KR0151074B1 - 자외선 조사장치 - Google Patents

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Abstract

자외선 조사장치가 개시되어 있다. 본 발명은 챔버 내에 설치되어 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 상기 자외선 램프의 하부에 웨이퍼를 지지하면서 이동시키기 위하여 설치된 진공 척, 및 상기 진공 척 부분에 자외선을 집중시키기 위하여 상기 자외선 램프를 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 진공 척 양 옆에 각각 온도조절이 가능한 히팅 블록(heating block)을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼를 지지하는 척 양 옆에 온도 조절이 가능한 히팅 블록을 설치함으로써, 척에 의해 지지되는 웨이퍼 주위의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 웨이퍼의 앞면에 부착된 보호용테이프에 자외선을 조사할 때 보호용테이프의 접착제를 최적조건에서 화학반응시킬 수 있어 보호용테이프를 용이하게 제거시킬 수 있다.

Description

자외선 조사장치
제1도는 본 발명에 의한 자외선 조사장치의 정면도이다.
제2도는 본 발명에 의한 자외선 조사장치의 측면도이다.
제3도는 제1도의 히팅 블록의 사시도이다.
본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 자외선 조사장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 뒷면을 그라인딩(grinding)한 후 그 앞면에 접착된 보호용테이프를 제거하는 데 사용되는 자외선 조사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체장치는 웨이퍼 상에 수 많은 공정을 통하여 제조된다. 이러한 수 많은 공정에 의해 제조된 반도체장치는 전기적인 특성을 측정하여 양품을 분류한 후 이러한 양품에 대하여 패키지를 실시하여야 한다. 이때, 상기 패키지공정을 실시하기 위해서는 적어도 하나 이상의 반도체장치가 형성된 상기 웨이퍼의 두께를 얇게 하여야 한다. 이와같이, 웨이퍼의 두께를 얇게 형성하기 위한 수단으로 웨이퍼의 뒷면을 그라인딩(back grinding:이하 백그라인딩이라 한다)하는 방법이 널리 사용되고 있다. 이러한 백그라인딩 공정은, 1)반도체장치를 보호하기 위하여 한쪽 면에 접착제가 코딩된 보호용테이프를 웨이퍼의 앞면에 접착시키는 단계;
2)상기 보호용 테이프가 접착된 웨이퍼를 백그라인딩하여 그 두께를 얇게 형성하는 단계; 및
3)상기 백그라인딩된 웨이퍼의 앞면에 접착된 보호용테이프를 제거하는 단계로 이루어진다. 여기서, 상기 보호용테이프를 제거하는 수단으로는 자외선 조사장치를 사용하여 자외선을 조사하는 방법이 널리 사용된다. 이는, 보호용테이프 상부에 자외선을 조사할 경우 상기 접착제가 화학반응을 하여 접착력을 상실하기 때문이다. 따라서, 상기 자외선에 노출된 보호용테이프는 웨이퍼로부터 쉽게 제거되어진다. 여기서, 상기 보호용테이프에 부착된 접착제의 화학반응은 자외선 이외에 주위의 온도에도 영향을 받는다.
상기 종래의 자외선 조사장치는 챔버(chamber)내에 설치되어 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 상기 자외선 램프의 하부에 설치되어 웨이퍼를 이동시키는 웨이퍼 전송수단, 및 상기 웨이퍼 전송수단 부분에 자외선을 집중시키기 위하여 상기 자외선 램프를 둘러싸도록 설치된 반사경으로 구성되어 있다. 여기서, 상기 웨이퍼 전송수단은 진공 척 또는 로울러에 의한 방식을 널리 사용한다.
이러한 종래의 자외선 조사장치를 사용하여 보호용테이프가 접착된 웨이퍼에 자외선을 조사할 경우 웨이퍼 주위의 온도는 자외선 램프에서 발생되는 열에 의해서만 결정된다. 따라서, 상기 웨이퍼 주위의 온도를 일정하게 조절하기가 어려운 문제점이 있다. 이는, 상기 보호용테이프의 접착제가 화학반응하기 위한 최적조건을 제공하지 못하여 차후 상기 보호용테이프가 원활이 제거되는 것을 방해한다.
따라서, 본 발명의 목적은 보호용테이프의 접착제를 최적온도에서 화학반응시킬 수 있는 자외선 조사장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
챔버 내에 설치되어 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 상기 자외선 램프의 하부에 웨이퍼를 지지하면서 이동시키기 위하여 설치된 진공 척, 및 상기 진공 척 부분에 자외선을 집중시키기 위하여 상기 자외선 램프를 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서,
상기 진공 척 양 옆에 각각 온도조절이 가능한 히팅 블록(heating block)을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼를 지지하는 진공 척 아래에 온도조절이 가능한 히터를 포함하는 히팅 블록을 설치함으로써, 상기 웨이퍼의 앞면에 접착된 보호용테이프에 자외선 조사시 웨이퍼의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 이는, 보호용테이프의 접착제가 최적온도에서 화학반응할 수 있도록 하여 보호용테이프를 원활히 제거할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명의 실시예에 의한 자외선 조사장치의 정면도로서, 참조번호 1은 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 3은 상기 자외선 램프(1)의 아래에 설치되고, 표면에 보호용테이프가 접착된 웨이퍼, 5는 상기 웨이퍼(3)을 지지하는 진공 척, 7은 상기 자외선 램프(1)를 둘러싸면서 자외선 램프로부터 발생되는 자외선을 상기 웨이퍼(3)에 접속시키기 위한 반사경, 9a 및 9b는 각각 상기 진공 척(5)의 좌/우에 설치되고 윗면이 요철형태로 이루어져 많은 열을 방출하도록 제작된 방열판, 11a 및 11b는 각각 상기 2개의 방열판(9a, 9b)에 부착되어 열을 차단하는 단열판을 나타낸다. 여기서, 상기 단열판(11a, 11b)은 상기 방열판(9a, 9b)의 아랫면과 상기 진공 척(5) 반대편 측벽에 부착되어 상기 방열판(9a, 9b)으로부터 방출된 열의 대부분이 상부의 웨이퍼로 전달되도록 하는 역할을 한다.
계속해서, 참조번호 13a 및 13b는 열을 발생시키는 히터, 15a 및 15b는 각각 상기 히터(15a, 15b)를 장착할 수 있도록 상기 방열판(9a, 9b)의 측벽에 형성된 홈, 그리고 17은 상기 자외선 램프(1) 주위로 투입되는 질소와 같은 기체를 배출시키기 위한 배출구를 나타낸다. 또한, 참조부호 A로 표시한 화살표는 상기 질소기체가 상기 배출구(17)를 통하여 외부로 흘러나가는 경로를 도시한 것이다. 여기서, 상기 히터(13a, 13b)는 온도 조절이 가능하도록 제작된 히터이다.
이와같이 구성된 본 발명에 의한 자외선 조사장치에 있어서, 상기 방열판(9a, 9b), 상기 단열판(11a, 11b), 상기 히터(13a, 13b), 및 상기 방열판 측벽에 형성된 홈(15a, 15b)은 본 발명에 의한 히팅 블록을 형성하며 착탈이 가능하다.
제2도는 상기 제1도에 도시한 본 발명에 의한 자외선 조사장치의 측면도이다. 여기서, 상기 제1도의 참조번호와 같은 번호로 표시한 부분은 동일 부분을 의미하며, 이에대한 설명은 생략한다.
제2도에 의하면, 참조번호 5a는 상기 진공 척(5)이 이동된 상태를 도시한 것이다. 즉 상기 웨이퍼(3)을 자외선에 노출시키기 위하여 외부로부터 상기 자외선 램프(1) 아래로 이동시키거나 자외선 조사가 완료된 웨이퍼를 외부로 이동시키기 위하여 상기 진공 척(5)을 이동시켜야 할 필요가 있다. 이와같이 상기 진공 척(5)을 이동시키기 위하여 상기 제1도에서와 같이 2개의 히팅 블록을 일정 간격으로 분리시키어 설치함으로써, 그들 사이의 공간을 통하여 상기 진공 척(5)이 이동할 수 있도록 한다.
제3도는 본 발명에 의한 히팅 블록만을 도시한 사시도로서, 그 형태를 좀 더 자세히 알 수 있도록 도시한 것이다. 여기서, 상기 제1도의 참조번호와 같은 번호로 표시한 부분은 동일부분을 의미하며, 이에 대한 설명은 생략한다. 도시된 바와 같이, 2개의 히팅 블록은 서로 일정 간격을 사이에 두고 분리되어 있다. 이러한 일정 간격은 앞에서 설명한 진공 척이 이동할 수 있는 공간을 제공한다. 또한, 각각의 히팅 블록 윗면은 요철 형태로 이루어져 많은 열을 상부로 발산시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 자외선 조사장치는 진공 척 양 옆에 온도 조절이 가능한 히팅 블록을 설치하여 진공 척에 의해 지지되는 웨이퍼를 일정온도로 유지시켜 줄 수 있다. 따라서, 웨이퍼 앞면에 부착된 보호용테이프의 접착제를 최적조건에서 화학반응시킬 수 있어 보호용테이프를 용이하게 제거시킬 수 있다.
본 발명이 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진자에 의하여 가능함은 명백하다.

Claims (3)

  1. 챔버 내에 설치되어 자외선을 발생시키는 자외선 램프, 상기 자외선 램프의 하부에 웨이퍼를 지지하면서 이동시키기 위하여 설치된 진공 척, 및 상기 진공 척 부분에 자외선을 집중시키기 위하여 상기 자외선 램프를 둘러싸도록 설치된 반사경을 포함하는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 진공 척 양 옆에 각각 온도조절이 가능한 히팅 블록(heating block)을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하나의 히팅 블록은 많은 열을 방출시키기 위하여 윗면이 요철 형태를 갖는 방열판; 상기 방열판의 아랫면 및 상기 진공 척 반대편의 측벽에 상기 방열판으로부터 방출되는 열을 차단시키기 위하여 부착된 단열판; 상기 단열판이 부착된 상기 방열판의 측벽에 형성된 적어도 하나이상의 홈; 및 상기 홈에 끼워져 장착되고 온도 조절이 가능한 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 히팅 블록은 착탈이 가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
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