KR960035939A - 전하결합소자 검사방법 및 그 장치 - Google Patents
전하결합소자 검사방법 및 그 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960035939A KR960035939A KR1019950004712A KR19950004712A KR960035939A KR 960035939 A KR960035939 A KR 960035939A KR 1019950004712 A KR1019950004712 A KR 1019950004712A KR 19950004712 A KR19950004712 A KR 19950004712A KR 960035939 A KR960035939 A KR 960035939A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- parts
- tray
- feeder
- pallet
- robot
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
- H01L22/26—Acting in response to an ongoing measurement without interruption of processing, e.g. endpoint detection, in-situ thickness measurement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
본 발명은 CCD 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다.
본 발명은 CCD 로못 셀 영역에서의 제동작을 처리해주는 제1제어부와, 부품을 픽업, 이송 및 위치시키는 로봇부와, 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부와, 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 해주는 센터링 조정부와, 불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부와, 테스트 지그 내부의 먼지의 제거 및 테스트 종류에 따른 조명을 제공하는 진공/조명부와, 부품이 담긴 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급해주는 부품 공급용 트레이 피더와, 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급하여 양품의 부품을 취출하는 부품 취출용 트레이 피더와, 상기 부품 공급/취출용 트레이 피더를 제어해주기 위한 제2제어부를 구비하고 있다.
이와같이, 자동화된 장치 시스템에 의해 CCD부품을 검사하게 되므로, 연속적인 테스트 작업이 가능하여 작업효율 증진에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치의 개략적인 시스템 구성도. 제2도는 본 발명에 따른 CCD 검사장치에 의해 CCD를 검사하는 과정을 설명하는 시스템 흐름도.
Claims (9)
1) 부품공급용 트레이 피더의 팰럿이 배출 완료되어 있는지르 확인하는 단계; 2) 조건이 만족되면 부품공급용 트레이로 이동하여 부품을 픽업하는 단계; 3) 픽업한 부품을 센터링 디바이스로 이송하여 센터링이 정확히 맞았는지를 확인하는 단계; 4) 센터링 완료된 부품을 픽업하여 테스트 지그에 장착하고, 지그내부의 먼지를 제거한 후, 테스트 종류에 따른 조명과 함께 테스트 스타트 신호를 송출하는 단계; 5) 상기 신호를 받아 부품의 테스트를 실시하고, 부품이 양품인지 불량품인지를 판별하여 그에 따른 신호를 송출하는 단계; 6) 양품일 경우, 부품을 픽업하여 부품 배출용 트레이 피더로 배출하는 단계; 7) 부품공급용 트레이 피더의 팰럿이 배출 완료 되어있는지를 확인하는 단계; 8) 조건이 만족되면 부품을 소정 지점에 위치시키는 단계; 9)상기 5) 단계에서 불량품일 경우, 부품을 클리닝한 후 재테스팅 하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 2) 단계에서 트레이의 부품을 모두 사용했을 경우 팰럿 교환신호를 송출하고, 팰릿 교환이 완료될때까지 대기하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 7) 단계 다음에 트레이에 부품을 모두 차면 팰럿 교환 신호를 송출하고, 팰럿 교환이 완료될 때까지 대기하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 9) 단계 다음에 부품의 클리닝 후, 테스트 결과가 또 다시 불량이면 부품 공급용 트레이 피더 팰럿의 빈 곳에 별도로 정렬하는 단계를 더 포함하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사방법.
CCD 로봇 셀 영역에 있어서의 입/출력 인터페이싱 및 각 동작을 처리해 주기 위한 제 1제어부와, 실제로 부품을 픽업하여 소정 지점으로의 이송 및 위치시키는 로봇부와, 상기 로봇부에 의해 이송된 부품을 테스팅하는 테스팅부와, 이송된 부품을 테스트 지그에 정확히 장착할 수 있도록 부품을 정돈해 주는 센터링 조정부와, 불량부품의 표면을 세척해주는 클리닝부와, 상기 테스트 지그 내부의 먼지를 진공으로 제거하고, 테스트 종류에 따라 설정된 조도만큼 조명해 주는 진공/조명부와 부품이 담긴 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급해주는 부품공급용 트레이 피더와, 트레이를 로봇 작업영역 안으로 공급하여 양품의 부품을 취출하는 부품 취출용 트레이 피더와, 상기 부품 공급/취출용 트레이 피더를 제어해주기 위한 제2제어부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 제1제어부는 CCD 검사를 위한 소정의 제어프로그램이 메모리되어 있는 PLC와, 로봇을 제어하기 위한 제어기를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 부품 공급용 트레이 피더는 랙박스를 상,하로 구동시키는 제1업/다운부와, 팰럿을 로봇 작업영역으로 인출하고, 다 사용한 팰럿을 랙박스 안으로 인입시키는 제 1트레벌스부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 부품 취출용 트레이 피더는 랙박스를 상,하로 구동시키는 제2업/다운부 및 패럿을 로봇 작업영역으로 인출하고, 양품의 부품이 담긴 트레이를 랙박스 안으로 인입시키는 제2트레벌스부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 제2제어부는 상기 제1제어부의 PLC로부터 데이타를 전송받아 트레이 피더영역내에서의 제동작을 처리해주기 위한 PLC와, 상기 제1, 제2업/다운부를 각각 제어하기 위한 2개의 1축 제어기를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 CCD 검사장치.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950004712A KR0170327B1 (ko) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 전하결합소자 검사방법 및 그 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950004712A KR0170327B1 (ko) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 전하결합소자 검사방법 및 그 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960035939A true KR960035939A (ko) | 1996-10-28 |
KR0170327B1 KR0170327B1 (ko) | 1999-03-30 |
Family
ID=19409410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950004712A KR0170327B1 (ko) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 전하결합소자 검사방법 및 그 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR0170327B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990086301A (ko) * | 1998-05-27 | 1999-12-15 | 윤종용 | 고체 촬상 소자의 이물 검사영역 설정방법 및 설정장치 |
KR20010084285A (ko) * | 2000-02-24 | 2001-09-06 | 장 흥 순 | 반도체 검사방법 및 이를 수행하기 위한 시스템 |
-
1995
- 1995-03-08 KR KR1019950004712A patent/KR0170327B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990086301A (ko) * | 1998-05-27 | 1999-12-15 | 윤종용 | 고체 촬상 소자의 이물 검사영역 설정방법 및 설정장치 |
KR20010084285A (ko) * | 2000-02-24 | 2001-09-06 | 장 흥 순 | 반도체 검사방법 및 이를 수행하기 위한 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0170327B1 (ko) | 1999-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100269948B1 (ko) | 반도체 번-인 공정의 반도체 디바이스 추출/삽입 및자동분류장치 | |
KR102041277B1 (ko) | Pcb용 납땜 검사 및 수정 시스템 | |
JP2007333739A (ja) | バーンインソータおよびこれを用いたバーンインソート方法 | |
KR19990039696A (ko) | 테스트 소켓 및 그를 이용한 모듈 테스트 장치 | |
JPH08248095A (ja) | 検査装置 | |
KR20000038533A (ko) | 모듈외관검사설비 | |
KR20080103354A (ko) | 반도체 소자의 비전 검사 시스템 | |
JPH0957543A (ja) | 部品整列供給装置 | |
KR100341495B1 (ko) | 트레이 반송장치 및 방법 | |
CN112255248B (zh) | 多重镜片的油墨缺陷检测方法 | |
JPH0989984A (ja) | ハンドリングシステム | |
JPH06252594A (ja) | 電子部品の自動装着装置 | |
US6075358A (en) | Device in a semiconductor manufacturing installation in particular for integrated circuits | |
KR960035939A (ko) | 전하결합소자 검사방법 및 그 장치 | |
KR101987822B1 (ko) | 디스플레이모듈에 관련된 검사대상물을 검사하기 위한 인라인 검사시스템 | |
KR100554444B1 (ko) | 트레이 이송식 반도체패키지 마킹방법 및 시스템 | |
KR100339014B1 (ko) | 메모리 모듈 비전 검사기 | |
WO2017034184A1 (ko) | 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사시스템 | |
CN209849343U (zh) | 一种无直振供料的高速分光分色机 | |
KR0130867B1 (ko) | 인쇄 회로 기판의 자동 검사 방법 및 시스템 | |
KR100200592B1 (ko) | 집적 회로 소자의 검사 시스템 | |
JP4588913B2 (ja) | 部品搬送装置 | |
CN215005023U (zh) | 一种应用于齿科加工的全自动传送检验装置 | |
CN220514777U (zh) | 组合线路板双模式自适应识别检测设备 | |
CN220195610U (zh) | 一种载具筛选机构及载具筛选设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20050929 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |