KR0166206B1 - Connecting device of gas exhaust pipe for semiconductor device fabrication apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스 배출관과 주름호스를 연결하기 위한 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것으로, 상기 가스 배출관의 연결부위에 나사부를 형성하고, 상기 가스 배출관과 연결하기 위한 주름호스의 연결부위에 상기 나사부와 결합하기 위한 나사부를 형성하여 가스 배출관에 주름호스가 양측의 나사부에 의해 직접 연결되도록 구성된다. 또한 상기 배출관을 제1 및 제2배출관으로 구성하고, 제1 및 제2배출관 사이에 O-링을 개재하여 제1배출관에 대하여 제2배출관이 회전가능하게 구성한 것이다. 따라서 가스 누출이 방지되어 유해 가스로부터 작업자를 보호할 수 있는 것이고, 부품이 부식되지 않아 정기점검 및 부품교체 등의 번거로운 작업이 필요없이 작업능률 및 설비의 가동율이 향상되는 효과가 있다.The present invention relates to a gas discharge pipe connecting device of the semiconductor manufacturing equipment for connecting the gas discharge pipe and the pleating hose, and forming a screw portion in the connection portion of the gas discharge pipe, the connection portion of the pleat hose for connecting with the gas discharge pipe The threaded portion for engaging with the threaded portion is formed so that the pleating hose is directly connected by the threaded portions on both sides of the gas discharge pipe. In addition, the discharge pipe is composed of the first and second discharge pipe, the second discharge pipe is configured to be rotatable relative to the first discharge pipe via an O-ring between the first and second discharge pipe. Therefore, gas leakage can be prevented to protect workers from harmful gases, and since parts are not corroded, there is an effect of improving work efficiency and operation rate without the troublesome work such as regular inspection and parts replacement.
Description
제1도는 종래의 가스 배출관 연결장치를 나타낸 개략적인 부분 단면도이다.1 is a schematic partial cross-sectional view showing a conventional gas discharge pipe connecting device.
제2도는 본 발명에 따른 가스 배출관 연결장치를 나타낸 요부 절결단면도이다.2 is a main cutaway cross-sectional view showing a gas discharge pipe connecting device according to the present invention.
제3도는 본 발명에 따른 가스 배출관 연결장치의 다른 실시예를 나타낸 요부 절결단면도이다.3 is a main cutaway cross-sectional view showing another embodiment of the gas discharge pipe connecting device according to the present invention.
제4도는 본 발명에 따른 가스 배출관 연결장치의 또 다른 실시예를 나타낸 요부 절결단면도이다.Figure 4 is a main cutaway cross-sectional view showing another embodiment of the gas discharge pipe connecting device according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11,21,30 : 가스 배출관 12,22,34 : 주름호스11,21,30: Gas discharge pipe 12,22,34: Corrugated hose
11a,22a,32a : 암나사부 12a,21a,34a : 수나사부11a, 22a, 32a: Female thread part 12a, 21a, 34a: Male thread part
31 : 제1배출관 32 : 제2배출관31: first discharge pipe 32: second discharge pipe
33 : O-링33: O-ring
본 발명은 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배출관의 연결부품을 교체할 필요가 없고 공정가스의 배출시 가스의 누출을 미연에 방지할 수 있도록 한 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas discharge pipe connecting device of a semiconductor manufacturing equipment, and more particularly, it is not necessary to replace the connecting parts of the discharge pipe, and gas of the semiconductor manufacturing equipment that can prevent the leakage of gas when discharging the process gas in advance. It relates to an outlet pipe connection device.
일반적으로 반도체 소자를 제조함에 있어 공정 챔버내에 공정가스를 주입시켜 화학작용에 의해 반도체 소자를 제조하는 공정이 많다. 따라서 공정가스를 사용하는 대부분의 설비는 공정을 마친 가스를 배출시키게 된다.In general, in manufacturing a semiconductor device, a process of manufacturing a semiconductor device by chemical reaction by injecting a process gas into a process chamber. Therefore, most of the facilities using the process gas will discharge the finished gas.
즉, 가스의 배출경로는 먼저 공정 챔버내의 가스를 진공펌프로 강제 배출시켜 제1가스 스크러버(Scrubber)로 보내게 되고, 이 제1가스 스크러버에서는 가스성분중 유해한 가스성분을 1차 필터링하게 되는 것이며, 1차 필터링된 가스는 주름호스를 통해 메인 덕트(Main Duct)로 보내지게 된다.That is, the discharge path of the gas is first forced out of the gas in the process chamber by a vacuum pump to send to the first gas scrubber (Scrubber), the first gas scrubber to filter the harmful gas components of the gas components in the first The primary filtered gas is sent to the main duct through the corrugated hose.
또한 배출 가스는 메인 덕트에서 제2가스 스크러버로 보내지고, 이 제2가스 스크러버에서 2차 필터링하여 유해성분을 완전히 제거한 후 대기로 배출되어지는 것이다.In addition, the exhaust gas is sent from the main duct to the second gas scrubber, and the second gas scrubber is secondly filtered to completely remove harmful components and then discharge into the atmosphere.
이러한 가스 배출경로에서 가스 스크러버와 메인 덕트를 연결하는 가스 배출관의 연결장치는 제1도에 도시된 바와 같이 가스 스크러버(1)의 배출관(2)과 메인 덕트(3)의 연결 파이프(4)가 주름호스(5)로 연결된 것이다.In the gas discharge path, the gas discharge pipe connecting the gas scrubber and the main duct is connected to the discharge pipe 2 of the gas scrubber 1 and the connecting pipe 4 of the main duct 3 as shown in FIG. It is connected by a pleat hose (5).
즉 가스 스크러버(1)의 배출관(2)과 주름호스(5)의 연결구조는 제1도의 A부에서와 같이 배출관(2)의 외주면에 고무재로 제조된 가우스(Gause)(6)를 끼우고 상기 가우스(6)에 즈름호스(5)의 일단을 끼워 연결한 것이며, B부에서와 같이 주름호스(5)와 메인 덕트(3)의 연결 파이프(4)와의 연결구조도 고무재로 제조된 가우스(6)를 개재하여 연결한 구성이다.That is, the connection structure of the discharge pipe 2 and the corrugated hose 5 of the gas scrubber 1 has a Gauss 6 made of rubber material on the outer circumferential surface of the discharge pipe 2 as shown in part A of FIG. One end of the squeeze hose 5 is connected to the Gauss 6, and the connection structure between the corrugated hose 5 and the connecting pipe 4 of the main duct 3 is also made of rubber, as in the B part. It is the structure connected via the Gaussian 6 which became.
상기 가우스(6)는 연결부위에서의 가스 누출을 방지하고, 주름호스(5)의 교체시 편리함을 도모하게 된다. 그러나 가스 배출관의 연결부위에 고무 재질의 가우스(6)가 사용되는 것이므로 강한 독성(산성)의 가스에 의하여 부식(산화)되어 부식된 가우스(6)를 통해 가스의 누출 사고가 발생하게 되었고, 이를 방지하기 위해서 정기적으로 점검함과 동시에 가우스(6)를 교체해야 하므로 이러한 작업이 매우 번거롭고 작업능률을 저하시키게 되는 문제점이 있다.The gauss 6 prevents gas leakage at the connecting portion and facilitates the replacement of the corrugated hose 5. However, since the rubber Gauss 6 is used at the connection part of the gas discharge pipe, a gas leakage accident occurs through the Gauss 6 which is corroded (oxidized) by the strong toxic (acidic) gas. In order to prevent the periodic check and at the same time replace the Gaussian (6) there is a problem that this operation is very cumbersome and deteriorates the work efficiency.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 가스 배출관의 연결부위에서 가스가 누출되는 것을 완전히 방지하여 작업환경의 오염으로부터 작업자를 보호할 수 있는 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치를 제공하는 데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, the object is to connect the gas discharge pipe of the semiconductor manufacturing equipment that can completely prevent the leakage of gas at the connection portion of the gas discharge pipe to protect the operator from the pollution of the working environment To provide a device.
본 발명의 다른 목적은 가스 배출관 연결부위의 부품이 부식되지 않도록 하여 이를 정기적으로 점검하거나 부품을 교체하는 작업이 필요치 않아 작업능률 및 설비의 가동율을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to prevent the parts of the gas outlet pipe connection to corrode to check the regular or replace the parts there is no need to work on the gas discharge pipe connecting device of the semiconductor manufacturing equipment that can improve the work efficiency and equipment operation rate To provide.
상기의 목적은 가스 배출관과 주름호스를 연결하기 위한 반도체 제조 설비의 가스 배출관 연결장치에 있어서, 상기 가스 배출관의 연결부위에 나사부를 형성하고, 상기 가스 배출관과 연결하개 위한 주름호스의 연결부위에 상기 나사부와 결합하기 위한 나사부를 형성하여 가스 배출관에 주름호스가 양측의 나사부에 의해 직접 연결되도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 의해 달성될 수 있다.In the gas discharge pipe connecting apparatus of the semiconductor manufacturing equipment for connecting the gas discharge pipe and the corrugated hose, the purpose is to form a screw on the connection portion of the gas discharge pipe, the connection portion of the corrugated hose for connecting to the gas discharge pipe It can be achieved by the gas discharge pipe connecting device of the semiconductor manufacturing equipment, characterized in that the screw portion for coupling with the screw portion is formed so that the pleating hose is connected directly to the gas discharge pipe by the screw parts on both sides.
또한 본 발명은 상기 배출관을 제1 및 제2배출관으로 구성하고, 제1 및 제2배출관 사이에 O-링을 개재하여 제1배출관에 대하여 제1배출관이 회전가능하게 됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 의해 달성될 수 있다.In another aspect, the present invention is characterized in that the discharge pipe is composed of the first and second discharge pipe, the first discharge pipe is rotatable relative to the first discharge pipe via an O-ring between the first and second discharge pipe. Can be achieved by means of a gas discharge pipe connection.
이하, 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치를 첨부도면에 의하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the gas discharge pipe connecting device of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention will be described in detail with the accompanying drawings.
제2도 본 발명에 따를 가스 배출관 연결장치의 제1실시예를 나타낸 요부단면도로서, 가스 배출관(11)의 내주면에 암나사부(11a)를 형성하고, 이와 연결되는 주름호스(12)의 외주면에는 수나사부(12a)를 형성하여 상기 암나사부(11a)와 수나사부(12a)에 의해 가스 배출관(11)과 주름호스(12)가 직접 연결되도록 한 구성이다.2 is a sectional view of the main portion showing the first embodiment of the gas discharge pipe connecting device according to the present invention, the female threaded portion (11a) is formed on the inner circumferential surface of the gas discharge pipe 11, the outer peripheral surface of the corrugated hose (12) connected thereto The male screw portion 12a is formed so that the gas discharge pipe 11 and the corrugated hose 12 are directly connected by the female screw portion 11a and the male screw portion 12a.
또한 제3도는 본 발명에 따른 가스 배출관 연결장치의 제2실시예를 나타낸 것으로, 가스 배출관(21)의 외주면에 수나사부(21a)를 형성하고, 이와 연결되는 주름호스(22)의 내주면에는 암나사부(22a)를 형성하여 상기 수나사부(21a)와 암나사부(22a)에 의해 가스 배출관(21)과 주름호스(22)가 직접 연결되도록 한 구성이다.In addition, Figure 3 shows a second embodiment of the gas discharge pipe connecting apparatus according to the present invention, the male threaded portion (21a) is formed on the outer peripheral surface of the gas discharge pipe 21, the female thread on the inner peripheral surface of the corrugated hose 22 connected thereto The gas outlet pipe 21 and the pleat hose 22 are directly connected by the male screw portion 21a and the female screw portion 22a by forming the portion 22a.
제4도는 본 발명에 따른 가스 배출관 연결장치의 제3실시예로서, 가스 배출관(31)을 이중구조로 구성한 것이다. 즉 가스 배출관(30)을 제1 및 제2배출관(31) (32)으로 구성하고, 상기 제1배출관(31)에 제2배출관(32)을 삽입시켜 연결되도록 한다.Figure 4 is a third embodiment of the gas discharge pipe connecting device according to the present invention, the gas discharge pipe 31 is configured in a double structure. That is, the gas discharge pipe 30 is composed of the first and second discharge pipes 31 and 32, and the second discharge pipe 32 is inserted into the first discharge pipe 31 so as to be connected.
또한 이들의 연결부위에 대응하는 홈을 각각 형성하여 O-링(33)을 개재하고, 이 O-링(33)에 의해 가스가 누출되지 않도록 기밀을 유지하며, 이와 같이 기밀이 유지된 상태에서 제1배출관(31)에 대하여 제2배출관(32)이 회전가능하게 구성한다.In addition, grooves corresponding to these connection portions are formed, respectively, through the O-rings 33, and the airtightness is maintained so that gas does not leak by the O-rings 33, and in this state, the airtightness is maintained. The second discharge pipe 32 is rotatable with respect to the first discharge pipe 31.
그리고 제2배출관(32)은 전술한 제1실시예와 마찬가지로 주름호스(34)와 직접 연결되는 것으로, 제2배출관(32)의 내주면에 암나사부(32a)를 형성하고, 이와 연결되는 주름호스(34)의 외주면에는 수나사부(34a)를 형성하여 상기 암나사부(32a)와 수나사부(34a)에 의해 제2배출관(32)과 주름호스(34)가 직접 연결되도록 한 구성이고, 도시하지는 않았지만 전술한 제2실시예에서와 같이 제2배출관(32)의 외주면에 수나사부를 형성하고, 이와 연결되는 주름호스(34)의 내주면에는 암나사부를 형성하여 연결할 수도 있다.The second discharge pipe 32 is directly connected to the pleat hose 34 as in the first embodiment described above, and forms a female screw portion 32a on the inner circumferential surface of the second discharge pipe 32 and is connected to the pleat hose. A male screw portion 34a is formed on the outer circumferential surface of the 34 so that the second discharge pipe 32 and the corrugated hose 34 are directly connected by the female screw portion 32a and the male screw portion 34a. However, as in the above-described second embodiment, a male screw portion may be formed on the outer circumferential surface of the second discharge pipe 32 and a female screw portion may be formed on the inner circumferential surface of the pleat hose 34 connected thereto.
이러한 구성의 본 발명은 가스 배출관과 주름호스가 직접 연결된 것이고, 종래의 연결부품의 사용하였던 고무재질의 가우스를 사용하지 않는 것이므로 배출 가스에 의해 연결부품이 부식될 염려가 없다. 따라서 연결부위를 통해 가스가 누출될 염려가 없는 것이고, 연결부품의 부식으로 부품을 교체하는 등의 번거로움이 해소되는 것이다.The present invention having such a configuration is that the gas discharge pipe and the corrugated hose are directly connected and do not use the Gaussian rubber material used in the conventional connection parts, so that the connection parts are not corroded by the exhaust gas. Therefore, there is no fear of gas leaking through the connection part, and the trouble of replacing parts due to corrosion of the connection part is eliminated.
또한 본 발명은 제4도에 도시된 바와 같이 가스 배출관(30)이 제1 및 제2배출관(31)(32)에 의해 이중구조로 구성되고, 이들 사이에 O-링(33)이 개재됨으로써 기밀이 유지된 상태에서 제1배출관(31)에 대하여 제2배출관(32)의 회전이 가능하게 된 것이므로 제2배출관(32)과 주름호스(34)의 연결시 주름호스(34)의 꼬임이 방지되어 주름호스의 연결작업이 용이하게 되는 것이다.In addition, in the present invention, as shown in FIG. 4, the gas discharge pipe 30 has a double structure by the first and second discharge pipes 31 and 32, and an O-ring 33 is interposed therebetween. Since the second discharge pipe 32 can be rotated with respect to the first discharge pipe 31 while the airtightness is maintained, the twisting of the wrinkle hose 34 when the second discharge pipe 32 and the wrinkle hose 34 are connected is prevented. It is prevented to facilitate the connection work of the wrinkle hose.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 의하면, 가스 누출이 방지되어 유해 가스로부터 작업자를 보호할 수 있는 것이고, 부품이 부식되지 않아 정기점검 및 부품교체 등의 번거로운 작업이 필요없어 작업능률 및 설비의 가동율이 향상되는 효과가 있다.As described above, according to the gas discharge pipe connecting device of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, gas leakage can be prevented to protect the worker from harmful gases, and the parts are not corroded, and troublesome work such as regular inspection and replacement of parts is prevented. There is no need to improve the work efficiency and equipment utilization rate.
본 발명은 이상에서 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 사상과 범위내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 특허 청구범위에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described above, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit and scope of the present invention, and such modifications or modifications are included in the appended claims. Belonging is natural.
Claims (4)
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| KR1019950040544A KR0166206B1 (en) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | Connecting device of gas exhaust pipe for semiconductor device fabrication apparatus |
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| KR1019950040544A KR0166206B1 (en) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | Connecting device of gas exhaust pipe for semiconductor device fabrication apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970030271A KR970030271A (en) | 1997-06-26 |
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| KR (1) | KR0166206B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100478831B1 (en) * | 2002-11-22 | 2005-03-25 | 주식회사 수림 | Gas connection device for a semiconductor processing |
-
1995
- 1995-11-09 KR KR1019950040544A patent/KR0166206B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100478831B1 (en) * | 2002-11-22 | 2005-03-25 | 주식회사 수림 | Gas connection device for a semiconductor processing |
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| KR970030271A (en) | 1997-06-26 |
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