KR0168400B1 - Exposure film elimination apparatus of metal sheet material and method thereof - Google Patents
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Abstract
적어도 순수를 금속 시트재 상에 분사하여 노광막을 제거하기 위하여 다수 개의 노즐을 가지는 분사 파이프를 설치하여 이룬 금속 시트재의 노광막 제거장치에 있어서, 상기 분사 파이프는, 그 중앙부(A)가 금속 시트재의 진행방향에 대하여 소정의 각도(θ1)를 가지도록 돌출시키며, 상기 금속 시트재에 수직으로 설치되는 분사노즐 및 금속 시트재의 진행방향에 대하여 경사각도(θ2)를 가진 경사 분사노즐이 하나씩 걸러 설치되어 있는 것이다. 따라서, 분사 파이프 중앙부에 소정의 각도를 부여함으로 금속 시트재 중앙부터 좌우단부 측으로 팽윤된 노광막이 일률적으로 말리면서 제거가 되며, 추가 분사 파이프의 설치로 수세력 향상을 꾀하여 팽윤된 노광막의 완전제거로 박막불량을 방지된다.In the exposure film removal apparatus of the metal sheet material which provided the injection pipe which has a some nozzle in order to spray at least pure water on a metal sheet material, and removes an exposure film, The said injection pipe is the center part A of a metal sheet material Protruding to have a predetermined angle (θ1) with respect to the traveling direction, the spray nozzle is installed perpendicular to the metal sheet material and the inclined spray nozzle having an inclination angle (θ2) with respect to the traveling direction of the metal sheet material is installed one by one It is. Therefore, by giving a predetermined angle to the center of the injection pipe, the exposure film swelled from the center of the metal sheet material to the left and right ends is dried and removed uniformly. Thin film defects are prevented.
Description
본 발명은 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 에칭 가공에 의한 금속 시트재의 노광막 제거를 위한 박막 공정의 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 금속 시트재 박막 처리 공정에서 금속 시트재로부터 노광막을 효과적으로 제거하도록 하여 박막 불량을 방지하는 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for removing an exposure film of a metal sheet material, and more particularly, to an apparatus and method of a thin film process for removing an exposure film of a metal sheet material by an etching process. The present invention relates to an exposure film removing apparatus for a metal sheet material and a method for effectively removing the exposure film from ash and preventing thin film defects.
일반적으로 금속 시트재의 제조는 제1도에 도시된 바와 같은 공정으로 이루어진다. 제1도는 일반적인 금속 시트재의 포토에칭을 나타낸 공정도이다.In general, the manufacture of the metal sheet material consists of a process as shown in FIG. 1 is a process chart showing photoetching of a general metal sheet material.
금속 시트재(10)의 표면에 묻어 있는 방청유나 이물질 등을 제거하는 탈지공정과, 표면 활성화를 위한 산처리 공정과, 상기 금속 시트재(10) 표면에 감광액을 도포하는 도포공정과, 이 감광액을 건조시키는 건조공정과, 노광공정과, 이 노광공정에서 미노광된 부분을 제거하는 현상공정과, 염화철 등의 에칭액으로 금속 시트재(10)를 에칭하는 에칭공정과, 노광막을 박리하는 박막공정과, 다시 건조하는 건조공정 및 소정의 크기로 절단하는 절단공정에 의하여 행해진다.A degreasing step of removing the rust-preventive oil, foreign matter, etc. on the surface of the metal sheet material 10, an acid treatment step for activating the surface, a coating step of applying a photoresist to the surface of the metal sheet material 10, and the photosensitive liquid A drying step of drying the film, an exposure step, a developing step of removing the unexposed part of the exposure step, an etching step of etching the metal sheet material 10 with an etching solution such as iron chloride, and a thin film step of peeling the exposure film. And a drying step of drying again and a cutting step of cutting to a predetermined size.
상기 공정에 있어서 금속 시트재(10)의 박막공정은 제2도와 같은 장치를 통한 처리과정을 거친다. 제2도는 종래기술에 의한 금속 시트재(10)의 박막공정을 행하는 장치를 나타낸 설명도이다.In the above process, the thin film process of the metal sheet material 10 is processed through the apparatus as shown in FIG. 2 is an explanatory diagram showing an apparatus for performing a thin film process of the metal sheet material 10 according to the prior art.
먼저, 에칭공정 후 금속 시트재(10)에 부착되어 있는 노광막을 금속 시트재(10)로부터 팽윤 및 박리시키기 위해 수산화나트륨을 주성분으로 하는 알칼리 박막액(30)을 침적시킨 박막 1조(21) 및 박막 2조(22)와 팽윤된 박막 찌꺼기를 수세 및 분리하는 제3수세조(23)와, 상기 박막 1조(21) 및 박막 2조(22)에서 처리되지 않은 노광막을 제거하기 위해 알칼리 박막액(30)을 침적시킨 박막 3조(24)와, 상기 금속 시트재(10) 표면에 묻은 알칼리 성분 및 박막 찌꺼기를 세척하는 제4수세조(25)와 최종순수 수세조(26)로 구성되어 있다. 부호 40은 각 수세조에 설치되어 순수를 분사하는 분사노즐이다.First, after the etching process, in order to swell and peel off the exposure film attached to the metal sheet material 10 from the metal sheet material 10, a thin film set 21 in which an alkali thin film liquid 30 containing sodium hydroxide as a main component is deposited. And a third washing tank 23 for washing and separating the thin film two tank 22 and the swollen thin film residue, and an alkali to remove the unprocessed exposure film from the first tank 21 and the two thin films 22. Three thin films 24 on which the thin film liquid 30 is deposited, a fourth washing tank 25 and a final pure water washing tank 26 for washing the alkali component and thin film residues on the surface of the metal sheet material 10. Consists of. Reference numeral 40 is an injection nozzle which is installed in each washing tank to inject pure water.
이와 같이 구성된 박막공정에 있어서 에칭이 끝난 금속 시트재(10)가 박막 1,2조(21),(22)을 통과하게 되면 조 내의 수산화나트륨이 노광막의 분자간 결합을 파괴시키면서 노광막 속으로 침투하여 노광막을 팽윤시킨다.In the thin film process configured as described above, when the etched metal sheet 10 passes through the thin films 1, 2, 21, and 22, sodium hydroxide in the tank penetrates into the exposure film while breaking the intermolecular bonds of the exposure film. To swell the exposure film.
제3도는 종래의 제3수세조(23)의 구성을 나타낸 개략도이다. 제3수세조(23)는 제3도와 같이 금속 시트재(10)를 받쳐 주는 롤러(60)와 박막 찌꺼기와 수세액(50)이 드레인되도록 구성되어 있다. 이후 제3수세조(23)에서 제4도에 도시되어 있는 분사 파이프(70)에 탈/부착되는 분사노즐(40)의 분사를 통해서 팽윤된 노광막을 금속 시트재(10)의 표면으로부터 박리시키게 되고, 박막 3조(24)를 통과하게 되면 전(前)공정에서 처리되지 않은 잔여 노광막이 상기 박막1, 2조(21),(22)에서의 작용기구와 동일 원인으로 제거된다.3 is a schematic view showing the structure of a conventional third water washing tank 23. As shown in FIG. The third washing tank 23 is configured such that the roller 60 supporting the metal sheet 10 and the thin film residue and the washing liquid 50 are drained as shown in FIG. Thereafter, in the third washing tank 23, the swollen exposure film is peeled off from the surface of the metal sheet material 10 through the injection of the injection nozzle 40 detached / attached to the injection pipe 70 shown in FIG. When the thin film passes through the three tanks 24, the remaining exposure film that has not been processed in the previous process is removed for the same cause as the mechanism of the thin films 1, 2, 21 and 22.
이후 금속 시트재(10) 표면에 붙은 박막 찌꺼기 및 알칼리 성분을 분사노즐(40)로 제4수세조(25)에서 수세한 후, 최종적으로 최종순수 수세조(26)에서 탈이온수 처리를 하게 된다.Thereafter, the thin film residue and the alkali component adhering to the surface of the metal sheet 10 are washed with the injection nozzle 40 in the fourth washing tank 25, and finally, deionized water is treated in the final pure washing tank 26. .
제4도는 종래의 수세장치를 나타낸 개략 사시도, 제5도는 종래의 수세 작용을 설명하기 위한 설명도이다. 이들 도면에서와 같이, 직선형의 분사 파이프(70)에 상기 분사노즐(40)을 금속 시트재(10)와 수직으로 설치하고 이 분사 파이프(70)와 분사노즐(40)을 통해 가압된 물, 공기 및 약품이 혼재된 동작유체(72)를 이송시켜 분사하여 금속 시트재(10)의 표면에 부착된 알칼리 박막액(30)을 박리시켜 준다.4 is a schematic perspective view showing a conventional water washing device, and FIG. 5 is an explanatory view for explaining a conventional water washing action. As shown in these figures, the spray nozzle 40 is installed in a vertical spray pipe 70 perpendicular to the metal sheet member 10, and water pressurized through the spray pipe 70 and the spray nozzle 40, The moving fluid 72 mixed with air and chemicals is transported and sprayed to exfoliate the alkali thin film liquid 30 attached to the surface of the metal sheet material 10.
제2도와 같이 종래 기술에 의해 박막공정을 실시할 경우에 발생되는 문제점은 다음과 같다.As shown in FIG. 2, problems occurring when the thin film process is performed according to the related art are as follows.
상기 현상공정에서 현상시 과다 건조를 하거나 에칭 전처리 공정인 막 강화(硬膜)처리를 과다하게 하거나 박막 1, 2조(21),(22) 내의 알칼리 농도를 낮출 경우, 박막공정에서 노광막이 완전히 제거되지 않고 일부분 금속 시트재(10)의 표면에 부착되어 제6도와 같이 박막 불량을 일으키게 된다. 제6도는 종래기술에 의한 공정시 발생하는 박막불량을 나타내는 설명도이다. 부호 80은 에칭에 의하여 형성된 공경, 82는 상기 공경이나 금속 시트재(10) 상에 잔존하여 있거나 재부착한 노광막이다.In the development process, when the film is over-dried during development, or the film reinforcement treatment, which is an etching pretreatment process, is excessive, or the alkali concentration in the thin films 1, 2, 21, and 22 is decreased, the exposure film is completely removed in the thin film process. A portion of the metal sheet 10 is attached to the surface of the metal sheet 10 without being removed, resulting in a thin film defect as shown in FIG. 6 is an explanatory diagram showing a thin film defect generated in the process according to the prior art. Reference numeral 80 denotes a pore formed by etching, and 82 denotes an exposure film remaining or reattached on the pore or metal sheet material 10.
즉, 금속 시트재(10)가 박막 1, 2조(21),(22)을 거친 후 수세 3조(23)에서 처리될 때 제4도의 분사 파이프(70)가 일직선으로 되어 있어, 금속 시트재(10) 표면에 부분적으로 수세 효과를 극대화시킬 수가 없어 노광막이 부분적으로 벗겨지지 않고 넓게 흘러내려 재부착되어, 제6도와 같이 금속 시트재(10)의 표면 또는 공경(80)에 노광막(82)이 부착되어 제품불량을 일으키게 된다.That is, when the metal sheet material 10 passes through the thin film tanks 1, 2 tanks 21, 22, and is processed in the water washing tank 3 23, the injection pipe 70 of FIG. 4 is in a straight line, and the metal sheet Since the water washing effect cannot be partially maximized on the surface of the ash 10, the exposure film is not partially peeled off, but is reflowed and reattached to the surface of the metal sheet 10, as shown in FIG. 82) is attached, which causes product defects.
본 발명은 상기 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 에칭 가공에 의한 금속 시트재의 노광막 제거를 위한 박막공정의 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 금속 시트재 박막 처리 공정에서 금속 시트재로부터 노광막을 효과적으로 제거하도록 하여 박막 불량을 방지하는 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an apparatus and method for a thin film process for removing an exposure film of a metal sheet material by an etching process, and in particular, a metal sheet material thin film processing process. Disclosed are an apparatus and method for removing an exposure film of a metal sheet material, which effectively removes an exposure film from a sheet material and prevents a thin film defect.
제1도는 일반적인 금속 시트재의 포토에칭을 나타낸 공정도.1 is a process chart showing photoetching of a general metal sheet material.
제2도는 종래기술에 의한 금속 시트재의 노광막 제거 장치를 나타낸 설명도.2 is an explanatory diagram showing an exposure film removing apparatus for a metal sheet material according to the prior art.
제3도는 종래의 제3수세조의 구성을 나타낸 개략도.3 is a schematic view showing the configuration of a conventional third water tank.
제4도는 종래의 수세장치를 나타낸 개략 사시도.4 is a schematic perspective view showing a conventional washing machine.
제5도는 종래의 수세작용을 설명하기 위한 설명도.5 is an explanatory diagram for explaining a conventional washing operation.
제6도는 종래기술에 의한 공정시 발생하는 박막불량을 나타내는 설명도2.6 is an explanatory diagram showing a thin film defect generated in the process according to the prior art.
제7도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치를 나타낸 개략도.7 is a schematic view showing an exposure film removing apparatus for a metal sheet material of the present invention.
제8도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치를 나타낸 개략 사시도.8 is a schematic perspective view showing an exposure film removing apparatus for a metal sheet material of the present invention.
제10도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거방법을 설명하기 위한 설명도.10 is an explanatory diagram for explaining a method for removing an exposure film of a metal sheet member of the present invention.
제11도는 본 발명의 분사 파이프의 다른 형태를 나타낸 평면도.11 is a plan view showing another embodiment of the injection pipe of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 금속 시트재 21 : 박막 1조10 metal sheet 21 thin film 1 set
22 : 박막 2조 23 : 제3수세조22: thin film 2 set 23: 3rd washing tank
24 : 박막 3조 25 : 제4수세조24: 3 thin films 25: 4 water washing tank
26 : 최종순수 수세조 30 : 알칼리 박막액26: final pure water washing tank 30: alkali thin film liquid
46 : 경사 분사노즐 60 : 롤러46: inclined jet nozzle 60: roller
60 : 롤러 70 : 분사 파이프60: roller 70: injection pipe
72 : 동작유체 76,78 : 추가 분사 파이프72: working fluid 76,78: additional injection pipe
80 : 공경 82 : 잔존/재부착 노광막80: pore 82: remaining / reattached exposure film
A : 분사 파이프의 중앙부 B : 분사 파이프의 좌우단부A: center part of the injection pipe B: left and right ends of the injection pipe
θ1 : 소정의 각도 θ2 : 일정 경사각도θ1: predetermined angle θ2: constant tilt angle
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치는, 적어도 순수를 금속 시트재 상에 분사하여 노광막을 제거하기 위하여 다수 개의 노즐을 가지는 분사 파이프를 설치하여 이룬 금속 시트재의 노광막 제거장치에 있어서, 상기 분사 9파이프는, 그 중앙부가 금속 시트재의 진행방향에 대하여 소정의 각도를 가지도록 돌출시키며, 상기 금속 시트재에 수직으로 설치되는 분사노즐 및 금속 시트재의 진행방향에 대하여 경사각도를 가진 경사 분사노즐이 하나씩 걸러 설치되어 있다.The exposure film removal apparatus of the metal sheet material of this invention for achieving the said objective removes the exposure film removal of the metal sheet material which provided the injection pipe which has a some nozzle in order to spray at least pure water on a metal sheet material, and to remove an exposure film. In the apparatus, the jet 9 pipe is projected such that its central portion has a predetermined angle with respect to the direction of travel of the metal sheet material, and the angle of inclination with respect to the direction of travel of the jet nozzle and the metal sheet material installed perpendicular to the metal sheet material. Inclined spray nozzles are installed to filter one by one.
또, 상기 금속 시트재의 노광막 제거장치는, 수세력을 극대화시키기 위하여 금속 시트재의 출구측에 추가 분사 파이프를 2단으로 더 설치하고 있거나 수세력을 집중시키기 위하여 출구측 2/3 지점에 롤러 더 설치하고 있는 것이 바람직하다.In addition, the apparatus for removing an exposure film of the metal sheet material may further include two additional injection pipes at the outlet side of the metal sheet material in order to maximize the water force, or may further include a roller at the outlet 2/3 point to concentrate the water force. It is preferable to install.
또, 상기 분사 파이프는, 소정의 각도(θ1)를 부여함에 있어서 활형, 다각형 또는 횡경사형으로 형성하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to form the said injection pipe in a bow shape, a polygonal shape, or a lateral inclination shape, in providing the predetermined angle (theta) 1.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거방법은, 적어도 금속 시트재의 표면에 잔존하거나 재부착한 노광막을 제거하기 위하여 상기 금속 시트재 상에 수직으로 순수를 분사하여 이룬 노광막 제거방법으로서, 상기 금속 시트재의 좌우단부보다 중앙부에 먼저 순수가 분사되도록 소정의 시간차를 가지고 분사하고, 금속 시트재의 진행방향에 대하여 예각을 가지도록 순수가 분사되게 하는 것이다.The method for removing the exposure film of the metal sheet material of the present invention for achieving the above object is to remove the exposure film formed by spraying pure water vertically on the metal sheet material in order to remove the exposure film remaining or reattached at least on the surface of the metal sheet material. As a method, the water is sprayed with a predetermined time difference so that the pure water is sprayed before the left and right ends of the metal sheet material, and the pure water is sprayed to have an acute angle with respect to the advancing direction of the metal sheet material.
이 방법에 더하여 상기 소정의 시간차 분사는, 분사 파이프의 각도를 50°∼130°의 범위로 구부려서 달성되거나, 수세에 의한 꺽임을 방지해 주기 위하여 금속 시트재를 받쳐 주는 롤러를 출구측 2/3부분에 설치하여 실시하는 것을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition to this method, the predetermined time difference injection is achieved by bending the angle of the injection pipe in the range of 50 ° to 130 °, or by using a roller that supports the metal sheet material in order to prevent bending by water washing. It is preferable to further include providing and performing in a part.
본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법에 의하면, 분사 파이프 중앙부에 소정의 각도를 부여함으로 금속 시트재 중앙부터 좌우단부 측으로 팽윤된 노광막이 일률적으로 말리면서 제거가 되며, 또한 롤러의 2/3 설치로 수세력을 집중화시킬 뿐만 아니라, 추가 분사 파이프의 설치로 수세력 향상을 꾀하여 팽윤된 노광막의 완전제거로 박막불량을 방지시킬 수 있어 수율향상을 기할 수가 있다.According to the exposure film removing apparatus and method of the metal sheet material of the present invention, the exposure film swelled from the center of the metal sheet material to the left and right ends is uniformly dried and removed by giving a predetermined angle to the center of the injection pipe. / 3 installation not only centralizes the water force, but also installs an additional injection pipe to improve the water force, thereby preventing thin film defects by completely removing the swollen exposure film, thereby improving yield.
[실시예]EXAMPLE
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법에 대하여 자세하게 설명한다. 종래 설명과 같은 부품에 대해서는 동일부호를 사용함으로써 설명상의 번잡함을 피하고자 한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to an accompanying drawing, the exposure film removal apparatus of the metal sheet material of this invention, and its method are demonstrated in detail. For the same parts as the conventional description, the same reference numerals are used to avoid the complicated description.
제7도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치를 나타낸 개략도, 제8도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치를 나타낸 개략 사시도이다. 본 발명의 노광막 제거장치는, 상기 박막 1,2조(21),(22) 다음에 제3수세조(23)의 분사 파이프(70)의 중앙부(A)가 소정의 각도(θ1)를 가지게 하여 좌우단부(B)보다 중앙부(A)를 금속 시트재(10) 진행방향에 대하여 돌출시킨 것이다. 제10도는 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거방법을 설명하기 위한 설명도이다. 이 도면에서와 같이, 소정의 각도(θ1)를 가지도록 상기 분사 파이프(70)를 금속 시트재(10)의 진행방향에 대하여 돌출되도록 설치하고 있다.FIG. 7 is a schematic view showing an exposure film removing apparatus of a metal sheet material of the present invention, and FIG. 8 is a schematic perspective view showing an exposure film removing apparatus of a metal sheet material of the present invention. In the exposure film removing apparatus of the present invention, the center portion A of the injection pipe 70 of the third washing tank 23 is formed at a predetermined angle θ1 after the thin film 1,2,21,22. The central portion A is projected in the traveling direction of the metal sheet material 10 rather than the left and right end portions B. 10 is an explanatory view for explaining a method for removing an exposure film of a metal sheet material of the present invention. As shown in this figure, the injection pipe 70 is provided so as to protrude with respect to the advancing direction of the metal sheet material 10 so as to have a predetermined angle θ1.
또, 본 발명은 분사 파이프(70)에 대하여 일정 경사각도(θ2)를 가지는 경사 분사노즐(46)을 설치하고 있다. 결국 본 발명의 분사 파이프(70)는 경사 분사노즐(46)과 금속 시트재(10)에 수직으로 설치되는 분사 노즐(40)이 하나씩 걸러 설치되어 있다.In addition, the present invention is provided with an inclined spray nozzle 46 having a constant inclination angle θ2 with respect to the spray pipe 70. As a result, the injection pipe 70 of the present invention is provided with an inclined injection nozzle 46 and the injection nozzle 40 which is installed perpendicular to the metal sheet material 10, one by one.
에칭이 끝난 금속 시트재(10)가 박막 1,2조(21),(22)를 통과하게 되면 조내의 수산화나트륨이 노광막의 분자간 결합을 파괴시키면서 노광막 속으로 침투하여 노광막을 팽윤시킨다.When the etched metal sheet material 10 passes through the thin films 1,2,21 and 22, sodium hydroxide in the tank penetrates into the exposure film while breaking the intermolecular bonds of the exposure film to swell the exposure film.
제9도는 본 발명에 의한 금속 시트재의 노광막 제거장치의 작용을 나타내는 설명도이다. 노광막을 박리시키는 과정에서 제9도에 도시된 바와 같이 분사 파이프(70)를 중앙부(A)와 좌우단부(B)를 소정의 각도(θ1)를 가지도록 경사시킴과 동시에, 금속 시트재(10)에 수직으로 순수를 분사하는 분사노즐(40)과 이 분사노즐(40) 보다 전단계에서 금속 시트재(10) 상에 먼저 순수를 분사하는 경사각도(θ2)를 가지는 경사 분사노즐(46)이 설치되어 있기 때문에, 금속 시트재(10) 표면의 잔재 노광막(82)은 분사 노즐(40)의 위치가 중앙부위를 가장 먼저 가깝게 하여 동작유체(72)를 이송분사하여 금속 시트재(10) 표면 중앙에서부터 좌우 단부측으로 팽윤된 노광막이 말리면서 제거되도록 해 준다.9 is an explanatory diagram showing the operation of the exposure film removing apparatus for the metal sheet material according to the present invention. In the process of peeling the exposure film, as shown in FIG. 9, the injection pipe 70 is inclined such that the central portion A and the left and right end portions B have a predetermined angle θ1 and the metal sheet member 10 The inclined spray nozzle 46 having a spray nozzle 40 for spraying pure water perpendicularly to the < RTI ID = 0.0 > and < / RTI > Since the residual exposure film 82 on the surface of the metal sheet material 10 is disposed, the spray nozzle 40 is transported and sprayed with the working fluid 72 so that the position of the injection nozzle 40 is closest to the center portion first. The exposure film swollen from the center of the surface to the left and right ends is dried and removed.
그리고 또 다른 분사 파이프(76),(78)를 제3수세조(23) 출구측에 다시 2단 설치하여 수세력을 극대화시키며, 이로 인한 수세력을 집중시키기 위해 롤러(60) 위치를 제3수세조(23)의 출구측 2/3 지점에 설치한다.In addition, the second injection pipes 76 and 78 are installed in the second flush tank 23 at the outlet side again to maximize the washing force, and the roller 60 is positioned at the third position to concentrate the washing force. It is installed in the 2/3 point of the exit side of the water washing tank 23.
이후 제3수세조(23)의 분사노즐(40)에 의해 노광막이 금속 시트재(10)로부터 박막 불량을 현격히 감소시킬 수 있었다.Since the injection nozzle 40 of the third washing tank 23, the exposure film was able to significantly reduce the defect of the thin film from the metal sheet material (10).
다음의 표는 본 발명의 분사 파이프(70)의 소정의 각도(θ1)별 불량율을 나타낸 것이다.The following table shows the defective rate for each predetermined angle θ1 of the injection pipe 70 of the present invention.
즉, 위의 표에서와 같이 분사 파이프를 구부리지 않았을 때에는 최고의 불량을 나타내고 중앙부(A)에 소정의 각도(θ1)를 부여함에 따라서 박막 불량이 현격히 감소하나, 너무 많은 각도, 예를들면 150°에서는 다시 박막 불량이 증가하는 것을 알 수가 있었으며, 분사 파이프(70)의 소정의 각도(θ1)는 50°∼130°사이가 가장 적당하다는 사실을 알 수가 있었다.That is, as shown in the above table, when the injection pipe is not bent, the highest defect is exhibited, and the thin film defect is significantly reduced as the predetermined angle θ1 is given to the center portion A, but at too many angles, for example, 150 °. It was found that the thin film defects increased again, and it was found that the predetermined angle θ1 of the injection pipe 70 was most suitable between 50 ° and 130 °.
그리고, 금속 시트재(10)를 받쳐 주는 롤러(60)를 출구측 2/3부분에 설치하여 수세에 의한 꺽임을 방지해 주며 분사 파이프(76),(78)를 추가 설치하여 수세 능력을 향상시킨다.In addition, the roller 60 supporting the metal sheet material 10 is installed at the outlet side 2/3 to prevent bending due to washing with water, and additionally installing the injection pipes 76 and 78 to improve the washing ability. Let's do it.
제11도는 본 발명의 분사 파이프(70)의 다른 형태를 나타낸 것이다. 본 발명은 분사 파이프(70)에 소정의 각도(θ1)를 부여함에 있어서 활형(92), 다각형(94), 횡경사형(96) 등으로 가변적으로 설치할 수 있다.11 shows another form of the injection pipe 70 of the present invention. The present invention can be variably installed in the bow 92, the polygon 94, the lateral inclination 96, etc. to give a predetermined angle (θ1) to the injection pipe (70).
상술한 바와 같이 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법에 의하면, 분사 파이프 중앙부에 소정의 각도를 부여함으로 금속 시트재 중앙부터 좌우단부 측으로 팽윤된 노광막이 일률적으로 말리면서 제거가 되며, 또한 롤러의 2/3 설치로 수세력을 집중화 시킬 뿐만 아니라, 추가 분사 파이프의 설치로 수세력 향상을 꾀하여 팽윤된 노광막의 완전제거로 박막불량을 방지시킬 수 있어 수율향상을 기할 수가 있다.As described above, according to the exposure film removing apparatus and method of the metal sheet material of the present invention, by giving a predetermined angle to the center portion of the injection pipe, the exposure film swelled from the center of the metal sheet material to the left and right ends is uniformly dried and removed. In addition, 2/3 installation of the roller not only centralizes the water force, but also installs an additional injection pipe to improve the water force, thereby preventing thin film defects by completely removing the swollen exposure film, thereby improving yield.
또한, 국부적으로 동작 유체의 압력을 금속 시트재에 가하므로 금속 시트재에 재부착 혹은 잔존해 있는 노광막을 쉽게 제거할 수 있다.In addition, since the pressure of the working fluid is locally applied to the metal sheet material, it is possible to easily remove the exposure film that is reattached or remains on the metal sheet material.
이제까지 구조적인 상세한 내용 및 그로부터 얻어지는 다기능 잇점을 포함한 본 발명의 원리를 나타내었다. 본 발명의 금속 시트재의 노광막 제거장치 및 그 방법을 노광막 제거에 사용하는 것은, 이 기술분야에서 숙련된 자라면 잘 알 수 있을 것이다.The principles of the present invention have been presented thus far, including structural details and the multifunctional advantages obtained therefrom. It will be appreciated by those skilled in the art that the exposure film removing apparatus and method of the metal sheet material of the present invention are used for removing the exposure film.
Claims (10)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960052823A KR0168400B1 (en) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | Exposure film elimination apparatus of metal sheet material and method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960052823A KR0168400B1 (en) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | Exposure film elimination apparatus of metal sheet material and method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980034688A KR19980034688A (en) | 1998-08-05 |
| KR0168400B1 true KR0168400B1 (en) | 1999-01-15 |
Family
ID=19481190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960052823A KR0168400B1 (en) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | Exposure film elimination apparatus of metal sheet material and method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0168400B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101656747B1 (en) * | 2014-09-25 | 2016-09-13 | 주식회사 이피코리아 | peeling device for dry film photoresist of metal sheet material |
-
1996
- 1996-11-08 KR KR1019960052823A patent/KR0168400B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980034688A (en) | 1998-08-05 |
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