KR0155877B1 - 다층 회로기판 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
다층 회로기판 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
이 다층 회로기판은 기판(10)과, 이 기판(10)상에 도포되고 소정 패턴을 가지는 포토마스크를 위치시켜 형성된 소정 패턴의 여백(22)를 가지는 감광성 절연물질(20)과, 이 감광성 절연물질(20)의 여백(22) 내부에 주입 및 경화되어 형성된 전도성 잉크(30)를 구비하고, 상기 전도성 잉크(30)가 여백(22) 내부에 주입된 감광성 절연물질(20)이 다수 적층되고, 그 상부에 금속박막(40)을 구비하여 부품 장착 부위가 평평하도록 된 것을 특징으로 한다. 또한, 그 제조방법은 기판상에 감광성 절연물질(20)을 도포하고, 소정 패턴을 가지는 포토마스크를 위치시키고, 노광 및 현상을 통하여 감광성 절연물질(20)에 소정 형상의 여백(22)을 마련하고, 이 여백(22)에 전도성 잉크(30)를 프린트한후 경화시켜 단층의 기판을 완성하고, 이 상부에 다른 감광성 절연물질(20)을 도포, 패턴형성 및 전도성 잉크(30) 프린트 공정을 반복 수행한후, 한층의 소정 패턴이 형성된 금속박막(40)을 형성하여 다층회로기판을 제조하는 방법이다.
Description
제1도는 본 발명에 따른 다층 회로기판을 나타낸 측단면도.
제2도는 본 발명에 따른 다층 회로기판 제조방법의 일 실시예를 나타낸 공정도.
제3도는 본 발명에 따른 다층 회로기판 제조방법의 다른 실시예를 나타낸 공정도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 기판 12, 12' : 절연물질
20, 20' : 감광성 절연물질 22 : 여백
30, 30' : 전도성잉크 40 : 금속박막
50 : 관통공
본 발명은 다층 회로기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 전도성 이크를 이용한 실크 스크린 프린팅 법과 에칭법을 이용하여 제조한 다층 회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
반도체 패키지용 기판으로 단층 및 다층의 기판이 널리 사용되고 있다. 특히, 고집적화에 따른 추세에 맞추어 소형의 기판에 다수의 소자를 집적하 수 있는 다층 회로기판에 관한 연구가 활발히 진행중에 있다.
종래의 다층 회로기판은 각층마다 식각방법으로 제작하기 때문에 조립공수가 많이들고, 식각액과 같은 환경폐수가 많이 산출되며, 고신뢰성이 요구되는 소재의 선택으로 인하여 제작비용이 증가되는 단점이 있다.
이와 같은 점들을 고려하여 본 출원인은 출원번호 제95-17603호를 통하여 '회로기판 및 그 제조방법'에 관하여 개시한 바가 있다.
이 게시판 '회로기판 및 그 제조방법'은 식각에 의한 회로기판의 제작과는 달리 전도성 잉크를 프린팅하여 제조함으로 조립공수의 단순화 및 비용절감 그리고, 환경폐수를 줄일 수 있다. 그러나, 프린팅법으로 전도성 잉크를 소정 패턴에 따라 도포함으로 전도성 잉크의 점성에 의해 라운드가 발생되고, 입자의 크기에 따른 요철이 발생되므로 평평성이 미확보되어 와이어 본딩하기에 부적합하였다.
따라서, 본 발명은 언급한 바와 같은 점들을 감안하여 안출된 것으로, 다층 회로기판의 제조 공정을 단순화하여 조립공수의 절감 및 제조경비를 절감할 수 있고, 본딩부가 평평하게 된 다층 회로기판 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다층 회로기판은, 기판과, 이 기판상 다층으로 적층되고 소정 패턴을 가지는 포토마스크를 위치시켜 형성된 소정 패턴의 여백을 가지는 감광성 절연물질과, 상기 여백 내부에 주입 및 경화되어 형성된 전도성 잉크와, 상기 감광성 절연물질의 최상부에 접착성 절연물질에 의해 부착되고 식각에 의해 소정 패턴이 형성된 금속박막이 구비되고, 상기 기판과, 절연물질과, 금속박막을 관통하며 그 내부에는 전도성 잉크가 내재된 관통공이 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다층 회로기판 제조방법은, 기판을 준비하는 제1단계: 이 상부에 감광성 절연물질을 도포하는 제2단계: 상기 감광성 절연물질의 상부에 소정 패턴이 형성된 포토마스크를 위치시킨후 상기 감광성 절연물질에 상기 포토마스크의 패턴이 형성되도록 노광하는 제3단계: 상기 패턴이 형성된 감광성 절연물질을 현상하는 감광된 부분을 제거하여 여백을 형성하는 제4단계: 제거된 여백에 전기 전도성 잉크를 도포하는 제5단계:를 통하여 한층의 회로기판을 형성하고, 상기 한층의 회로기판상에 상기 제2단계에서 제5단계의 공정 단계를 순서대로 반복하여 복수층의 회로기판을 제조하고, 그 상부에 접착성 절연물질을 도포한후 금속박막을 열압착하여 부착하는 제6단계; 상기 기판, 다층의 회로기판 및 금속박막을 관통하며, 내부에 전도성 잉크가 주입된 관통공을 형성하는 제7단계;의 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명에 따른 다층 회로기판의 실시예를 나타낸 단면도이다.
다층 회로기판은 기판(10)과, 이 기판(10) 상에 도포되고 소정 패턴을 가지는 포토마스크를 위치시켜 형성된 소정 패턴의 여백을 가지는 다수의 감광성 절연물질(20)과, 이 감광성 절연물질(20) 각각의 여백(22) 내부에 주입 및 경화되어 형성된 전도성 잉크(30)와, 상기 감광성 절연물질(20)의 최상부에 접착성 절연물질(미도시)에 의해 부착되고 식각에 의해 소정 패턴이 형성된 금속박막(40)을 구비한다.
상기 기판(10)은 전기 주조법에 사용되는 기판이 금속기판으로 한정되는 것과는 달리 전도성 여부와 무관하게 금속, 세라믹, 절연물질등 다양하게 사용할 수 있다. 특히, 상기 기판(10)으로 얼로이 42, 구리 얼로이 등의 금속물질을 사용하는 경우, 열 안정성 및 열 방출성등 다층 기판에서 문제시 되었던 신뢰성 문제를 해결할 수 있으며, 여러 종류의 금속소재를 다양하게 선택할 수 있으므로 비용절감의 효과를 얻을 수 있다. 상기 기판(10)으로 금속물질 등이 전도체를 채용한 경우 그 주변에 절연물질(12)을 도포하는 것이 바람직하다.
상기 감광성 절연물질(20)은 후술하는 전도성 잉크(30)가 프린팅 될 때 전도성 잉크(30)들 사이를 절연시킬 수 있도록 된 포토레지스터층이다. 상기 전도성 잉크(30)는 미세 금속분말과, 중합반응물질과, 용매로 구성되어 있으며, 프린팅 공정후 여백(22)사이에서 경화될 수 있도록 한차례 또는 수차례 가열 경화시킨다. 이 전도성 잉크(30)는 미합중국 토라나가(Toranaga)사에서 개발된 오멧(Ormet)2005등을 이용할 수 있다.
상기 다수의 감광성 절연물질(20) 상호간의 전기전달을 위하여 도시한 바와 같이 노광에 의해 형성된 여백(22)을 관통하도록 형성한다.
상기 금속박막(40)은 칩 등의 부품이 탑재되는 다층회로기판의 최상부에 구리(Gu) 등의 금속을 접착한 후 소정 패턴을 형성하였다. 이 금속박막(40)은 널리 알려진 통상이 에칭방법을 따라 형성되며, 이 금속박막(40)은 정형화된 박막으로 평평성에 대한 신뢰성이 뛰어나다.
따라서, 전도성 잉크(30)를 프린팅하여 다층회로기판의 구조를 단순화 시킬 수 있고, 전도성 잉크(30)에 의한 회로기판의 평평성 미확보 문제를 금속박막을 적층함으로써 보완한 매우 유용한 발명이다.
제2도는 본 발명에 따른 다층 회로기판 제조방법의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
제1단계는 금속, 세라믹, 절연물질 등의 소재로 된 기판(10)을 준비한다. 특히, 금속기판을 예를 들면, 얼로이 42, 구리 얼로이 등을 소재로 준비하는 경우 열 안정성 및 열 방출성이 뛰어나 다층 기판의 제조시 문제시 되었던 신뢰성 문제를 극복할 수 있다.
금속기판 등의 전도체를 기판(10)으로 준비하는 경우, 전체를 감싸도록 소정 두께의 절연물질(12)을 도포하는 것이 바람직하다. 또한, 후술하는 관통공에 전도성 잉크(30)를 주입시 이 전도성 잉크(30)와 상기 금속기판(10)과 도통되는 것을 방지하도록 상기 관통공 내벽에 상기 전도성 잉크(30)를 감싸도록 절연물질(12')을 도포하는 것이 바람직하다.
제2단계는 준비된 기판(10)의 상부에 감광성 절연물질(20)을 도포한다. 상기 감광성 절연물질(20)은 후술하는 전도성 잉크(30)가 프린팅 될 때 전도성 잉크(30)들 사이를 절연시킬 수 있도록 글래스 온도(Tg)가 200℃ 이상의 소재로 된 포토레지스터층이다.
제3단계는 상기 감광성 절연물질(20)의 상부에 소정 패턴이 형성된 포토마스크를 위치시킨후 상기 감광성 절연물질(20)에 상기 포토마스크의 패턴이 형성되도록 노광한다. 상기 포토마스크(24)는 형성된 패턴에 따라 외부에서 조사되는 광 예를 들면 자외선 광을 투과 하거나 흡수한다. 상기 광이 투과하는 포토마스크(24) 하부의 감광성 절연물질(20)은 감광되고, 광이 투과하지 못하는 포토마스크(24) 하부의 감광성 절연물질(20)은 최초의 상태를 유지하여 감광성 절연물질(20)에 패턴이 형성된다.
제4단계의 공정은 현상공정으로 포토마스크(24)와, 감광성 절연물질(20)의 감광된 부분을 제거하여 여백(22)을 마련한다.
제5단계는 제4단계에서 마련된 여백(22)에 전도성 잉크(30)를 프린팅하는 공정을 수행한다. 이상과 같이 제1단계에서 제5단계의 공정을 통하여 단층의 회로기판을 제조할 수 있으며, 이와 같이 형성된 단층의 회로기판 상부에 제2단계에서 제5단계의 공정을 반복하여 복수층의 회로기판을 형성할 수 있다.
즉, 다층인쇄회로기판을 제조하기 위하여 상기 단층의 회로기판에 전기적으로 절연되도록 감광성 절연물질(20')을 도포하고, 도포된 감광성 절연물질(20')의 상부에 소정 패턴이 형성된 포토마스크를 위치시킨후 노광 및 현상을 통하여 여백을 형성하며, 이 여백에 전도성 잉크(30')를 프린트하여 이층의 인쇄회로 기판을 설계한다. 이와 같이 제2단계에서 제5단계의 공정을 반복하여 층수의 다층 회로기판(100)을 제조할 수 있다.
제6단계는 다층의 회로기판(100) 상부에 접착성 절연물질을 도포한 후 구리(Cu)박막 등의 금속박막(40)을 열압착하여 부착하고, 상기 금속박막(40)에 소정 패턴이 형성되도록 식각한다. 상기 금속박막(40)은 회로기판에 널리 쓰이는 부재로 그 평평성이 뛰어나 칩 등의 부품 장착이 용이하다.
제7단계는 상기 기판(10), 다층의 회로기판(100) 및 금속박막(40)을 관통하며, 내부에 전도성 잉크(30)가 주입된 관통공(50)을 형성하는 단계이다. 이 단계를 통하여 절연물질을 경계로 패턴을 형성하는 전도성 잉크(30)와 패턴이 형성된 금속박막이 상호 전기적으로 연결된다. 이때 상기 기판(10)이 금속기판인 경우 기판에 형성된 관통공(50) 내부에 절연물질(12')을 주입하여 금속기판과 전기적으로 단락시키는 것이 바람직하다.
또한, 제3도는 본 발명에 따른 다층 회로기판 제조방법의 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 제2도를 통하여 언급한 공정단계중 제2단계에서 제5단계의 작업 공정을 반복시 상기 다층 구조의 감광성 절연물질(20)중 일부층의 감광성 절연물질(20)에는 여백(22)을 마련하지 않고 이 감광성 절연물질(24)을 단순한 절연층으로 활용한 예이다.
이와 같이 감광성 절연물질(24)을 단순 절연층으로 활용하는 경우일 실시예에서 언급한 제3단계와 제4단계의 공정을 생략하고, 상기 제7단계의 공정을 통하여 각 층간에 전기적으로 도통되도록 관통공(50)을 형성하여 기판(10)과 각 다층의 기판(100) 및 금속박막(40) 사이의 전기전달이 용이하도록 할 수 있다.
언급한 바와 같은 방법을 통하여 다층 회로 기판을 제조함으로써 조립공수를 단순화 할 수 있고, 전도성 잉크 만을 사용시 야기될 수 있는 부품 장착 부위 및 와이어 본딩 부위의 평평성 미확보 문제를 해결할 수 있다. 또한, 다층 회로기판 제조방법을 화학적 처리공정을 대폭축소함으로써 원가를 절감할 수 있고, 제조단계를 간략화하여 조립공수를 향상시킬 수 있는 매우 유용한 발명이다.
Claims (10)
- 기판과, 이 기판상 다층으로 적층되고 소정 패턴을 가지는 포토마스크를 위치시켜 형성된 소정 패턴의 여백을 가지는 감광성 절연물질과, 상기 여백 내부에 주입 및 경화되어 형성된 전도성 잉크(30)와, 상기 감광성 절연물질의 최상부에 접착성 절연물질에 의해 부착되고 식각에 의해 소정 패턴이 형성된 금속박막이 구비되고, 상기 기판과, 절연물질과, 금속박막을 관통하며 그 내부에 전도성 잉크가 내재된 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 다층 회로기판.
- 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 전기전달 및 프린트 된후 쉽게 경화될 수 있도록 미세 금속분말과, 중합 반응물질과, 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 회로기판.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 얼로이 42, 구리 얼로이 등의 금속 및/또는 세라믹 소재로 된 것을 특징으로 하는 다층 회로기판.
- 제3항에 있어서, 상기 기판이 금속으로 된 경우 이 기판을 감싸도록 절연물질이 도포된 것을 특징으로 하는 다층 회로기판.
- 제1항에 있어서, 상기 금속박막은 구리(Cu) 박막 인 것을 특징으로 하는 다층 회로기판.
- 기판을 준비하는 제1단계; 이 상부에 감광성 절연물질을 도포하는 제2단계; 상기 감광성 절연물질의 상부에 소정 패턴이 형성된 포토마스크를 위치시킨후 상기 감광성 절연물질에 상기 포토마스크의 패턴이 형성되도록 노광하는 제3단계; 상기 패턴이 형성된 감광성 절연물질을 현상하여 감광된 부분을 제거하여 여백을 형성하는 제4단계; 제거된 여백에 전기 전도성 잉크를 도포하는 제5단계;를 통하여 한층의 회로기판을 형성하고, 상기 한층의 회로기판상에 상기 제2단계에서 제5단계의 공정 단계를 순서대로 반복하여 복수층의 회로기판을 제조하고, 그 상부에 접착성 절연물질을 도포한후 금속박막을 열압착하여 부착하고, 소정 패턴이 형성되도록 식각하는 제6단계; 상기 기판, 다층의 회로기판 및 금속박막을 관통하며, 내부에 전도성 잉크가 주입된 관통공을 형성하는 제7단계;의 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 회로기판 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 도포시 액체 상태를 유지하고, 가열에 의해 경화되도록 미세 금속분말, 중합 반응물질 및 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 회로기판 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기 적층된 다층의 감광성 절연물질중 일부층의 절연물질에 대하여 제3단계 및 제4단계의 공정을 생략하고, 제7단계의 공정을 통하여 각 층이 전기적으로 관통되도록 형성된 것을 특징으로 하는 다층 회로기판 제조방법.
- 제6항에 있어서, 상기 기판은 구리 얼로이, 얼로이 42 등의 금속, 세라믹 또는 절연물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 다층 회로기판 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 기판이 금속소재 등의 전도성물질로 이루어진 경우 제1단계와 제2단계 공정 사이에 상기 기판을 감싸도록 절연물질을 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 회로기판 제조방법.
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