KR0170327B1

KR0170327B1 - 전하결합소자 검사방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR0170327B1
Application number: KR1019950004712A
Authority: KR
Inventors: 박승민
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1995-03-08
Filing date: 1995-03-08
Publication date: 1999-03-30
Also published as: KR960035939A

Abstract

본 발명은 CCD검사방법 및 그 장치에 관한 것이다.

본 발명은 CCD 로봇 셀 영역에서의 제동작을 처리해주는 제1 제어부와, 부품을 픽업, 이송 및 위치시키는 로봇부와, 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부와, 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 해주는 센터링 조정부와, 불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부와, 테스트 지그 내부의 먼지의 제거 및 테스트 종류에 따른 조명을 제공하는 진공/조명부와, 부품이 담긴 트레이를 로봇 직업영역 안으로 공급해주는 부품 공급용 트레이 피더와, 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급하여 양품의 부품을 취출하는 부품 취출용 트레이 피더와, 상기 부품 공급/취출용 트레이 피더를 제어해주기 위한 제2제어부를 구비하고 있다.

이와 같이, 자동화된 장치 시스템에 의해 CCD 부품을 검사하게 되므로, 연속적인 테스트 작업이 가능하여 작업효율 증진에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있는 장점이 있다.

Description

전하결합소자(CCD) 검사방법 및 그 장치

제1도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치의 개략적인 시스템 구성도.

제2도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치에 의해 CCD를 검사하는 과정을 설명하는 시스템 흐름도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : CCD 로봇 셀 영역 12 : 제1제어부

12a,19a : 프로그래머블 로직콘트롤러 12b : 로봇 제어기

13 : 로봇부 14 : 테스팅부

15 : 센터링조정부 16 : 클리닝부

17 : 진공/조명부 18 : 트레이 피더 영역

19 : 제2제어부 19b,19c : 1축제어기

20 : 부품 공급용 트레이 피더 20a : 제1업/다운부

20b : 제1트레벌스부 21 : 부품취출용 트레이 피더부

21a : 제2업/다운부 21b : 제2트레벌스부

본 발명은 전하결합소자(Charge Coupled Device: 이하 CCD라 약칭함) 검사방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 종래의 칩(CCD, LCD등) 테스팅 장치와 연계사용할 수 있어 연속적인 테스트 작업이 가능하고, 수동에 의존하던 디바이스 검사장비의 자동화가 가능하며, 한 번의 칩교체로 연속적인 검사를 할 수 있어 작업효율 증진에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있는 CCD 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다.

일반적으로, CCD는 전송 전극하에 형성된 전위 우물에 신호 전하를 축적하고, 전송 전극으로 인가 전압을 이동시킴으로써 인접 전송 전극하에 형성된 전위 우물에 신호 전하를 전송하는 소자를 말한다.

이와 같은 CCD에는 신호 전하가 Si-SiO₂계면을 따라 전송하는 표면 채널 CCD와 Si-SiO₂계면에서 수 ㎛ 깊이 부분을 전송하는 내면 채널 CCD가 있다. 그리고, 통상 CCD와 BBD(Bucket Brigade Device)를 총칭하여 전하 전송 디바이스 또는 전하전송소자라고 한다.

CCD는 주로 촬상소자, 선호처리소자, 메모리소자로 사용되고 있으며, 이중에서 쵤상소자는 2차원 센서롯 가정용 VTR에 쓰이는 칼라 비디오 카메라로서의 실용화가 급속히 진행되고 있다. 그리고, 촬상소자로서는 이밖에 1차원 센서로서 팩시밀리(facsimile), OCR(Optical Character Recognizer) 등에의 응용이 있다.

한편, 상기와 같은 CCD는 그 제조공정상 여러 단계를 거치게 되며, 일단계 제조과정을 마친 CCD는 검사 및 테스팅 과정을 거치게 된다.

종래에는 CCD, LCD 등의 디바이스가 일단계 제조과정을 거치면, 수작업에 의해 부품을 클리닝(cleaning)하고, 그것을 다시 작업자에 의해 테스트 장비에 공급하여 테스트를 실시하고, 그 테스트 결과에 따라서 부품을 양품 및 불량품으로 분류하였다.

따라서, CCD 칩 표면이 손상될 우려가 있고, 연속적인 작업이 불가능하여 작업의 효율이 떨어지며, 과다한 인력투입으로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 창출된 것으로서, 연속적인 테스트 작업이 가능하고, 디바이스 검사장비의 자동화를 가능케함으로써 작업효율을 증진시킬 수 있는 CCD 검사방법 및 그 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 CCD 검사방법은,

부품공급용 트레이 피더(tray feeder)의 팰럿(pallet)이 배출 완료 되어 있는지를 확인하는 단계;

조건이 만족되면 부품공급용 트레이로 이동하여 부품을 픽업(pick up)하는 단계;

픽업한 부품을 센터링(centering) 디바이스로 이송하여 센터링이 정확히 맞았는지를 확인하는 단계;

센터링 완료된 부품을 픽업하여 테스트 지그(jig)에 장착하고, 지그 내부의 먼지를 제거한 후, 테스트 종류에 따른 조명과 함께 테스트 스타트 신호를 송출하는 단계;

상기 신호를 받아 부품의 테스트를 실시하고, 부품이 양품인지 불량품인지를 판별하여 그에 따른 신호를 송출하는 단계;

양품일 경우, 부품을 픽업하여 부품 배출용 트레이 피더로 배출하는 단계;

부품공급용 트레이 피더의 팰럿이 배출 완료 되어있는지를 확인하는 단계;

조건이 만족되면 부품을 소정 지점에 위치시키는 단계;

상기 부품 테스트 판별단계에서 불량품을 경우, 부품을 클리닝한 후 재테스팅을 하는 단계를 포함한다.

또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 CCD 검사장치는,

CCD 로봇 셀 영역에 있어서의 입/출력 인터페이싱 및 각 동작을 처리해 주기 위한 제1제어부와,

실제로 부품을 픽업하여 소정 지점으로의 이송 및 위치시키는 로봇부와,

상기 로봇부에 의해 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부와,

이송된 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 부품을 정돈해 주는 센터링 조정부와,

불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부와.

상기 테스트 지그 내부의 먼지를 진공으로 제거하고, 테스트 종류에 따라 설정된 조도만큼 조명해주는 진공/조명부와,

부품이 담긴 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급해주는 부품 공급용 트레이 피더와,

트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급하여 양품의 부품을 취출하는 부품 취출용 트레이 피더와,

상기 부품 공급/ 취출용 트레이 피더를 제어해 주기 위한 제2제어부를 구비하여 된 점에 그 특징이 있다.

이와 같이, 자동화된 장치 시스템에 의해 CCD부품을 검사하게 되므로, 연속적인 테스트 작업이 가능하여 작업효율 증진에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있는 장점이 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

제1도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치의 개략적은 시스템 구성도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 CCD 검사장치(10)는 크게 CCD 로봇 셀 영역(11)과 트레이 피더 영역(18)으로 구성된다.

CCD 로봇 셀 영역(11)에는 이 영역내에 있어서의 입/출력 인터페이싱 및 각 동작을 처리해 주기 위한 제1제어부(12)가 마련되고, 실제로 부품을 픽업하여 소정 지점으로 이송시켜 테스팅하도록 하는 한편 테스팅 완료된 부품을 일정장소에 위치시키는 로봇부(13)가 설치된다. 또한, 상기 로봇부(13)에 의해 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부(14)와, 이송된 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 부품을 정돈해주는 센터링 조정부(15)와, 불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부(16), 그리고 상기 테스트 지그 내부의 먼지를 진공으로 제거하고, 테스트 종류에 따라 설정된 조도만큼의 밝기로 조명해주는 진공/조명부(17)가 설치된다. 여기서, 상기 제1제어부(12)는 CCD 검사를 위한 소정의 제어프로그램이 메모리되어 있는 PLC(Programmable Logic Controller:12a) 와, 로봇을 제어하기 위한 로봇제어기(12b)로 구성된다.

한편, 트레이 피더 영역(18)에는 상기 테스팅부(14)에 부품을 공급해주는 부품 공급용 트레이 피더(20)와, 테스팅부(14)에서 테스팅 완료된 부품을 취출하는 부품 취출용 트레이 피더(21)가 설치된다. 그리고 상기 부품 공급 및 취출용 트레이 피더(20,21)를 제어해주기 위한 제2제어부(19)가 설치된다. 여기서 상기 부품 공급용 트레이 피더(20)는 랙박스(rack box:부품이 담긴 혹은 부품을 담을 트레이를 고정시켜 놓은 20단의 팰럿을 수직으로 적재한 형대의 박스로 모터에 의해 상,하로 구동됨)를 상,하로 구동시키는 제1업/다운부(20a)와, 팰럿을 로봇 작업영역으로 인출하고, 다 사용한 팰럿을 랙박스 안으로 인입시키는 제1트레벌스부(20b)로 구성된다. 또한, 상기 부품 취출용 트레이 피더(21)는 랙박스를 상,하로 구동시키는 제2업/다운부(21a) 및 팰럿을 로봇 작업영역으로 인출하고, 양품의 부품이 담긴 트레이를 랙박스 안으로 인입시키는 제2트레벌스부(21b)로 구성된다. 그리고, 상기 제2제어부(19)는 상기 제1제어부(12)의 PLC(12a)로부터 소정 데이터를 전송받아 트레이 피더 영역(18)내에서의 제동작을 처리해주기 위한 PLC(19a)와, 상기 제1, 제2업/다운부(20,22)를 각각 제어하기 위한 2개의 1축제어기(19b,19c)로 구성된다.

그러면, 이상과 같은 구성을 가지는 본 발명의 CCD 검사장치에 의해 CCD를 검사하는 과정에 대해 제1도 및 제2도를 참조하면서 설명해 보기로 한다.

제2도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치에 의해 CCD를 검사하는 과정을 설명하는 플로우 차트이다.

제2도에서 전원이 공급되면, 본 도면에는 도시되지 않은 서보전원을 온(on)하고, 제로-리턴 스위치를 온 시킨다. 그렇게 하여 제로-리턴이 완료되면 자동 스타트가 가능해진다.

시스템 운전이 시작되면, 먼저 부품 공급용 트레이 피더(20)가 동작중이고, 팰럿이 배출 완료되어있는지를 확인하게 된다(41). 조건이 만족되면, 부품 공급용 트레이로 이동(42)하여 부품을 픽업한다(43). 이때, 팰럿 위에 고정된 트레이의 부품을 모두 사용하였을 경우, 팰럿 교환신호를 송출하고, 팰럿의 교환이 완료될 때까지 대기하게 된다(42`).

한편, 상기 픽업된 부품은 센터링 조정부(15)로 이송(44)되어 센터링이 정확히 맞았는지를 확인하게 된다(45). 조건이 만족되면, 클리닝부(15)에서 클리닝하고, 클리닝 완료된 부품을 픽업(46)하여 테스트지그(jig)에 장착한다(47). 그리고, 지그 내부의 먼지를 제거한 후, 테스트 종류에 따라 세팅된 조도의 밝기만큼의 빛을 조명(49)하고, 테스트 스타트 신호를 송출한다(49).

그러면, 상기 신호를 받아 테스팅부(14)에서 부품의 테스트를 실시하고, 부품이 양품인지 불량품인지를 판별(50)하여 그에 따른 신호를 송출한다. 만일 양품일 경우, 부품을 픽업(51)하여 부품 취출용 트레이 피더(21)로 이동하여 배출한다(52). 이때, 부품 공급용 트레이 피더(20)가 동작중이고, 팰럿이 배출 완료 되어있는지를 확인한다(53). 조건이 만족되면, 부품을 소정 지점에 위치시킨다(54). 여기서, 또한 팰럿 위에 고정된 트레이에 부품이 모두 채워지면, 팰럿 교환 신호를 송출하고, 팰럿 교환이 완료될 때까지 대기한다(53`).

한편, 상기 부품 테스트 판별단계(50)에서 불량품일 경우, 로봇이 이동하여 클린 툴(clean tool)을 집고(55,56) 테스트 지그로 이동한다(57). 그런 후, 알코올을 클린 툴에 분사하여 부품의 표면을 닦은 후(58), 재테스트를 실시한다. 만일, 클리인 후 테스트 결과가 또 다시 불량이면, 부품 공급용 트레이 피더(20) 팰럿의 빈곳에 불량부품을 정렬해 놓게한다. 부호, 59,60은 로봇이 클린 툴로 이동하여 클린 툴을 제거하는 단계이다.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 CCD 검사방법 및 그 장치는 자동화된 장치 시스템에 의해 CCD부품을 검사하게 되므로, 연속적인 테스트 작업이 가능하여 작업효율 증진에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있는 장점이 있다.

Claims

1) 부품공급용 트레이 피더의 팰럿이 배출 완료되어 있는지를 확인하는 단계; 2) 조건이 만족되면 부품공급용 트레이로 이동하여 부품을 픽업하는 단계; 3) 픽업한 부품을 센터링 디바이스로 이송하여 센터링이 정확히 맞았는지를 확인하는 단계; 4) 센티링 완료된 부품을 퍽업하여 테스트 지그에 장착하고, 지그 내부의 먼지를 제거한 후, 테스트 종류에 따른 조명과 함께 테스트 스타트 신호를 송출하는 단계; 5) 상기 신호를 받아 부품의 테스트를 실시하고, 부품이 양품인지 불량품인지를 판별하여 그에 따른 신호를 송출하는 단계; 6) 양품일 경우, 부품을 픽업하여 부품 배출용 트레이 피더로 배출하는 단계; 7) 부품공급용 트레이 피더의 팰럿이 배출 완료 되어있는지를 확인하는 단계; 8) 조건이 만족되면 부품을 소정 지점에 위치시키는 단계; 9) 상기 5) 단계에서 불량품일 경우, 부품을 클리닝한 후 재테스팅을 하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.

제1항에 있어서, 상기 2)단계에 트레이의 부품을 모두 사용했을 경우 팰럿 교환 신호를 송출하고, 팰럿 교환이 완료될 때까지 대기하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.

제1항에 있어서, 상기 7)단계 다음에 트레이에 부품이 모두 차면 팰럿 교환신호를 송출하고, 팰럿 교환이 완료될 때까지 대기하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.

제1항에 있어서, 상기 9)단계 다음에 부품의 클리닝 후, 테스트 결과가 또 다시 불량이면 부품 공급용 트레이 피더 팰럿의 빈 곳에 별도로 정렬하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.

CCD 로봇 셀 영역에 있어서의 입/출력 인터페이싱 및 각 동작을 처리해 주기 위한 제1제어부와, 실제로 부품을 픽업하여 소정 지점으로의 이송 및 위치시키는 로봇부와, 상기 로봇부에 의해 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부와, 이송된 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 부품을 정돈해주는 센터링 조정부와, 불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부와, 상기 테스트 지그 내부의 먼지를 진공으로 제거하고, 테스트 종류에 따라 설정된 조도만큼 조명해주는 진공/조명부와, 부품이 담긴 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급해주는 부품 공급용 트레이 피더와, 상기 부품 공급/취출용 트레이 피더를 제어해주기 위한 제2제어부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.

제5항에 있어서, 상기 제1제어부는 CCD 검사를 위한 소정의 제어프로그램이 메모리되어 있는 PLC와, 로봇을 제어하기 위한 제어기를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.

제5항에 있어서, 상기 부품 공급용 트레이 피더는 랙박스를 상,하로 구동시키는 제1업/다운부와, 팰럿을 로봇 작업영역으로 인출하고, 다 사용한 팰럿을 랙박스 안으로 인입시키는 제1트레벌스부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.

제5항에 있어서, 상기 부품 취출용 트레이 피더는 랙박스를 상,하로 구동시키는 제2업/다운부 및 팰럿을 로봇 작업 영역으로 인출하고, 양품의 부품이 담긴 트레이를 랙박스 안으로 인입시키는 제2트레벌스부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.

제5항에 있어서, 상기 제2제어부는 상기 제1제어부의 PLC로부터 데이터를 전송받아 트레이 피더 영역내에서의 제동작을 처리해주기 위한 PLC와, 상기 제1, 제2업/다운부를 각각 제어하기 위한 2개의 1축 제어기를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.