KR20000026751A

KR20000026751A - Bellows pipe

Info

Publication number: KR20000026751A
Application number: KR1019980044413A
Authority: KR
Inventors: 김병진; 최규상
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-10-22
Filing date: 1998-10-22
Publication date: 2000-05-15

Abstract

PURPOSE: A new type of bellows pipe is provided to minimize the deposition of powder on a corrugated case and to make easy the cleaning. CONSTITUTION: A bellows pipe(10) is composed of a first and a second flanges and a socket type slide tube. Herein, the path of the bellows pipe is formed in straight line by the slide tube so that the flow of fluid is smooth. And powder is deposited on the inner face of the slide tube not on the corrugated part(12a) of the corrugated case. Then, the amount of the powder is small because of the smooth flow of fluid. The powder deposited in the bellows pipe can be reduced by cleaning after separating the slide tube. And the cleaning of the corrugated case is easy according to the small amount of powder deposited in the corrugated case.

Description

A BELLOWS PIPE

본 발명은 벨로우즈 관에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배관과 반도체 제조 설비사이의 원활한 연결을 위한 벨로우즈 관에 관한 것이다.The present invention relates to bellows tubes, and more particularly to bellows tubes for smooth connection between piping and semiconductor manufacturing equipment.

반도체 제조 설비중에서 진공도를 이용해 진행하는 반도체 제조 설비는 매우 많다. 이러한 반도체 제조 설비에서는 설비와 진공 펌프사이의 진공도를 유지하기 위한 진공 배관을 활용하게 된다. 이때, 반도체 제조 설비와 진공 배관 사이의 원활한 연결과 배관의 진동 발생으로 클램프부위의 수축, 이완작용 및 비틀림으로 인한 리크(leak) 발생을 방지하기 위해 벨로우즈 관을 사용하게 된다.There are many semiconductor manufacturing facilities which use vacuum degree among semiconductor manufacturing facilities. In such a semiconductor manufacturing facility, a vacuum pipe for maintaining the degree of vacuum between the facility and the vacuum pump is utilized. At this time, the bellows pipe is used to prevent the leakage of the clamp portion due to shrinkage, relaxation and twisting of the clamp portion due to the smooth connection between the semiconductor manufacturing equipment and the vacuum pipe and vibration of the pipe.

그러나, 기존에 사용되고 있는 벨로우즈 관은 다음과 같은 여러 문제점들을 갖고 있다.However, existing bellows tubes have several problems as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 주름통(102)의 주름부분(102a)이 유체의 흐름을 막게되고 일정시간이 경과되면 그 주름부분(102a)에는 파우더(120)가 쌓이게 된다. 이렇게 주름통(102) 내부에 쌓이는 파우더(120)는 유체의 흐름을 방해해서 펌핑능력을 저하시키는 주된 원인이 된다. 그리고 파우더 증착은 주름통(102) 부식의 원인이 되고 심한 경우 리크가 발생되기도 한다. 한편, 파우더 증착이 심해지면 펌핑시 발생되는 주름통(102)의 수축 흡착작용으로 인해 주름부분의 스트레스가 증가된다. 이와 같이 주름부분에 반복적으로 스트레스가 발생되면 그 부분에 리크가 발생된다. 또한, 남은 잔류물에 의한 백 스트림으로 파티클이 증가되고, 이는 곧 바로 설비 내의 진공 챔버(미도시됨)를 오염시키게 된다.As shown in FIG. 1, the pleats 102a of the pleat tube 102 block the flow of fluid, and when a predetermined time elapses, the powder 120 is accumulated in the pleats 102a. Powder 120 accumulated in the corrugated container 102 is the main cause of lowering the pumping ability by disturbing the flow of the fluid. In addition, powder deposition may cause corrosion of the corrugation tube 102, and in some cases, leakage may occur. On the other hand, when the powder deposition is severe, the stress of the wrinkle portion is increased due to the shrinkage adsorption action of the corrugation tube 102 generated during pumping. Likewise, if stress is repeatedly generated in the wrinkles, leakage occurs in the portions. In addition, particles are augmented by the back stream by the remaining residues, which soon contaminate the vacuum chamber (not shown) in the installation.

한편, 상기 주름통(102)의 주름부분에 쌓여 있는 파우더를 제거하기가 쉽지 않아 크리너하는데 따른 로스 타임(loss time)이 증가되는 문제점이 있다.On the other hand, it is not easy to remove the powder accumulated in the wrinkle portion of the corrugated container 102, there is a problem that the loss time (cleaning time) due to the cleaner is increased.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 주름통에 파우더의 증착을 최소화할 수 있고 크리너를 쉽게 할 수 있도록 한 새로운 형태의 벨로우즈 관을 제공하는데 있다.The present invention is to solve such a conventional problem, an object of the present invention is to provide a bellows tube of a new type that can minimize the deposition of powder in the corrugated bottle and facilitate the cleaner.

도 1은 일반적인 벨로우즈 관의 단면도;1 is a cross-sectional view of a typical bellows tube;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 관의 단면도;2 is a sectional view of a bellows tube according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 관의 유체 흐름을 보여주는 도면이다.3 is a view showing the fluid flow of the bellows tube according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 벨로우즈 관 12 : 주름통10 bellows tube 12 corrugated tube

12a : 주름부분 14 : 제 1 플랜지12a: pleat 14: first flange

16 : 제 2 플랜지 20 : 슬라이드 튜브16: second flange 20: slide tube

30 : 센터링30: centering

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 벨로우즈 관에 있어서, 주름통과; 상기 주름통의 양단에 각각 설치되는 제 1, 2 플랜지 및; 일단은 상기 주름통 내부에 끼워지고 타단은 상기 제 1 플랜지에 고정되며 상기 주름통의 주름부분에 파우더가 증착되는 것을 차단 위한 소켓식 슬라이드 튜브를 포함한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a bellows pipe, the corrugation passage; First and second flanges respectively provided at both ends of the corrugation container; One end is inserted into the corrugated container and the other end is fixed to the first flange and includes a socket-type slide tube for preventing the powder from being deposited in the corrugated portion of the corrugated container.

이와 같은 본 발명에서 상기 소켓식 슬라이드 튜브는 상기 주름통과 8-12mm 간격을 두고 설치될 수 있다.In the present invention as described above, the socket-type slide tube may be installed at intervals of 8-12 mm with the corrugation tube.

이와 같은 본 발명에서 상기 소켓식 슬라이드 튜브는 상기 주름통 내부에 끼워진 일단이 상기 제 2 플랜지로부터 벨로우즈 관 총길이에 적어도 1/10이상 간격을 두고 설치될 수 있다.In the present invention as described above, the socket-type slide tube may be installed at least one tenth of a distance from the second flange to the bellows tube total length from the second flange.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 관을 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호가 병기되어 있다.Hereinafter, a bellows tube according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3. In the drawings, the same reference numerals are given to components that perform the same function.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 관의 단면도이다. 도 3은 벨로우즈 관의 유체 흐름을 보여주는 도면이다.2 is a cross-sectional view of a bellows tube according to an embodiment of the present invention. 3 shows the fluid flow in the bellows tube.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 벨로우즈 관(10)은 주름통(12), 제 1 플랜지(14), 제 2 플랜지(16) 그리고 슬라이드 튜브(20)로 이루어지는 것을 알 수 있다.2 and 3, it can be seen that the bellows tube 10 is made up of a corrugated tube 12, a first flange 14, a second flange 16, and a slide tube 20.

상기 벨로우즈 관(10)은 진공의 전달을 위해 진공 라인(vacuum line)을 셋업(set up)하여 활용하는데 배관과 반도체 제조 설비간의 원활한 연결을 위해 설치된다. 상기 주름통(12)의 양단에는 제 1 플랜지(14)와 제 2 플랜지(16)가 각각 설치된다. 그리고, 상기 슬라이드 튜브(20)는 파우더가 상기 주름통(12)의 주름부분(12a)에 증착되는 것을 차단함과 동시에 상기 주름통(12) 내부의 유체 흐름을 원활히 이루어질 수 있도록 하기 위하여 상기 주름통(12) 내부에 설치된다. 상기 슬라이드 튜브(20)는 소켓타입으로 상기 슬라이드 튜브(20)의 일단(24)은 상기 주름통(12) 내부에 끼워지고, 그리고 슬라이드 튜브(20)의 타단(22)은 센터링(centering;30)에 의해 상기 제 1 플랜지(14)에 고정된다. 한편 그 고정이 용이하도록 상기 슬라이드 튜브의 타단(22)은 외측으로 절곡되어 형성되는 것이 바람직하다. 상기 슬라이드 튜브(20)는 상기 벨로우즈 관(10)으로부터 용이하게 착탈할 수 있을 것이다.The bellows tube 10 is used to set up and utilize a vacuum line for the transfer of vacuum, and is installed for smooth connection between the pipe and the semiconductor manufacturing equipment. The first flange 14 and the second flange 16 are provided at both ends of the corrugated barrel 12, respectively. In addition, the slide tube 20 prevents the powder from being deposited on the pleats 12a of the pleats 12 and at the same time allows the fluid to flow smoothly inside the pleats 12. It is installed inside the barrel 12. The slide tube 20 is a socket type, and one end 24 of the slide tube 20 is fitted into the corrugated tube 12, and the other end 22 of the slide tube 20 is centered. Is fixed to the first flange 14. On the other hand, the other end 22 of the slide tube is preferably bent to the outside to facilitate its fixing. The slide tube 20 may be easily detached from the bellows tube 10.

한편, 상기 슬라이드 튜브(20)는 상기 주름통(12)의 내면과 8-12mm 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 제 1, 2 플랜지(14,16)와 주름통(12)의 10도 정도의 비틀림에도 사용이 가능하도록 하기 위한 것이다.On the other hand, the slide tube 20 is preferably installed at an interval of 8-12mm with the inner surface of the corrugated container (12). This is to enable the use of about 10 degrees of twist of the first and second flanges 14 and 16 and the corrugated tube 12.

그리고, 상기 슬라이드 튜브(20)의 일단(24)은 상기 제 2 플랜지(16)의 끝단으로부터 적어도 20mm이상 간격을 두고 위치되는 것이 바람직하다. 이는 펌핑에 의한 상기 주름통(12)의 수직수축시 상기 슬라이드 튜브의 일단(24)과 상기 제 2 플랜지(16)와의 충돌을 예방하기 위한 것이다. 이때의 간격은 상기 벨로우즈 관(10)의 평균수직수축율인 관의 총길이에 1/10을 기준으로 한다. 예컨대, 본 실시예에 도시된 벨로우즈 관(10)이 표준 사이즈인 200mm의 제품인 경우 상기 슬라이드 튜브의 일단과 상기 제 2 플랜지와의 간격은 20mm인 것이 바람직하다.One end 24 of the slide tube 20 is preferably positioned at least 20 mm apart from the end of the second flange 16. This is to prevent a collision between one end 24 of the slide tube and the second flange 16 during vertical contraction of the corrugated container 12 by pumping. The interval at this time is based on 1/10 the total length of the pipe which is the average vertical shrinkage of the bellows pipe (10). For example, when the bellows tube 10 shown in this embodiment is a product of 200 mm of a standard size, the distance between one end of the slide tube and the second flange is preferably 20 mm.

이와 같은 구성으로 이루어진 벨로우즈 관(10)은 도 3에 도시된 바와 같이, 슬라이드 튜브(20)에 의해 통로가 곧은 일직선으로 이루어지기 때문에 유체의 흐름이 원활하게 이루어지며, 파우더는 주름통(12)의 주름부분(12a)이 아닌 상기 슬라이드 튜브(20)의 내면에 쌓이게 된다. 이때, 유체의 흐름이 원활하기 때문에 파우더는 종래에 비해 훨씬 적은 양이 쌓이게 된다. 상기 벨로우즈 관(10) 내부에 쌓인 파우더는 상기 슬라이드 튜브(20)를 분리한 후 청소하면 간단히 제거될 수 있다. 상기 슬라이드 튜브(20)에 의해 상기 주름통(12)에는 파우더가 적게 증착되었기 때문에 주름통 청소가 용이하다.Bellows tube 10 having such a configuration as shown in Figure 3, because the passage is made in a straight line by the slide tube 20, the fluid flow is made smoothly, the powder is corrugated tube 12 It is accumulated on the inner surface of the slide tube 20, not the wrinkle portion (12a). At this time, since the fluid flows smoothly, much less powder is accumulated than in the prior art. Powder accumulated in the bellows tube 10 can be simply removed by cleaning the slide tube 20 after separation. Since the powder is deposited in the corrugated container 12 by the slide tube 20, it is easy to clean the corrugated container.

이와 같은 본 발명을 적용하면 주름통에 파우더의 증착을 최소한으로 하여 빠른 배기와 함께 라이프 타임을 증가시키는 장점이 있다. 그리고, 크리닝시에는 슬라이드 튜브만 간다히 제거하고 주름통을 청소하도록 되어있어 크리닝에 따른 로즈 타임을 줄일 수 있고, 또한 진공 컴퍼넌트 리크로 인한 설비다운을 방지할 수 있는 효과가 있다.Applying the present invention as described above has the advantage of increasing the life with a rapid exhaust by minimizing the deposition of powder in the corrugated bottle. In addition, during the cleaning process, only the slide tube is removed and the corrugation container is cleaned, thereby reducing the rose time due to cleaning, and also preventing the downtime due to vacuum component leaking.

Claims

In a bellows tube installed for smooth contact between the vacuum line and the semiconductor manufacturing equipment running in a vacuum state:

Wrinkle passage;

First and second flanges respectively provided at both ends of the corrugation container;

A bellows tube, one end of which is fitted inside the corrugation tube and the other end is fixed to the first flange and comprises a socket-type slide tube for preventing the deposition of powder in the corrugation portion of the corrugation tube.

The method of claim 1,

The socket-type slide tube is installed at intervals of 8-12mm and the bellows tube, characterized in that the bellows tube, characterized in that it can be used to twist the first and second flanges and the corrugated tube.

The method according to claim 1 or 2,

The socket-type slide tube has one end fitted inside the corrugated tube at least 1/10 of the bellows tube length from the second flange to prevent collision with the second flange during vertical contraction of the bellows tube. Bellows tube characterized in that there is.