KR0161304B1

KR0161304B1 - 기류 측정 방법 및 장치

Info

Publication number: KR0161304B1
Application number: KR1019940016791A
Authority: KR
Inventors: 마시시고 미노시마
Original assignee: 세끼모또 다다히로; 니뽄 덴끼 가부시끼가이샤
Priority date: 1993-07-21
Filing date: 1994-07-13
Publication date: 1999-03-20
Also published as: KR960015830A; JP2500629B2; US5457989A; JPH0735763A

Abstract

층류 기류 방향을 측정하는 방법은 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 실질적으로 일정한 기류 추적용 입자 스트림을 이용한다. 입자 스트림의 방향은 입자 스트림 부근에서 서로 직각으로 교차하며 교차점을 통과하는 축 둘레를 회전할 수 있는 제1 및 제2장방형 레이저 빔에 의해 검출된다.

상기 제2레이저 빔은 그 축 둘레를 회전할 수 있다. 입자 스트림이 레이저 빔의 장방형 방사 영역의 긴 변을 따라 상기 레이저 빔들과 교차하면 레이저 빔에 의해 발생된 산란광의 강도가 크다. 그러므로, 입자 스트림의 방향은 제2레이저 빔의 회전각에 의해 검출된다. 기류의 방향은 상기 측정방법이 본래의 기류를 교란시키지 않으므로 상당한 정도의 정확도로 측정될 수 있다.

Description

기류 측정 방법 및 장치

본 발명은 기류 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서 특히, 층류인 기류(laminar air flow)의 방향을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

반도체 디바이스 제조용 청정실을 완성한 후의 성능 검사는 특히 청정실내의 층류 영역의 기류를 측정하는 검사를 포함한다. 이 측정은 기류 방향이 연직 방향으로부터 이탈하는 각을 측정하는 층류의 연직 방향 검사(a vertical test of a laminar air flow)를 포함한다. 이러한 청정실내의 기류 방향 측정시에는 본래의 기류를 교란시키지 않는 것이 중요하다.

제1도에는 종래 방법으로 연직 방향의 층류 기류를 측정하는 통상의 청정실이 도시되어 있다. HEPA 필터(45)를 통과한 기류는 청정실내의 액세스 플로어(access floor)(46)로 향하여 하방으로 흘러 그 플로어를 통과한다. 제1도에 도시된 바와 같이, 연직 방향으로부터의 기류의 이탈각을 측정하는 종래 방법에는 기류내에서의 천장(41)에 매달린 견사(42), 혹은 안개 발생기(43)가 순수한 물을 이용하여 발생 배출하는 안개 스트림(44)의 이탈각을 육안으로 조사 또는 측정하는 방법이 포함된다. 그러나, 이러한 종래 방법으로는 기류의 정상적 특성만을 조사할 수 있을 뿐이다. 특히, 견사(42)를 이용한 측정의 경우, 정확한 검사 결과를 얻기 위해서는 견사(42) 자체의 질량을 무시할 수 없다.

층류 기류 방향을 측정하는 또 다른 종래 방법에는 기류 센서처럼 동작하는 열센서를 이용하는 방법이 포함된다. 그러나, 매우 작은 속도 예컨대 0.5m/sec의 속도를 가진 층류 기류를 직접적으로 측정하는 기류 센서는 본래의 기류를 교란시키므로 층류 기류 측정시에 기류 방향을 나타내는 정확한 각을 구할 수 없다.

이상의 관점에서, 본 발명의 목적은 청정실내의 기류 방향 측정용으로 적합한 신규한 연직 방향 층류 기류 측정 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 제1특징에 따른 기류 방향 측정 방법은 그레인 크기(grain size)가 실절적으로 일정한 기류 추적용 입자 스트림을 발생시키는 단계와, 광으로 상기 입자 스트림을 조사하는 단계와, 상기 입자 스트림에 의한 광산란을 이용하여 입자 스트림의 방향을 검출하는 단계를 포함한다.

본 발명의 제2특징에 따른 기류 방향 측정 방법은 흐름 전체에 걸쳐 그레인 크기가 실질적으로 일정한 입자 스트림을 발생시키기 위해 입자들을 기류에 방출하는 단계와, 제1장방형 방사 영역을 가진 제1 광에 의해 제1 방향으로 상기 입자 스트림을 조사하는 단계와, 상기 광으로 상기 입자 스트림을 조사하는 동안 상기 제1 방향에 평행한 제1평면 내에서 제1 광을 회전시키는 단계와, 상기 제1 광이 회전하는 동안 상기 입자 스트림에 의해 산란된 제1 광의 산란 강도가 최대에 도달할 때 상기 회전 및 조사를 정지시키는 단계와, 상기 회전이 정지된 후에 상기 제1평면에 평행하고 상기 제1 광에 실질적으로 수직한 방향으로 제2의 장방형 방사 영역을 가진 제2 광을 조사하는 단계와, 상기 제1평면에 평행하고 상기 제2 광에 실질적으로 수직한 방향으로 상기 제2 광을 이동시키는 단계와, 상기 제2 광이 이동하는 동안에 상기 입자 스트림에 의해 산란된 제2 광의 산란 강도가 최대에 도달할 때 상기 제2 광의 이동을 정지시키는 단계와, 제2 광을 그 축 둘레로 회전시키는 단계와, 상기 제2 광이 회전하는 동안에 입자 스트림에 의해 산란된 제2 광의 산란 강도가 최대에 도달할 때 상기 제2 광의 회전을 정지시키는 단계와, 상기 제2 광의 회전각을 측정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 제3 특징에 따른 기류 방향 측정 장치는 흐름 전체에 걸쳐 그레인 크기가 실질적으로 일정한 기류 추적용 입자 스트림을 발생시키는 수단과, 장방형 방사 영역을 가진 장방형 광을 방사하는 수단과, 상기 입자 스트림을 제1 방향으로 조사하기 위해 상기 장방형 광을 유도하는 제1유도 수단과, 입자 스트림을 상기 제1 방향에 수직한 제2방향으로 조사하기 위해 상기 장방형 광을 유도하는 제2유도 수단과, 상기 장방형 광을 그 축 둘레로 회전시키는 수단과, 입자 스트림을 조사하기 위해 제1과 제2유도 수단중에서 하나를 선택하는 수단과, 상기 제1과 제2 유도 수단중의 하나에 의해 유도된 장방형 광이 입자 스트림에 의해 산란될 때 장방형 광으로부터 발생된 산란광의 강도를 측정하는 수단을 포함한다.

본 발명의 제4 특징에 따른 기류 방향 측정 장치는 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 실질적으로 일정한 기류 추적용 입자 스트림을 발생시키는 수단과, 상기 입자 스트림을 제1 방향으로 조사하기 위한 제1 광을 방사하는 수단과, 축 둘레로 회전 가능한 제2 광을 방사하고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 상기 입자 스트림을 조사하는 수단과, 상기 제1 또는 제2 광이 입자 스트림에 의해 산란될 때 상기 제1과 제2 광중의 하나에 의한 산란광의 강도를 측정하는 수단을 포함한다.

본 발명에 따라서 층류 기류의 방향은 본래의 기류를 교란시키지 않고 상당한 정도의 정확도로 측정될 수 있다.

제1도는 층류 영역의 기류 방향을 측정하는 종래 방법을 도시한 청정실의 개요도.

제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 기류 방향 측정 장치를 도시한 개요도.

제3a도는 제2도 장치의 제1동작 단계를 도시한 설명도.

제3b도는 제1동작 단계에 있는 입자 스트림 및 장방형 광을 개략적으로 도시한 도면.

제4a도는 제2 동작 단계에 있는 제2도 장치의 다른 설명도.

제4b도는 제2 동작 단계에 있는 입자 스트림 및 장방형 광을 개략적으로 도시한 다른 도면.

제5a도는 제3 동작 단계에 있는 제2도 장치의 다른 설명도.

제5b도는 제3 동작 단계에 있는 입자 스트림 및 장방형 광을 개략적으로 도시한 다른 도면.

제6a도는 제4 동작 단계에 있는 제2도 장치의 다른 설명도.

제6b도는 제4 동작 단계에 있는 입자 스트림 및 장방형 광을 개략적으로 도시한 도면.

제7도는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기류 방향 측정 장치의 다른 개요도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 광학계 11,31 : 레이저 발진기

12,32 : 주 렌즈 세트 13,33 : 실린더형 렌즈

15,34 : 광검출기 16 : 가상평면

17 : 슬라이드 테이블 20 : 가상 교점

21 : 입자 발생기 22 : 입자 스트림

41 : 천장 42 : 견사

44 : 안개 스트림 46 : 액세스 플로어(access floor)

이하에서는 본 발명이 첨부 도면을 참조하여 보다 상세히 설명된다.

제2도에는 본 발명의 제1실시예에 따른 층류 기류 방향을 측정하는 장치가 도시되어 있다. 제2도의 장치에는 층류 기류의 추적자로 동작하는 입자 스트림(22)을 발생시키는 스트림 발생기(21)와, 일반적으로 10으로 지시되고 플렛폼(16)에 장착된 광학계가 포함된다. 광학계(10)는 레이저 발진기(11), 주 렌즈 세트(12), 실린더형 렌즈(13), 3개의 평면 거울(141,142,143) 및 광검출기(15)를 포함한다. 주 렌즈 세트(12)는 도면에는 도시되어 있지 않지만 그 내부에 콜리메이터 렌즈(collimator lens)를 포함한다. 실린더형 렌즈(13)는 레이저 발진기(11)가 방출한 레이저 빔의 레이저축(18) 둘레를 회전할 수 있도록 배치된다.

플렛폼(16)은 가상 교점(20)을 통과하는 축둘레를 가상 평면에 평행하게 회전할 수 있다. 본 명세서의 가상 교점(20)과 가상 평면은 다음에 정의된다. 레이저 발진기(11), 주 렌즈 세트(12), 실린더형 렌즈(13) 및 광검출기(15)는 가상 평면에 평행하고 레이저축(18)에 수직한 방향으로 이동가능한 플렛폼(16)상에 배치된 슬라이드 테이블(17)위에 장착된다.

레이저 발진기(11)가 방출한 레이저 빔은 주 렌즈 세트(12)와 실린더형 렌즈(13)에 의하여 장방형 레이저 빔(30)으로 변환되고, 이 장방형 레이저 빔(30)은 축방향에서 볼 때 방사 영역이 장방형이며 수평변 보다 수직변이 더 길다.

제1 평면 거울(141)은 제2도의 화살표와 같이 플렛폼(16)에 수직 방향으로 이동할 수 있도록 장착된다. 제1 평면 거울(141)이 실선으로 표시된 제1의 낮은 위치로 이동하면 레이저 빔(30)은 제1 평면 거울(141)에 의해 직각으로 반사되고 경로(191)를 따라 제2 평면 거울(142)로 전달된다. 다음, 이 레이저 빔(30)은 제2 및 제3평면 거울(142,143)에 의해 반사되고 유도되어 경로(192,193)를 따라 전달된다. 다른 한편, 제1평면 거울(141)이 파선으로 표시된 제2의 높은 위치로 이동하면 레이저 빔(30)은 경로(194)를 따라 직진한다.

상기 경로(193,194)의 중심선 또는 축은 본 명세서에서 가상 교점(20)으로 불리는 점에서 서로 직교한다. 경로(191,192,193,194)의 축은 본 명세서에서 가상 평면으로 불리는 한 평면위에 위치한다.

스트림 발생기(21)는 청정실내에서 입자들을 일정 비율로 방출하여 기류 추적용 입자 스트림을 발생시킨다. 이 입자 스트림(22)은 반지름이 극히 작은 라텍스와 같은 입자로 구성되며 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 일정하다. 상기 입자 스트림(22)은 층류 기류에 관하여 가상 교점(20)보다 바로 위에 위치한 점에서 스트림 발생기(21)의 튜브(23)를 통하여 연직 방향 아래로 방출된다.

동작시에 제2도의 장치는 제1도에 도시된 바와 같은 층류 기류내에 배치된다. 이하의 본 명세서에서 층류 기류는 연직 방향에서 볼 때 경사각 θ의 방향으로 하향하는 것으로 가정한다. 입자 스트림(22)을 구성하는 입자들은 질량이 극히 작으므로 층류 기류의 궤적을 따라 이동한다. 그러므로 스트림 발생기(21)가 연직 층류 기류 방향으로 입자들을 방출하면 연직 방향에서 본 입자 스트림(22)의 경사각은 층류 기류의 경사각 θ와 일치한다.

제3a도에는 제1동작 단계에 있는 제2도의 장치가 도시되어 있는데, 제1 평면 거울(141)은 장방형 레이저 빔(30)을 직각으로 반사시키는 제1위치에 놓여 있다. 제3a도에 도시된 바와 같이 레이저 빔은 경로(191,192,193)를 따라 전달되며 도중에 3개의 평면 거울(141,142,143)에 의해 반사된다. 층류 기류는 실질적으로 연직 방향으로 흐르며 화살표 A로 표시한 것처럼 수평 방향의 연직 방향으로부터 이탈된다. 즉, 화살표 A는 층류 기류를 추적하는 입자 스트림(22) 벡터의 수평 성분을 나타낸다. 입자 스트림(22)이 가상 교점(20)부근에서 레이저 빔(30)에 의해 조사되면 입자 스트림(22)은 레이저 빔(30)을 산란시켜 산란광(24)을 발생시켜며 이 산란광의 일부가 광검출기(15)에 의해 검출된다.

제3b도는 제2도 저면으로부터 레이저 경로(193)의 방향으로 본 입자 스트림(22) 및 장방형 레이저 빔(30)의 가상 교점(20) 부근의 도면이다. 입자 스트림(22)은 장방형 레이저 빔(30)의 상부를 가로지르며 연직 방향으로부터 이탈되어 있다. 제3a도에 도시된 제1동작 단계 후에 광학계를 장착한 제2도의 플렛폼(16)이 가상 교점(20)을 통과하는 축 둘레로 가상 평면에 평행하게 회전한다.

제2도 장치의 제2 동작 단계를 도시한 제4a도를 참조하면 경로(193)의 방향은 상기 플렛폼이 각도 φ 만큼 회전한 후 화살표 A의 방향과 일치한다. 따라서, 광 검출기(15)에 의해 검출된 산란광(24)은 최대가 된다. 즉, 플렛폼의 회전은 광 검출기(15)의 출력이 최대가 되는 회전각 φ에서 멈춘다. 제4b도는 상기 단계에서 경로(193) 방향에서 본 가상 교점(20) 부근의 입자 스트림(22)과 장방형 레이저 빔(30)을 도시한다. 입자 스트림(22)은 상기 레이저 빔(30)의 수직변인 긴 변을 따라 레이저 빔(30)의 장방형 방사 영역을 통과하여 그렇게 함으로써 최대의 산란광을 발생시킨다.

제2도 장치의 제3 동작 단계를 도시한 제5a도를 참조하면, 제1평면 거울(141)이 제2위치인 상부로 이동하면 실린더형 렌즈(13)를 통과한 장방형 레이저 빔은 경로(194)를 따라 직진하여 가상 교점(20)으로 향한다. 제5b도는 레이저 빔(30)과 입자 스트림(22)을 도시하며, 이 단계의 레이저 빔(30)은 점선으로 표시된다. 테이블(17)은 제5a도의 레이저 빔 축(18)에 수직한 화살표 방향으로 이동하거나 미끄러져 상기 레이저 빔(30)이 점선으로 표시된 위치로부터 제5b도의 실선으로 표시된 다른 위치로 이동할 수 있게 된다. 테이블(17)은 광검출기(15)의 출력이 최대가 될 때 정지한다.

제5b도에는 실선으로 표시된 장방형 레이저 빔(30)의 방사 영역 중심을 경사각 θ로 가로지르는 입자 스트림(20)이 도시되어 있으며, 이 경사각 θ는 연직선으로부터 본 층류 기류의 경사각 또는 이탈각과 같다.

계속해서 제2도 장치의 제4 동작 단계를 도시한 제6a도와 같이 실린더형 렌즈(13)는 광검출기(15)의 출력이 최대가 될 때까지 레이저 빔(30)의 축 주위를 각 θ' 만큼 회전한다. 정지 단계의 입자 스트림(22)과 레이저 빔(30)을 도시한 제6b도를 참조하면, 입자 스트림(22)은 제6a도의 각 θ' 만큼 회전된 레이저 빔(30)의 긴 변을 따라 장방형 방사 영역을 통과한다. θ'와 θ가 일치할 때 제6b도에 도시된 바와 같이 장방형 레이저 빔(30)에 의해 조사된 입자 스트림의 입자수가 최대가 되므로 상기 층류 기류의 경사각 θ는 광검출기(15)에 의해 검출된다. 그러므로, 실린더형 렌즈(13)의 회전각 θ'은 상기 실시 장치에 의해 청정실내의 층류 기류의 측정된 경사각 θ로서 출력된다.

제7도에는 본 발명의 제2실시예에 따른 기류 방향을 측정하는 다른 실시예가 도시되어 있다. 이 도면에서 제2도와 유사한 요소들은 동일 또는 유사한 참조 번호로 지정된다. 제2실시예에서는 입자 발생기(21)가 발생시킨 입자 스트림(22)의 방향을 검출하는 2세트의 광학계(10A,10B)가 제시된다.

상기 제1 과 제2 광학계(10A,10B)각각은 레이저 발진기(31,11), 콜리메이터 렌즈를 포함한 주 렌즈 세트(32,12), 실린더형 렌즈(33,13) 및 광검출기(34,15)를 구비한다. 광학계(10A,10B)의 광축(35,18)은 가상 교점(20)으로 불리는 한점에서 직각으로 교차한다.

레이저 빔(30A,30B)의 축(35,18)이 놓인 평면 역시 상기 제1실시예와 같이 가상 평면으로 불린다. 플렛폼(16)은 가상 교점(20)을 지나는 축 둘레를 가상 평면에 평행하게 회전할 수 있다. 레이저 발진기(11), 주 렌즈 세트(13), 실린더형 렌즈(13)와 광검출기(15)를 구비한 제2 광학계(10B)는 플렛폼(16)에 장착된 슬라이드 테이블(17)위에 장착되고, 이 슬라이드 테이블(17)은 제2 광학계(10B)의 축(18)에 수직한 방향으로 미끄러질 수 있다. 제2 광학계의 실린더형 렌즈(13)는 제2 광학계의 축(18) 둘레를 회전할 수 있다.

동작시에 제1 광학계(10A)의 레이저 발진기(31)가 턴온되면 레이저 빔을 발생시키며, 발생된 레이저 빔은 주 렌즈 세트(32)와 실린더형 렌즈(33)을 통과하여 제1장방형 레이저 빔(30A)을 발생시킨다. 입자 스트림(22)은 제1레이저 빔(30A)에 의해 조사되며, 이 레이저 빔은 입자 스트림(22)의 입자들에 의해 산란되어 제1 광학계(10A)의 광 검출기(34)에 의해 검출된다.

플렛폼(16)은 가상 교점(20)을 통과하는 축 둘레를 가상 평면에 평행하게 회전하고 광검출기(34)의 출력이 최대가 되는 회전각 φ에서 정지한다. 회전각 φ에서 레이저 빔(30A)의 축(35) 방향을 입자 스트림(22) 벡터의 수평성분의 방향과 일치한다.

다음에 플렛폼(16)이 회전각 φ로 유지된 상태에서 레이저 발진기(31)가 오프되고 제2레이저 발진기(11)가 턴온되어 제2레이저 빔(30B)이 입자 스트림을 조사한다. 그후 슬라이드 테이블(17)은 광검출기(15)의 출력이 최대가 되도록 제2 광학계(10B) 축(18)에 수직한 방향으로 이동한다. 이 단계에서 입자 스트림은 제2장방형 레이저 빔(30B)의 방사 영역 중심 부근을 통과한다.

그 다음 실린더형 렌즈(13)는 상기 축(18) 둘레를 회전하고 광검출기(15)의 출력이 최대가 되면 정지한다. 이 단계에서 입자 스트림은 제2장방형 레이저 빔(30B)의 방사 영역의 긴측을 따라 방사 영역을 통과함으로써 최대의 산란광을 발생시킨다. 실린더형 렌즈(13)의 회전각 θ'은 층류 기류의 측정된 경사각 θ로서 검출되어 출력된다.

상기 제2실시예는 2세트의 광학계를 제공함으로써 레이저 빔의 광로의 길이를 단축시며 레이저 빔의 손실을 감소시킬 수 있다. 이 제2실시예의 광검출기들 중에서 하나를 제외할 수도 있다.

위 실시예들은 단순히 예시적으로 기술되었기 때문에 본 발명은 그러한 실시예들에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명 분야의 당업자에게 본 발명의 기술적 사상 범위내에서 상기 실시예들에 기초한 다양한 변형이 용이하다는 것은 자명하다.

Claims

기류 방향을 측정하는 방법으로, 기류를 추적하는 입자 스트림을 따라서 그레인 크기가 거의 균일한 입자 스트림을 발생시키는 단계와, 제1축을 따라서 진행하는 수평 광빔으로 상기 입자 스트림을 조사하는 단계와, 상기 수평 광빔을 상기 제1축 및 상기 제1축에 수직인 제2수직축중 적어도 어느 한 축을 중심으로 회전시켜 입자 스트림 근방에서 통과시키는 단계와, 상기 입자 스트림에 의한 광빔의 최대 산란 강도를 제공하는 제2축 둘레의 회전각을 검출하는 단계와, 검출된 회전각에 기초하여 입자 스트림의 방향을 결정하는 단계를 포함하는 기류 방향 측정 방법.
기류 방향을 측정하는 방법으로, 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 거의 균일한 입자 스트림을 발생하도록 기류내에 입자를 방출하는 단계와, 제1장방형 방사 영역을 가진 제1 광이 제1 방향으로 상기 입자 스트림을 조사하는 단계와, 상기 제1 광이 입자 스트림을 조사하는 동안 제1평면내의 제1 광을 상기 제1 방향으로 평행하게 회전시키는 단계와, 상기 제1 광이 회전하는 동안에 상기 입자 스트림에 의해 산란된 제1 광의 산란강도가 최대에 도달할 때 상기 회전 및 조사를 정지시키는 단계와, 상기 회전이 정지된 후 제2장방형 방사 영역을 가진 제2 광을 상기 제1평면에 평행하고 상기 제1 광에 거의 수직한 방향으로 제2 광을 방사하는 단계와, 상기 제2 광에 거의 수직하고 상기 제1평면에 평행한 방향으로 상기 제2 광을 이동시키며, 상기 제2 광이 이동하는 동안 상기 입자 스트림에 의해 산란된 제2 광의 산란 강도가 최대에 도달하면 제2 광의 이동을 정지시키는 단계와, 상기 제2 광을 그 축 둘레로 회전시키며, 상기 제2 광이 회전하는 동안 상기 입자 스트림에 의해 산란된 제2 광의 산란 강도가 최대에 도달하면 제2 광의 회전을 정지시키는 단계와, 상기 제2 광의 회전에 의한 회전각을 측정하는 단계를 포함하는 기류 방향 측정 방법.
기류 방향 측정 장치로서, 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 거의 균일한 기류를 추적하는 입자 스트림을 발생시키는 수단과, 장방형 방사 영역을 가진 장방형 광을 방사하는 수단과, 상기 입자 스트림을 제1 방향으로 조사하도록 상기 장방형 광을 유도하는 제1유도 수단과, 상기 입자 스트림을 상기 제1 방향에 수직한 제2방향으로 조사하도록 장방형 광을 유도하는 제2유도 수단과, 상기 장방형 광을 그 축 둘레로 회전시키는 수단과, 입자 스트림을 조사하도록 상기 제1과 제2유도 수단중에서 하나를 선택하는 수단과, 상기 제1과 제2유도 수단중의 하나에 의하여 유도된 장방형 광이 입자 스트림에 의해 산란될 때 상기 장방형 광으로부터 발생된 산란광의 강도를 측정하는 수단을 포함하는 기류 방향 측정 장치.
제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2유도 수단을 일제히 상기 제1평면에 평행하게 회전시키는 수단을 더 구비한 기류 방향 측정 장치.
제3항에 있어서, 상기 장방형 광은 제1평면에 수직한 변들을 가지며 이 변들은 제1평면에 평행한 변들 보다 더 긴 기류 방향 측정 장치.
기류 방향 측정 장치에 있어서, 입자 스트림을 따라 그레인 크기가 거의 균일한 기류를 추적하는 입자 스트림을 발생시키는 수단과, 제1 방향으로 상기 입자 스트림을 조사하는 제1 광을 방사하는 제1방사 수단과, 제2 광의 축 둘레를 회전가능한 제2 광을 방사하여 상기 제1 방향에 수직한 제2방향으로 상기 입자 스트림을 조사하는 제2 방사 수단과, 상기 제1 또는 제2 광이 상기 입자 스트림에 의해 산란될 때 상기 제1 과 제2 광중의 하나로부터 발생된 산란광의 강도를 측정하는 수단을 구비한 기류 방향 측정 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1 및 제2방향에 의해 정의되는 평면에 평행하게 상기 제1 및 제2 방사 수단을 일제히 회전시키는 수단을 더 구비한 기류 방향 측정 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1과 제2 광 각각이 상기 제1 또는 제2 광의 축방향에서 볼 때 장방형 방사 영역을 갖는 기류 방향 측정 장치.