 하는 작업이 필요하게 된다고 하는 문제점을 보유하게 된다.Therefore, the above-mentioned device is not only inconvenient to perform the mark fitting operation and the fitting operation as a separate device, but also a work called temporary fixing in order to move from the marking process to the next attaching process. The problem is that it becomes necessary.
본 발명은, 상기한 바와 같은 종래의 기술이 보유하는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는, 상·하 유리기판의 마아크맞추기와, 상·하 유리기판에 경사나 테이퍼가 있어도 유리기판 사이의 시일재료를 균일하게 메워서 상·하 유리기판 사이의 간격을 일정하게 할 수가 있는 맞추어붙이기장치의 정반을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems possessed by the prior art as described above. The object of the present invention is to ensure that the alignment of the upper and lower glass substrates and the inclination and taper of the upper and lower glass substrates are achieved. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a surface plate of a pasting device that can uniformly fill a sealing material between substrates and make it possible to make the gap between the upper and lower glass substrates constant.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명이 강구한 기술적 수단은, 하부정반을 구비한 고정받침판과 상부정반을 구비한 상하운동이 가능한 가동받침판으로 구성되는 액정표시판용 유리기판의 맞추어붙이기장치에 있어서, 상·하정반의 적어도 한쪽을 금속제 정반본체에 있어서의 유리기판과 대향하는 면에 주위의 가장자리를 남겨 놓고 오목부를 뚫어서 설치하고, 그 오목의 아래면 개구를 얇은 판으로 폐쇄하는 동시에 그 얇은 판의 주위를 상기한 주위의 가장자리에 접착하여 고정시키고, 또한, 그 얇은 판의 적당한 장소에 흡착국멍을 설치함과 아울러, 각 흡착구멍은 정반본체에 설치한 진공수단에 연결하고, 또, 정반본체에는 상기한 오목부에 있는 공기공급수단을 장비한 구성을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the technical means devised in the present invention, in the pasting device of the glass substrate for a liquid crystal display panel composed of a fixed support plate having a lower surface plate and a movable support plate capable of vertical movement with an upper surface plate. At least one of the upper and lower plates is installed on the surface facing the glass substrate in the metal plate body, with the periphery being perforated, and the bottom opening of the recess is closed with a thin plate. The periphery is fixed by adhering to the periphery of the periphery described above. Furthermore, while the adsorption burrs are provided at a suitable place of the thin plate, each adsorption hole is connected to the vacuum means provided on the surface plate body. Characterized in that the configuration is equipped with an air supply means in the recess.
금속제 정반본체의 오목부를 폐쇄하는 얇은 판으로는, 판두께가 30μ~200μ의 금속 얇은 판(예를 들면 스테인레스 얇은 판), 바람직하게는 100μ의 스테인레스 얇은 판, 혹은, 세로탄성계수가 높은 합성수지재 얇은 판(예를 들어 폴리카아보나이트제의 얇은 판) 등을 들 수 있다. 그 얇은 판에 설치하는 흡착구멍은, 그 얇은 판에 구멍을 뚫고, 그 구멍에 금속제의 관조인트 플랜지를 끼워 맞추어서 고정시키는 동시에 그 관조인트 플랜지에 미니어쳐 관조인트를 접속해서 구성하고, 그러한 미니어쳐 관조인트는 금속제 정반본체에 배치한 매니폴드의 접속구와 통하도록 배관에서 그 흡착구멍에 진공흡착력이 발생되도록 되어 있다.As a thin plate which closes the recessed part of the metal surface body, a metal thin plate (for example, stainless thin plate) of 30 micrometers-200 micrometers of plate | board thickness, Preferably it is a stainless steel thin plate of 100 micrometers, or a synthetic resin material with high longitudinal elastic modulus Thin plates (for example, thin plates made of polykabonite) and the like. The suction hole provided in the thin plate is formed by drilling a hole in the thin plate, fitting a metal tube joint flange to the hole, and fixing a miniature tube joint to the tube joint flange. The vacuum suction force is generated in the suction hole in the pipe so as to communicate with the connection port of the manifold disposed on the metal surface body.
또, 금속제 정반본체의 주위의 가장자리의 측면에는 오목부안을 연결시켜서 공기공급수단이 접속하여 배관되고, 그 공기공급수단으로부터 송출되는 공기에 의해서 오목부의 개구면을 폐쇄하는 얇은 판을 내부로부터 가압해서 늘어나게 하고, 유리기판을 가압할 때에 완충작용이 발생되도록 되어 있다. 또, 유리기판을 가압해서 맞추어붙이기를 하는데, 그 가압은, 상기한 정반을 구비한 가동받침판이 기계적으로 상하이동해도 되고, 혹은 상기한 바와 같이 오목부에 송출하는 공기압에 의해 얇은 판의 팽창량을 가변시켜서 가압하거나 또는 상기한 양자를 조합해서 실시하든지 어느 방법이라도 된다.In addition, the air supply means is connected to the side surface of the circumferential edge of the metal surface main body by connecting the inside of the concave portion, and a thin plate for closing the opening face of the concave portion is pressurized from the inside by air discharged from the air supply means. When the glass substrate is stretched and a glass substrate is pressed, a buffer action is generated. In addition, the glass substrate is pressurized to be bonded together, and the pressurization may be such that the movable support plate having the surface plate may be moved mechanically, or the amount of expansion of the thin plate by the air pressure sent to the recess as described above. May be performed by varying the pressure or by combining the above.
금속제 정반본체의 각 각(角)진 부분에는 유리기판의 마아크맞추기에 제공되는 투시부를 설치한다.Each part of the metal surface body is provided with see-through parts provided for marking the glass substrate.
상기한 수단에 의하면, 맞추어붙이기장치에 있어서의 상·하정반의 적어도 한쪽이 금속제 정반본체에 주위의 가장자리를 남겨 놓고 오목부가 뚫려서 설치되고, 그 오목부의 개구면이 얇은 판으로 폐쇄되는 동시에 그 얇은 판의 가장자리가 주위의 가장자리에 접착하여 고정되고, 다시, 그 얇은 판에 진공흡착수단과 통하는 흡착구멍이 설치되어 있으므로 유리기판은 흡착구멍에 발생되는 진공흡착력에 의해 끌려서 유지된다. 따라서, 유리기판에 있어서의 위치맞춤 마아크맞춤작업이 가능하게 된다.According to the above means, at least one of the upper and lower plates in the pasting device is provided with a recessed portion with a periphery around the metal base body, and the opening face of the recess is closed by a thin plate and the thin plate. The edges of the substrates are fixed by adhering to the peripheral edges, and the thin plates are provided with suction holes communicating with the vacuum suction means, so that the glass substrates are attracted and held by the vacuum suction force generated in the suction holes. Therefore, the alignment mark alignment work on the glass substrate can be performed.
그 뿐아니라, 상기한 정반에 있어서의 오목부내에는 공기공급수단에 의하여 공기를 송출해서 얇은 판을 팽창시킴으로써 북의 가죽과 같이 되고, 그 정반은 완충기능을 구비한 정반이 된다. 따라서 유리기판은, 완충작용을 통하여 가압되며, 그에 따라 유리기판의 테이퍼나 경사는 오목부를 폐쇄하는 얇은 판의 완충작용으로 흡수되어서 시일재료는 균일하게 메워져서 상·하 유리기판 사이의 간격을 일정하게 된다.In addition, the concave portion in the above-described surface plate becomes like a leather of a drum by sending air by air supply means and expanding a thin plate, and the surface plate becomes a surface plate with a cushioning function. Therefore, the glass substrate is pressurized through the buffering action, so that the taper or the inclination of the glass substrate is absorbed by the buffering action of the thin plate closing the concave portion, so that the sealing material is evenly filled, so that the gap between the upper and lower glass substrates is fixed. Done.
이하 본 발명에 관한 정반을 가동받침판쪽의 상부정반에 사용한 실시예를 도면에 의거하여 설명한다. 맞추어붙이기장치(A)는, 기틀(1)과, 그 기틀(1)내의 아래에 고정된 고정받침판(2)과, 그 고정받침판(2)의 위쪽에 배치된 가동받침판(3)으로 구성되며, 고정받침판(2) 위에는 아래쪽의 유리기판(a)를 얹어 놓아서 유지하는 하부정반(4)이 설치되고, 가동받침판(3)의 하부에는 상부측의 유리기판(b)을 흡착유지하는 상부정반(5)이 설치되어 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example which used the surface plate which concerns on this invention for the upper surface plate of a movable support plate side is demonstrated based on drawing. The fastening device A is composed of a base 1, a fixed support plate 2 fixed below the inside of the base 1, and a movable support plate 3 disposed above the fixed support plate 2, On the fixed support plate 2, a lower surface plate 4 is installed to hold a lower glass substrate a on the lower side of the support plate 2, and an upper surface plate for adsorbing and holding the upper glass substrate b on the lower side of the movable support plate 3 is provided. (5) is installed.
고정받침판(2)의 위쪽에 배치되는 가동받침판(3)은, 기틀(1)을 구성하는 4개의 지주대(6)에 고정된 가이드레일(7)에 걸어맞추어서 상하방향으로 미끄러져 움직이는 걸어맞춤체(8)를 통하여 상하이동이 가능하게 부착되고, 그 가동받침판(3)의 위면에는 2개의 매달기레버(9)가 평면으로 보아서 대략 직사각형모양으로 세워서 배치되는 동시에 그들 매달기레버(9)의 상단은 연결판(10)으로 연결하고, 또한 지주대(6)간에 걸친 가로레버(11)를 관통하는 매달기레버(9)에는, 가로레버(11)와 연결판(10)의 사이에 스프링(12)이 눌려서 장착되어서 가동받침판(3)이 자중에 의해 최하시점까지 강하되지 않도록 지지되어 있다. 또, 가동받침판(3)을 강제적으로 눌러 아래로 가압하기 위한 구동원으로는, 에어실린더(13)가 사용되며, 그 에어실린더(13)는, 가로레버(11)에 수직으로 고정되어서 신축로드(13')의 선단에서 가동받침판(3)을 누르도록 되어 있다.The movable support plate 3 disposed above the fixed support plate 2 is engaged with the guide rails 7 fixed to the four support posts 6 constituting the base 1, and slides upward and downward. Shanghaidong is attached through the sieve (8), and on the upper surface of the movable support plate (3) two hanging levers (9) are placed in a substantially rectangular shape in plan view and at the same time The upper end is connected to the connecting plate 10, and the suspension lever 9 penetrating the horizontal lever 11 between the struts 6 is a spring between the horizontal lever 11 and the connecting plate 10. (12) is pressed and mounted so that the movable support plate 3 does not drop to the lowest point by its own weight. In addition, as a driving source for forcibly pressing down the movable support plate 3, an air cylinder 13 is used, and the air cylinder 13 is fixed to the horizontal lever 11 perpendicularly to the expansion rod ( The movable support plate 3 is pressed at the tip of 13 ').
고정받침판(2)위에 부착되는 하부정반(4)은, 고정받침판(2)위를 Y방향으로 미끄러져서 움직이는 하부부재(14)와, 그 하부부재(14)위에 부착되어서 수평으로 회전운동하는 상부부재(15)로 구성되며, 하부부재(14)는 고정받침판(2)위에 세워서 고정된 2개의 평행한 가이드레일(16)과 걸어맞춤되는 걸어맞춤체(17)를 통하여 미끄럼운동이 가능하게 지지되어 있다. 또, 하부부재(14)에 대해서 회전이 가능하게 지지되는 상부부재(15)는, 베어링(18)을 통해서 지지되어 있다.The lower surface plate 4 attached to the fixed support plate 2 has a lower member 14 which slides on the fixed support plate 2 in the Y direction and an upper portion which is attached to the lower member 14 and rotates horizontally. And a lower member (14), which is supported by a sliding body (17) which engages with two parallel guide rails (16) which are fixed upright on the fixed support plate (2). It is. In addition, the upper member 15 which is rotatably supported with respect to the lower member 14 is supported through the bearing 18.
가동받침판(3)의 하부측에 X방향으로 이동조절이 가능하게 부착되는 상부정반(5)은, 평면의 형상이 직사각형모양을 한 금속제 정반본체(19)의 유리기판(b)과, 대향하는 면에 주위의 가장자리(20)를 남겨 놓고, 소정의 깊이의 오목부(21)를 뚫어서 설치하며, 그 오목부(21)의 아래면 개구를 얇은 판(22)으로 폐쇄하는 동시에 그 얇은 판(22)의 주위는 상기한 주위의 가장자리(20)에 접착하여 고정시킨다.The upper surface plate 5, which is attached to the lower side of the movable support plate 3 so as to be movable in the X direction, is opposite to the glass substrate b of the metal surface body 19 in the shape of a rectangular plane. The peripheral edge 20 is left on the surface, and the recess 21 having a predetermined depth is drilled and installed, and the bottom opening of the recess 21 is closed by the thin plate 22 and the thin plate ( The perimeter of 22 is adhered to and fixed to the edge 20 of the perimeter described above.
또, 그 얇은 판(22)의 표면에는, 상하 좌우방향으로 간격을 두고, 흡착구멍(23)을 설치하는 동시에, 각 흡착구멍(23)은 정반본체에 설치한 매니폴드(24)를 통해서 진공수단으로 연락되어 있다. 또, 정반본체(19)의 주위의 가장자리(20)의 측면에는 상기한 오목부(21)의 내부와 통하는 관통구(25)가 설치되고, 그 관통구(25)는, 공기공급수단에 연결되어서 밀폐형상의 오목부(21)에 공기를 송출하여 상기한 얇은 판(22)을 팽창시킬 수 있도록 되어 있다.In addition, the adsorption holes 23 are provided on the surface of the thin plate 22 at intervals of up, down, left and right, and each suction hole 23 is vacuumed through the manifold 24 provided on the surface plate body. Contacted by means. In addition, a through hole 25 communicating with the inside of the concave portion 21 is provided on the side surface of the peripheral edge 20 of the surface plate body 19, and the through hole 25 is connected to the air supply means. As a result, the thin plate 22 can be expanded by sending air to the sealed recess 21.
오목부(21)를 폐쇄하는 얇은 판(22)은 판두께가 30μ~200μ, 바람직하게는 100μ의 스테인레스제 얇은 판을 사용해서 금속제 정반본체(19)와, 대략 동일한 형상으로 형성하여, 그 얇은 판(22)의 둘레의 가장자리를 정반본체(19)의 주위의 가장자리(20)의 위면에 접착제로 고정시킨다. 그리고, 그 얇은 판(22)에 대한 흡착구멍(23)의 형성은, 그 얇은 판(22)에 뚫은 구멍에 관조인트 플랜지(26)를 고정하고, 그 관조인트 플랜지(26)에 미니어쳐 관조인트(26)를 고정하여서 그 관조인트 플랜지(26)에 미니어쳐 관조인트(27)를 접속하여 고정시킴으로써 구성되어 있다. 그리고, 각 흡착구멍(23)의 미니어쳐 관조인트(27)는 금속제 정반본체(19)의 두께내에 뚫어서 설치하여 진공연락구멍(28)과 연결시켜서 부착한 매니폴드(24)의 접속구(29)에 내압호오스 등을 통해서 연결되고, 그것에 의해서 흡착구멍(23)에 진공흡착력이 발생되도록 구성되어 있다. 또, 도면에 표시한 매니폴드(24)는 4개의 접속구(29)를 구비해서 4개의 흡착구멍(23)에 1개의 매니폴드(24)가 대응하고 있지만, 그 접속구의 개수는, 도면에 표시된 것에 한정되는 것은 아니고, 3개 혹은 5개 등의 수로 임의로 구비할 수 있으며, 요컨대 얇은 판(22)에 설치되는 흡착구멍의 개수의 관계로 결정할 수 있다. 물론, 흡착구멍(23)의 배치는 얇은 판(22)의 표면에 균등하게 흡착력이 발생되도록 설정한다.The thin plate 22 which closes the recess 21 is formed in a substantially same shape as the metal surface main body 19 by using a thin plate made of stainless steel having a plate thickness of 30 μ to 200 μ, preferably 100 μ, The peripheral edge of the plate 22 is fixed to the upper surface of the peripheral edge 20 of the surface plate 19 with an adhesive. And the formation of the suction hole 23 with respect to the thin plate 22 fixes the tube joint flange 26 to the hole drilled in the thin plate 22, and the miniature tube joint to the tube joint flange 26. It is comprised by fixing 26 and connecting the miniature tube joint 27 to the tube joint flange 26 and fixing it. Then, the miniature tube joints 27 of the suction holes 23 are installed in the thickness of the metal surface plate body 19 to the connection holes 29 of the manifold 24 attached to the vacuum contact holes 28 and attached thereto. It connects through a pressure-resistant hose etc., and is comprised so that a vacuum suction force may be generated in the suction hole 23 by this. In addition, although the manifold 24 shown in the figure has four connection ports 29 and one manifold 24 corresponds to four adsorption holes 23, the number of the connection ports is shown in the figure. It is not limited to this, It can provide arbitrarily in the number of three, five, etc., In other words, it can determine by the relationship of the number of the adsorption holes provided in the thin plate 22. As shown in FIG. Of course, the arrangement of the suction holes 23 is set such that the suction force is generated evenly on the surface of the thin plate 22.
또, 상부정반(5)에는 각 각(角)진 부분에 상·하 유리기판(a,b)의 마아크맞추기를 하기 위한 투시부(30)가 설정되어 있다. 그 투시부(30)는, 금속제 정반본체(19)의 아래면에 팽팽하게 설치한 얇은 판(22)의 상하방향으로 변형하여 이동하도록 하기 위하여 금속제 정반본체(19)측으로 나사로 고정시키는 벨로즈지지대(bellows support)(31)에 벨로즈접속부재(32)를 끼워맞추어서 조립하고, 다른쪽편의 얇은 판(22)에는 소정의 구경의 구멍을 설치하며, 얇은 판(22)의 안쪽면에는 상기한 구멍의 중심과 합치시켜서 벨로즈접속부재(33)가 접착되서 고정되고, 그 벨로즈접속부재(33)와 상기한 벨로즈접속부재(32)에 걸쳐서 벨로즈(34)가 가설(架設)되어 있다. 또, 상기한 합계 4개의 투시부(30)는 각각 대각선상에 위치하는 2개씩이 쌍을 이루고, 한쌍은 대략의 맞추기마아크용, 다른 한쌍은 세밀한 맞추기 마아크용으로서 사용된다.In addition, the upper surface plate 5 is provided with a see-through portion 30 for marking the upper and lower glass substrates a and b at respective angled portions. The see-through portion 30 is a bellows support screwed to the metal surface main body 19 side so as to be deformed and moved in the vertical direction of the thin plate 22 that is tightly installed on the bottom surface of the metal surface main body 19. (bellows support) by fitting the bellows connecting member 32 to the 31, the other side of the thin plate 22 is provided with a hole of a predetermined aperture, the inner surface of the thin plate 22 described above The bellows connecting member 33 is bonded and fixed in conformity with the center of the hole, and the bellows 34 is hypothesized over the bellows connecting member 33 and the bellows connecting member 32 described above. have. In addition, the above-mentioned four see-through parts 30 each comprise two pairs which are located on a diagonal line, one pair is used for a rough registration mark, and the other pair is used for a fine registration mark.
다음에 상기한 정반을 구비한 맞추어붙이기장치(A)에 의한 유리기판의 맞추어붙이기에 대하여 설명한다.Next, the bonding of the glass substrate by the bonding apparatus A provided with the above-mentioned surface plate is demonstrated.
하부정반위에 아래쪽의 유리기판(a)을 얹어 놓고, 상부정반(5)의 아래면에 위쪽의 유리기판(b)을 얇은 판(22)에 설치한 흡착구멍에 발생되는 흡착력에 의해서 흡착하여 유지시키고, 상부정반(5)이 부착된 가동받침판(3)을 에어실린더(13)의 작용에 의해 밀어서 하강시켜서 위쪽의 유리기판(b)을 하부정반(4)위의 아래쪽 유리기판(a)의 표면에 접촉시키고, 그 상태로 현미경과 카메라로 된 마아크검출수단의 검출데이터에 의해 상부정반(5)을 x방향, 하부정반(4)을 y방향과 θ방향으로 이동하는 것을 조절하여 상·하 유리기판의 대략의 맞추기와 세밀한 맞추기를 한다. 상기한 마아크맞추기는 상부정반(5)의 각진 부분에 설치한 투시부(30)에 의해서 실시된다.The lower glass substrate (a) is placed on the lower surface plate, and the upper glass substrate (b) on the lower surface of the upper surface plate (5) is adsorbed and held by the adsorption force generated in the adsorption holes provided in the thin plate (22). The lower support plate (b) on the lower surface plate (a) on the lower surface plate 4 is pushed down by pushing the movable support plate (3) having the upper surface plate (5) attached thereto by the action of the air cylinder (13). The upper surface 5 is moved in the x direction and the lower surface 4 is moved in the y and θ directions by the detection data of the microscopic and camera mark detection means. Rough alignment and fine alignment of the glass substrate. The above-mentioned mark fitting is performed by the see-through part 30 provided in the angular part of the upper surface plate 5.
이상과 같이 하여 마아크맞추기를 완료한 시점에서 가동받침판(3)을 다시 아래쪽으로 밀어서 하강시키고, 상·하의 유리기판을 가압해서 시일재료(c)를 메워서 양자를 맞추어서 붙이는데, 이때, 상부정반(5)은 상기한 바와 같이 오목부의 개구면을 얇은 판(22)으로 폐쇄시키고, 또한, 그 오목부에 공기가 나가는 것이 봉입된 완충구조를 이루고 있으므로 위쪽의 유리기판(b)은, 에어백에 의해 밀어붙여지는 형태가 되고, 그것에 의해서 상·하 유리기판에 판두께의 불균형(테이퍼)이 있어도 그 분산(dispersion)은 상부정반(5)의 완충구조에 의해 흡수되어서 상부의 유리기판(b)에는 균일한 분포하중이 작용하여 시일재료(c)는 균일하게 메워지고, 그 결과, 상하의 유리기판 사이의 간격은 일정하게 유지됨으로써 높은 정밀도의 맞추어붙이기가 달성된다(제5도 참조).At the time when the mating is completed as described above, the movable support plate 3 is pushed downward again to lower it, and the upper and lower glass substrates are pressed to fill the sealing material (c) and put them together. (5) closes the opening face of the concave portion with a thin plate 22 as described above, and also forms a buffer structure in which air escapes to the concave portion, so that the upper glass substrate b is attached to the air bag. Even if there is an imbalance (taper) of the plate thickness in the upper and lower glass substrates, the dispersion is absorbed by the buffer structure of the upper surface plate 5 so that the upper glass substrate (b) The uniform distribution load acts on the sealing material and the sealing material c is uniformly filled. As a result, the gap between the upper and lower glass substrates is kept constant, so that high precision bonding is achieved (see Fig. 5). ).
본 발명의 액정표시판용 유리기판의 맞추어붙이기장치에 사용하는 정반구조는, 이상과 같이 구성했으므로, 상·하의 유리기판은 완충구조를 통하여 가압되고, 그것에 의하여 유리기판의 판두께의 불균일(테이퍼)을 흡수할 수 있어서 시일재료를 균일하게 메울 수가 있다. 따라서 상·하의 유리기판 사이의 간격이 균일한 높은 정밀도의 맞추어붙이기를 실현시킬 수 있는 맞추어붙이기장치의 정반을 제공할 수가 있게 된다.Since the platen structure used in the bonding apparatus of the glass substrate for liquid crystal display panels of this invention was comprised as mentioned above, the upper and lower glass substrates are pressurized through the buffer structure, and thereby the non-uniform thickness of the glass substrate (taper) Can be absorbed and the sealing material can be evenly filled. Therefore, it is possible to provide a surface plate of a paste fitting device that can realize a high-precision paste having a uniform gap between the upper and lower glass substrates.
또, 청구항 2와 같이 정반의 각 각(角)진 부분에 투시부를 설치했을 경우에는, 맞추어붙이기전에 있어서의 상·하의 유리기판의 마아크맞추기를 그 정반에 의해 실시할 수가 있으므로 마아크맞추기 완료후에는 그대로 가압시킴으로써 균일한 하중분포로 맞추어붙이기를 실시할 수가 있다. 따라서, 마아크맞추기와 판두께의 불균일을 흡수하면서 맞추어붙이기를 연속적으로 할 수가 있는 정반을 제공할 수가 있다.In addition, when the see-through part is provided in each part of the surface plate as in Claim 2, since the mark alignment of the upper and lower glass substrates before joining can be performed by the surface plate, after completion of the mark alignment, By pressurizing as it is, it is possible to carry out fitting with a uniform load distribution. Therefore, it is possible to provide a surface plate which can continuously perform the bonding while absorbing the non-uniformity of the marking and the plate thickness.
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