KR0140819Y1 - Hose automatic connecting apparatus - Google Patents
Hose automatic connecting apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR0140819Y1 KR0140819Y1 KR2019950047786U KR19950047786U KR0140819Y1 KR 0140819 Y1 KR0140819 Y1 KR 0140819Y1 KR 2019950047786 U KR2019950047786 U KR 2019950047786U KR 19950047786 U KR19950047786 U KR 19950047786U KR 0140819 Y1 KR0140819 Y1 KR 0140819Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- coupling
- hole
- washing water
- female
- fastening
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
본 고안은 고순도 케미칼(Chemical) 이송용 호스의 자동연결장치에 관한것으로, 특히 암·수커플러의 세정과 건조, 접속이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어 지도록하여 고청정, 고순도 케미칼의 오염을 방지하고, 케미칼 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 배제하여 작업성 및 안전성을 향상시킬 수 있도록 한 것에 그 특징이 잇다.The present invention relates to an automatic connection device for a high purity chemical transfer hose, and in particular, the cleaning, drying, and connection of female and male couplers are performed in one device in order to prevent contamination of high clean and high purity chemicals. It is characterized by the fact that it is possible to improve workability and safety by eliminating the risks and hassles of workers due to chemical handling.
Description
제1도는 본 고안의 종단면도.1 is a longitudinal sectional view of the present invention.
제2도는 본 고안의 결합 작동 상태를 예시한 종단면도.Figure 2 is a longitudinal sectional view illustrating a combined operating state of the present invention.
제3도는 제1도의 A-A선에 의한 단면도.3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.
제4도는 본 고안의 요부 분해 사시도.Figure 4 is an exploded perspective view of the main part of the present invention.
제5도는 본 고안의 세정, 건조시키는 과정 및 구동 압축 가스의 인입 위치를 예시한 계통도.Figure 5 is a schematic diagram illustrating the cleaning, drying process and the inlet position of the driving compressed gas of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 피스톤 로드 2 : 실린더 블록1: piston rod 2: cylinder block
2' : 작동공간 3 : 노즐블럭2 ': working space 3: nozzle block
4 : 체결블럭 5 : 암커플링4: tightening block 5: female coupling
6 : 스토퍼 7 : 체결구6: stopper 7: fastener
10 : 수커플링 11 : 구동피스톤부10: male coupling 11: driving piston part
11a : 돌턱 11b : 씰링11a: Jaw 11b: Sealing
11c,36 : 리크체크공 12 : 슬라이드부11c, 36: leak check ball 12: slide part
13,5' : 체결요홈 21,22 : 에어유입공13,5 ': Tightening groove 21,22: Air inlet hole
23 : 배수공 31,38 : 분사공23: drain hole 31,38: injection hole
32,33 : 세정수 배출공 34,36 : 리크 체크공32,33: Washing water discharge hole 34,36: Leak check hole
35 : 통공 41 : 수커플링 삽입공35: through hole 41: male coupling insertion hole
71 : 체결링 71a,72a,73a : 체결공71: fastening ring 71a, 72a, 73a: fastening hole
72,72',73,73' : 분할링 72b,73b : 끼움돌환부72,72 ', 73,73': Split ring 72b, 73b: Fitting return part
74,75 : 볼트74,75 bolts
본 고안은 고순도 케미칼(Chemical) 이송용 호스의 자동연결장치에 관한 것으로, 특히 암·수커플러의 세정과 건조, 접속이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어 지도록하여 고청정, 고순도 케미칼의 오염을 방지하고, 케미칼 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 배제하여 작업성 및 안전성을 향상시킬 수 있도록 한 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동연결장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic connection device for a high purity chemical transfer hose, and in particular, to clean, dry, and connect female and male couplers in a single device to prevent contamination of high clean and high purity chemicals. In addition, the present invention relates to an automatic connection device for a high-purity chemical conveying hose capable of improving workability and safety by eliminating a worker's risk and hassle due to chemical handling.
근래에 이르러 크게 활성화 되고 있는 반도체 제조공정이나 액정표시장치 제조공정 등에 사용되고 있는 고청정, 고순도 케미칼은 그 사용량이 커짐에 따라 운반용기의 사이즈가 종래의 1gallon, 20ℓ 또는 200ℓ 드럼으로부터 탱크로리등으로 대형화 되는 추세에 있다.The high-purity and high-purity chemicals used in the semiconductor manufacturing process and the liquid crystal display manufacturing process, which have been greatly activated in recent years, have increased in size, from the conventional 1 gallon, 20 L or 200 L drums to tank lorry. There is a trend.
용기가 대형화 되므로써, 정량의 케미칼에 대하여 케미칼의 제조업자나 생산자들이 용기에 제품을 채우거나, 이를 공급받아 사용하는 사용자들이 용기로부터 케미칼을 이송시키기 위해 용기 뚜껑을 개폐운반하는 횟수가 줄어들게 되므로써, 취급중 야기되는 케미칼의 오염 및 취급자의 안전사고를 줄일 수 있는 잇점이 있다.As the container becomes larger, the number of chemical manufacturers or producers filling or replenishing the product in the container reduces the number of times the container lid is opened and closed for transporting the chemical from the container. There is an advantage to reduce the chemical contamination caused and the accident of the operator.
통상적인 호스의 접속장치는, 전 접액부위가 테프론 재질로 된 급속연결구(이하 퀵커플링; Quick Coupling이라함)와 원터치 커플러(Dressor Copuler)가 있고, 이러한 케미칼 이송용기에 사용되는 호스의 연결방식은 전자인 테프론재로 된 퀵커플러가 주로 사용되고 있는데, 이는 플렉시블 호스의 각 끝단에 암·수로 구별되는 퀵커플링이 설치되어 이들을 결합, 분리하는 형태를 취하고 있다.Conventional hose connecting devices include quick couplings (hereinafter referred to as quick couplings) and one-touch couplers (Dressor Copulers) made of Teflon in contact with the liquid contact part. The quick coupler made of silver electron Teflon material is mainly used, and the quick couplings, which are distinguished by male and female, are installed at each end of the flexible hose and take a form of coupling and separating them.
이러한 작동방식을 택하고 있는 퀵커플러는 케미칼의 이송에 따른 용기뚜껑을 개폐운반하는 횟수를 줄여주게 되어 취급중 야기되는 오염 및 취급자의 안전사고를 대폭 줄여 주는 등의 잇점을 제공하고 있으나, 이는 고청정, 고순도의 화학약품인 케미칼의 중진, 운반, 이송, 공급과정중 불순물 및 파티클(Particle, 먼지등 고형의 이물질) 등의 오염원으로부터 노출되어 있기 때문에 별도의 세정장치를 거쳐 질소가스와 같은 초순수가스를 사용하여 건조시키는 건조과정을 별도로 거친 후, 접속시켜야만 하므로, 그 작업이 번거롭고 따라서 작업시간의 지연이 초래되며 세정과 건조과정을 거쳐 이동되면서 대기중의 또다른 오염원으로 부터의 오염 또한 배제할 수 없는 것이었다.The quick coupler adopting this type of operation reduces the number of opening and closing of the container lid according to the transfer of chemicals, which greatly reduces the contamination caused during handling and the safety accident of the operator. Ultrapure water such as nitrogen gas through a separate cleaning device because it is exposed from contaminants such as impurities and particles (solid particles such as particles and dust) during the process of transporting, transporting, and supplying chemicals, which are clean and high purity chemicals. Since the process must be connected after drying separately, the process is cumbersome, thus delaying the work time and moving through the cleaning and drying process, which can also exclude contamination from other pollutants in the atmosphere. It was not.
특히, 상기 퀵커플러는 종래 용기 뚜껑의 개폐횟수를 줄여 안전사고 발생의 빈도를 감소시켜 주는 효과가 있기는 하나, 독성이 강한 케미칼의 취급중 작업자가 퀵커플러를 손으로 직접 착탈시키는 방식을 택하고 있기 때문에 이송 후, 암·수커플러의 접액 부위에 묻어 있는 케미칼이 부주의에 의해 작업자에게 치명적인 손상을 줄 수 있는 크나 큰 문제가 남아 있다.In particular, the quick coupler has the effect of reducing the frequency of safety accidents by reducing the number of opening and closing of the lid of the conventional container, while taking a method of detaching the quick coupler by hand while handling the toxic chemicals. Therefore, there is a big problem that the chemicals on the wetted parts of the female and male couplers may be inadvertently damaged by workers after transportation.
그리하여, 본 출원인은 종래 퀵커플러의 사용에 따른 제반문제점을 해소하기 위해 고순도 케미칼 이송용 호스의 자동연결장치를 연구개발하여, 국내특허출원 제94-19828호 및 국내실용신안등록출원 제95-8252호로 출원 개시한 바 있는데, 이는 암·수커플러의 세정과 접속, 분리작업이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어 지도록 하여 줌으로써, 고순도 케미칼의 오염을 상당부분 방지하는 효과를 제공함과 아울러 케미칼 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 배제하여 작업성 및 안전성을 향상시켰으며, 특히 통상적으로 사용되고 있는 테프론 수동 퀵커플러를 적극도입, 그 기능을 모두 이용함으로써 본 자동연결장치에 사용하는 수커플링으로 기존 수동 암커플링에도 연결가능함에 따른 부품의 범용화를 가능하게 하고 그에 따른 품질확보도 가능해지는 등의 여러 잇점을 제공한 바 있다.Therefore, the present applicant has researched and developed the automatic connection device of the high purity chemical conveying hose in order to solve the problems associated with the use of the conventional quick coupler, domestic patent application No. 94-19828 and domestic utility model registration application No. 95-8252 It has been disclosed in the Korean Patent Application No., which allows the cleaning, connection and disconnection operations of the female and male couplers to be sequentially performed in one apparatus, thereby providing an effect of substantially preventing contamination of high purity chemicals, and It improves workability and safety by eliminating worker's risk and hassle.In particular, the Teflon manual quick coupler, which is commonly used, is actively introduced and all functions are used. It can also be connected to the female coupling, which makes it possible to generalize the parts and to secure quality accordingly. It has provided a number of advantages, such as a bar that is.
그러나, 상기한 선원기술들은 그 구조가 복잡하고 비대하여 고도의 제작기술에 의해 정밀 제작하여야 함은 물론, 제작에 소요되는 시간이 과다하고 설치에 따른 점유면적이 많을 뿐만 아니라, 부품의 수가 많아 복잡하고, 고장의 우려가 남아 있어 개선해야될 문제로 대두되고 있었다.However, the above-described source technologies are complicated and large in structure, and they must be precisely manufactured by advanced manufacturing techniques. Furthermore, the time required for manufacturing is excessive and the occupied area according to installation is large, and the number of parts is complicated. In addition, there is a fear of failure, which has emerged as a problem to be improved.
또한, 상기의 선원기술에서는 암·수커플러의 결합 및 해탈작동을 암커플링의 덮개로 작동되는 볼의 이동동작에 따라 그 결합 및 해탈 상태를 유지케 하였는데,In addition, in the above-described source technology, the coupling and disengagement of the female and male couplers are maintained in the engaged and disengaged state according to the movement of the ball operated by the cover of the arm coupling.
이는 상기한 암커플러의 덮개를 유동시키기 위해서는 중첩되어 유동 가능하면서 상대운동하는 복잡한 구조의 피스톤을 필수적으로 채택 결합하여야만 가능해지게 되어 있고, 그에따라 장치의 내부구조가 필요이상으로 복잡해지는 것은 당연하며,In order to flow the cover of the female coupler, it is possible only by adopting and combining the piston of the complicated structure that can be overlapped and moveable and relatively moveable, and it is natural that the internal structure of the device becomes more complicated than necessary.
또한, 중앙 약액이 통과하는 구동피스톤부와 암커플링과는 나사 결합되는 연결방식을 택하고 있기 때문에 오랜 사용에 의한 나사결합 상태의 풀림현상이 우려되고, 결합상태의 비안전성에 의해 케미칼의 오염 및 누출에 따른 경제성의 저하 및 작업자의 안전성이 우려되는 문제가 여전히 남아 있었다.In addition, since the screw connection between the driving piston part and the female coupling through which the central chemical liquid passes is concerned, loosening of the screwing state due to long use is feared, and the contamination of the chemical is caused by the insecureness of the coupling state. And there still remains a problem that the economical safety and safety of workers due to leakage.
본 고안은 이와같은 선원기술들이 갖는 제반문제점을 시정하고 개선하기 위하여 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.The present invention was devised to correct and improve all the problems of the seaman technologies, and has the following objectives.
본 고안의 주목적은 세정과 건조, 접속이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어질 수 있는 자동연결장치를 제공하여, 케미칼의 오염을 원천적으로 방지하고 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 일소시켜 주므로써, 작업성 및 안전성을 향상시키고자 하는데 있다.The main object of the present invention is to provide an automatic connecting device that can be cleaned, dried, and connected sequentially in a single device, thereby preventing chemical contamination and eliminating the risk and trouble of workers due to handling. The aim is to improve workability and safety.
본 고안의 다른 목적은 세정수 배출구의 구조 및 위치를 개선하여 세정수에 의한 암·수커플러의 완벽한 세정효과를 배가시키려는데 있다.Another object of the present invention is to improve the structure and position of the washing water outlet to double the effect of the perfect cleaning of the female and male coupler by the washing water.
본 고안의 또다른 목적은 암커플러와 연결로드의 결합부를 간단 용이하면서 견고하게 결합될 수 있도록 하여 제작에 따른 채산성 및 작동공간에 영향 받지 않고 공간확보에 따른 효율성을 향상시키려는데 있다.Still another object of the present invention is to improve the efficiency of securing the space without being affected by profitability and operating space by making the coupling portion of the female coupler and the connecting rod simple and easy and robust.
본 고안의 다른 또하나의 목적은 암·수커플러의 구조 및 결합에 따른 작동방식을 개선함에 따라 장치의 내부구조를 단순화 시킴으로써 제작비용을 절감하고, 그에따라 저렴한 가격에 보급시키려는데 있다.Another object of the present invention is to reduce the production cost by simplifying the internal structure of the device by improving the operation method according to the structure and coupling of the male and female couplers, and to spread at a lower price accordingly.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에서는 세정수 배출구를 노즐블럭의 상부 일측에 형성하고 암커플링의 후단을 구동피스톤부의 선단에 결합하여 이루었는데, 이를 첨부도면에 의거하여 좀더 상세히 설명하면 명백해질 것이다.In order to achieve the above object, in the present invention, a washing water outlet is formed on one side of the upper part of the nozzle block, and the rear end of the arm coupling is coupled to the tip of the driving piston part. will be.
즉, 본 고안은 첨부도면 제2도 내지 제4도에 도시된 바와 같이 구동피스톤부(11)에 암커플링(5)이 결합된 피스톤 로드(1)가 복수의 에어유입공(21)(22)를 갖는 실린더 블록(2)의 내부에 유도 가능하게 끼워지고,That is, according to the present invention, as illustrated in FIGS. 2 to 4, the piston rod 1 having the female coupling 5 coupled to the driving piston part 11 has a plurality of air inlet holes 21 ( Inductively fitted into the interior of the cylinder block 2 having
상기 실린더 블록(2)의 일측에는 분사공(31)과 세정수 배출공(32)(33)을 갖는 노즐블럭(3)과, 수커플링 삽입공(41)에 수커플링(10)이 착탈 가능하게 끼워지는 스토퍼(6)를 갖는 체결블럭(4)이 상호 조합 결합되어 이루어지는 것에 있어서,One side of the cylinder block 2 has a nozzle block 3 having a spray hole 31 and a washing water discharge hole 32, 33, and a water coupling 10 at the male coupling insertion hole 41. In the case where the fastening block 4 having the stopper 6 fitted detachably is combined with each other,
상기 구동피스톤부(11)에는 연장된 돌턱(11a)이 형성되고, 그 선단에는 복수개의 씰링(11b)이 설치되어 씰링(11b)의 사이에 리크체크공(11c)이 슬라이드부(12)로 연장 형성되며, 상기 돌턱(11a)의 선단 외주연과 암커플링(5) 후단의 외주연에는 체결요홈(13)(5')이 각각 형성되어 체결구(7)에 의해 상호 체결되어지되,The driving piston portion 11 is formed with an extended protrusion 11a, and a plurality of sealing rings 11b are installed at the front end thereof so that the leak check hole 11c moves between the sealing portions 11b to the slide portion 12. Is formed extending, the outer periphery of the front end and the rear end of the female jaw (11a) fastening grooves (13) (5 ') are respectively formed and fastened to each other by the fastener (7),
상기 체결구(7)는 다수의 체결공(71a)이 등간격으로 형성된 체결링(71)이 암커플링(5)의 외주에 끼워지고, 다수의 체결공(72a)(73a)과 내주연에 끼움돌환부(72b)(73b)가 각각 형성되어 상·하로 분할된 분할링(72)(72')(73)(73')이 암커플링(5)과 돌턱(11a)에 형성된 체결요홈(13)(5')에 각각 끼워진 채로 상기 암커플링(5)에 끼워진 체결링(71)과 볼트(74)(75)로 각각 체결되어 이루어지고,The fastener 7 has a plurality of fastening holes 71a formed at equal intervals, and a fastening ring 71 is fitted to the outer circumference of the female coupling 5, and the plurality of fastening holes 72a and 73a and the inner circumferential edge thereof. Fastening formed in the female coupling 5 and the projection 11a by split ring rings 72, 72 ', 73 and 73' having upper and lower split portions 72b and 73b respectively formed therein. It is made by fastening with fastening rings 71 and bolts 74 and 75 fitted to the female coupling 5 while being fitted in the grooves 13 and 5 ', respectively.
상기 노즐블럭(3)의 분사공(31)은 상부 일측에 내부로 일정경사각을 갖도록 굴절형성되어 암커플링(5) 선단의 내부를 향하도록 구성되며,The injection hole 31 of the nozzle block 3 is formed to be deflected to have a predetermined inclination angle in the upper one side is configured to face the inside of the tip of the arm coupling (5),
상기 세정수 배출공(32)은 상기 굴절된 분사공(31) 하단에 접하면서 노즐블럭(3) 내경 상부의 접선 부위에 횡으로 형성되고, 하부에 자연배수를 위한 배출공(33)이 각각 형성되어 지되, 상기 분사공(31)의 일측에는 상부로 관통된 통공(35)이 형성되어 이루어진다.The washing water discharge hole 32 is formed in the tangential portion of the upper portion of the inner diameter of the nozzle block 3 while contacting the lower end of the refracted injection hole 31, the discharge hole 33 for natural drainage at the bottom, respectively Is formed, but one side of the injection hole 31 is formed through the through-hole 35 is formed through the top.
이때, 상기한 노즐블럭(3)의 내면 일측과 그 타측에는 유동되는 암커플링(5)의 외주와 그 접촉 및 체결블럭(4) 사이를 통해 누수되지 않도록 복수의 씰링(37)을 설치하였고, 그 사이에는 리크 체크공(34)(36)을 형성하였으며, 또한 실린더 블록(2)에 형성된 일측의 에어유입공(21)은 구동피스톤부(11)의 후면에 연통되도록 형성하였고, 그 타측의 에어유입공(22)은 구동피스톤부(11)의 타측과 노즐블럭(3)의 일면에 의해 형성되는 작동공간(2')의 일단측에 연통되도록 형성하였으며, 또한, 피스톤 로드(1)의 후단에 가요성 호스(8)를 상기한 본 고안의 체결구(7)를 응용하여 체결하였다.At this time, a plurality of sealings 37 were installed on one side of the inner surface of the nozzle block 3 and the other side thereof so as not to leak through the outer circumference of the arm coupling 5 flowing therebetween and between the contact block and the fastening block 4. , Between the leak check holes 34 and 36, and the air inlet 21 of one side formed in the cylinder block 2 is formed to communicate with the rear surface of the driving piston 11, and the other side thereof. The air inlet hole 22 is formed to communicate with the other side of the driving piston portion 11 and one end of the operating space (2 ') formed by one surface of the nozzle block (3), and also, the piston rod (1) At the rear end of the flexible hose 8 was fastened by applying the fastener 7 of the present invention described above.
또한, 상기한 노즐블럭(3)의 분사공(31) 타측에는 작동공간(2')을 향하도록 다른 분사공(38)을 형성하고, 실린더 블록(2)의 하부 일측에는 배수공(23)을 형성하여, 황산, 불산등 산 종류의 케미칼 유통시 내부의 금속재로된 체결구(7)를 산화되는 것으로 부터 보호될 수 있도록 하였는데, 이는 필요에 따라 선택 설치하여 분사공(31)에 인입되는 세정수만을 분기 인입시켜 암커플링(5)의 외면을 비롯한 작동공간(2') 내부를 세정한 후, 하부의 배수공(23)을 통해 배수시킬 수 있게 하였다.In addition, another injection hole 38 is formed at the other side of the injection hole 31 of the nozzle block 3 so as to face the working space 2 ', and a drain hole 23 is formed at one lower side of the cylinder block 2. It was formed to protect the fastener (7) made of metal inside during oxidation, such as sulfuric acid, hydrofluoric acid, etc., which can be protected from being oxidized. Only tens of branches were drawn in to clean the inside of the working space 2 'including the outer surface of the female coupling 5, and then drained through the drain hole 23 in the lower portion.
미설명 부호로써, 8, 8'는 가요성 호스, 10a는 수커플링(10)의 몸체, 10b, 52는 암·수커플링(5)(10)의 밸브체(54)에 형성된 돌부, 10c는 수커플링(10)에 결합된 스톱링, 42는 이체인 체결블럭(4)을 고정하는 체결볼트, 51은 암커플링(5)의 수커플링 삽입공, 53은 스프링, 54는 밸브체, 61은 스토퍼의 회전봉, LS-1, LS-2는 리미트 스위치, V-1, V-2는 세정수 및 건조공기 차폐밸브를 각각 나타낸다.8 and 8 'are flexible hoses, 10a is a body of the male coupling 10, 10b, 52 are protrusions formed in the valve body 54 of the male and female couplings 5 and 10, and 10c is a stop ring coupled to the male coupling 10, 42 is a fastening bolt for fixing the fastening block (4), 51 is a male coupling insert hole of the female coupling (5), 53 is a spring, 54 is The valve element 61 is a rotary rod of the stopper, LS-1 and LS-2 are limit switches, and V-1 and V-2 are washing water and a dry air shutoff valve, respectively.
이와 같은 구조로 이루어진 본 고안의 작용 및 제효과를 그 작동순서에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.If described in detail the operation and effect of the present invention made in such a structure according to the operation sequence as follows.
먼저, 스톱링(10c)이 개재되어 있는 수커플링(10)을 체결블럭(4)의 수커플링 삽입공(41)에 끼워주면 내부단턱에 스톱링(10c)의 일면이 걸려 더 이상 진입하지 못하는 상태가 되고, 이러한 상태에서 체결블럭(4) 일측에 회동 가능하게 설치된 복수의 스토퍼(6)를 회전시켜 스톱링(10c)의 타측면을 괘지하여 이탈되지 않도록 한 다음, 컨트롤 판넬(미도시)의 작동지시에 따라 노즐블럭(3)의 분사공(31)을 통해 세정수 체폐밸브(V-1)가 열리면서 일정분사 압력을 갖는 초순수 세정수가 기 설정된 시간동안 내부로 인입, 분사케 되는데, 이때 분사되는 세정수가 일정 경사각을 갖는 굴절된 분사공(31)에 의해 내부로 굴절 분사되어 최초 암커플링(5)의 수커플링 삽입홈(51) 및 그 돌출부(52)에 부딛혀 반사되면서 수커플링(10)의 몸체(10a)의 외면과 그 돌출부(10b)에 부딪히는 형태를 취하게 되고, 또한 분사되는 세정수의 반사 입력과 반사되면서 그 내부 공간에 채워지는 세정수가 혼합 반사되는 형태인 와류현상을 일으키면서 암·수커플링(5)(10)의 접액부를 격렬하게 세척하게 된다.First, when the male coupling 10 having the stop ring 10c is inserted into the male coupling insertion hole 41 of the fastening block 4, one side of the stop ring 10c is caught on the inner step and no longer enters. In this state, a plurality of stoppers 6 rotatably installed on one side of the fastening block 4 are rotated so as not to be separated by rubbing the other side of the stop ring 10c, and then the control panel (not shown). When the washing water closing valve (V-1) is opened through the injection hole 31 of the nozzle block (3), the ultrapure water washing water having a constant injection pressure is drawn in and sprayed inside for a predetermined time. At this time, the sprayed washing water is refracted by the refracted jet hole 31 having a predetermined inclination angle to the inside to be reflected on the male coupling insertion groove 51 and the protrusion 52 of the first female coupling 5. While hitting the outer surface of the body 10a of the male coupling 10 and its protrusion 10b. The liquid contact portion of the male and female couplings 5 and 10 is violently generated while also causing a vortex phenomenon in which the washing water filled in the inner space is reflected and reflected from the reflected input of the sprayed washing water. It will be washed.
물론, 이때 상부의 세정수 배출공(32)과 별도로 하부에 형성되어 있는 배출공(33)을 통해 미량의 세정수 배출이 계속되고 있는데, 이는 인입되는 물의 양에 비해 그 배출량이 적으므로 암·수커플링(5)(10)의 접액부가 분사, 와류되는 세정수 내에 잠기게 되는 것이고,Of course, at this time, a small amount of washing water is discharged through the discharge hole 33 formed in the lower part separately from the upper washing water discharge hole 32, which is less discharged than the amount of incoming water. The liquid contact part of the water coupling 5 and 10 is immersed in the washing water sprayed and vortexed,
또한, 분사공(31) 일측에 형성되어 있는 통공(35)을 통해 청정치환 가스가 공급되고 있으므로 자연스러운 상·하 배출이 이루어 질 수 있게 되는 것이다.In addition, since the clean substitution gas is supplied through the through hole 35 formed at one side of the injection hole 31, natural up and down discharge can be made.
이러한 세정수 분사과정을 거치면서 암·수커플링(5)(10)의 접액부에 대한 세정이 완료되면 컨트롤 판넬에 의해 세정수 차폐밸브(V-1)가 차단되고, 일정시간의 격차를 두어(내부의 세정수 배출시간) 건조공기 차폐밸브(V-2)가 개방되면 고순도 질소가스나 청정 압축공기로 된 건조용 가스가 세정수가 분사된 경로를 따라 상기 암·수커플링(5)(10)에 기 설정된 시간동안 분사되어 이를 건조시킨다.When the cleaning of the wetted parts of the male and female couplings (5) and (10) is completed while the washing water is sprayed, the washing water shielding valve (V-1) is shut off by the control panel, and the gap is set for a certain time. (Internal washing water discharge time) When the dry air shutoff valve (V-2) is opened, the female / water coupling (5) is formed along the path through which the high purity nitrogen gas or the drying gas of clean compressed air is sprayed with the washing water. Spray it for a preset time in 10) and dry it.
물론, 이때에 접액부 및 공간부 내에서 미처 배출되지 못한 미량의 세정수가 잔류하고 있을 우려가 있는데, 이는 가스압력에 밀려 하부의 배출공(33)을 통해 배출되면서 그 공간부에는 세정수가 완전히 배출되어 건조된 상태를 유지한다.Of course, at this time, there is a possibility that a small amount of washing water that has not been discharged in the liquid contact part and the space part remains, which is discharged through the lower discharge hole 33 due to the gas pressure, and the washing water is completely discharged in the space part. Keep dry.
또한, 이때 수커플링(10)의 외면과 노즐블럭(3) 및 체결블럭(4) 내주연, 즉 수커플링(10)이 끼워진 공간사이에 미량의 세정수가 누수되어 있을 우려가 있으나, 이는 노즐블럭(3) 하부 일측에 연통형성되어 있는 다른 배출공(34)을 통해 배출되게되어 내부 공간과 암·수커플링(5)(10)의 전 접액부가 완전한 세정 및 건조상태를 유지하게 된다.In addition, a small amount of washing water may leak between the outer surface of the male coupling 10 and the inner circumference of the nozzle block 3 and the fastening block 4, that is, the space in which the male coupling 10 is fitted. It is discharged through the other discharge hole 34 formed in communication with the lower side of the nozzle block (3) to maintain the internal space and the liquid contact portion of the male and female coupling (5) (10) completely clean and dry state .
이러한 방식으로 세정과 건조과정이 종료되면 역시 컨트롤 판넬의 작동지시에 따라 실린더 블록(2)의 일측에 위치한 에어유입공(21)으로 구동압축 공기가 인입되어 구동피스톤부(11)의 일측으로 굴절 인입되면서 그 외측을 밀어주면 체결구(7)에 의해 결합되어 있는 암커플링(5)과 그 후단의 슬라이드부(12)가 동시에 수평이동하여 암커플링(5)이 고정되어 있는 수커플링(10)과 결합되고, 그와 동시에 피스톤 로드(1) 후단의 작동지시판(9)이 감지센서(LS-2)를 작동시켜 컨트롤 판넬에 그 결합완료 신호를 보내면 케미칼의 이송이 시작된다.After the cleaning and drying process is completed in this manner, the driving compressed air is introduced into the air inlet 21 located at one side of the cylinder block 2 according to the operation instruction of the control panel, thereby refracting to one side of the driving piston 11. When pushed in and pushed outward, the female coupling 5 coupled by the fastener 7 and the slide 12 at the rear end thereof are horizontally moved at the same time so that the female coupling 5 is fixed. (10), and at the same time the operation indicator 9 of the rear end of the piston rod (1) activates the sensor (LS-2) to send the completion signal to the control panel of the chemical transfer is started.
이러한 케미칼의 이송이 일정시간 동안 지속되었다가 이송 완료신호가 컨트롤 판넬에 전달되면 피스톤 로드(1) 전진용 에어유입공(21)에 가해졌던 구동압축 공기의 압력이 해제됨과 동시에 그 타측의 에어유입공(22)으로 구동압축 공기가 인입되어 암커플링(5)을 수평이동시켜 원위치 시키면서 암·수커플링(5)(10)의 결합상태를 해지하게 되는데, 이때에는 암·수커플링(5)(10)의 내부에 설치된 스프링(53)의 복원력에 의해 밸브체(54)가 원상복귀되어 그 통로를 차단케 하는 것이다.When the transfer of the chemical continues for a certain time and the transfer completion signal is transmitted to the control panel, the pressure of the driving compressed air applied to the piston rod 1 forward air inlet hole 21 is released and at the same time, the air inlet on the other side is released. The driving compressed air is introduced into the ball 22, and the female coupling male and female coupling 5 and 10 are released while the female coupling 5 is horizontally moved to its original position. 5) The valve body 54 is returned to its original state by the restoring force of the spring 53 provided in the inside of 10, thereby blocking the passage.
이러한 케미칼의 이송작동과 결합되어 있던 암·수커플링(5)(10)의 해제가 완료되면 작동지시판(9)이 리미트 스위치(LS-1)에 그 동작의 완료신호를 보내 세정수 차폐밸브(V-1)가 개방되어 암·수커플링(5)(10)의 접액부를 전기한 방식에 따라 세정, 배출시키고 일정시간 경과 후 건조공기가 차폐밸브(V-2)의 개방에 따라 내부로 인입, 분사되어 그 내부와 전 접액부를 건조 시킨다.When the release of the female and male couplings (5) and (10) coupled with the transfer operation of the chemical is completed, the operation indicator (9) sends a completion signal of the operation to the limit switch (LS-1) to shield the washing water. The valve (V-1) is opened to clean and discharge the liquid contact portion of the male and female couplings (5) and (10), and after a certain period of time, the dry air is released as the valve (V-2) is opened. It is drawn into the inside and sprayed to dry the inside and the contact liquid.
건조과정이 끝나면 컨트롤 판넬에 분리 및 세정, 건조 완료표시를 램프점등 또는 소리신호로 작업자에게 인지시키고, 작업자는 스토퍼(6)를 해제 상태로 회전시켜 수커플링(10)을 이탈시킨다.After the drying process, the control panel separates and cleans, and the drying completion indication to the operator as a lamp light or sound signal, the operator rotates the stopper 6 in the released state to leave the male coupling (10).
한편, 상기한 암커플링(5)과 구동피스톤부(11)의 돌턱(11a)을 상호 결합시켜 주고 있는 체결구(7)를 체결오홈(5')(13)에 끼워진 분할링(72)(73)(72')(73')의 체결공(72a)(73a)에 체결하여 주므로써, 그 작동공간 및 설치에 따른 점유면적을 최소화 시키면서 그 체결상태를 견고히 유지시켜주고, 그에 따라 종래 나사 체결방식에서 야기되었던 체결상태의 풀림과 같은 오동작의 유발 가능성이 배재되며, 특히 씰링(11b) 사이에 형성되어 있는 리크체크공(11c)을 통해 그 내부로 이송되고 있는 케미칼의 누출시험을 자동수행 할 수 있는 구조를 띠고 있어, 케미칼의 오염 및 누출, 그에 따른 작업자의 안전성을 배가 시켜준다.On the other hand, the split ring 72 is fitted to the fastening grooves (5 ') 13, the fastener (7) for coupling the arm coupling (5) and the projection (11a) of the driving piston (11) to each other. (73) (72 ') (73') by fastening to the fastening holes 72a (73a), thereby minimizing the occupied area according to the operating space and installation, thereby maintaining the fastening state firmly, accordingly The possibility of malfunction such as loosening of the fastening state caused by the screw fastening method is excluded. In particular, the leak test of the chemical being transferred into the inside of the leak check hole 11c formed between the sealing 11b is automatically performed. It has a structure that can be carried out, which doubles chemical contamination and leakage and consequently operator safety.
이와 같은 본 고안에 의하면 세정과 건조, 접속이 하나의 장치내에서 순차적으로 이루어지는 자동연결장치를 제공하여 케미칼의 오염을 방지하고, 취급에 따른 작업자의 위험과 번거로움을 일소시켜줌으로써 작업성 및 안전성을 향상시켰으며, 제작에 따른 채산성 확보 및 견고성이 유지되어 장치의 사용수명을 연장할 수 있음은 물론, 장치의 내부 구조를 단순화 시킴으로써 제작비용이 절감되고, 또한 저렴한 가격에 보급시킬 수 있게 한 등의 매우 유익한 고안임이 명백하다.According to the present invention, cleaning, drying, and connection are provided in a single device in order to provide an automatic connection device to prevent chemical contamination, and to eliminate the risks and hassles of workers in handling, workability and safety In addition, it is possible to extend the service life of the device by securing profitability and robustness according to the manufacturing, and to reduce the production cost and to spread it at a low price by simplifying the internal structure of the device. It is obvious that this is a very informative design.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950047786U KR0140819Y1 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Hose automatic connecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950047786U KR0140819Y1 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Hose automatic connecting apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970046645U KR970046645U (en) | 1997-07-31 |
| KR0140819Y1 true KR0140819Y1 (en) | 1999-04-15 |
Family
ID=19438554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950047786U KR0140819Y1 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Hose automatic connecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0140819Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210149654A (en) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 주식회사 케이씨 | Apparatus and Method for cleaning a coupler of chemical supply device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100519542B1 (en) * | 1998-07-24 | 2005-12-21 | 삼성전자주식회사 | Coupler for Fluid Enforcement |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR2019950047786U patent/KR0140819Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210149654A (en) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 주식회사 케이씨 | Apparatus and Method for cleaning a coupler of chemical supply device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970046645U (en) | 1997-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0140819Y1 (en) | Hose automatic connecting apparatus | |
| CN203686223U (en) | Ball valve | |
| KR0141985B1 (en) | Automatic connection of chemical hose | |
| KR200196946Y1 (en) | A coupling of unleak device for semiconductor chemical transfer line | |
| KR200196948Y1 (en) | The cabinet fixation construction for semiconductor chemical transfer line | |
| KR0123199Y1 (en) | Auto-coupling device of hoses for transferring high purity chemical | |
| CN105771792B (en) | A kind of stirring axle sealing system for wet mixing pelletizer | |
| KR19990036613U (en) | Tightening structure of female coupling mounted on automatic connection device of high purity chemical transfer hose | |
| KR100257680B1 (en) | Device of preventing connection error of hose for chemical transfer | |
| KR200144003Y1 (en) | The drain construction of a drum washing machine | |
| KR100592031B1 (en) | Hose connecting structure of a female coupling in an automatic connecting device of a hose for transfering a high purity chemicals | |
| KR100649486B1 (en) | A hose connection | |
| CN218645999U (en) | Air blowing device | |
| US20200306773A1 (en) | Push Valve Assembly and Method | |
| KR200391144Y1 (en) | A hose connection | |
| CN206027220U (en) | Abluent Y type filter of dismounting -free | |
| KR200196947Y1 (en) | The flexible hose fixation of coupling for semiconductor chemical transfer line | |
| KR19990016532U (en) | Combined structure of feed hose and feed valve | |
| KR100342986B1 (en) | Air gun | |
| KR102302161B1 (en) | Valve assembly for gas container | |
| JP2866413B2 (en) | Gas cock repair method and repair equipment | |
| CN207848691U (en) | A kind of dry type connector and unloading system | |
| CN210171068U (en) | Wafer detects uses dust removal filter equipment | |
| KR950005507Y1 (en) | Connection of discharge pipe for filler tank | |
| JPS6141007Y2 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20091229 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Expiration of term |