KR0176427B1 - 세정 및 건조장치 - Google Patents

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KR0176427B1
KR0176427B1 KR1019960001393A KR19960001393A KR0176427B1 KR 0176427 B1 KR0176427 B1 KR 0176427B1 KR 1019960001393 A KR1019960001393 A KR 1019960001393A KR 19960001393 A KR19960001393 A KR 19960001393A KR 0176427 B1 KR0176427 B1 KR 0176427B1
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안종남
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윤종용
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Abstract

LCD 패널 글래스 제품을 세정하고 이를 건조하기 위한 세정 및 건조장치가 개시되어 있다.
이 게시된 세정 및 건조장치는 내부에 세정 및 건조 대상 제품이 복수개 적재될 수 있도록 된 카세트와; 도어를 가지며 카세트가 내부에 장착되는 드럼과; 카세트가 회전되도록 회전력을 제공하는 구동수단과; 드럼 내부에 세정액 주입 및 주입된 세정액을 배수하여 세정을 수행하는 세정수단과; 드럼 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 건조수단과; 각 요소들을 지지하는 프레임;을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.

Description

세정 및 건조장치
제1도는 종래 세정 및 건조장치의 일예를 나타낸 정면도.
제2도는 제1도의 측면도.
제3도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 정면도.
제4도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 배면도.
제5도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 좌측면도.
제6도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 우측면도.
제7도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치의 카세트를 나타낸 사시도.
제8도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치의 세정액 흐름을 설명하기 위하여 나타낸 배관도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
40 : 드럼 43 : 도어
45 : 손잡이 50 : 카세트
51 : 거치막대 53 : 결합판
55 : 적재구 57 : 가이드홀
60 : 구동수단 61 : 모터
63 : 샤프트 65 : 베어링
67 : 회전판 68 : 가이드핀
70 : 완충부재 80 : 세정수단
81 : 세정탱크 83 : 제1공급관
84 : 펌프 85 : 제1배수관
86 : 제1배수밸브 87 : 흡배수관
88 : 흡배수밸브 91 : 제2공급관
93 : 공급밸브 95 : 제2배수관
97 : 제2배수밸브 100 : 프레임
110 : 건조수단 111 : 흡배기통
112 : 배기구 113 : 흡기구
115 : 흡기관 116 : 팬모터
117 : 공기여과기 118 : 히이터
119 : 배기관 120 : 초음파 발생기
본 발명은 LCD 패널 등의 글래스 제품을 세정하고 이를 건조하기 위한 세정 및 건조장치에 관한 것으로서, 상세하게는 제품의 세정 및 건조를 단일 용기 내에서 실시할 수 있도록 구조가 개선된 세정 및 건조장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD패널 등의 글래스 제품은 그 제조가 완료되면 패널의 표면을 깨끗하게 하는 세정공정과, 이를 건조하는 건조공정이 행해지게 된다.
이 세정공정 및 건조공정을 행하는 종래의 세정 및 건조장치의 일 형태를 제1도의 제2도를 참조하여 언급한다.
세정 및 건조장치는 그 구조에 있어서, 다수의 세정용기(2)와, 건조용기(6)와, 처리 대상 제품을 승하강시키는 엘리베이터(20)와, 이 엘리베이터(20)를 수평이동시키는 이송수단(10)로 대별된다.
상기 다수의 세정용기(2) 각각에는 세정액 또는 순수한 물이 채워져 있고, 그 내부에 초음파발생기(4)가 구비되어 있다.
상기 건조용기(6)는 순수한 물이 채워져 있는 세정용기(2)에 이웃하여 배치되어 있고, 그 내부에는 히이터(8)가 설치되어, 세정이 끝난 제품이 묻어있는 물기를 건조시킨다. 상기 엘리베이터(20)는 처리 대상 제품 복수개가 적재될 수 있는 적재부(22)와, 이 적재부(22)의 수직방향 움직임을 가이드하는 샤프트와, 구동력을 제공하는 모터(26)와, 가이드 샤프트(24)의 양단부 소정 위치에 구비된 한쌍의 풀리(28)와, 이 풀리(28)들 사이에 감져기고 모터(26)에서 전달되는 구동력에 의해 회전되며 일부에 상기 적재부(22)가 고정된 벨트(30)로 이루어져 있다.
이 엘리베이터(20)는 모터(26)의 회전력에 위해 상기 적재부(22)에 위치된 제품을 수직 상하방향으로 움직인다.
상기 이송수단(10)은 상기 엘리베이터(20)를 수평방향으로 이송하도록 프레임 상부에 설치된 볼스크류로 이루어져 있다. 상기 엘리베이터(20)의 일부는 상기 볼스크류에 나사결합된다.
종래의 세정 및 건조장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다. 처리 대상 제품을 엘리베이터(20)의 적재부(22)에 탑재한 후, 최초 상기 이상수단(10)을 이용하여 세정액의 농도가 짙은 세정용기(2) 상부로 이송시킨다.
이송 후 상기 적재부(22)를 수직 하강시켜 세품을 세정용기(2)에 담군다.
용기에 담긴 제품은 세정액 및 초음파 발생에 의해 불순물을 1차로 제거된다. 소정 시간이 지난 후 적재부(22)를 상승시키고, 이송수단(10)은 상기 엘리베이터(20)를 이웃한 다른 세정용기(2) 상부로 이송시키고, 언급한 동작을 반복한다.
이때 세정용기(2) 내부에는 1차 세정시 보다 묽은 세정액 또는 순수한 물이 채워져 있으므로, 세정된 제품에 묻어있는 세정액을 헹군다.
이후, 제품은 건조용기(6)에 삽입되어 히이터(8)에 의해 건조된다.
이와 같이 구비된 종래의 세정 및 건조장치는 세정용기와 건조용기가 별도로 구비되어 가격이 비싸고, 설치공간을 많이 차지한다.
또한, 건조시 히이터에 의존하여 제품을 건조시킴으로 건조 시간이 많이 걸리는 단점이 있다. 따라서, 본 발명은 언급한 바와 같은 점들을 감안하여 안출된 것으로써, 점유 공간 축소와, 세정효과 향상 및 건조시간을 단축할 수 있도록 된 세정 및 건조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 내부에 세정 및 건조 대상 제품이 복수개 적재될 수 있도록 된 카세트와; 도어를 가지며 상기 카세트가 내부에 장착되는 드럼과; 상기 카세트가 회전되도록 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 드럼 내부에 세정액 주입 및 주입된 세정액을 배수하여 세정을 수행하는 세정수단과; 상기 드럼 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 건조수단과; 상기 각 요소들을 지지하는 프레임;을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 세정 및 건조장치의 실시예를 상세히 설명한다.
제3도 내지 제6도 각각은 본 발명의 실시예에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 정면도, 배면도, 좌측면도 및 우측면도이다.
또한, 제7도는 본 발명에 따른 카세트를 나타낸 사시도이다. 그리고, 제8도는 본 발명에 따른 세정수단를 나타낸 개략도이다.
본 발명에 따른 세정 및 건조장치는 구조 및 역할에 있어서, 드럼(40)과, 카세트(50)와, 구동수단(60)과, 세정수단(80)과, 건조수단(110)과, 상기 각 요소들을 지지하는 프레임(100)로 대별된다.
상기 드럼(40)은 상기 프레임(100)에 의해 지지되며, 내부에 상기 카세트(50)가 회전가능하게 장착될 수 있는 공간이 형성되어 있다.
이 드럼(40)은 상기 카세트(50)가 출입될 수 있도록 개폐가능한 도어(43)를 가진다. 상기 도어(43)에는 손잡이(45)가 마련되어 있고, 일부가 상기 드럼(40)에 힌지(47)결합되어 있다.
상기 카세트(50)는 상기 드럼(4)) 내부에 설치되며, 상기 구동수단(60)에 의하여 회전될 수 있도록 되어 있다.
이 카세트(50)는 제7도에 도시된 바와 같이 복수개의 세정 및 건조 대상 제품이 적재될 수 있도록 결합된 복수개의 거치막대(51)와, 이 거치막대(51)의 일측면에 결합되고 상기 구동수단(60)에 결합되는 결합판(53)과, 상기 결합판(53)과 상기 구동수단(60)에 결합하는 결합수단(57,68)로 이루어져 있다.
상기 결합판(53)에는 상기 제품을 상기 거치막대(51) 내부의 공간에 적재할 수 있도록 된 적재구(55)가 형성되어 있다.
상기 결합수단(57,68)은 후술한다.
상기 구동수단(60)은 상기 프레임(100)에 설치된 모터(61)와, 이 모터(61)에 일단이 연결되어 회전력을 전달하는 샤프트(63)와, 이 샤프트(63)의 타단에 결합되고 상기 드럼(40) 내부에 위치되어 상기 카세트(50)의 결합판(53)과 결합되는 회전판(67)로 이루어져 있다. 상기 모터(61)는 통상의 회전력을 제공하는 동력원이다.
상기 샤프트(63)는 상기 모터(61)의 회전축에 연결되어 회전력을 전달하는 부재이다. 이 샤프트(63)는 상기 프레임(100)에 설치된 베어링(65)에 의하여 지지된다. 상기 결합수단(57,68)은 상기 결합판(53)과 회전판(67)을 결합하는 수단으로, 상기 결합판(53)과 회전판(67)에 서로 대향하도록 형성된 다수의 가이드핀(68)과, 가이드홀(57)로 이루어져 있다.
이 결합수단(57.68)의 의하여 상기 카세트(50)를 상기 구동수단(60)에 회전가능하게 결합할 수 있다.
이때, 세정 및 건조시 상기 드럼(40)과, 구동수단(60)이 심하게 진동되는 것을 방지하기 위하여, 상기 드럼(40)과 이 드럼(40)을 지지하는 프레임(100)사이와, 상기 구동수단(60)과 프레임(100) 사이에 완충부재(70)를 더 구비할 수 있다.
이 완충부재(70)는 내부에 공기가 충진된 에어백인 것이 바람직하다.
상기 세정수단(80)은 상기 드럼(40) 내부에 세정액을 주입하고 주입된 세정액을 배수하여 제품을 세정하는 수단이다.
이 세정수단(80)은 그 역할에 따라 세정액을 순환시키면서 제품을 세정하는 제1차세정수단(80)과, 순수한 물 또는 제1차세정수단(80)에 포함된 세정액보다 묽은 세정액을 주입 및 배수하여 불순물을 세정하고, 세정액을 세척할 수 있도록 된 제2세정수단으로 분리할 수 있다.
상기 제1차세정수단(80)은 세정탱크(81)와, 제1공급관(83)과, 펌프(84)와, 제1배수관(85) 및 제1배수밸브(86)로 이루어져 있다.
상기 세정탱크(81)는 상기 드럼(40)의 하부프레임(100)에 설치되며, 세정액을 저장하는 장소이다. 상기 제1공급관(83)은 그 양단이 각각 상기 세정탱크(81)와 드럼(40)에 연결되어 있다. 이 제1공급관(83)을 통하여 상기 세정탱크(81) 내부의 세정액이 상기 드럼(40) 내부에 공급된다.
상기 펌프(84)는 제1공급관(83)에 설치되어 세정탱크(81)내의 세정액을 펌핑한다. 상기 제1배수관(85)은 그 양단이 각각 상기 드럼(40)과 세정탱크(81)에 연결되어 있다. 이 제1배수관(85)을 통하여 상기 드럼(40) 내부에 주입된 세정액이 상기 세정탱크(81)로 배수된다.
상기 드럼(40)에서 세정탱크(81)로의 배수는 상기 세정탱크(81)가 상기 드럼(40)의 저면에 설치되어 있으므로, 별도의 배수펌프(84)가 불필요하다.
상기 제1배수밸브(86)는 상기 제1배수관(85)에 설치되어 있어, 제1배수관(85)을 통하여 이동되는 세정액의 배수량을 조절한다.
상기 세정탱크(81)에는 상기 세정탱크(81) 내부에 주입된 세정액을 배수하고 새로운 세정액을 주입할 수 있도록 된 흡배수관(87)과, 이 흡배수관(87)에 설치되어 흡배수량을 조절할 수 있도록 된 흡배수밸브(88)가 더 구비될 수 있다.
상기 제2차세정수단(80)은 제2공급관(91)과, 공급밸브(93)와, 제2배수관(95)과, 제2배수밸브(97)로 이루어져 있다.
상기 제2공급관(91)은 그 일단이 상기 드럼(40)과 연결되어 있으며, 타단은 순수한 물 또는 세정액을 공급하도록 된 외부부재와 연결되어 있다. 상기 제2공급관(91)의 상기 드럼(40)과 연결된 단부는 드럼(40) 내부에 인입되어 있으며, 상기 카세트(50) 전체에 순수한 물 또는 세정액을 분무할 수 있도록 복수개의 노즐(99)이 형성되어 있다. 이때, 공급되는 순수한 물 또는 세정액은 순환되지 않고, 상기 제2배수밸브(97)를 통하여 빠져 나간다.
상기 공급밸브(93)는 상기 제2공급관(91)에 설치되어 상기 제2공급관(91)을 통하여 공급되는 순수하는 물 또는 세정액의 량을 조절한다.
물론, 상기 공급밸브(93)는 순수한 물 또는 세정액이 상기 드럼(40)에 전달되지 않도록 제2공급관(91)을 차단할 수도 있다. 상기 제2배수관(95)은 그 일단이 상기 드럼(40)의 하부에 연결되고, 타단이 외부로 개구되어 있어서, 상기 드럼(40)내부에 주입된 순수한 물 또는 세정액을 배수한다.
상기 제2배수밸브(97)는 상기 제2배수관(95)에 설치되어 배수관을 차단하거나 배수량을 조절한다.
상기 건조수단(110)은 상기 드럼(40) 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 수단이다. 이 건조수단(110)은 흡배기통(111)과, 흡기관(115)과, 팬모터(1160와, 히이터(118) 및 배기관(119)로 이루어져 있다.
상기 흡배기통(111)은 일단이 상기 드럼(40) 상부에 관통결합되며, 타단에 흡기구(113)와 배기구(112)를 가진다. 상기 흡기관(115)은 상기 흡기구(113)에 결합되며, 외부 공기를 흡수하여 상기 드럼(40) 내부에 전달하는 부재이다.
상기 팬모터(116)는 상기 흡기관(115)에 설치되어 외부공기를 흡입하도록 한다. 상기 흡기관(115)에는 흡입되는 공기를 여과할 수 있도록 공기여과기(117)가 더 구비될 수 있다. 상기 배기관(119)은 상기 배기구(112)에 결합되며, 상기 드럼(40)에 인입된 공기를 배기하는 관이다.
상기 히이터(118)는 상기 흡배기통(111)의 외주에 설치되어 있으며, 이 흡배기통(111)을 통하여 상기 드럼(40)내부로 인입되는 공기를 가열한다.
이 히이터(118)는 통상적으로 사용되는 구조를 따른다.
또한, 본 발명은 상기 카세트(50)에 장착된 제품을 세정하기 위한 초음파 발생기(120)가 상기 드럼(40)과 인접되는 프레임(100)에 더 구비될 수 있다.
이 초음파 발생기(120)는 주입된 세정액을 미세진동시킨다.
이 진동에 의해 상기 세정 대상 물체에 묻어있는 불순물은 제거된다.
이와 같이 구비된 본 발명에 따른 세정 및 건조장치의 동작을 설명한다.
상기 카세트(50)에 적어도 하나의 세정 및 건조 대상 물체를 적재하고, 이 카세트(50)를 상기 드럼(40) 내부에 끼운다. 이때 상기 결합판(53)과 회전판(67)은 상기 결합수단(57,68)에 가이드되어 결합된다. 이후, 상기 도어(43)를 잠그고, 상기 구동수단(60)을 구동하여 상기 카세트(50)를 회전시키면서, 상기 제1세정수단과, 상기 초음파 발생기(120)를 동작시킨다. 상기 제1세정수단에 의해 소정 시간동안 1차세정을 실시한 후 2차세정을 실시한다. 2차세정은 제2세정수단과, 초음파 발생기(120) 및 상기 구동수단(60)을 가동하여 상기 카세트(50)를 회전시키면서 실시한다. 이때 상기 세정 대상 물체에 묻어 있는 잔여 불순물 및 1차세정에 의한 세정액이 세척된다. 2차세정이 완료되면, 상기 드럼(40) 내부에 주입되었던, 순수한 물과 세정액을 배수한 후, 상기 카세트(50)를 회전시키면서, 건조수단(110)을 동작한다.
따라서, 본 발명에 따른 세정 및 건조장치는 단일 드럼 내부에서 세정 및 건조되므로 대상 제품의 세정 및 건조시간을 단축 시킬 수 있고, 종래에 비해 장치의 가격을 대략 1/3 이하로 낮출 수 있고, 장치가 차지하는 공간을 적게 할 수 있다.

Claims (12)

  1. 내부에 세정 및 건조 대상 제품이 복수개 적재될 수 있도록 된 카세트와; 도어를 가지며 상기 카세트가 내부에 장착되는 드럼과; 상기 카세트가 회전되도록 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 드럼 내부에 세정액 주입 및 주입된 세정액을 배수하여 세정을 수행하는 세정수단과; 상기 드럼 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 건조수단과; 상기 각 요소들을 지지하는 프레임;을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은 프레임에 설치된 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되어 회전력을 전달하는 샤프트와, 상기 샤프트의 타단에 결합되고 상기 드럼 내부에 위치되어 상기 카세트와 결합되는 회전판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 카세트는 제품을 적재할 수 있도록 형성된 적재구를 가지며 상기 구동수단에 결합되는 결합판과, 상기 구동수단과 결합판을 결합하는 결합수단과, 상기 적재구를 통해 적재되는 제품을 거치하는 복수개의 거치막대로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 결합수단으로 상기 결합판과 구동수단의 마주하는 위치에 서로 대향하도록 형성된 다수의 가이드핀과 가이드홀이 구비되어 상기 결합판과 구동수단의 결합위치를 가이드할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 프레임과 드럼 사이 및 상기 프레임과 구동수단 사이에 완충부재가 더 구비되어 상기 카세트의 회전에 따른 진동을 억제할 수 있도록 된 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 세정수단은 세정액을 순환시켜 상기 카세트에 설치된 세정 대상 제품을 세정하는 제1차세정수단과, 순수한 물 또는 제1차세정수단에 포함된 세정액보다 묽은 세정액을 주입 및 배수하여 불순물 및 세정액을 세척할 수 있도록 된 제2차세정수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1차세정수단은 상기 드럼의 하부 프레임에 설치되고 세정액을 저장하는 세정탱크와, 양단 각각이 상기 세정탱크와 드럼에 연결되어 상기 세정탱크 내부의 세정액을 상기 드럼에 공급하는 제1공급관과, 상기 제1공급관에 설치되어 상기 세정탱크 내의 세정액을 펌핑하는 펌프와, 양단이 각각 상기 드럼과 세정탱크에 연결되어 상기 드럼에 주입된 세정액을 상기 세정탱크로 배수할 수 있도록 된 제1배수관과, 상기 제1배수관에 설치되어 세정액의 배수량을 조절하는 제1배수밸브가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 세정탱크에는 상기 세정탱크 내부에 주입된 세정액을 배수하고 새로운 세정액을 주입할 수 있도록 된 흡배수관과, 이 흡배수관에 설치되어 흡배수량을 조절할 수 있도록 된 흡배수밸브가 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 제2차세정수단은 상기 드럼 내부에 일단이 연결되어 순수한 물 또는 세정액을 공급하도록 된 제2공급관과, 상기 제2공급관에 설치되어 상기 제2공급관을 통하여 전달되는 순수한 물 또는 세정액의 공급량을 조절하도록 된 공급밸브와, 상기 드럼의 하부에 일단이 연결되어 드럼 내부에 주입된 순수한 물 또는 세정액을 배수하도록 된 제2배수관과, 상기 제2배수관의 일부에 형성되어 배수량을 조절하도록 된 제2배수밸브가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 건조수단은 일부가 상기 드럼 상부에 관통 결합되고 흡기구와 배기구를 가지는 흡배기통과, 일단이 상기 흡기구에 연결되고 타단이 외부로 개구되어 외부 공기를 흡입하여 상기 드럼에 공급할 수 있도록 된 흡기관과, 상기 흡기관의 일부에 마련되어 상기 흡기관에서 외부공기를 흡입하도록 하는 팬모터와, 상기 흡배기통의 외부에 마련되어 상기 흡기관을 통하여 상기 드럼에 전달되는 공기를 가열하는 히이터와, 일단이 상기 배기구에 연결되고 타단이 외부로 개구되어 상기 드럼 내부에 인입된 공기를 배기하도록 된 배기관을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 드럼에 주입되는 공기를 여과할 수 있도록 상기 흡기관에 공기여과기가 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  12. 제1항에 있어서, 카세트에 장착된 제품을 세정하기 위한 초음파 발생기가 상기드럼과 인접되는 프레임에 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040045198A (ko) * 2002-11-22 2004-06-01 김경진 웨이퍼 세정 및 건조 장치
KR100766461B1 (ko) * 2001-07-16 2007-10-15 씨앤지하이테크 주식회사 챔버 내에 와류 발생을 방지하는 반도체 웨이퍼 클리닝장치

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