KR970060424A - 세정 및 건조장치 - Google Patents

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KR970060424A
KR970060424A KR1019960001393A KR19960001393A KR970060424A KR 970060424 A KR970060424 A KR 970060424A KR 1019960001393 A KR1019960001393 A KR 1019960001393A KR 19960001393 A KR19960001393 A KR 19960001393A KR 970060424 A KR970060424 A KR 970060424A
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cleaning
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cassette
drying
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안종남
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윤종용
삼성전관 주식회사
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Abstract

LCD 패널 등의 글래스 제품을 세정하고 이를 건조하기 위한 세정 및 건조장치가 개시되어 있다. 이 개시된 세정 및 건조장치는 내부에 세정 및 건조 대상 제품이 복수개 적재될 수 있도록 된 카세트와; 도어를 가지며 카세트가 내부에 장착되는 드럼과; 카세트가 회전되도록 회전력을 제공하는 구동수단과; 드럼 내부에 세정액 주입 및 주입된 세정액을 배수하여 세정을 수행하는 세정수단과; 드럼 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 건조수단과; 각 요소들을 지지하는 프레임; 을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.

Description

세정 및 건조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 세정 및 건조장치를 나타낸 정면도.

Claims (12)

  1. 내부에 세정 및 건조 대상 제품이 복수개 적재될 수 있도록 된 카세트와; 도어를 가지며 상기 카세트가 내부에 장착되는 드럼과; 상기 카세트가 회전되도록 회전력을 제공하는 구동수단과; 상기 드럼 내부에 세정액주입 및 주입된 세정액을 배수하여 세정을 수행하는 세정수단과; 상기 드럼 내부에 더운 공기를 주입하여 제품을 건조하는 건조수단과, 상기 각 요소들을 지지하는 프레임; 을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은 프레임에 설치된 모터와, 상기 모터에 일단이 연결되어 회전력을 전달하는 샤프트와, 상기 샤프트의 타단에 결합되고 상기 드럼 내부에 위치되어 상기 카세트와 결합되는 회전판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 카세트는 제품을 적재할 수 있도록 형성된 적재구를 가지며 상기 구동수단에 결합되는 결합판과, 상기 구동수단과 결합판을 결합하는 결합수단과, 상기 적재구를 통해 적재되는 제품을 거치하는 복수개의 거치막대로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 결합수단으로 상기 결합판과 구동수단의 마주하는 위치에 서로 대항하도록 형성된 다수의 가이드핀과 가이드홀이 구비되어 상기 결합판과 구동수단의 결합위치를 가이드할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 프레임과 드럼 사이 및 상기 프레임과 구동수단 사이에 완충부재가 더 구비되어 상기 카세트의 회전에 따른 진동을 억제할 수 있도록 된 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 세정수단은 세정액을 순환시켜 상기 카세트에 설치된 세정 대상 제품을 세정하는 제1차세정수단과, 순수한 물 또는 제1차세정수단에 포함된 세정액보다 묽은 세정액을 주입 및 배수하여 불순물 및 세정액을 세척할 수 있도록 된 제2차세정수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1차세정수단은 상기 드럼의 하부 프레임에 설치되고 세정액을 저장하는 세정탱크와, 양단 각각이 상기 세정탱크와 드럼에 연결되어 상기 세정탱크 내부에 세정액을 상기 드럼에 공급하는 제1 공급관과, 상기 제1공급관에 설치되어 상기 세정탱크 내의 세정액을 펌핑하는 펌프와, 양단이 각각 상기 드럼과 세정탱크에 연결되어 상기 드럼에 주입된 세정액을 상기 세정탱크로 배수할 수 있도록 된 제1배수관과, 상기 제1배수관에 설치되어 세정액의 배수량을 조절하는 제1배수밸브가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 세정탱크에는 상기 세정탱크 내부에 주입된 세정액을 배수하고 새로운 세정액을 주입할 수 있도록 된 흡배수관과, 이 흡배수관에 설치되어 흡배수량을 조절할 수 있도록 된 흡배수밸브가 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 제2차세정수단은 상기 드럼 내부에 일단이 연결되어 순수한 물 또는 세정액을 공급하도록 된 제2차공급관과, 상기 제2공급관에 설치되어 상기 제2공급관을 통하여 전달되는 순수한 물 또는 세정액의 공급량을 조절하도록 된 공급밸브와, 상기 드럼의 하부에 일단이 연결되어 드럼 내부에 주입된 순수한 물 또는 세정액을 배수하도록 된 제2배수관과, 상기 제2배수관의 일부에 형성되어 배수량을 조절하도록 된 제2배수밸브가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 건조수단은 일부가 상기 드럼 상부에 관통 결합되고 흡기구와 배기구를 가지는 흡배기통과, 일단이 상기 흡기구에 연결되고 타단이 외부로 개구되어 외부 공기를 흡입하여 상기 드럼에 공급할 수 있도록 된 흡기관과, 상기 흡기관의 일부에 마련되어 상기 흡기관에서 외부공기를 흡입하도록 하는 팬모터와, 상기 흡배기통의 외주에 마련되어 상기 흡기관을 통하여 상기 드럼에 전달되는 공기를 가열하는 히이터와, 일단이 상기 배기구에 연결되고 타단이 외부로 개구되어 상기 드럼 내부에 인입된 공기를 배기하도록 된 배기관을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 드럼에 주입되는 공기를 여과할 수 있도록 상기 흡기관에 공기여과기가 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
  12. 제1항에 있어서, 카세트에 장착된 제품을 세정하기 위한 초음파 발생기가 상기 드럼과 인접되는 프레임에 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정 및 건조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960001393A 1996-01-23 1996-01-23 세정 및 건조장치 KR0176427B1 (ko)

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KR100766461B1 (ko) * 2001-07-16 2007-10-15 씨앤지하이테크 주식회사 챔버 내에 와류 발생을 방지하는 반도체 웨이퍼 클리닝장치
KR20040045198A (ko) * 2002-11-22 2004-06-01 김경진 웨이퍼 세정 및 건조 장치

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