JPH07218991A - 反射照明装置 - Google Patents

反射照明装置

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JPH07218991A
JPH07218991A JP6032037A JP3203794A JPH07218991A JP H07218991 A JPH07218991 A JP H07218991A JP 6032037 A JP6032037 A JP 6032037A JP 3203794 A JP3203794 A JP 3203794A JP H07218991 A JPH07218991 A JP H07218991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
optical axis
objective lens
illumination device
illumination
Prior art date
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Pending
Application number
JP6032037A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunio Nakane
邦雄 中根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Nikon Engineering Co Ltd
Original Assignee
Nikon Corp
Nikon Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nikon Corp, Nikon Engineering Co Ltd filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH07218991A publication Critical patent/JPH07218991A/ja
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  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 廉価な部品を使用した、簡単小型の機構の照
明傾角可変式反射照明装置を提供する。 【構成】 照明光L1は、多重焦点レンズ13を透過屈
折して被検物5を照明する。多重焦点レンズ13の焦点
距離は、対物レンズ1の光軸から半径方向に一定でな
く、半径方向の距離に従い変化しているから、多重焦点
レンズ13が光軸方向に移動すると、照明光L1が被検
物5を照明する傾角θが変化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学測定機に装備する
反射照明装置に関するものである。更に詳しくは、リン
グ照明・照明角度可変式の反射照明装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の反射照明装置には図6に
示すようなものがあった。対物レンズの鏡筒1の先端部
外側に、反射ミラー2と、更にその外周側に反射ミラー
3が設けられ、光源4からの光束は、反射ミラー2及び
反射ミラー3で反射して被検物5を照明するようになっ
ている。反射ミラー2は鏡筒1に対して固定されている
が、反射ミラー3は反射ミラー2に対し、光軸方向に上
下に移動可能である。そして反射ミラー3の表面形状
は、反射ミラー3が上下に移動するとき、光源4からの
光束が可変の照明角度θで被検物5を照明するように形
成されている。
【0003】又図7に示すようなものがあった。鏡筒1
の先端部外側に、光軸を中心として4組の照明系6が配
置されている。照明系6は光源であるファイバ照明7、
反射ミラー8、反射ミラー9で1組となり、光軸方向に
移動可能なように形成され、照明系6が上下に移動する
とともに反射ミラー8と反射ミラー9とは、リンク機構
(不図示)により旋回運動を行い、ファイバ照明7から
の光束が可変の照明角度θで被検物5を照明するように
形成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし図4に示すよう
な反射照明装置は、特殊な形状をした反射ミラーを使用
しているために、反射ミラーの製造が容易でなくで高価
なものとなり、又その組立調整に熟練が必要であるとい
う問題点があった。又図5に示すようなものは、反射ミ
ラー旋回のための複雑で且つ大型の機構が必要で、高価
なものとなるという問題点があった。
【0005】本発明は上記の課題に鑑み、廉価な部品を
使用し、簡単小型の機構の照明角度可変式反射照明装置
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、対物レンズの
光軸に対して斜めに照明光を被検物に放射する斜光照明
器と、前記照明光を屈折する多重焦点レンズと、前記斜
光照明器と前記多重焦点レンズとの相対的位置を変更す
る位置変更手段とを具備し、前記位置変更手段により前
記斜光照明器と前記多重焦点レンズとの相対的位置を変
更して、前記対物レンズの光軸と前記被検物を照明する
前記照明光の光路とのなす照明角度を変化させることを
特徴とするものである。
【0007】前記斜光照明器は前記対物レンズに対して
固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、前記
多重焦点レンズを前記対物レンズの光軸方向に移動さ
せ、その前記斜光照明器との相対的位置を変更すること
が望ましい。
【0008】前記多重焦点レンズは前記対物レンズに対
して固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、
前記斜光照明器を前記対物レンズの光軸方向に移動さ
せ、その前記多重焦点レンズとの相対的位置を変更する
ことが好ましい。
【0009】前記多重焦点レンズは前記対物レンズに対
して固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、
前記斜光照明器を前記対物レンズの光軸と交差する方向
に移動させ、その前記多重焦点レンズとの相対的位置を
変更することが好ましい。
【0010】前記多重焦点レンズは前記対物レンズの光
軸に関して回転対称であり、光軸から半径方向に距離が
増大する従い屈折力が減少することが好ましい。
【0011】前記多重焦点レンズは前記対物レンズの光
軸に関して回転対称であり、光軸から半径方向に距離が
増大する従い屈折力が増大することも好ましい。
【0012】前記多重焦点レンズは累進焦点レンズであ
ることが望ましい。
【0013】前記多重焦点レンズは累進焦点フレネルレ
ンズであることが望ましい。
【0014】
【作用】照明光は、多重焦点レンズを透過屈折して被検
物を照明する。多重焦点レンズの焦点距離は、対物レン
ズの光軸から半径方向に一定でなく、半径方向の距離に
従い変化しているから、多重焦点レンズが光軸方向に移
動すると、照明光が被検物を照明する傾角が変化する。
【0015】
【実施例】本発明の一実施例を図1〜図3により説明す
る。対物レンズLの鏡筒1の先端部1aの外側に配設さ
れた光源10はリング照明式であって、光源支持部材1
1に支持されている。照明光L1は対物レンズLの光軸
に対して傾斜して放射されている。光源支持部材11の
下方には筒部材12が設けられ累進焦点レンズ13を可
動に保持している。
【0016】累進焦点レンズ13は図2に示すように、
中央部に孔13aが穿設された円板状の透明アクリル板
で、周縁部から中側に向かって厚くなって屈折力が大き
くなるように形成されている。累進焦点レンズ13の周
囲には部材14が設けられ、筒部材12に設けられた溝
(不図示)に沿って上下に摺動可能となっており、任意
の位置にビス15で固定することができる。累進焦点レ
ンズ13の屈折力の変化と、累進焦点レンズ13が保持
される筒部材12位置との関係は、累進焦点レンズ13
が上下に移動しても照明光の焦点位置が変化しないよう
に形成されている。
【0017】次に動作について説明する。ビス15を回
転して部材14を緩めて、図1に実線で示すように、累
進焦点レンズ13を筒部材12の最上部に移動させた
後、ビス15を回転して部材14を緊定し、累進焦点レ
ンズ13を光源支持部材11の直下に位置させる。この
とき照明光L1は累進焦点レンズ13の有効部分の最外
部を透過する。この最外部はでは屈折力が最も小さく、
被検物5への照明角度θはθ1であって最も小さい。
【0018】次に、累進焦点レンズ13を光源支持部材
11から最も離れた、図1に点線で示すように、位置に
位置させる。このとき照明光L1は累進焦点レンズ13
の有効部分の最内部を透過する。この最内部はでは屈折
力が最も大きく、照明角度θはθ2であって最も大き
い。
【0019】筒部材12の任意の位置に累進焦点レンズ
1を移動させると、照明光L1は累進焦点レンズ13を
透過し、照明角度θは θ1とθ2の間で変化する。
【0020】累進焦点レンズ13は多重の焦点が連続的
に変化するものであるから、照明角度θは、θ1とθ2
の間で連続的に変化する特徴を有している。
【0021】本実施例にかかる他の態様のレンズを図3
に示す。累進焦点フレネルレンズ17は図3に示す断面
図から明らかなように、通常の累進焦点レンズ13に較
べて部材が薄く小型化することができる。
【0022】本発明の他の実施例を図4により説明す
る。上述した一実施例と同一又は類似の点の説明の詳述
は省略する。対物レンズLの鏡筒1の先端部1aの外側
に配設された光源10はリング照明式であって、光源支
持部材18に支持されている。光源支持部材18は鏡筒
1の外周に沿って上下に移動可能に設けられ、ビス19
により鏡筒1に固定されるようになっている。照明光L
1は対物レンズLの光軸に対して傾斜して放射され、累
進焦点フレネルレンズ20は鏡筒1の下部に固設されて
いる。累進焦点フレネルレンズ20は、屈折力が周縁部
材で大きく、中側に向かって順次小さくなるように形成
されている。
【0023】次に動作について説明する。ビス19を緩
めて、図4に実線で示すように、光源支持部材18を鏡
筒1の外周に沿って最下部に移動させた後、ビス19を
緊定する。このとき照明光L1は累進焦点フレネルレン
ズ20の有効部分の最外部を透過する。この最外部では
屈折力が最も大きく、被検物5への照明角度θはθ3で
あって最も大きい。
【0024】次に、ビス19を緩めて、図4に点線で示
すように、光源支持部材18を鏡筒1の外周に沿って最
上部に移動させた後、ビス19を緊定する。このとき照
明光L1は累進焦点フレネルレンズ20の有効部分の最
内部を透過する。この最内部では屈折力が最も小さく、
被検物5への照明角度θはθ4であって最も小さい。
【0025】光源支持部材18を鏡筒1の外周に沿って
任意の位置に移動させると、照明光L1は累進焦点フレ
ネルレンズ20を透過し、照明角度θは、θ3とθ4の
間で変化する。
【0026】更に他の実施例を図5により説明する。上
述した一実施例と同一又は類似の点の説明の詳述は省略
する。対物レンズLの鏡筒1の先端部1aの外側に配設
された光源21は保持部材22に保持され、保持部材2
2は光源支持部材23に移動可能に支持されている。保
持部材22はビス24により光源支持部材23に固定さ
れるようになっている。照明光L1は対物レンズLの光
軸に対して傾斜して放射され、累進焦点フレネルレンズ
20は鏡筒1の下部に固設されている。
【0027】次に動作について説明する。ビス24を緩
めて、図5に実線で示すように、光源支持部材23の中
で保持部材22を移動させ、光源21を鏡筒1から最も
離れた位置に移動させた後、ビス24を緊定する。この
とき照明光L1は累進焦点フレネルレンズ20の有効部
分の最外部を透過する。この最外部では屈折力が最も大
きく、被検物5への照明角度θはθ5であって最も大き
い。
【0028】次に、ビス24を緩めて、図5に点線で示
すように、光源支持部材23の中で保持部材22を移動
させ、光源21を鏡筒1に最も近い位置に移動させた
後、ビス24を緊定する。このとき照明光L1は累進焦
点フレネルレンズ20の有効部分の最内部を透過する。
この最内部では屈折力が最も小さく、被検物5への照明
角度θはθ6であって最も小さい。
【0029】保持部材22を移動させ、光源21をを移
動させると、照明光L1は累進焦点フレネルレンズ20
を透過し、照明角度θは、θ5とθ6の間で変化する。
【0030】各実施例において、、累進焦点レンズ又は
累進焦点フレネルレンズを交換可能に構成することは容
易であり、それにより照明角度範囲を変更できるので、
使用者の各種の要求に容易に応えることができる。
【0031】
【発明の効果】本発明の反射照明装置により、廉価な部
品を使用し、簡単小型の機構で照明角度を可変にでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の部分的断面図。
【図2】本発明の一実施例にかかる累進焦点レンズの平
面図及び断面図。
【図3】本発明の一実施例にかかる累進焦点フレネルレ
ンズの平面図及び断面図。
【図4】本発明の他の実施例の部分的断面図。
【図5】本発明の更に他の実施例の部分的断面図。
【図6】従来例の部分的断面図。
【図7】従来例の部分的断面図。
【符号の説明】
1・・・・鏡筒 10、21・・・・光源 11、18、23・・・・光源支持部材 12・・・・筒部材 13・・・・累進焦点レンズ 14・・・・部材 17、20・・・・累進焦点フレネルレンズ L・・・・対物レンズ L1・・・・照明光 θ・・・・照明角度

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】対物レンズの光軸に対して斜めに照明光を
    被検物に放射する斜光照明器と、前記照明光を屈折する
    多重焦点レンズと、前記斜光照明器と前記多重焦点レン
    ズとの相対的位置を変更する位置変更手段とを具備し、
    前記位置変更手段により前記斜光照明器と前記多重焦点
    レンズとの相対的位置を変更して、前記対物レンズの光
    軸と前記被検物を照明する前記照明光の光路とのなす照
    明角度を変化させることを特徴とする反射照明装置。
  2. 【請求項2】前記斜光照明器は前記対物レンズに対して
    固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、前記
    多重焦点レンズを前記対物レンズの光軸方向に移動さ
    せ、その前記斜光照明器との相対的位置を変更すること
    を特徴とする請求項1に記載の反射照明装置。
  3. 【請求項3】前記多重焦点レンズは前記対物レンズに対
    して固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、
    前記斜光照明器を前記対物レンズの光軸方向に移動さ
    せ、その前記多重焦点レンズとの相対的位置を変更する
    ことを特徴とする請求項1に記載の反射照明装置。
  4. 【請求項4】前記多重焦点レンズは前記対物レンズに対
    して固定された位置に配設され、前記位置変更手段は、
    前記斜光照明器を前記対物レンズの光軸と交差する方向
    に移動させ、その前記多重焦点レンズとの相対的位置を
    変更することを特徴とする請求項1に記載の反射照明装
    置。
  5. 【請求項5】前記多重焦点レンズは前記対物レンズの光
    軸に関して回転対称であり、光軸から半径方向に距離が
    増大する従い屈折力が減少することを特徴とする請求項
    1、2、3又は4に記載の反射照明装置。
  6. 【請求項6】前記多重焦点レンズは前記対物レンズの光
    軸に関して回転対称であり、光軸から半径方向に距離が
    増大する従い屈折力が増大することを特徴とする請求項
    1、2、3又は4に記載の反射照明装置。
  7. 【請求項7】前記多重焦点レンズは累進焦点レンズであ
    ることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6に
    記載の反射照明装置。
  8. 【請求項8】前記多重焦点レンズは累進焦点フレネルレ
    ンズであることを特徴とする請求項1、2、3、4、5
    又は6に記載の反射照明装置。
JP6032037A 1994-02-04 1994-02-04 反射照明装置 Pending JPH07218991A (ja)

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JP6032037A JPH07218991A (ja) 1994-02-04 1994-02-04 反射照明装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001027609A (ja) * 1999-07-15 2001-01-30 Kirin Techno-System Corp 樹脂製キャップの照明撮像装置
JP2002093227A (ja) * 2000-07-14 2002-03-29 Kyoto Denkiki Kk 線状照明装置
CH699100A1 (de) * 2008-07-09 2010-01-15 Daniel F A Wengen Am Kopf tragbare, beleuchtete Vorrichtung mit optischer Vergrösserungsvorrichtung.

Cited By (3)

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JP2002093227A (ja) * 2000-07-14 2002-03-29 Kyoto Denkiki Kk 線状照明装置
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

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