KR0156444B1 - 점탄성의 댐핑형 슬라이더 서스펜션 시스템 - Google Patents

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제이. 루이스 오스카
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월리암 티. 엘리스
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Abstract

자기 기록 디스크 파일에 사용되는 슬라이더 서스펜션 시스템은 액추에이터 아암과 판독/기록 슬라이더 사이에 위치되는 적층형 서스펜션으로 구성된다. 이 적층물은 구리 합금 도체층, 폴리이미드 유전체층 및 스테인레스강 보강재층으로 구성되어 있다. 랜드 영역의 패턴은 도체층에 에칭되고 점탄성의 유전체층에 대해 속박하는 영역의 역할을 한다. 속박되는 층/속박하는 층의 구성은 서스펜션 시스템에 존재하는 진동을 댐핑하게 한다.

Description

점탄성의 댐핑형 슬라이더 서스펜션 시스템
제1도는 본 발명에 따른 슬라이더 서스펜션 시스템(slider suspension system)의 평면도.
제2도는 제2도의 선 2-2를 따라 취한 슬라이더 서스펜션 시스템의 단면도.
제3도는 본 발명에 따른 슬라이더 서스펜션 시스템의 다른 실시예의 평면도.
제4도는 제3도의 선 4-4를 따라 취한 슬라이더 서스펜션 시스템의 단면도.
제5도는 본 발명에 따른 슬라이더 서스펜션 시스템을 이용하는 디스크 파일의 개략도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 슬라이더 서스펜션 시스템 14 : 슬라이더부
18 : 아암부 22 : 링크부
25 : 신호 보호선 26 : 전기선
35 : 판독/기록 슬라이더 36, 37 : 힌지
34, 40, 41, 44, 45 : 분리 영역 38 : 랜드 영역
46 : 중심선 47, 49, 51 : 축
50 : 제 1 층 54 : 제 2 층
58 : 제 3 층 148 : 제어 장치
156 : 판독/기록 채널 160 : 스핀들 제어/구동 장치
[기술 분야]
본 발명은 디스크 드라이브(disk drive)의 슬라이더용 서스펜션 시스템(a suspension system for the slider), 특히 시스템내의 다양한 진동 모드의 댐핑(damp : 진동을 흡수하여 멈추도록 하는 것을 가리킴)을 용이하게 하는 속박되는 영역(constrained areas)의 형성을 위해 적층(the laminated layers)중 한 층에 에칭된 패턴을 구비하는 적층형 서스펜션 시스템에 관한 것이다.
[종래 기술]
하나 이상의 회전 디스크 상에서 데이타를 판독 및 기록하기 위해 슬라이더에 장착된 변환기(transducer)를 이용하는 자기기록 디스크 파일(magnetic recording disk files)이 공지되어 있다. 통상적으로 이러한 시스템에서 슬라이더가 서스펜션 시스템을 통해 액추에이터 아암(actuator arm)에 부착된다.
또한, 자기 디스크 파일에서 슬라이더 서스펜션 시스템을 구성할 목적으로 적층물(laminated materials)을 사용하는 것은 공지된 기술이다. 예컨대, 1991년 2월 26일자로 어펠딩(Erpelding) 등에게 허여된 미국특허 제 4,996,623호에는 두 금속층 사이에 끼인 한 장의 폴리이미드 재료(a sheet of polyimide material)로 구성된 서스펜션 시스템이 개시되어 있다. 마찬가지로, 1988년 8월 2일자로 에인슬리(Ainslie) 등에게 허여된 미국특허 제 4,761,699호에는 적층형 서스펜션에 부착된 슬라이더가 개시되어 있다.
디스크 드라이브에서 아암과 서스펜션의 진동은 슬라이더 상의 자기기록 소자(the recording element)의 돌발적인 이상작동(nonrepeatable runout)과 같은 양호하지 않은 효과를 일으키는 것이 공지되어 있다. 이러한 진동을 감소시키는 공지된 하나의 방법은 슬라이더를 지지하는 서스펜션 시스템 내부에 점탄성 재료(viscoelastic material)를 삽입시키는 것이다. 예컨대, 1988년 7월 26일자로 팔(pal)등에게 허여된 미국특허 제 4,760,478호에는 부하 지지 부재(the load bearing member)에 고정되어 자체 진동을 댐핑하는 점탄성 재료층을 갖는 자기 헤드 지지 아암(magnetic head support arm)이 개시되어 있다.
통상 시스템의 소망하지 않는 진동문제를 해결하기 위해, 진동을 댐핑하는 속박되는 층 및 속박하는 층(a constrained layer and a constraining layer)을 이용하는 이론적인 모델이 제안되고 있다. 이 모델에 의하면 속박되는 층의 강성 및 그 길이가 전체 댐핑 효과(the effectiveness of the overall damping)에 영향을 미친다. 길이 측면에서는 여러 방법으로 적정 길이가 추정될 수 있으며, 분석적 및 실험적 방법 모두가 사용되고 있다. 예를 들면, 미국 음향학회 논문집(The Journal of the Acoustic Society of America, vol. 31(1959))에 개제된 이. 엠. 커윈(E. M Kerwin)의 속박되는 점탄성 층에 의한 굽힘 진동의 댐핑(Damping of Flexural Waves by a Constrained Viscoelastic Layer)이라는 논문에 따르면, 속박되는 층의 유효 길이는 굽힘 진동의 파장과 관계가 있는 것으로 알려지고 있다.
미국 음향학회 논문집 볼륨 48(1970)에 실린 알. 플렁켓(R. Plunkett)과 씨. 티. 리(C. T. Lee)의 속박되는 점탄성 층의 댐핑을 위한 길이 최적화라는 논문에 따르면, 속박하는 층의 유효길이는 단수 및 복수의 댐핑층에 대해 결정되는 것으로 알려지고 있다. 1990년 7월, MIT의 VLSI Memo 90-600에 개제된 에프. 마시(F. Maseeh)와 에스. 센투리아(S. Senturia)의 폴리이미드 박막의 점탄성 및 크리프의 발견(Viscoelasticity and Creep Recovery of Polyimide Thin Films) 이라는 논문에 따르면, 폴리이미드 박막의 점탄성 특성이 부여되고 그 특성값이 측정되고 있다.
그러나, 종래 기술에서는 자기 디스크 드라이브용 슬라이더 서스펜션의 소망하지 않는 진동문제를 해결할 목적으로 속박되는 층 및 속박하는 층(constrained layer constraining layer)을 사용하는 방법이 개시되지 않고 있다. 더욱이, 경자성 자기 디스크(hard magnetic disk)와 같은 정보 저장 매체(information storage media)의 트랙 밀도가 증가함에 따라 진동을 최소한으로 감소시키는 슬라이더 서스펜션 시스템에 대한 요구가 점차 증가하고 있다.
[발명의 개요]
본 발명의 양호한 실시예는 자기 기록 디스크 파일에 사용되는 슬라이더 서스펜션 시스템에 관한 것인데, 이 서스펜션 시스템은 자체에 존재하는 진동을 댐핑하도록 속박되는 층 및 속박하는 층 구조의 설계 방식을 이용하고 있다. 이 시스템은 슬라이더와 액추에이터 아암 사이에 부착하기 위한 전도층, 유전체층 및 보강재층(a stiffener layer)으로 구성되는 적층형 서스펜션을 포함하고 있다. 여기서 유전체층은 점탄성을 나타내는 폴리이미드같은 재료로 이루어지며 보강재층에서 발생하는 진동을 댐핑하는 속박되는 층의 역할을 한다. 전도층은 유전체층에 대해 속박하는 영역의 역할을 하는 랜드 영역의 패턴(a pattern of land areas)을 포함하고 있다.
본 발명의 다른 실시예에서는 V자형의 텅(a tongue)이 전도층 및 보강재층에 형성되어 있다. 이 텅은 폴리이미드 유전체층으로 하여금 신장력 및 전단 응력을 받게 함으로써 서스펜션 시스템에 의해 발생된 구부림 및 비틀림 모드의 진동을 댐핑하게 한다.
[양호한 실시예의 설명]
제1도는 슬라이더 서스펜션 시스템(10)의 평면도이다. 시스템(10)은 슬라이더부(14), 아암부(18) 및 링크부(22; 로드 비임(load beam)이라고도 함)를 구비한다. 그리고, 다수의 신호 보호선(25; guard line) 및 전기선(26; electrical line)이 시스템(10)의 표면(30)에 존재한다. 각 전기선(26)에는 그 각각의 옆을 따라 위치되는 분리 영역(34; a space)이 있어서 전기선(26)이 인접 전기선(26)이나 보호선(25)과의 단락을 일으키는 것을 방지하게 된다. 마찬가지로 각 신호 보호선(25)에는 그 각각의 옆을 따라 위치되는 분리 영역(34)이 있어서 보호선(25)이 인접 전기선(26)이나 보호선(25)과의 단락을 일으키는 것을 방지하게 된다. 이 신호 보호선(25)은 소망하지 않는 전기 신호를 디스크 파일의 접지 회로(the ground circuit)에 운반하는 역할을 한다. 이들 소망하지 않는 전기 신호는 외부 환경으로부터의 공전 전자기장(stray electromagnetic field)에 의해 발생된다.
구획의 부분들(14, 18, 22)은 시스템(10) 영역을 나타내는데, 이 시스템(10)은 제2도를 참조로 후술되는 바와 같이 연속 적층물(one continuous piece of laminated material)로 형성되어 있다.
슬라이더부(14)는 시스템(10)의 일부이며 그 위에 판독/기록 슬라이더(35)가 장착되어 있다. 판독/기록 슬라이더(35)는 경자성 자기 디스크 같은 매체 상의 데이타를 판독 및 기록하는 변환기를 포함하고 있다. 전기선(26)은 제5도를 참조로 후술되는 바와 같이 슬라이더(35)를 외부 시스템에 접속하기 위한 전기접속을 형성하는데 사용된다.
아암부(18)는 제5도에 도시되어 있는 아암(136)과 같은 액추에이터 아암에 접속되는 시스템(10)의 일부이다. 통상적으로 아암부(18)는 제2도에 도시되어 있는 제 1층(50)을 따라 아암부(18)를 액추에이터 아암에 결합함으로써 액추에이터 아암에 부착된다.
한 쌍의 힌지(36; a pair of hinges)가 아암부(18)와 링크부(22) 사이에 형성되어 있다. 마찬가지로 힌지(37)가 슬라이더부(14)에 인접한 링크부(22)의 단부에 형성되어 있다.
링크부(22)는 얼룩말 무늬(zebra pattern)로 일컬어지는 패턴으로 표면(30)상에 위치된 다수의 랜드 영역(38) 및 다수의 분리 영역(40, 41)을 포함하고 있다. 각 랜드 영역(38)은 하나의 분리 영역(40)에 의해 각 인접 랜드 영역과 분리되어 있다. 분리 영역(41)은 분리 영역(40)으로 둘러싸여 있지 않은 랜드 영역(38)의 각 측면을 따라 랜드 영역(38)에 접하게 된다. 이로써 각 랜드 영역(38)은 분리 영역(40)과 분리 영역(41)의 조합으로 완전히 둘러싸이게 된다.
랜드 영역(38)의 형상은 그다지 중요한 사항은 아니지만, 통상적으로 각 랜드 영역(38)은 폐쇄된 다변 영역이다. 제1도에 도시된 바와 같이, 랜드 영역(38)의 측면의 일부는 곡선을 이룰 수도 있다. 또한, 원형, 다각형, 정사각형, 사각형 및 사다리꼴과 같은 다른 형상도 사용될 수 있다.
제 2 세트의 랜드 영역(43)과 분리 영역(44, 45)이 시스템(10)의 길이 방향축을 따라 위치되는 중심선(46) 주위에 형성되어 있다. 각 랜드 영역(43)은 폐쇄된 다변 영역으로서 하나의 분리 영역(44)에 의해 각 인접 랜드 영역(43)과 분리되어 있다. 분리 영역(45)은 분리 영역(44)으로 둘러싸여 있지 않은 랜드 영역(43)의 각 측면을 따라 랜드 영역(43)에 접하게 된다. 이로써 각 랜드 영역(43)은 분리 영역(44 및 45)의 조합으로 완전히 둘러싸이게 된다.
양호한 실시예에서는 일부의 랜드 영역(38: 제1도에서 a 표시가 붙음)이 앵커 사이트(36; anchor site) 근처를 지나며 둘 이상의 랜드 영역(38(a))을 분할하는 축(47) 주위에 형성되어 있다. 각 랜드 영역(38(a))은 다변 영역으로서 축(47)에 대해 약각 휘며 분리 영역(40 또는 41)에 의해 전면이 둘러싸여 있다. 랜드 영역(38(a))의 폭은 인접 랜드 영역(38: 즉, 축(47)의 방향으로)을 수직으로 분할하는 선을 따라 측정된 것으로서 c로 표기하였다. 또한, 양호한 실시예에서는 하나의 분리 영역(41)이 시스템(10)의 가장자리(48)를 따라 이어진다. 분리 영역(40)은 가장자리(48)를 따라 이어지는 분리 영역(41)과 교차된다. 축(49)은 두개의 힌지(36)를 통해 연장되고 중심선(46)에 수직하며, 축(51)은 중심선(46)에 수직인 힌지(37)를 통과해서 이어진다.
제2도는 시스템(10)이 제 1층(50), 제 2층(54) 및 제 3층(58)으로 구성되는 적층 구조체(a laminated structure)임을 도시하는 슬라이더 서스펜션 시스템(10)의 단면도이다. 제 1층(50)은 제 2층(54)의 한 면에 인접 위치된다. 제 3층(58)은 제 2층(54)이 제 1층(50)과 제 3층(58)을 분리시키도록 제 2층(54)의 다른 면에 인접 위치된다. 이로써 세 층은 서로 평행한 평면에 놓여있다.
제2도에 도시된 바와 같이, 랜드 영역(38)은 단면으로 보아 거의 직사각형인 제 3층(58)의 영역들이고, 이 영역들은 분리 영역(40)에 의해 인접 랜드 영역(38)과 분리된다. 분리 영역(40)은 제 2층(54)이 분리 영역(40)을 통해 노출되도록 제 2층(54)에 대해 아래로 연장한다.
제1도와 제2도에 도시된 여러 구성요소의 대표적인 크기 및 구성물은 다음과 같다. 분리 영역(40, 44)의 폭 b는 약 0.05 내지 0.1 밀리미터이다. 랜드 영역(38, 43)의 폭 c는 약 0.4 밀리미터이다. 제 1층(50)은 두께 w가 약 0.051 밀리미터이고 스테인레스강(stainless steel)과 같은 강성 재료(a rigid material)로 구성된다. 제 2층(54)은 두께 x가 약 0.006 밀리미터이고 폴리이미드 같은 점탄성 유전체 재료로 구성된다. 제 3층(58)은 두께 y가 0.0127 밀리미터이고 고강도 벨릴륨 동 합금 같은 전도 재료로 구성된다.
상술된 값들은 랜드 영역(38, 43) 및 분리 영역(40, 41, 44, 45)의 특정 형상(패턴)과 층들(50, 54, 58)에 사용된 재료에 따라 달라질 수 있다. 다른 시스템에서는 다른 값들이 사용됨을 의미한다.
랜드 영역(38, 43)과 전기선(26)과 신호 보호선(25)은 표준 금속 에칭 기법을 사용하여 표면(30)을 에칭함으로써 형성된다. 예컨대 제 3층(58)이 베릴륨 동합금으로 구성되는 경우, 이 층(58)은 염화제이철로 에칭된다. 에칭 공정은 특정 영역으로부터 금속을 제거함으로써 전기선(26)과, 신호 보호선(25)과, 랜드 영역(38, 43)을 한정하는 분리 영역(34, 40, 41, 44, 45)이 형성되게 된다.
이들 분리 영역(34, 40, 41, 44, 45)에 대해, 제 3층(58)으로부터의 금속은 이들 분리 영역(34, 40, 41, 44, 45)을 통해서 노출되는 제 2층(54)을 남기는 에칭 공정에 의해 완전히 제거된다. 실시에 있어서는, 통상의 화학 에칭 공정은 분리 영역(40)으로서 제2도에 도시된 완전한 직사각형 형상을 갖는 홈을 형성할 수 없다. 화학 에칭 공정에 의해 형성된 실제의 홈은 본 기술분야에 공지된 바와 같이 약간 둥글거나 테이퍼져 있다.
양호한 실시예에서, 제 1, 제 2 및 제 3층(50, 54, 58)은 베릴륨 동/폴리이미드/스테인레스강 적층판(beryllium copper/polyimide/stainless steel laminate)의 적층재의 연속적인 시트(sheet)를 포함한다. 그 후, 다수의 슬라이더 서스펜션 시스템(10)이 상기 적층 시트(적층체)로부터 제작된다. 금속-폴리이미드막 적층체의 형성이 클레어(Clair) 등에게 허여된 미국특허 제 4,543,295호(1985년 9월 24일)에 개시되어 있다.
제3도는 슬라이더 서스펜션 시스템(70)의 다른 실시예의 평면도이다. 시스템(70)은 슬라이더부(74), 아암부(78) 및 링크부(82)를 구비한다. 다수의 전기선(86) 및 신호 보호선(87)이 시스템의 표면(90)에 존재한다. 각 전기선(86)은 전기선(86)이 인접 전기선(86)이나 보호선(87)과 단락되는 것을 방지하기 위한 분리 영역(94)에 의해 각각의 인접 전기선 또는 보호선(87)으로부터 분리되어 있다. 마찬가지로, 각 신호 보호선(87)은 그 옆을 따라 각각 위치되어 있는 분리 영역(94)을 갖고 있어서 보호선(87)이 인접 전기선(86)이나 보호선(87)과 단락되는 것을 방지한다. 길이 L인 V자형의 텅(98)은 텅(98) 주변 둘레에서 V자형 채널(102; a V-shaped channel)을 절단함으로써 표면(90)에 형성된다.
제4도는 시스템(70)이 제 1층(106), 제 2층(110) 및 제 3층(114)으로 구성되는 적층 구조체임을 도시하는 슬라이더 서스펜션 시스템(70)의 단면도이다. 제 1층(106)은 제 2층(110)의 표면에 위치되고, 제 3층(114)은 제 2층(110)이 제 1층(106)과 제 3층(114)을 분리하도록 제 2층(110)의 다른 표면에 형성되며, 모든 층(106, 110, 114)이 서로 평행한 평면에 위치된다.
제4도에 도시된 바와 같이, 채널(102)은 텅(tongue ; 98) 주위의 영역이며, 여기서 제 3층(114)은 제 2층(110)이 노출되도록 제거되어 있다. 또한, 채널(102) 바로 아래의 제 1층(106)의 일부는 제 2층(110)이 노출되고 테이퍼진 채널(118; a tapered channel)을 형성하도록 제거되어 있다. 따라서, 제 2층(110)은 채널(102)의 양측으로 노출된 상태이다. 채널(118)은 텅(98)의 주위 전면에서 채널(102)의 형상에 준하며 따라서 역시 채널(102)의 V자형을 취한다.
제3도 및 제4도에 도시되어 있는 여러 구성 요소의 대표적인 규격 및 구성물은 다음과 같다. 채널(102)의 폭 f와 길이 L은 각각 약 0.4 밀리미터, 6.3 밀리미터이다. 층(106, 110, 114)은 층(50, 54, 58)과 유사하고 동일 규격 및 구성물을 가짐으로써 제 1층(106)은 두께 g가 약 0.051 밀리미터이고 스테인레스강류의 강성 재료로 구성된다. 제 2층(110)은 두께 h가 약 0.006 밀리미터이고, 폴리이미드류의 점탄성 유전체 재료를 포함한다. 그리고, 제 3층(114)은 두께 k가 약 0.0127 밀리미터이고 베릴륨 동 합금 같은 도전성 재료로 구성된다.
상기 값들은 텅(98; tongue)과 채널(102, 118)의 특정 형상 및 층(106, 110, 114)에 사용되는 재료에 따라 다르다는 것을 이해하여야 한다. 다른 시스템의 경우에는 다른 값들이 사용된다.
텅(98)과 전기선(86)과 보호선(87)은 서스펜션 시스템(10)에 관하여 설명한 바와 같이 표면(90)을 표준 금속 에칭 기법을 사용하여 에칭함으로써 형성된다. 에칭 공정은 특정 영역으로부터 금속을 제거함으로써 전기선(86), 보호선(87) 및 텅(98)을 한정하는 분리 영역(94)과 채널(102)을 형성한다.
분리 영역(94)과 채널(102)에 대해, 제 3층(114)으로부터의 금속은 분리 영역(94) 또는 채널(102)을 통해서 제 2층(110)을 노출시키는 에칭 공정에 의해 완전히 제거된다. 또한 채널(118)은 화학 에칭에 의해 형성된다. 채널(118)은 에칭 공정으로 인해 테이퍼진 형상(즉, 제 2 층(110)에 인접한 것보다 그 하부가 더 넓다)을 갖는다. 층(106)과 같은 두꺼운 금속층이 에칭될 때, 그 결과로 형성되는 홈은 통상적으로 약간 테이퍼진 형상을 취한다.
제5도는 본 발명의 슬라이더 서스펜션 시스템(10 또는 70)을 이용하는 자기기록 디스크 파일(120)의 개략도이다. 서스펜션 시스템(10, 70)은 또한 플로피 디스크 드라이브(floppy disk drives), 광 드라이브(optical drives) 또는 콤팩트 디스크 플레이어(compact disk players) 등과 같은 진동 최소화 변환기 서스펜션 시스템(a vibration minimizing transducer suspension system)을 필요로 하는 다른 데이타 저장 시스템과 함께 사용될 수 있음을 이해하여야 한다.
디스크 파일(120)은 하드 디스크 드라이브(hard disk drives)에 사용하기에 적합한 다수의 자기 기록 디스크(124)를 포함한다. 디스크(124)는 스핀들 모터(130)에 접속되는 스핀들 축(128; spindle shaft)에 장착된다. 모터(130)는 섀시(131; a chassis)에 장착된다.
다수의 판독/기록 슬라이더(35)가 디스크(124) 상에 위치됨으로써 각 디스크(124)는 슬라이더(35)중 하나에 의해 접근될 수 있게 된다. 각 슬라이더(35)는 디스크(124)상의 다수의 동심 데이타 트랙에 있는 판독 및 기록 데이타용 변환기를 포함하며 서스펜션 시스템(10 또는 70)중 하나에 부착된다. 각 서스펜션 시스템(10 또는 70)은 회전식 액추에이터(140; a rotary actuator)에 부착되는 액추에이터 아암(136)에 연결되어 있다. 회전식 액추에이터(140)는 액추에이터 아암(136)(따라서, 서스펜션 시스템(10 또는 70) 및 슬라이더(35))을 디스크(124)를 횡단하는 반경 방향으로 이동시킨다. 제5도에 점선으로 둘러싸는 부분(144)은 디스크 파일(120)을 밀봉하며 미립자 오염을 방지하는 역할을 한다.
제어 장치(148; a controller unit)의 역할은 시스템(120) 전체를 제어하는 것이다. 제어 장치(148)는 중앙 처리 장치(CPU), 기억 장치 및 다른 디지탈 회로를 포함하며, 액추에이터(140)에 전기적으로 접속되는 액추에이터 제어/구동 장치(152)에 접속된다. 이는 제어 장치(148)로 하여금 디스크(124)상에서 슬라이더의 운동을 제어하게 한다. 제어 장치(148)는 판독/기록 채널(156)에, 판독/기록 채널(156)은 슬라이더(35)에 각각 전기적으로 접속된다. 이로 인해 제어 장치(148)는 디스크(124)로부터의 데이타를 송수신할 수 있다. 제어 장치(148)는 스핀들 제어/구동 장치(160)에, 스핀들 제어/구동 장치(160)는 스핀들 모터(130)에 전기적으로 접속된다. 이로 인해 제어 장치(148)는 디스크(124)의 회전을 제어할 수 있다. 통상 컴퓨터 시스템인 호스트 시스템(164; a host system)은 제어 장치(148)에 전기적으로 접속된다. 호스트 시스템(164)은 디지탈 데이타를 디스크(124)에 저장하기 위해 제어 장치(148)로 전송하거나 디스크(124)로부터 판독해서 시스템(164)으로 전송하도록 요청할 수 있다. 디스크 파일(120 ; 서스펜션 시스템(10 또는 70)이 없는)과 같은 자기 저장 시스템의 기본 동작과 구조는 맥그로힐 북 캄파니(McGraw-Hill Book Company(1990))에서 발행된 씨. 데니스 미(C. Dennis Mee)와 에릭 디. 다니엘(Eric D. Daniel)의 자기기록 핸드북(Magnetic Recording Handbook)에 공지되어 있다.
본 발명에서 제안된 문제는 제5도를 참조로 설명된다. 디스크 파일(120)에서 아암(136) 및 서스펜션 시스템(10 또는 70)의 진동은 슬라이더(35)에서 자기기록 소자의 돌발적인 이상 작동(NRRO)을 초래하는 양호하지 않은 결과를 발생시킨다. 이러한 결과로 인해 디스크 파일(120)의 트랙 밀도 및 용량은 제한된다.
디스크 파일(120)에 있어서, 아암(136) 및 서스펜션 시스템(10)의 진동은 디스크 스핀들(128)의 진동, 액추에이터(140)의 운동, 그리고, 특히 폐쇄체(144; the enclosure) 내부의 공기 흐름에 의해 야기된다. 진동의 진폭, 즉 NRRO의 진폭은 여기도(the degree of excitation)에 비례한다. 게다가, 여기원(the excitation source)의 진동수 특성도 중요하다. 여기 진동수가 서스펜션 조립체의 고유 진동수에 근접하면 진동의 진폭은 댐핑량에 역비례하게 된다. 즉, 구동 진동수가 그 고유 진동수에 근접하면 특정 모드에서 매우 작은 댐핑량을 갖는 시스템은 진폭이 커지게 되는 것이다. 통상 서스펜션(10 또는 70)은 공기 흐름으로 인해 모든 종류의 진동수를 야기시킨다. 그래서 NRRO를 낮추기 위해서는 NRRO를 빈번하게 발생시키는 모드에서 특히 댐핑 특성을 높이는 것이 필요하다. 또한 높은 고유 진동수와 강성을 가지게 하며, 서스펜션과 슬라이더 작동 사이의 결합도를 낮춰서 여기원에 대해 저민감성을 가지도록 설계하는 것이 필요하다.
다시 제1도 및 제2도를 참고로 해서 본 발명에 따른 양호한 실시예의 기능을 설명한다. 서스펜션 시스템(10)은 3개의 층(50, 54 및 58)으로 구성된다. 제 1층(50)은 시스템(10)에 강성을 부여하는 보강재층이며 댐핑될 필요가 있는 구조체이다. 제 2층(54)은 제 3층(58)에 의해 속박되는 층이다. 제 2층(54)은 제 1층(50)과 제 3층(58) 사이에서 전기 절연체의 역할을 하며 점탄성 특성을 갖는 폴리이미드 유전체 재료로 구성된다. 점탄성이라는 것은 변형된 재료에 가해지는 응력이 변형량과 변형률 모두에 비례하는 것을 의미한다. 또한 점탄성 재료에도 크리프 및 이완 작용(creep and relaxation behavior)이 있다. 크리프라는 것은 일정 응력하에서 변형량이 시간에 따라 증가하는 것을 의미한다. 이완이라는 것은 일정 변형하에서 응력이 시간에 따라 점차 감소하는 것을 의미한다.
제 3층(58)은 베릴륨 구리 등의 고강도 동합금과 같은 전도 재료로 구성된다. 제 3층(58)는 양호하게는 구리로 구성되는데, 이는 전기선(26)이 효율적인 전기 전도체로서의 역할을 하는데 필요하기 때문이다. 합금은 양호하게는 고강도를 가져야 하는데, 이는 높은 계수(high modulus)가 고강성을 제공함으로써 스트레인 에너지(strain energy)를 제 2층(54)에 전달하는 속박하는 층의 능력을 향상시키기 때문이다. 또한, 힌지(36, 37)는 슬라이더(35)에 가해진 예비 부하(the preload)를 전달하며 따라서 고응력을 받는다. 게다가, 이러한 합금은 예비부하가 존재하는 응력하에서 더욱 안정하다.
랜드 영역(38, 43)과 분리 영역(40, 41, 44, 45)의 패턴은 제 2층(54)으로 하여금 전단 응력을 받게 하는 영역을 제공함으로써 서스펜션 시스템(10)의 굽힘모드를 댐핑하는 작용을 한다. 서스펜션 시스템(10)이 굽힘 진동을 받을 때, 제 1층(50)의 재료는 주기적인 변형을 받는다. 제 2층(54)이 제 1층(50)에 결합되므로 이 변형은 제 2층(54)으로 구성되는 재료의 하면에 전달된다.
제 2층(54)이 랜드 영역(38)에 의해 덮여지는 영역에서, 제 2층(54)의 상면은 랜드 영역(38)의 강성이 허용하는 것을 넘는 변형이 일어나지 않도록 속박된다. 따라서 층(54)은 그 두께를 횡단하는 전단 응력을 받는다. 층(54) 내부의 이러한 전단 응력의 활동은 시스템의 에너지를 흡수함으로써 서스펜션 시스템의 지정된 활동에 따른 진동을 댐핑하게 한다.
분리 영역(40, 44)은 랜드 영역(38, 43)의 폭 c를 최적값으로 유지하는 역할을 한다. 예를 들어, 분리 영역(40, 44)이 존재하지 않으면 폭 c는 커지고 각 랜드 영역(38, 43)은 너무 탄력적이어서 속박하는 층으로서의 역할을 효율적으로 수행할 수 없게 된다. 반면에, 랜드 영역(38, 43)의 폭 c가 너무 좁으면 이들 랜드 영역에 의해 덮여지는 영역이 작아지게 돼서 속박하는 효과가 나타나지 않는다. 어느 경우에도 댐핑 효과가 적게 나타난다. 기본적으로, 분리 영역(40)의 폭 b는 인접한 랜드 영역(38) 사이의 분리가 확실하게 유지되는 한 되도록 작은 값이 선택된다.
제1도에 도시된 랜드 영역(38)의 얼룩말 무늬는 서스펜션 시스템(10)의 굽힘 및 비틀림 모드에 따른 진동을 댐핑하는데 그 목적이 있다. 이들 모드에 따른 진동을 댐핑하기 위해서 랜드 영역(38)의 일부는 랜드 영역(38)의 만곡부에 수직하게 연장되면 힌지(36)중 하나에 근접하게 통과하는 축(47) 주위에 위치된다. 이러한 방향성으로 인해 랜드 영역의 폭 c는 최대 변형량에 대해 최적화된 값을 갖게 된다.
랜드 영역(38, 43)에서 폭 c는 댐핑 효과를 최대화하도록 최적화된다. 폭 c가 너무 크면 랜드 영역(38)은 제 2층(54)에 의해 신장된다. 반면, 폭 c가 너무 작으면 제 2층(54)의 대부분은 거의 속박되지 않는다. 이들 어느 경우에 있어서도 얻어지는 댐핑량은 폭 c의 최적화된 값에 의해 얻어지는 댐핑량보다 더 적어진다.
폭 c의 최적값에 근접한 값을 결정하는 기술은 아래의 방정식(1)을 이용한다. 여기서, Es=구리의 탄성계수=1.279×108; E₁=폴리이미드의 점성계수=1.2×106; x=제 2층의 두께=0.006㎜ ; y=제 3층의 폭=0.0127㎜ ; 그리고 ν=폴리이미드의 프와송 계수(poisson modulus)=0.34이다.
일단 폭 c의 근사값이 계산되면, 폭 c는 기본 시스템(10)을 구성하고 여러 구성에 대해 얻어진 댐핑량을 측정함으로써 최적화될 수 있다. 일반적으로 폭 c는 0.1 내지 0.8㎜의 범위에 있다.
제1도 및 제5도를 참고하면, 한 쌍의 힌지(36)가 아암부(18)와 링크부(22)사이에 형성되어서 링크부(22)로 하여금 축(49) 주위에 피봇식으로 연결되게 하며, 슬라이더(35)와 슬라이더부(14)가 슬라이더(35)와 디스크(124) 사이에서 비행높이를 교란하지 않으면서 디스크의 이상작동을 엄밀히 추적하게 한다. 힌지(36)는 제 3층(58)의 일부로서 슬라이더(35) 상에 예비부하를 발생시키기 위해 축(49)을 따라 위치된다. 이 예비부하는 디스크(124)에 다가서도록 슬라이더를 가압하며 디스크(124)로부터 슬라이더(35)를 분리시키려는 디스크 스핀들(128)의 회전에 의해 발생된 공기 베어링력으로 균형잡히게 된다. 힌지(36)와 아암부(18)와 링크부(22) 사이에 위치되어 있는 전기선(26)과 보호선(25)의 일부는 충분한 가요성이어서 이들은 힌지의 각도에 영향을 주지 않는다. 게다가, 축(49) 주위의 링크부(22)의 굽힘 강도는 힌지에 의해 대부분 결정된다.
힌지(37)는 슬라이더부(14)를 축(46) 주위로 피치시키고, 축(51) 주위에서 흔들리게 한다. 힌지(37)의 양면 상에, 그리고 링크부(22)와 슬라이더부(14) 사이에 위치되는 전기선(26) 및 보호선(25)의 일부는 충분한 가요성이어서 축(46, 51)주위의 슬라이더부(14)의 굽힘 정도를 강화시킨다. 이 굽힘의 정도는 대부분 힌지(37)의 강도에 의존한다. 힌지(36, 37)의 길이와 폭은 굽힘 정도와 해당 평면으로 부터의 변위 측면에서 적정 강도를 가지도록 슬라이더부를 제공하기 위해 적절하게 선택된다. 또한 힌지의 길이와 폭은 슬라이더(35)를 소망하는 비행높이로 비행시키며 가능한 한 그 높이를 일정하게 하도록 선택된다. 서스펜션의 동적 반응과 고유 진동수도 힌지의 강도에 의해 결정된다.
제3도 및 제4도를 참고로 해서 다른 실시예의 기능이 설명된다. 디스크 드라이브의 작동시 서스펜션 시스템(70)의 굽힘 및 비틀림 모드는 시스템으로 하여금 구부러지고 비틀리게 한다. 그러나, 텅(98)은 그 형상으로 인해 위의 동작중에 비교적 평평하게 남아있게 되며, 이로써 텅(98)의 아래에 위치하는 제 2층(110)의 일부가 신장력과 전단 응력을 받게 된다. 넓은 폭 f가 더 큰 신장력을 만들어내는 반면 좁은 폭 f는 제 2층(110)에서 전단 응력을 받는다.
길이 L에 대한 최적값에 근사한 값을 결정하는 기술은 아래의 방정식(2)를 이용한다. 여기서 f=0.4㎜이다.
일단, 길이 L에 대한 근사값이 계산되면, L은 기본 시스템(70)을 구성하고 최적값을 산출하기 위해 여러 구성에 대해 얻어진 댐핑량을 측정함으로써 최적화될 수 있다. 일반적으로, 길이 L이 짧으면 댐핑량이 적어지지만 길이 L이 길면 서스펜션 시스템(70)의 동적 움직임을 열화시킨다.
텅(98)은 V자형이 선택되는데, 이는 텅(98)에 최대 강도를 주면서 서스펜션 시스템(70)의 강도 약화를 최소화시키기 위함이다. 텅(98)과 서스펜션 시스템(70)의 최대 강도는 각 요소가 가능한 최대 넓이의 베이스를 구비할 때 달성된다.
지금까지 본 발명이 양호한 실시예를 통해 설명되었지만 본 발명을 제한하는 것은 아니다. 이 분야의 기술자들은 위의 설명을 토대로 여러 변경 및 수정이 가능하다는 것을 명백히 인식할 것이다. 따라서, 첨부되는 특허청구의 범위는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 모든 변경 및 수정을 포함하는 것으로 이해된다.

Claims (15)

  1. 데이타 변환기를 지지하는 서스펜션 시스템(a suspension system)에 있어서,① 금속을 포함하는 제 1층과, 상기 제 1층위에 위치한 유전체 재료를 포함하는 제 2층과, 상기 제 2층위에 위치한 도전 재료를 포함하는 제 3층을 포함하는 적층부(a laminated section)와, ② 상기 적층부의 상기 제 3층에 사변형 영역으로 구성되는 제 1 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 1 랜드 영역은 제 1 랜드 영역의 두 대향 측면사이의 폭이 c이며, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 1 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 1 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 1영역을 속박함-, ③ 상기 적층부의 상기 제 3층에 사변형 영역으로 구성되는 제 2 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 2 랜드 영역은 제 2 랜드 영역의 두 대향 측면사이의 폭이 d이며, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 2 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 2 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 2 영역을 속박함-, ④ 상기 적층부의 상기 제 3층에 사변형 영역으로 구성되는 제 3 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 3 랜드 영역은 제 3 랜드 영역의 두 대향 측면사이의 폭이 e이며, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 3 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 3 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 3 영역을 속박하고, 상기 폭 c, 폭 d 및, 폭 e는 모두 상기 제 1, 제 2 및, 제 3 랜드 영역과 교차하는 직선과 평행하게 놓여지며 -, ⑤ 상기 제 1 영역을 속박하는 상기 제 1 랜드 영역의 성능을 증가시키도록 상기 제 1 랜드 영역을 완전히 둘러싸고 상기 제 1 랜드 영역을 상기 제 3층의 어떤 다른 부분으로부터도 분리하는 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 1 채널과, ⑥ 상기 제 2 영역을 속박하는 상기 제 2 랜드 영역의 성능을 증가시키도록 상기 제 2 랜드 영역을 완전히 둘러싸고 상기 제 2 랜드 영역을 상기 제 3층의 어떤 다른 부분으로부터도 분리하는 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 2채널과, ⑦ 상기 제 3 영역을 속박하는 상기 제 3 랜드 영역의 성능을 증가시키도록 상기 제 3 랜드 영역을 완전히 둘러싸고 상기 제 3 랜드 영역을 상기 제 3층의 어떤 다른 부분으로부터도 분리하는 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 3 채널을 포함하는, 서스펜션 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및, 제 3 랜드 영역 각각은 상기 제 3층의 고형 영역을 포함하는 서스펜션 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 폭 c, 폭 d 및, 폭 e는 각각 근사적으로 0.1 내지 0.8 밀리미터 범위인 서스펜션 시스템.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 1층은 스테인레스강을 포함하고, 상기 제 2층은 폴리이미드를 포함하며, 상기 제 3층은 구리 합금을 포함하는 서스펜션 시스템.
  5. 디스크 드라이브(a disk drive)에서 판독/기록 변환기를 지지하는 서스펜션 시스템에 있어서, ① 금속을 포함하는 제 1층과, 상기 제 1층위에 위치한 유전체 재료를 포함하는 제 2층과, 상기 제 2층위에 위치한 도전 재료를 포함하는 제 3층을 포함하는 적층부와, ② 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 1 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 1 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 c를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 1 랜드 영역 바로 아래 위치한 상기 제 2층의 제 1 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 1 영역을 속박함 -, ③ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 2 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 2 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 d를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 2 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 2 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 2 영역을 속박함 -, ④ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 3 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 3 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 e를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 3 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 3 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 3 영역을 속박함 -, ⑤ 상기 적층부의 상기 제 1 랜드 영역과 상기 제 2 랜드 영역을 분리하고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 1 채널과, ⑥ 상기 적층부의 상기 제 2 랜드 영역과 상기 제 3 랜드 영역을 분리하고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 2 채널을 포함하되, 상기 제 2 랜드 영역의 폭 d는 상기 제 1 채널에서 상기 제 2 채널까지 연장하며, ⑦ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역의 제 1 엣지와 상기 제 2 랜드 영역의 제 1 엣지와 상기 제 3 랜드 영역의 제 1 엣지에 인접하게 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 채널과 교차하고 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 3 채널과, ⑧ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역의 제 2 엣지와 상기 제 2 랜드 영역의 제 2 엣지와 상기 제 3 랜드 영역의 제 2 엣지에 인접하게 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 채널과 교차하고 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 4 채널과, ⑨ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역을 상기 제 3층의 다른 어떤 부분으로부터도 분리하며, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 5 채널을 포함하되, 상기 제 1 랜드 영역의 폭 c는 상기 폭 d와 평행한 방향으로 상기 제 1 랜드 영역을 가로질러 연장하며, ⑩ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3 랜드 영역을 상기 제 3층의 다른 어떤 부분으로부터도 분리하며, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 6 채널을 포함하되, 상기 제 3 랜드 영역의 폭 e는 상기 폭 d와 평행한 방향으로 상기 제 3 랜드 영역을 가로질러 연장하는, 서스펜션 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제 3층은 구리 합금을 포함하고, 상기 제 2층은 폴리이미드를 포함하며, 상기 제 1층은 스테인레스강을 포함하는 서스펜션 시스템.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 폭 c, 폭 d 및, 폭 e는 굽힘 또는 비틀림 모드의 축과 평행하게 위치한 서스펜션 시스템.
  8. 디스크 드라이브에서 판독/기록 슬라이더(a read/write slider)를 지지하는 서스펜션 시스템에 있어서, ① 금속을 포함하는 제 1층과, 상기 제 1층위에 위치한 유전체 재료를 포함하는 제 2층과, 상기 제 2층위에 위치한 도전 재료를 포함하는 제 3층을 포함하는 적층부와, ② 상기 적층부의 제 1 단부에 부착된 판독/기록 슬라이더와, ③ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 1 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 1 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 c를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 1 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 1 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 1 영역을 속박함 -, ④ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 2 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 2 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 d를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 2 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 2 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 2 영역을 속박함 -, ⑤ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 다수의 분리 영역에 의해 모든 면이 둘러싸인 상기 제 3층의 다변 영역을 포함하는 제 3 랜드 영역과 - 여기서, 상기 제 3 랜드 영역은 0.3 내지 0.8 밀리미터 범위의 폭 e를 갖고, 상기 제 2층에서의 변형력에 대항하여 제 3 랜드 영역 바로 아래에 위치한 상기 제 2층의 제 3 영역에서 전단 응력이 발생하도록 상기 제 3 영역을 속박함 -, ⑥ 상기 적층부의 상기 제 1 랜드 영역과 제 2 랜드 영역을 분리하고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 1 채널과, ⑦ 상기 적층부의 상기 제 2 랜드 영역과 제 3 랜드 영역을 분리하고, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 2 채널을 포함하되, 상기 제 2 랜드 영역의 폭 d는 상기 제 1 채널에서 상기 제 2 채널까지 연장되며, ⑧ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역의 제 1 엣지와 상기 제 2 랜드 영역의 제 1 엣지와 상기 제 3 랜드 영역의 제 1 엣지에 인접하게 배치되며, 상기 제 1 채널 및 제 2 채널과 교차하고 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 3 채널과, ⑨ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역의 제 2 엣지와 상기 제 2 랜드 영역의 제 2 엣지와 상기 제 3 랜드 영역의 제 2 엣지에 인접하게 배치되며, 상기 제 1 채널 및 제 2 채널과 교차하고 상기 제 3층을 통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 4 채널과, ⑩ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 1 랜드 영역을 상기 제 3층의 다른 어떤 부분으로부터도 분리하며, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 5 채널을 포함하되, 상기 제 1 랜드 영역의 폭 c는 상기 폭 d와 평행한 방향으로 상기 제 1 랜드 영역을 가로질러 연장하며, ⑪ 상기 적층부에 형성되고, 상기 제 3 랜드 영역을 상기 제 3층의 다른 어떤 부분으로부터도 분리하며, 상기 제 3층을 관통해 연장하여 상기 제 2층을 노출시키는 제 6 채널을 포함하되, 상기 제 3 랜드 영역의 폭 e는 상기 폭 d와 평행한 방향으로 제 3 랜드 영역을 가로질러 연장하는, 서스펜션 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제 1층은 스테인레스강을 포함하고, 상기 제 2층은 폴리이미드를 포함하며, 상기 제 3층은 구리 합금을 포함하는 서스펜션 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및, 제 3 랜드 영역은 각각 상기 제 3층의 고형 영역을 포함하는 서스펜션 시스템.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및, 제 3 랜드 영역은 사변형 영역인 서스펜션 시스템.
  12. 제5항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및, 제 3 랜드 영역은 각각 상기 제 3 층의 고형 영역을 포함하는 서스펜션 시스템.
  13. 제5항에 있어서, 상기 제 4 채널은 상기 적층부의 외측 엣지를 따라 연장하는 서스펜션 시스템.
  14. 제1항에 있어서, 상기 폭 c, 폭 d 및, 폭 e는 각각 대략 0.3 내지 0.8 밀리미터의 범위인 서스펜션 시스템.
  15. 제8항의 서스펜션 시스템을 포함하는 디스크 드라이브에 있어서, ① 판독/기록 슬라이더에 의해 액세스 가능한 데이타 저장 매체와, ② 상기 데이타 저장 매체에 대해 상기 적층부를 이동시키도록 상기 적층부의 제 2 단부에 연결된 액추에이터를 더 포함하는, 디스크 드라이브.
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