KR0163538B1 - A connector used for gas gauge of chemical processing machine - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자 제조공정중 세정장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼의 습식 세정시 발생하는 유해가스를 배기하는 가스의 양을 측정하는 게이지의 연결구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cleaning equipment during semiconductor device manufacturing processes, and more particularly, to a connecting structure of gauges for measuring the amount of gas exhausting harmful gases generated during wet cleaning of wafers.
종래의 배기량 측정 게이지와 튜브의 연결방법은 열을 가하여 튜브를 강제로 확장시켜 게이지의 접속부에 접속하므로, 이들의 접속부위가 시간이 지남에 따라 경화로 파손되어 가스의 누출이 발생으로 인하여 정확한 배기량의 측정이 곤란해지는 문제점이 있었다.In the conventional method of connecting the displacement measuring gauge and the tube, the tube is forcibly extended by applying heat and connected to the connection portion of the gauge, so that the connection portion thereof is damaged due to hardening over time, resulting in a leak of gas. There was a problem that the measurement of.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 반도체소자 제조공정중 세정공정에서 발생하는 화학가스를 배출하는 덕트내 튜브를 배기량 게이지를 연결하는 연결구조에 있어서, 상기 게이지의 일 측에 튜브의 일단이 소정길이 삽입되어 연결하는 접속수단을 포함하여, 튜브의 연결부위의 결함에 의한 배기가스의 리크가 발생하지 않게 되어 정확한 배기 가스량 측정이 되도록 하였다.The present invention is to overcome the above problems, in the connection structure for connecting the discharge gauge to the tube in the duct for discharging the chemical gas generated in the cleaning process during the semiconductor device manufacturing process, one end of the tube on one side of the gauge Including the connecting means for inserting and connecting the predetermined length, the leakage of the exhaust gas due to a defect in the connection portion of the tube is prevented from occurring, so that accurate exhaust gas amount measurement can be performed.
Description
제1도는 본 발명에 따른 배기량 측정 게이지의 전체적인 구조도.1 is an overall structural diagram of a displacement measuring gauge according to the present invention.
제2a도는 배기량 게이지의 컨넥터의 구조도.Figure 2a is a structural diagram of the connector of the displacement gauge.
제2b도 및 제2c도는 각각 컨넥터와 튜브의 연결 및 분리동작 상태도.2b and 2c is a state of connection and disconnection of the connector and the tube, respectively.
제3a도, 제3b도는 각각 종래 배기량 측정 게이지의 전체적인 구조도 및 게이지와 튜브의 연결 구조도.3a and 3b are the overall structural diagram of a conventional displacement measurement gauge and the connection structure of the gauge and the tube, respectively.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
100 : 배기량 측정 게이지 110 : 컨넥터100: displacement measurement gauge 110: connector
111 : 컨넥터 하우징 112 : 튜브 고정홀더111: connector housing 112: tube fixing holder
113, 114 : 제1, 제2 홀더 고정링 115 : 실링 고무113, 114: 1st, 2nd holder fixing ring 115: sealing rubber
116 : 튜브 분리핀 200 : 튜브116: tube separation pin 200: tube
본 발명은 반도체소자 제조공정중 세정장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼의 습식 세정시 발생하는 유해가스의 배기시 배기되는 가스의 양을 측정하는 게이지를 배기덕트에 연결하기 위한 연결구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cleaning equipment during a semiconductor device manufacturing process, and more particularly to a connection structure for connecting a gauge for measuring the amount of gas exhausted during the exhaust of harmful gases generated during wet cleaning of a wafer to an exhaust duct.
일반적으로 웨이퍼의 세정방법에 있어서 습식세정방법은 탈이온수나 화학약품을 사용하여 웨이퍼의 표면을 세정한다.In general, in the wafer cleaning method, the wet cleaning method uses deionized water or chemicals to clean the surface of the wafer.
습식 세정공정에 사용되는 화학약품은 유독성 산·알카리성 약품으로 웨이퍼의 세정중 이들 화학가스를 발생시키게 된다.Chemicals used in wet cleaning processes are toxic acid and alkaline chemicals that generate these chemical gases during wafer cleaning.
이러한 유해성 화학가스를 제거하기 위하여 배기덕트를 세정조내에 연결하여 가스를 흡입해 내는데 이때 배기되는 가스정도(양)를 모니터(Monitor)하기 위하여 배기 덕트내 배기량 게이지(Gage)를 부착하여 관리하여 왔었다.In order to remove these harmful chemical gases, the exhaust duct is connected to the cleaning tank to draw in the gas. At this time, the exhaust gas gauge in the exhaust duct has been attached to manage the amount of exhaust gas. .
상기 게이지는 배기량을 측정하므로써 세정챔버내의 세정상태의 이상 유무를 판단하여 이상의 발생시 이에 대처할 수 있도록 하였다.By measuring the displacement of the gauge, it is possible to determine whether there is an abnormality in the cleaning state in the cleaning chamber and to cope with the occurrence of the abnormality.
그러나 이러한 게이지에 가스 흡입량을 전달하기 위하여 배기 덕트에서 게이지까지 연결되어지는 튜브와 게이지 상호간의 연결부위에서 결함이 발생하여 가스량의 정확한 관리가 불가능하였다.However, in order to deliver the gas intake to the gauge, a defect occurred at the connection portion between the tube and the gauge connected from the exhaust duct to the gauge, thus making it impossible to accurately manage the gas amount.
제3a도는 종래의 배기량 게이지의 전체적인 구조를 나타낸 것이고, 제3b도는 덕트의 튜브와 게이지의 연결구조를 나타낸 것이다.Figure 3a shows the overall structure of the conventional displacement gauge, Figure 3b shows the connection structure of the tube and the gauge of the duct.
상기 게이지(10)의 접속구(11)의 형태는 재질이 비교적 부드러우면서 어느 정도의 신축성이 있는 비닐과 같은 소재로 형성된 튜브에 강제로 삽입하여 연결되는 구조를 가지고 있다.The shape of the connector 11 of the gauge 10 has a structure in which a material is relatively soft and is forcibly inserted into a tube formed of a material such as a stretchable vinyl.
그러나 상기 세정장비에 사용되는 덕트(30)나 튜브는 딱딱한 소재로 형성되어 있어 이 튜브(20)를 연결하기에는 부적합한 구조를 가지고 있다.However, the duct 30 or the tube used in the cleaning equipment is formed of a hard material has an inappropriate structure for connecting the tube (20).
일반적으로 이러한 용도로 사용되는 상기 튜브(20)는 내부를 통과하는 유체가 유독한 산 또는 알카리성 가스이므로 여기에 견딜 수 있는 내약품성을 갖는 수지(PP, PFA)를 소재로 사용하여 왔었다.In general, the tube 20 used for this purpose has been used as a material (PP, PFA) having a chemical resistance that can withstand the fluid passing through the toxic acid or alkaline gas.
따라서 상술한 종래의 상기 게이지 접속구(11)에 신축성이 없는 수지로 형성된 상기 튜브(20)를 연결하기 위해서는 반드시 접속구에 연결되는 튜브의 끝단에 열을 가하여 강제로 확장시킨 후 접속구를 밀어 넣어 연결하는 방법을 사용하여 왔다.Therefore, in order to connect the tube 20 formed of a resin having no elasticity to the conventional gauge connector 11 described above, it is necessary to apply heat to the end of the tube connected to the connector and forcibly expand the connector to push the connector. Method has been used.
이러한 연결방법은 강제로 확장된 튜브의 일단이 일정시간 경과하게되면 경화되어 진동이나 충격에도 쉽게 파손되는 현상이 발생하게 된다.In this connection method, when one end of the forcibly expanded tube elapses for a predetermined time, the phenomenon of hardening occurs easily due to vibration or shock.
이러한 튜브의 파손을 게이지로 유입되는 가스가 이 파손된 부위를 통하여 누출되어 정확한 배기량 측정이 불가능하여 왔었다.The failure of such a tube to leak the gas flowing into the gauge through this broken portion has been impossible to measure the exact displacement.
따라서 상기 가스의 누출은 덕트를 통하여 배출되는 가스의 상태를 정확히 판단할 수 없게 하여 세정챔버 내에서 발생할 수 있는 공정결함 요인의 관리에 지장을 주게 된다.Therefore, the leakage of the gas is not able to accurately determine the state of the gas discharged through the duct to interfere with the management of process defects that can occur in the cleaning chamber.
뿐만 아니라 상기 가스가 유해한 성분이기 때문에 이와 같은 가스의 리크(Leak)는 작업자의 안정성이나 다른 장비의 부식과 같은 문제점을 초래하게 되어 이에 따르는 대책이 필요하여 왔었다.In addition, since the gas is a harmful component, such a leak of the gas (Leak) has caused a problem such as the operator's stability or other equipment corrosion has been required accordingly.
본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로 간단한 공정으로 연결이 간편하며 연결부위의 결함을 줄여 정확한 배기량을 측정할 수 있는 화학공정장비의 가스게이지 연결구조를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a gas gauge connection structure of a chemical process equipment that can be easily connected by a simple process and can measure an accurate displacement by reducing defects in a connection portion.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로는 반도체소자 제조공정중 화학용액 또는 화학기체를 사용하는 공정장비에서 화학가스를 배출하는 덕트와 이에 연결된 튜브에 가스게이지를 연결하는 연결구조에 있어서, 상기 튜브의 연결을 위하여 튜브 외경보다 상대적으로 큰 내경에 요철을 갖자는 하우징과, 상기 하우징의 요철부위에 고정되는 튜브홀더 및 이 홀더의 양측을 고정하는 제1 및 제2 홀더 고정링과, 상기 하우징의 내측에 고정되어 튜브 사이의 기밀을 유지하는 실링 고무와, 상기 제2 고정링내에서 슬라이드 동작되는 튜브 분리핀으로 구성된 컨넥터를 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, there is provided a connection structure for connecting a gas gage to a duct and a tube connected thereto for discharging a chemical gas from a process equipment using a chemical solution or a chemical gas during a semiconductor device manufacturing process. A housing having an unevenness in an inner diameter relatively larger than the outer diameter of the tube for connection of the tube, a tube holder fixed to the uneven portion of the housing, first and second holder fixing rings for fixing both sides of the holder, and the housing It is characterized in that it comprises a connector consisting of a sealing rubber fixed to the inside of the tube to maintain the airtight between the tube, the tube separating pin slides in the second fixing ring.
이를 위해서 상기 튜브홀더는 내측으로 탄성을 갖는 복수개의 고정편을 방사상으로 배치한다.To this end, the tube holder radially arranges a plurality of fixing pieces having elasticity inwardly.
이를 위해서 상기 튜브 분리핀은 상기 튜브홀더를 가압하여 내경을 확대시켜 튜브가 분리되도록 한다.To this end, the tube separating pin presses the tube holder to enlarge the inner diameter so that the tube is separated.
이를 위해서 상기 컨넥터는 습식세정공정에 사용한다.For this purpose, the connector is used in a wet cleaning process.
상술한 구성을 갖는 본 발명은 게이지의 일단에 연결되는 튜브의 일단에 열을 가하지 않고 연결하므로서 일단이 경화되어 손상되는 것을 방지한다.The present invention having the above configuration prevents one end from being hardened and damaged by connecting without applying heat to one end of the tube connected to one end of the gauge.
이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 작용·효과를 첨부된 도면에 따라서 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention, actions and effects will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제2도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이지 연결구조를 나타낸 것으로 튜브의 일단을 게이지의 접속구에 밀어 넣는 한 동작으로 상호간의 연결이 끝나도록 한 것이다.2 is a view illustrating a gauge connection structure according to a preferred embodiment of the present invention, in which one end of a tube is pushed into a connector of a gauge so that the connection is completed.
이를 위한 본 발명의 구체적인 구성 및 동작관계를 상세히 설명한다.Detailed configuration and operation of the present invention for this purpose will be described in detail.
제1도는 본 발명에 따른 배기량 게이지의 전체적인 구조를 나타탠 것이고, 제2a도는 제1도의 요부인 컨넥터의 구조를 나타낸 것이다.FIG. 1 shows the overall structure of the displacement gauge according to the present invention, and FIG. 2a shows the structure of the connector which is the main part of FIG.
그리고 제2b도 및 제2c도는 상기 컨넥터와 튜브와의 연결 및 분리 동장 과정을 도시한 것이다.2b and 2c illustrate a process of connecting and disconnecting the connector and the tube.
상기 컨넥터(110)는 반도체 장비의 공기, 질소가스 등의 공급라인의 연결에 주로 사용되는 컨넥터와 동일한 구조를 사용한다.The connector 110 uses the same structure as the connector mainly used for connecting the supply line of air, nitrogen gas, etc. of the semiconductor equipment.
상기 컨넥터(110)에 튜브의 연결을 위하여 튜브 외경보다 상대적으로 큰 내경의 요철을 갖는 하우징(111)과, 상기 하우징의 요철부위에 고정되는 튜브홀더(112) 및 이를 고정하는 제1 및 제2 홀더 고정링(113, 114)과, 상기 하우징의 내측에 고정되어 튜브사이의 기밀을 유지하는 실링 고무(115)와, 상기 제2 고정링(114)내에서 슬라이드 동작되는 튜브 분리핀(115)으로 구성된다.In order to connect the tube to the connector 110, a housing 111 having an unevenness of an inner diameter relatively larger than an outer diameter of the tube, a tube holder 112 fixed to an uneven portion of the housing, and first and second fixing portions thereof Holder fixing rings 113 and 114, a sealing rubber 115 fixed inside the housing to maintain the airtight between the tubes, and tube separation pins 115 that slide in the second fixing ring 114. It consists of.
상기 튜브홀더(112)는 내측으로 연장된 탄성을 갖는 고정편(112a)이 복수개 방사상으로 배치되어 일 방향으로만 동작되는 구조를 가지고 있다.The tube holder 112 has a structure in which a plurality of fixing pieces 112a having elasticity extending inwardly are disposed radially and operated only in one direction.
상술한 구조를 갖는 본 발명에 의한 튜브의 연결동작은 제2b도에 나타낸 것과 같이 연결하고자 하는 튜브(200)의 일단을 컨넥터 하우징(111) 내부로 상기 실링 고무(115)가 밀착되도록 밀어 넣는다.The connection operation of the tube according to the present invention having the above-described structure pushes one end of the tube 200 to be connected to the sealing housing 115 into the connector housing 111 as shown in FIG. 2b.
이때 상기 튜브 고정홀더(112)의 고정편(112a)은 튜브(200)에 의해 밀린 상태에서 탄성력에 의해 튜브의 외경을 붙잡게 된다.At this time, the fixing piece 112a of the tube fixing holder 112 is caught by the tube 200 by the elastic force in the pushed state by the tube 200.
따라서 상기 튜브(200)는 상기 실링 고무(115)에 밀착된 상태에서 가스게이지의 컨넥터에 고정되는 것이다.Therefore, the tube 200 is fixed to the connector of the gas gauge in a state in close contact with the sealing rubber 115.
즉 상기 컨넥터의 구조는 원 터치(One Touch) 고정식 조립(Fitting)으로 접속구에 연결하고자 하는 튜브의 끝단을 간단히 밀어 넣음으로서 리크의 발생없이 완전히 연결 조립된다.That is, the structure of the connector is one-touch (Fitting) fixed assembly (Fitting) by simply pushing the end of the tube to be connected to the connection port is fully assembled without the occurrence of leakage.
이와 같은 연결방법은 어느 정도의 경도를 가지고 있는 튜브의 접속, 연결에 사용된다.This connection method is used to connect and connect tubes with a certain degree of hardness.
제2c도는 컨넥터에 연결된 튜브를 분리하기 위한 동작과정을 나타낸 것으로, 상기 튜브 분리핀(116)을 하우징(111) 내부로 밀어 핀의 일단이 튜브(200)를 잡고 있는 고정핀(112a)을 밀어 올려 주게 된다.Figure 2c shows an operation process for separating the tube connected to the connector, push the tube separation pin 116 into the housing 111, one end of the pin pushes the fixing pin 112a holding the tube 200 It is raised.
이 상태에서 상기 튜브(200)를 컨넥터에서 부터 빼내는 동작으로 컨넥터와 튜브를 분리한다.In this state, the tube 200 is removed from the connector by separating the connector and the tube.
이와 같이 게이지의 접속구에 튜브를 밀어 넣는 것만으로 연결이 가능하기 때문에 튜브의 일단을 확장시킬 필요가 없이 접속이 가능하며, 분리핀의 조작으로 간단히 분리가 가능하므로 장비의 교체 및 정검시 작업시간을 단축할 수 있다.As it can be connected by simply pushing the tube into the gauge connection port, it is possible to connect without expanding one end of the tube and can be easily disconnected by the operation of the separating pin. It can be shortened.
또한 튜브를 확장시키기 위해서 열을 가하는 공정이 필요없게 되어 작업 공수 및 시간이 단축될 뿐만 아니라 연결부위에서 열 경화 현상도 발생하지 않게 된다.It also eliminates the need to apply heat to expand the tube, which not only shortens labor time and time, but also eliminates heat hardening at the joints.
따라서 본 발명은 가스의 누설을 효과적으로 방지할 수 있게 되어 장비의 부식이나 작업자의 안전을 보호하며 정확한 가스의 측정이 가능하다.Therefore, the present invention can effectively prevent the leakage of gas to protect the corrosion of the equipment or the safety of the operator, it is possible to measure the accurate gas.
즉 본 발명은 장비의 내구성을 높이고 튜브의 연결부위의 결함에 의한 배기 가스의 리크의 발생과 이에 따른 정검관리가 필요하지 않고 반영구적으로 사용할 수 있으며, 정확한 가스량 측정에 따른 장비의 관리가 가능한 이점이 있다.That is, the present invention increases the durability of the equipment and can be used semi-permanently without the occurrence of leakage of the exhaust gas due to defects in the connection part of the tube, and accordingly, it is possible to use the equipment semi-permanently. have.
Claims (4)
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| KR1019950051494A KR0163538B1 (en) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | A connector used for gas gauge of chemical processing machine |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019950051494A KR0163538B1 (en) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | A connector used for gas gauge of chemical processing machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970052645A KR970052645A (en) | 1997-07-29 |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0163538B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100383570B1 (en) * | 2000-08-10 | 2003-05-16 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for atm trunk interfacing in atm switching system |
-
1995
- 1995-12-18 KR KR1019950051494A patent/KR0163538B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100383570B1 (en) * | 2000-08-10 | 2003-05-16 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for atm trunk interfacing in atm switching system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970052645A (en) | 1997-07-29 |
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