KR0146813B1 - 노광 장치 - Google Patents

Abstract

셔터가 작동하거나 정지하게 될 경우에, 자중과 크기에 의하여 발생되는 관성력을 최대한 줄이므로 셔터의 작동이 안정되게 이루어지도록 하고, 동시에 셔터의 고속회전을 실현시키는 데에 목적이 있는 것으로, 그 구조는 오목반사경에 결합되어 설치되는 광원과, 이 광원으로부터 비추어지는 빛을 반사시키도록 상호 대향하면서 기울어진 상태로 광원의 전면에 설치되는 제1반사경 및 제2반사경과, 제2반사경으로부터 비추어지는 빛이 웨이퍼 상에 초점이 맞추어진 상태로 도달되도록 설치하는 광학렌즈와, 제1반사경과 제2반사경 사이에 모타가 구비된 지지체가 설치되며 모탈부터 동력을 전달받을 수 있도록 모타에 결합되어 설치되고 내부가 비어있는 원통형상을 하면서 상단부와 하단부가 폐쇄되며 측벽에는 광원으로부터 비추어진 빛이 통과할 수 있도록 하는 가이드 공이 형성되는 셔터를 포함하는 노광장치를 제공한다.

Description

노광장치

제1도는 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예를 나타내는 사시도.

제2도는 본 발명에 따른 셔터의 제1실시예를 나타내는 사시도.

제3도는 본 발명에 따른 셔터의 제1실시예를 나타내는 단면도.

제4도는 본 발명에 따른 셔터의 제2실시예를 나타내는 사시도.

제5도는 본 발명에 따른 셔터의 제3실시예를 나타내는 사시도.

제6도는 본 발명에 따른 셔터의 제4실시예를 나타내는 부분단면사시도.

제7도는 본 발명에 따른 셔터의 제5실시예를 나타내는 부분단면 사시도.

제8도는 본 발명에 따른 셔터의 제6실시예를 나타내는 부분단면 사시도.

제9도는 종래 셔터가 노광장치에 설치되어 사용되는 상태 예시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2:광원 4:오목반사경

6:제1반사경 8:제2반사경

10:지지체 12:모타

14,28,36,44,52,60:셔터 16:웨이퍼

18:광학렌즈 29,30,38,46,54,62:바디

22,32,42,50,58,66:축 24,34,40,48,56,64:가이드 공

26:지지봉

본 발명은 노광장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 및, 액정표시장치 제조의 포토리소그래피 공정중 포토레지스트에 빛을 노출시켜주는 노광공정에서 셔터가 광원으로부터 발산되는 빛을 통과 및 차단시킬 때에 있어서 모타에 의하여 회전하는 셔터가 정지할 때에 발생하는 관성력을 줄이므로 회전 토오크가 감소되고, 광원으로부터 발산되는 빛의 일부를 타 장치에 사용할 수 있도록 하므로 비용을 절감할 수 있는 노광장치에 관한 것이다.

종래에는 제9도에 도시된 바와 같이 광원(102)이 오목반사경(104)에 설치되는 데, 이 광원(102)의 빛이 비추어지는 방향에 제1반사경(106)이 설치되고, 이 제1반사경(106)에 의하여 진행되는 빛의 방향으로 제2반사경(108)이 설치된다.

상기 제1반사경106)과 제2반사경(108) 사이에 노광장치를 장시간 사용하지 않을 때에 빛의 진행 방향을 폐쇄시키는 보조셔터(110)가 모타(112)에 블레이드(114)를 구비하면서 설치되고, 노광장치가 사용될 때에 빛의 진행 방향을 일시적으로 개폐시키는 메인셔터(116)가 모타(118)에 블레이드(120)를 구비하면서 설치되며, 이와 함께 상기 보조셔터(110)를 통과한 빛이 진행 방향으로 통과 내지는 차단할 수 있도록 설치된다.

또 상기 제2반사겨(108)에 의하여 굴절되어 진행되는 빛을 웨이퍼(124)의 상부면을 향하도록 하는 광학렌즈(122)가 설치된다.

상기와 같이 구성되는 노광장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저 미도시된 작동스위치를 온시키면 보조셔터(110)가 구비된 블레이드(1140)를 빛이 진행하는 방향으로 통과할 수 있도록 개방시키고, 동시에 메인셔터(116)를 함께 빛이 진행하는 방향으로 통과할 수 있도록 블레이드(120)를 회전시킨다.

이 때 광원(102)으로부터 빛이 발산되면, 이 빛은 제1반사경(106)을 지나 보조셔터(110)와 메인셔터(116) 그리고 제2 반사경(108)을 지나면서 광학렌즈(122)를 통과하여 웨이퍼(124)에 도달한다.

상기와 같이 광원으로부터 발산되는 빛이 웨이퍼에 도달하도록 하는 과정에서 메인셔터가 빛을 통과시키거나 차단시키게 되는 데, 이 때 블레이드가 모타에 의하여 고속으로 소정의 각도만큼 회전한 후에 정지하게 될 경우에, 블레이드에 관성력이 발생되므로 개폐가 불안정하고, 모타의 축에 토오크가 발생되는 문제점이 있다.

따라서 상기와 같은 일부의 문제점을 해소하고자 상기 블레이드의 두께를 얇게 하여 사용하였으나, 두께가 얇은 관계로 강성이 작아져 모타에 의하여 블레이드가 고속으로 회전하게 될 경우에 불완전하게 작동되는 문제점이 발생되었으며, 또한 이러한 수단은 광원으로부터 비추어지는 빛의 열에 의하여 블레이드가 변형되는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기의 문제점을 해소하기 위하여 인출된 것으로서, 그 목적은 셔터가 작동하거나 정지하게 될 경우에 자중과 크기에 의하여 발생되는 관성력을 최대한 줄이므로 셔터의 작동이 안정적으로 이루어지고, 셔터의 고속회전을 실현시키는 데에 있다.

이를 실현하기 위하여 본 발명의 노광장치는 빛을 발산하는 광원과, 이 광원이 결합되어 설치되는 오목반사경과, 이 광원으로부터 비추어지는 빛을 반사시키며 상호 대향하면서 기울어진 상태로 광원의 전면에 설치되는 제1반사경 및 제2반사경과, 상기 제2반사경으로부터 비추어지는 빛이 웨이퍼 상에 초점이 맞추어진 상태로 도달되도록 하는 광학렌즈와, 상기 제1반사경과 제2반사경 사이에 설치되는 지지체에 설치되는 모타와, 상기 모타로부터 동력을 전달받을 수 있도록 모타에 결합되어 지지체에 설치되며 내부가 비어있는 원통형상을 하면서 상단부와 하단부가 폐쇄되고 측벽에 광원으로부터 비추어진 빛이 통과할 수 있도록 하는 가이드 공이 혀성되는 셔터를 포함한다.

상기에서 오목반사경과 제1반사경 및 제2반사경 등 복수의 반사경과 광학렌즈를 광학계라 한다.

다른 특징으로는 상기 셔터의 내부에 강성을 보강하여 주는 지지봉이 설치된다.

또 다른 특징으로는 상기 셔터의 측벽에 광원으로부터 비추어지는 빛이 통과할 수 있도록 된 원형형상의 가이드 공이 형성된다.

또 다른 특징으로는 상기 셔터가 중앙이 볼록한 형상을 하면서 상부와 하부로 갈수록 지름이 적어지는 형상으로 이루어진다.

또 다른 특징으로는 상기 셔터가 둥근 붕의 형상을 하며 형성되는 데, 측벽에 광원으로부터 비추어지는 빛이 통과하는 가이드 공이 형성된다.

또 다른 특징으로는 상기 셔터가 원통형상을 하면서 내부가 비어있는 상태로 형성되는 데, 측벽에 광원으로부터 비추어지는 빛이 통과하는 가이드 공이 다수개 형성된다.

또 다른 특징으로는 상기 셔터가 둥근 봉의 형상을 하며 형성되는 데, 측벽에 광원으로부터비추어지는 빛이 통과하는 가이드 공이 다수개 형성된다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예는 빛을 발산하는 광원(2)이 오목반사경(4)에 설치되는 데, 이 오목반사경(4)의 전면에 제1반사경(6)과 제2반사경(8)이 상호 대항하면서 비스듬히 설치된다.

그리고 상기 제1반사경(6)과 제2반사경(8) 사이에 설치되는 지지체(10)에 모터(12)가 결합되어 설치되고, 이 모타(12)에 셔터(14)가 결합되어 지지체(10)에 설치된다.

또한 상기 제2반사경(8)의 전면에 웨이퍼(16) 상에 초점이 맞추어져 빛이 비추어지도록 하는 광학렌즈(18)가 설치된다.

상기 모타(12)에 결합디어 설치되는 셔터(14)의 제1실시예 구조를 제2도와 제3도에서 살펴보면 다음과 같다.

상기 셔터(14)는 내부가 비어있는 원통형상을 한 바디(20)로 형성되는 데, 이 바디(20)에는 원활하게 히전이 이루어지도록 하면서 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 된 축(22)이 상부와 하부에 각각 형성되고, 이 바디(20)의 측벽에 상기 광원(2)을 통하여 비추어지는 빛이 통과하는 가이드 공(24)이 사각형상으로 형성된다.

또한 상기 바디(20)의 내부에 원심력에 의하여 바디(20)가 변형되는 것을 방지하기 위한 지지봉(26)이 설치된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 광원(2)으로부터 빛이 발산되면 오목반사경(4)에 의하여 빛이 반사되면서 제1반사경(6)에 의하여 빛이 굴절되는 데, 이때 모타(12)에 의하여 셔터(14)가 작동하면서 통로를 오픈시킴에 따라, 굴절된 빛은 사각형상의 가이드 공(24)을 통과하면서 제2반사경(8)에 도달하고, 사각형상으로 비추어지게 된다.

상기와 같이 제2반사경(8)에 도달한 빛은 굴절되면서 광학렌즈(18)를 지나 웨이퍼(16)상에도달하게 된다.

상기와는 반대로 공급되는 전류에 의하여 모타(12)가 작동하면, 오픈된 셔터(14)가 폐쇄되는 데, 이 때 제1반사경(6)을 통하여 비추어지던 빛이 차단되므로 빛은 더 이상 제2반사경(8)에 비추어지지 않는다.

한편, 본 발명에 따른 셔터의 제2실시예를 제4도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

지지체(10)에 설치되는 셔터(28)는 상부와 하부가 폐쇄된 상태로 내부가 비어있는 원통형상의 바이(30)로 이루어지고, 상기 바디(30)에는 원활하게 회전이 이루어지도록 하면서 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 상부와 하부에 각각 축(32)이 형성된다.

또한 상기 바디(30)의 측벽에는 광원(2)으로부터 비추어진 빛을 통과시키는 가이드 공(34)이 원형상으로 형성된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 셔터의 제2실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저 모타12)에 의하여 셔터(28)가 작동하면서 빛이 통과되도록 오픈되면, 상기 제1반사경(6)을 통하여 비추어진 빛은 셔터(28)를 통과하여 원형상으로 제2반사경(8)에 비추어진다.

한편 본 발명에 따른 셔터의 제3실시예를 제5도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

제1반사경(6)을 통하여 비추어지는 빛을 통과시키거나 차단하는 셔터(36)는 내부가 비어있는 원통형상을 하면서 중앙이 볼록하여 지름이 크고 상부와 하부로 갈수록 지름이 작아지는 형상을 바디(38)로 구성된다.

그리고 바디(38)의 측벽에는 상기 제1반사경(6)을 통하여 비추어지는 빛이 통과하도록 안내하는 가이드 공(40)이 형성되는 데, 이 가이드 공(40)은 직사각형의 형상으로 형성되고, 상기 바디(38)에는 원활하게 회전이 이루어지도록 하면서 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 된 축(42)이 상부와 하부에 각각 형성된다.

상기와 같이 형성되는 본 발명에 따른 셔터의 제3실시예의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛은 모타(12)에 의하여 오픈된 셔터(28)를 통과하게 되는 데, 이 때 빛은 사각형상의 가이드 공(40)을 통과하게 됨에 따라 제2반사경(8)에 비추어진 빛은 사각형상으로 도달된다.

한편 본 발명에 따른 셔터의 제4실시예를 제6도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

모타(12)에 의하여 작동하면서 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛을 차단하거나 통과시키도록 된 셔터(44)는 둥근 봉의 형상으로 형성된 바디(46)로 구성되는 데, 이 바디(46)의 측벽에는 관통된 가이드 공 (48)이 사각형상으로 형성된다.

또한 상기 바디(46)에는 원활하게 회전이 이루어지도록 하면서, 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 된 축(50)이 상부와 하부에 각각 형성된다.

상기와 같이 형성되는 본 발명에 따른 셔터의 제4실시예의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛은 모타(12)에 의하여 오픈된 셔터(44)를 통과하되 가이드 공(48)을 지나게 되는 데, 이 때 사각형상의 가이드 공(48)에 의하여 통과되는 빛은 사각형상으로 제2반사경(8)에 도달한다.

한편 본 발명에 따른 셔터의 제5실시예를 제7도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

모타(12)에 의하여 작동하면서 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛을 차단하거나 통과시키도록 된 셔터(52)는 내부가 비어있는 원통의 형상을 하면서 상부와 하부가 폐쇄된 바디(54)로 구성되는 데, 이 바디(54)의 측벽에는 상기 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛이 통과되도록 안내하는 사각형상의 가이드 공(56)이 다수개 형성된다.

또한 상기 바디(54)에는 원활하게 회전되도록 하면서, 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 된 축(58)이상부와 하부에 각각 형성된다.

상기와 같이 형성되는 본 발명에 따른 셔터의 제5실시예의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛은 모타(12)에 의하여 오픈된 셔터(52)릉 통과하되 가이드 공(56)을 지나게 되는 데, 이 때 사각형상의 가이드 공(56)을 통과한 빛이 제2반사경(8)에 비추어질 때 사각형상으로 도달하게 된다.

한편 본 발명에 따른 셔터의 제6실시예를 제8도를 참고하여 설명하면 다음과 같다.

모타(12)에 의하여 작동하면서 제1반사경(6)으로부터비추어지는 빛을 차단하거나 통과시키도록 된 셔터(60)는 둥근 봉의 형상을 하면서 형성된 바디(62)로 구성되는 데, 이 바디(62)의 측벽에는 상기 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛이 통과될 수 있도록 한 사각형상의 가이드 공(64)이다수개 형성된다.

또한 상기 바디(62)에는 원활하게 회전되도록 하면서, 모타(12)로부터 동력을 전달받도록 된 축(66)이 상부와 하부에 각각 형성된다.

상기와 같이 형성되는 본 발명에 따른 셔터의 제6실시예의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 제1반사경(6)으로부터 비추어지는 빛은 모타(12)에 의하여 오픈된 셔터(60)를 통과하되 가이드 공(64)을 통과하게 되는 데, 이 때 사각형상의 가이드 공(64)를 지나게 됨에 따라 제2반사경(8)에 도달하는 빛은 사각형상으로 도달하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 셔터가 작동할 때에 급회전이나 급정지를 하게 되면, 셔터의 반경이 작은 관계로 인하여 작동에 따른 관성모우멘트가 작게 나타나는 효과가 있고, 이로 인하여 셔터의 두께를 크게 하더라도 관성모우멘트가 그다지 증가되지 않는 효과가 있고, 관성모우멘트가 작은 관계로 고속회전이 가능하여 생산성을 증가시키는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 빛을 발산하는 광원과, 상기 광원으로부터 발산된 빛을 소정의 경로로 반사시키는 복수의 반사경과 웨이퍼 상에 초점을 맞추는 광학렌즈로 이루어지는 광학계와, 상기한 광학계에 의하여 이루어지는 빛의 경로 중간에 설치되고 지지체에 설치된 모타의 회전력을 전달받아 회전하며 상단부와 하단부가 폐쇄되고 내부가 비어있는 원통형상의 바디로 이루어지고 이 바디의 측벽에는 상기 광원으로부터 발산되는 빛이 통과하는 가이드 공이 형성되는 셔터를 포함하는 노광장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디 내부에는 강성을 보강하여 주는 지지봉이 설치되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디에 형성되는 가이드 공이 원형상이 것을 특징으로 하는 노광장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디는 중앙이 볼록한 형상을 하면서 상하부로 갈수록 지름이 작아지는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디는 봉형상으로 구성되고, 이 바디의 측벽에는 가이드 공이 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디 측벽에는 가이드 공이 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 셔터의 바디는 봉형상으로 형성되고, 이 바디의 측벽에는 가이드 공이 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.