KR200196947Y1 - The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line - Google Patents
The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line Download PDFInfo
- Publication number
- KR200196947Y1 KR200196947Y1 KR2019980002544U KR19980002544U KR200196947Y1 KR 200196947 Y1 KR200196947 Y1 KR 200196947Y1 KR 2019980002544 U KR2019980002544 U KR 2019980002544U KR 19980002544 U KR19980002544 U KR 19980002544U KR 200196947 Y1 KR200196947 Y1 KR 200196947Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- coupling
- female
- male
- flexible hose
- hole
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Abstract
본 고안은 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동 연결장치에 장착되는 암,수커플링의 가요성 호스 결합구조에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 구동 압축공기에 의해 좌,우왕복 수평이동하는 암커플링과, 케미칼의 주입 또는 배출작동등의 케미칼 이송시 착,탈사용하는 수커플링의 후단에 필수적으로 결합되어야만 하는 가요성호스 또는 케미칼 이송을 위한 배관의 취부구조를 개선하여 장치의 조립작업에 따른 공수를 줄이고, 그 작업을 간단히 할수 있게하며, 부품의 간소화 및 자재의 구입비용을 경감시킬수 있게한 것에 그 특징이 있다.The present invention relates to a flexible hose coupling structure of female and male couplings mounted on an automatic connection device of a high purity chemical transfer hose. Improved pipe mounting structure for flexible hose or chemical conveyance that must be coupled to the rear end of the water coupling to be attached and detached during chemical conveyance such as chemical injection or discharge operation. It is characterized by reducing the cost, simplifying the work, and simplifying the parts and reducing the cost of purchasing the materials.
Description
본 고안은 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동 연결장치에 장착되는 암,수커플링의 가요성 호스 결합구조에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 구동 압축공기에 의해 좌, 우왕복 수평이동하는 암커플링과, 케미칼의 주입 또는 배출작동등의 케미칼 이송시 착, 탈사용하는 수커플링의 후단에 필수적으로 결합되어야만 하는 가요성호스 또는 케미칼 이송을 위한 배관의 취부구조를 개선하여 장치의 조립작업에 따른 공수를 줄이고, 그 작업을 간단히 할수 있게하며, 부품의 간소화 및 자재의 구입비용을 경감시킬수 있게한 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동 연결 장치에 장착되는 암,수커플링의 가요성 호스 결합구조에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible hose coupling structure of the male and male couplings mounted on the automatic connection device of the high purity chemical transfer hose, and more specifically, the female coupling moves the left and right reciprocating horizontally by the driving compressed air. Improved pipe mounting for flexible hose or chemical conveyance that must be coupled to the rear end of the water coupling to be attached and removed during chemical transport such as chemical injection or discharge operation. The flexible hose coupling structure of the male and male couplings mounted on the automatic connection device of the high-purity chemical conveying hose, which can reduce the cost, simplify the work, and reduce the cost of material purchase and material simplification. .
근래에 이르러 크게 활성화되고 있는 반도체 제조공정이나 액정표시장치 제조공정 등에 사용되고 있는 고청정, 고순도 케미칼은 그 사용량이 커짐에 따라 운반용기의 사이즈가 종래의 1gallon, 20ℓ 또는 200ℓ 드럼으로부터 탱크로리등으로 대형화되는 추세에 있다.The high-purity and high-purity chemicals used in the semiconductor manufacturing process and the liquid crystal display manufacturing process, which are being actively activated in recent years, have increased in size, from the conventional 1 gallon, 20 l or 200 l drums to tank lorry. There is a trend.
용기가 대형화되므로써, 정량의 케미칼에 대하여 케미칼의 제조업자나 생산자들이 용기에 제품을 채우거나, 이를 공급받아 사용하는 사용자들이 용기로부터 케미칼을 이송시키기 위해 용기뚜껑을 개폐하는 횟수가 줄어들게 되므로써, 취급중 야기되는 케미칼의 오염 및 취급자의 안전사고를 줄일 수 있는 잇점이 있다.As the container becomes larger, the number of chemical manufacturers or producers filling or replenishing the product in the container decreases the number of times the container lid is opened and closed for transporting the chemical from the container. There is an advantage in reducing chemical contamination and handling safety accidents.
통상적인 호스의 접속장치는, 전 접액부위가 테프론 재질로 된 급속연결구(이하 퀵커플링:Quick Coupling 이라함)가 주종을 이루고 있는데, 이러한 케미칼 이송용기에 사용되는 호스의 연결방식 또한 상기의 테프론재로 된 퀵커플러가 주로 사용되고 있다.Conventional hose connecting device is mainly composed of a quick connector (hereinafter referred to as Quick Coupling) made of Teflon in contact with the liquid part, and the connection method of the hose used in the chemical transfer container is also described in the above Teflon. Ash quick couplers are commonly used.
이는 플랙시블 호스의 각 끝단에 암·수로 구별되는 퀵커플링이 설치되어 이들을 결합, 분리하는 형태를 취하고 있다.The quick couplings, which are distinguished by male and female, are installed at each end of the flexible hose to form a form of coupling and separating them.
이러한 작동방식을 택하고 있는 퀵플러는 케미칼의 이송에 따른 용기뚜껑을 개폐운반하는 횟수를 줄여주게 되어 취급중 야기되는 오염 및 취급자의 안전사고를 대폭 줄여주는 등의 잇점을 제공하고 있으나, 이는 고청정, 고순도의 화학약품인 케미칼의 충진, 운반, 이송, 공급과정중 불순물 및 파티클(Particle, 먼지등 고형의 이물질) 등의 오염원으로부터 노출되어 있기 때문에 별도의 세정장치를 거쳐 질소가스와 같은 초순수가스를 사용하여 건조시키는 건조과정을 별도로 거친후, 접속시켜야만 하므로, 그 작업이 번거롭고 따라서 작업시간의 지연이 초래되며 세정과 건조과정을 거쳐 이동하면서 대기중의 또다른 오염원으로 부터의 오염 또한 배제할 수 없는 것이었다.The quick plug which adopts this method of operation reduces the number of opening and closing of the container lid according to the transfer of chemicals, which greatly reduces the contamination caused by the handling and the safety accident of the operator. Ultrapure water such as nitrogen gas through a separate cleaning device because it is exposed from contaminants such as impurities and particles (solid foreign substances such as particles and dust) during the filling, transportation, transport, and supply of chemicals, which are clean and high purity chemicals. The process must be connected after the drying process to dry by using a separate process, which can be cumbersome, thus delaying the working time and eliminating contamination from other pollutants in the air as it moves through the cleaning and drying process. It was not.
특히, 상기 퀵커플러는 종래 용기뚜껑의 개폐횟수를 줄여 안전사고 발생의 빈도를 감소시켜 주는 효과가 있기는 하나, 독성이 강한 케미칼의 취극중 작업자가 퀵커플러를 손으로 직접 착탈시키는 방식을 택하고 있기 때문에 이송 후, 암·수커플러의 접액부위에 묻어있는 케미칼이 부주의에 의해 작업자에게 치명적인 손상을 줄 수 있고 탱크로리의 경우 사이즈가 커짐에 따라 인력으로 결합할 수 없는 크나큰 문제가 남아있다.In particular, the quick coupler has the effect of reducing the frequency of safety accidents by reducing the number of opening and closing of the conventional container lid, but the method of taking a quick coupler detachable by hand while the toxic chemicals are in the works. Therefore, after transportation, chemicals on the wetted parts of the female and male couplers may inadvertently damage the worker inadvertently. In the case of the tank lorry, as the size increases, there is a big problem that cannot be combined by manpower.
그리하여, 본 출원인은 종래 퀵커플러의 사용에 따른 제반문제점을 해소하기 위해 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동연결장치를 연구개발하여, 국내특허출원 제 94-19828호 및 국내실용신안등록출원 제95-8282호, 동제95-47786호로 출원 개시한 바 있는데, 이는 암·수커플러의 세정과 접속, 분리작업이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어지도록하여 줌으로써, 고순도 케미칼의 오염을 상당부분 방지하는 효과를 제공함과 아울러 케미칼 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 배제하여 작업성 및 안전성을 향상시키고 있다.Therefore, the present applicant has researched and developed the automatic connection device of the high purity chemical conveying hose in order to solve the problems associated with the use of the conventional quick coupler, domestic patent application No. 94-19828 and domestic utility model registration application No. 95-8282 No. 95-47786, which discloses that cleaning, connection and disconnection of female and male couplers are performed sequentially in a single device, which provides an effect of substantially preventing contamination of high purity chemicals. In addition, to improve the workability and safety by eliminating the risks and hassle of workers due to chemical handling.
여기에서 본 고안과 관련하여 종래의 암,수커플러 후단에 결합 설치되는 가요성호스의 취부구조를 상세히 살펴보면, 먼저,상기의 자동연결 장치는 제어 시스템에 의해 제어동작되면서 암,수커플러의 세정과 건조, 접속, 케미칼의 이송작동이 자동수행되는 장치의 구조적 특성상 암 커플러가 실린더 블록에 형성된 에어유입공을 통해 인입되는 구동압축공기에 의해 좌, 우로 반복하여 수평이동하게 되어있기 때문에 그 조립작업 또한 일정구간의 습동면을 감안하여 제작되어야 하고, 이러한 조립작업의 용이성을 위해서는 암커플러 및 수커플러의 후단에 걸림부가 존재하지 않아야하는 것은 당연하다.Here, in detail with regard to the mounting structure of the flexible hose coupled to the rear end of the conventional female, male coupler in connection with the present invention, first, the automatic connection device is controlled by the control system and the cleaning of the female, male coupler The assembly work is also performed because the female coupler is repeatedly moved horizontally left and right by the driving compressed air drawn through the air inlet hole formed in the cylinder block. It should be manufactured in consideration of the sliding surface of a certain section, and for ease of assembly, it is natural that there should not be a locking portion at the rear end of the female coupler and the male coupler.
이를위해 종래에는 암 커플러를 조립하여 실린더 블럭의 내부에서부터 외부로 관통하여 끼우고 후렌지를 나사 결합하거나 그 습동 부위를 이체로 구성하여 실링을 삽입한다음, 나사 결합하여 이루는 정도의 기술에 불과 하였는데, 상기 나사 결합의 경우, 리크가능성이 있을뿐 아니라 습동시 나사부분이 회전에 의하여 풀어질 우려가 있다.To this end, in the prior art, the female coupler was assembled from the inside of the cylinder block through the outside, and the flanges were screwed together or the sliding part was formed by inserting a seal, and then the screw coupling was merely a technique of forming a screw. In the case of the screw coupling, there is a possibility of leaking, there is a fear that the screw portion is released by rotation during sliding.
이는 커플링을 구성하고 있는 주 재질이 고가의 태프론재로 되어 있기 때문에 후렌지 형성을 위해 이를 절삭 가공할 경우, 테프론재 원재료를 후렌지의 외경을 기준으로 하여 가공하기 시작하므로 재료의 낭비가 초래되고, 이보다 더 중요한 문제는 상기의 후렌지를 일체로 형성할 경우에는 그 조립이 불가능하여 결국 암,수 커플러의 후단에 가요성 호스 취부를 위한 별도의 취부체를 구비하여야하는 것이 불가피하다.Since the main material constituting the coupling is expensive teflon material, when cutting it to form a flange, raw material of Teflon material starts to be processed based on the outer diameter of the flange, resulting in waste of material. More importantly, when the flange is integrally formed, it is impossible to assemble it, so it is inevitable to provide a separate mounting body for flexible hose mounting at the rear end of the male and female couplers.
이러한 별도의 취부체를 이용하여 상기 가요성 호스를 취부할 경우, 조립작업성이 우수하고 단가가 적게 들며 그 고정 상태를 장구히 유지시킬 수 있는 견고성을 갖춘 호스의 취부구조가 근래에 절실히 요구되고 있다.When the flexible hose is mounted using such a separate mounting body, a mounting structure of a hose having excellent assembly workability, a low cost, and a rigidity capable of maintaining its fixed state in recent years is urgently required. have.
또한 수커플링의 경우에도 수커플링의 외면에 끼워져 그 결합부를 나사체결하는 케미칼 식별링을 먼저 끼워 조립하여야 하기 때문에 전기한 암커플러의 경우와 마찬가지로 이또한 가요성 호스의 취부구조개선이 절실히 요구되고 있는 실정이다.In addition, in the case of the male coupling, the chemical identification ring that fits on the outer surface of the male coupling and screwes the coupling part must be assembled first. Therefore, as in the case of the above-described female coupler, the mounting structure of the flexible hose is urgently required. It's happening.
본 고안은 상기한바와 같은 종래 암,수커플러의 가요성 호스 취부구조에서 야기되는 제반문제를 해소하고 이를 개선하기 위해 안출된 것으로, 이를 제공하는 목적은 암,수커플링의 후단에 필수적으로 결합되어야만 하는 가요성 호스와의 결합 구조를 개선하여 장치의 조립작업에 따른 공수를 줄이고, 그 작업을 간단히 할수 있게하며, 부품의 간소화 및 자재의 구입비용을 경감시킬수 있게 하려는데 있다.The present invention has been made to solve and improve the problems caused by the flexible hose mounting structure of the conventional female, male coupler as described above, the purpose of providing this is essentially coupled to the rear end of the female, male coupling The purpose is to improve the coupling structure with flexible hoses, which can reduce the labor associated with the assembly of the device, simplify the work, simplify the parts, and reduce the cost of purchasing the materials.
제1도는 본 고안이 적용된 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동 연결장치를 보여주는 종단면도.1 is a longitudinal sectional view showing an automatic coupling device of a high purity chemical transfer hose to which the present invention is applied.
제2도 및 제3도는 본 고안의 요부를 보여주는 요부 확대 단면도 및 그 제작 상태 정면도.2 and 3 are enlarged cross-sectional views of the main portion showing the main part of the present invention, and its manufacturing state front view.
제4도는 본 고안의 요부를 발췌도시한 일부 절결 분해사시도.4 is a partially cutaway exploded perspective view showing the main part of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1, 2 : 암,수커플링 3 : 실린더블럭1, 2: Female, male coupling 3: Cylinder block
4 : 노즐블럭 5 : 체결블럭4: nozzle block 5: tightening block
6 : 스토퍼 7, 9 : 체결링6: stopper 7, 9: fastening ring
8 : 분할후렌지 10, 10′: 가요성호스8: split flange 10, 10 ′: flexible hose
10″ : 절곡부 11, 21 : 수용환홈10 ″: bend 11, 21: receptacle groove
31, 31′ : 에어유입공 41 : 분사공31, 31 ′: Air inlet hole 41: Injection hole
42 : 세정수배출공 51 : 수커플링삽입공42: washing water discharge hole 51: male coupling insertion hole
71, 82, 91 : 관통공 83 : 볼트공71, 82, 91: through hole 83: bolt hole
90 : 소볼트 90′ : 대볼트90: small bolt 90 ': large bolt
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안을 첨부도면에 의거하여 좀더 상세히 설명하면 더욱 명백해질것이다.In order to achieve the above object will be more apparent if the present invention in more detail based on the accompanying drawings.
즉, 본 고안은 첨부된 도면 제1도 내지 제3도에서 보여주는바와 같이, 끝단에 가요성 호스(10)가 결합된 암커플링(1)이 복수의 에어 유입공(31),(31′)을 갖는 실린더 블럭(3)의 내부에 유동가능하게 끼워지고,That is, the present invention, as shown in Figures 1 to 3 of the accompanying drawings, the female coupling (1) coupled to the flexible hose 10 at the end is a plurality of air inlet (31), (31 ') Is fluidly fitted inside the cylinder block 3 having
상기 실린더 블록(3)의 일측에는 분사공(41)과 세정수배출공(42)을 갖는 노즐블럭(4)과, 수커플링삽입공(51)에 가요성호스(10′)가 결합된 수커플링(2)이 착, 탈가능하게 끼워지는 스토퍼(6)를 갖는 체결블럭(5)이 상호 결합되어 이루어진 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동 연결 장치에 있어서,One side of the cylinder block 3 has a nozzle block 4 having an injection hole 41 and a washing water discharge hole 42, and a flexible hose 10 ′ coupled to the male coupling insertion hole 51. In the automatic connection device of the high purity chemical conveying hose, in which the fastening block (5) having the stopper (6) to which the male coupling (2) is fitted and detachably fitted is mutually coupled,
상기 암,수커플링(1)(2)의 후단측 의걍에는 수용환홈(11),(21)이 각각 형성되고,Receiving ring grooves 11 and 21 are formed at the rear end of the female and male couplings 1 and 2, respectively.
그 내측 외경에는 다수의 관통공(71)이 형성된 체결링(7)이 끼워지며,A fastening ring 7 having a plurality of through holes 71 formed therein is fitted in the inner outer diameter thereof.
상기 수용환홈(11),(21)에는 내경에 끼움턱(81)이 형성되고 외면에 다수의 관통공(82)과 볼트공(83)이 교호로 형성된 한조의 분할 후렌지(8)가 끼워져 상기 체결링(7)의 관통공(71) 외측으로부터 끼워지는 소볼트(90)에 의해 각각 고정 결합되고,The receiving ring grooves 11 and 21 are fitted with a fitting jaw 81 in the inner diameter and a plurality of split flanges 8 are formed by alternately forming a plurality of through holes 82 and bolt holes 83 on the outer surface. Fixedly coupled by small bolts 90 fitted from outside of the through-hole 71 of the fastening ring 7,
상기 암,수커플링(1),(2)의 후방측 선단에는 다수의 관통공(91)이 형성된 체결링(9)이 외경에 끼워진 가요성 호스(10),(10′)의 절곡부(10″) 선단이 당접되고, 상기 가요성 호스(10),(10′)에 끼워진 체결링(9)의 관통공(91)에는 상기 커플링(1),(2)에 끼워진 체결링(7)의 관통공(71)과 상기 분할 후렌지(8)의 관통공(82)을 차례로 통과한 대볼트(90′)가 관통되어 너트(90″)결합되어 이루어진다.Bends of the flexible hoses 10 and 10 'in which a coupling ring 9 having a plurality of through-holes 91 formed at the rear end of the female and male couplings 1 and 2 is fitted to the outer diameter. (10 ″) the tip is abutted, the through-hole 91 of the fastening ring (9) fitted in the flexible hose (10), (10 ') is a fastening ring fitted in the coupling (1), (2) ( A large bolt 90 'that passes through the through hole 71 of 7) and the through hole 82 of the split flange 8 sequentially passes through the nut 90 ″.
미설명부호 22는 결합슬리브를 나타낸다.Reference numeral 22 denotes a coupling sleeve.
이와 같은 구조로 이루어진 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention made of such a structure as follows.
먼저, 암,수커플링(1),(2) 조립체를 가공할때 그 후단에 수용환홈(11),(21)을 형성하는 것은 매우 간단용이하다.First, it is very simple to form the accommodating ring grooves 11 and 21 at the rear end when machining the female, male and male couplings 1 and 2 assembly.
이는 상기의 커플링(1),(2)을 구성하는 고가의 테프론 원재를 비교적 큰 것올 사용하지 않아도 됨으로 소폭의 자재구입단가를 절감시킬수 있다.It is possible to reduce the cost of material purchase by a small amount of expensive Teflon raw material constituting the coupling (1), (2) does not have to be used.
상기의 수용환홈(11),(21) 형성 작업이 완료되면 각 조립체를 조립구성하여 각각의 암,수커플링(1),(2)을 조립 완성하고, 이를 장치의 내부 즉, 실린더 블록(3)의 내부에서부터 외측으로 관통 돌출시킨다음, 각 커플링(1),(2)의 외면에 체결링(7)을 먼저 끼우고, 상기 수용환홈(11),(21)에 한조의 분할 후렌지(8)를 끼운상태로 소볼트(90)를 이용하여 상기 체결링(7)과 각 분할후렌지(8)의 결합을 완료 시킨다.When the receiving ring grooves 11 and 21 are formed, the assembly is completed to assemble each of the female and male couplings 1 and 2, and the inside of the apparatus, that is, the cylinder block ( 3) After protruding from the inside to the outside, the fastening ring (7) is first inserted into the outer surface of each coupling (1), (2), and a set of split flanges in the accommodation ring groove (11), (21) (8) to complete the coupling of the fastening ring (7) and each divided flange 8 by using a small bolt (90).
이러한 상태에서 절곡부(10″)를 갖는 가요성 호스(10),(10′)에 체결링(9)을 끼워 상기 절곡부(10″) 선단을 상기 커플링(1),(2)의 후방측 선단에 당접시키고, 상기 체결링(9)에 형성된 관통공(91)과, 결합, 고정되어 있는 분할후렌지(8)의 관통공(82)을 일치시켜 대볼트(90′)를 관통시켜 너트(90″)결합하여 주면 되므로 그 조립작업은 매우 간단용이하고 견고한 체결력을 장구히 유지한다.In this state, the fastening ring 9 is inserted into the flexible hose 10, 10 'having the bent portion 10 ″, and the front end of the bent portion 10 ″ of the coupling 1, 2 is Abutting to the rear end, the through-hole 91 formed in the fastening ring (9) and the through-hole 82 of the split flange 8 that is coupled and fixed through the large bolt 90 ' Since the nut (90 ″) can be combined, the assembly work is very simple and maintains a strong fastening force.
한편, 수커플링(2)의 경우에는 커플링(2)의 후단측에 수용환홈(21)을 형성하고, 그 외경 일측으로부터 결합블리브(22)를 끼워 그 전방부에 위치하는 결합부를 나사 결합한다.On the other hand, in the case of the male coupling 2, the accommodating ring groove 21 is formed in the rear end side of the coupling 2, and the engaging portion 22 is inserted from the one side of the outer diameter to screw the engaging portion located in the front portion thereof. To combine.
이러한 상태에서 전술한 암커플링(1)의 취부 순서와 동일하게 취부, 조립하여 주면된다.In this state, the mounting and assembling may be performed in the same manner as in the mounting procedure of the arm coupling 1 described above.
이하, 자동 결합장치의 작동 및 그 효과에 대한 설명은 선 출원된 본 고안자의 선행 발명 및 고안과 동일함으로 별도의 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, the description of the operation and effect of the automatic coupling device is the same as the prior invention and the inventors of the present inventors filed before the separate description will be omitted.
이와같은 본 고안에 의하면 암,수커플링의 후단에 필수적으로 결합되어야만하는 가요성 호스의 결합구조를 개선하여 장치 전체의 완벽한 결합구조를 제공함으로써, 케미칼 리크로 인한 오염 및 작업자의 위험을 방지하고, 그 작업을 간단히 할수 있게하며, 부품의 간소화 및 자재의 구입비용을 경감시킬수 있는등의 매우 유익한 효과가 있다.According to the present invention, by improving the coupling structure of the flexible hose, which must be integrally coupled to the rear end of the male and female couplings, to provide a perfect coupling structure of the entire device, it is possible to prevent contamination due to chemical leaks and worker risk. In addition, the work can be simplified, the parts can be simplified, and the cost of purchasing materials can be reduced.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980002544U KR200196947Y1 (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980002544U KR200196947Y1 (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990036615U KR19990036615U (en) | 1999-09-27 |
| KR200196947Y1 true KR200196947Y1 (en) | 2000-10-02 |
Family
ID=19532221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019980002544U KR200196947Y1 (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200196947Y1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100929578B1 (en) * | 2008-04-25 | 2009-12-03 | 세메스 주식회사 | Chemical liquid supply apparatus and substrate processing apparatus including the same |
-
1998
- 1998-02-25 KR KR2019980002544U patent/KR200196947Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990036615U (en) | 1999-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20040061335A1 (en) | Coupling assembly for connecting corrugated conduit | |
| KR200196947Y1 (en) | The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line | |
| KR20140011734A (en) | A fluid-transfer coupler | |
| US5927319A (en) | Pig launcher/receiver | |
| KR200196945Y1 (en) | A coupling fixation device for semiconductor chemical transfer line | |
| KR19990036616U (en) | Cabinet mounting structure of automatic connection device for high purity chemical transfer hose | |
| KR100257680B1 (en) | Device of preventing connection error of hose for chemical transfer | |
| KR200221602Y1 (en) | Connection structure of filter for water purifier | |
| US5716076A (en) | Fitting assembly for suction washing machines for cleaning floors, moquettes and carpets | |
| KR101192921B1 (en) | Nozzle Coupling | |
| KR200196946Y1 (en) | A coupling of unleak device for semiconductor chemical transfer line | |
| KR20000009811U (en) | Combined structure of water supply hose for washing machine | |
| KR0140819Y1 (en) | Hose automatic connecting apparatus | |
| KR200391144Y1 (en) | A hose connection | |
| CN220836411U (en) | Glue storage barrel feeding device with filtering function | |
| KR100649486B1 (en) | A hose connection | |
| CN217560323U (en) | Lime slaking, cleaning and ash adding device of drying machine | |
| JPS6391188A (en) | Washer for coupler | |
| KR200176763Y1 (en) | A device for setting clamp to connect sanitary pipe line | |
| KR100310629B1 (en) | Rib Pipe Connecting Member | |
| KR0123199Y1 (en) | Auto-coupling device of hoses for transferring high purity chemical | |
| CN218139123U (en) | Color master batch online adding and mixing equipment for chemical fibers | |
| CN214932022U (en) | Glue barrel capable of connecting pipe fittings | |
| KR0166206B1 (en) | Connecting device of gas exhaust pipe for semiconductor device fabrication apparatus | |
| JPS63107790A (en) | Washer for coupler |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120710 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Expiration of term |