JP2001296206A - 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学硝子をレンズ形状に研磨した後の被検物
の複屈折を測定可能で、光学硝子の研磨、光学薄膜の蒸
着、或いはマウント時に生じる被検物の複屈折を知るこ
とができる複屈折測定装置を提供する。 【解決手段】 方位Ｙの直線偏光の光１０１を被検レン
ズ３の一部に照射する照射光学系４と、光１０１がレン
ズ３を透過し偏光方位が変換されかつレンズ３の光軸Ａ
Ｘと平行な楕円偏光の光１０３を受光する受光光学系７
と、光１０１が反射鏡５で反射された照明光１０２で、
レンズ３３の面内各部を走査する走査機構８と、照明光
１０２の走査位置に応じて，光学系７を移動させる移動
機構９と、光学系７が受光した偏光光１０３に基づい
て，レンズ３の複屈折を検出する複屈折検出部１０とを
備える。光学系７を、走査機構に同期して光軸ＡＸに対
して横ずらしすることにより、レンズ３の複屈折を測定
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学硝子内部に存
在する複屈折を測定する複屈折測定装置、特に、光学硝
子をレンズ形状に研磨した後の複屈折を測定可能な複屈
折測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の複屈折測定装置を示してい
る。この複屈折測定装置にあっては、光源６１から出射
された光は、偏光子６２を透過することにより方位Ｘの
直線偏光２０１となる。この直線偏光２０１の光は、複
屈折を有する被検ブロック（光学硝子をレンズ形状に研
磨する前の平行平面板）６３を透過することで、その複
屈折性により楕円偏光の光２０２になる。この楕円偏光
の光２０２は、１／４波長板６４を透過してある方位の
直線偏光の光２０３となる。この光２０３は検光子６５
を透過し、この透過光２０４が検出器６６で検出され
る。そして、この測定装置は、検光子６５を回転させる
ことにより、検出器６６に入射する透過光２０４の強度
が最小になる時の検光子６５の角度から被検ブロック６
３の複屈折量を求めるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
複屈折測定装置では、被検ブロック６３のような平行平
面板の複屈折は測定できるが、光学硝子をレンズ形状に
研磨した後にそのレンズの複屈折を測定することができ
ない。また、そのレンズに反射防止膜等の光学薄膜を蒸
着した後、或いは、そのレンズを鏡筒及びホルダーにマ
ウントした後に、そのレンズの複屈折を測定することが
できない。すなわち、光学硝子の研磨、光学薄膜の蒸
着、或いはマウントにより生じるレンズの複屈折を知る
ことができないという問題点があった。

【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その課題は、光学硝子をレンズ形状
に研磨した後の被検物の複屈折を測定可能で、光学硝子
の研磨、光学薄膜の蒸着、或いはマウント時に生じる被
検物の複屈折を知ることができる複屈折測定装置を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、請求項１に係る発明は、所定の偏光方位を有する第
１の偏光光を、複屈折を有する被検物の面内の一部に照
射する照射光学系と、前記第１の偏光光が前記被検物の
面内の一部を透過することにより、偏光方位が変換され
かつ被検物の光軸と平行な第２の偏光光を受光する受光
光学系と、前記第１の偏光光で、前記被検物の面内各部
を走査する走査機構と、前記被検物の面内における前記
第１の偏光光の走査位置に応じて，前記受光光学系を移
動させる移動機構と、前記受光光学系が受光した前記第
２の偏光光に基づいて，前記被検物の複屈折を検出する
複屈折検出部とを備えることを特徴とするものである。

【０００６】このような構成によれば、走査機構により
第１の偏光光で被検物の面内各部を走査するとともに、
受光光学系は被検物の光軸と平行な第２の偏光光を受光
する。このため、受光光学系を、走査機構に同期して被
検物の光軸に対して横ずらしすることにより、曲率や屈
折率の異なるレンズ形状の被検物の複屈折を測定可能と
なる。

【０００７】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
発明において、前記被検物は凸レンズであり、前記照射
光学系は、前記第１の偏光光を前記被検物の焦点位置で
反射する反射部材を含み、前記走査機構は、前記被検物
をその光軸を中心に回転させながら、前記反射部材の傾
きを変化させて前記第１の偏光光が前記被検物に入射す
る位置を変化させることを特徴とするものである。

【０００８】このような構成によれば、走査機構は、被
検物をその光軸を中心に回転させながら、反射部材の傾
きを変化させることにより、凸レンズである被検物の面
内全域を第１の偏光光で走査して被検物の面内複屈折分
布を測定することができる。また、その走査範囲を拡大
することにより、口径の大きな凸レンズにも対応するこ
とができ、設計の自由度が拡大する。また、反射部材
は、第１の偏光光を被検物の焦点位置で反射するので、
凸レンズの面内各部を透過した第２の偏光光は互いに平
行になる。このため、受光光学系を、反射部材の傾きの
変化に同期して凸レンズの光軸に対して横ずらしするこ
とにより、曲率や屈折率の異なる凸レンズ形状の被検物
の複屈折を測定可能となる。

【０００９】請求項３に係る発明は、請求項１に記載の
発明において、前記被検物は凹レンズであり、前記照射
光学系は、前記第１の偏光光を反射する反射部材を含
み、前記走査機構は、前記被検物をその光軸を中心に回
転させながら、前記反射部材の傾き及び位置を前記被検
物の曲率に合わせて変化させることを特徴とするもので
ある。

【００１０】このような構成によれば、凹レンズである
被検物をその光軸を中心に回転させながら、反射部材の
傾き及び位置を凹レンズの曲率に合わせて変化させこと
により、凹レンズの面内各部を透過した第２の偏光光が
互いに平行になるように、その面内各部を第１の偏光光
で走査することができる。このため、受光光学系を、反
射部材の傾き及び位置の変化に同期して凹レンズの光軸
に対して横ずらしすることにより、曲率や屈折率の異な
る凹レンズ形状の被検物の複屈折を測定可能となる。

【００１１】請求項４に係る発明は、請求項１〜３のい
ずれか一項に記載の発明において、前記受光光学系は、
前記被検物側から順に、前記第２の偏光光の偏光方位を
変換し、第３の偏光光を生成する変換部材と、前記変換
部材を該部材の光軸を中心として回転させる回転機構
と、前記第３の偏光光を受光する検出器とを有し、前記
複屈折検出部は、前記変換部材が前記回転機構で回転さ
せられている間に、前記第３の偏光光を受光して前記検
出器から出力される信号の強度変化に基づいて、前記被
検物の複屈折量と進相軸或いは遅相軸の方位とを測定す
ることを特徴とするものである。

【００１２】請求項５に係る発明は、所定の偏光方位を
有する第１の偏光光を複屈折を有する被検物の面内のほ
ぼ全域に照射する照射光学系と、前記第１の偏光光が前
記被検物の面内を透過して偏光方位が変換されかつ被検
物の光軸と平行な第２の偏光光の一部を受光する受光光
学系と、前記被検物を透過した前記第２の偏光光の一部
を、前記被検物の面内にわたって順次検出するように、
前記被検物と前記受光光学系とを相対移動させる移動機
構と、前記受光光学系が受光した前記第２の偏光光に基
づいて，前記被検物の複屈折を検出する複屈折検出部と
を備えることを特徴とするものである。

【００１３】このような構成によれば、第２の偏光光は
被検物の光軸に平行な平行光となるので、第２の偏光光
のいずれの部分も、全て平行光となる。このため、第２
の偏光光の一部を受光する受光光学系等の光学部材を、
被検物の曲率や屈折率に応じて位置調整する必要がな
い。また、照射光学系は、第１の偏光光を被検物の面内
のほぼ全域に照射するので、第１の偏光光で被検物の面
内各部を走査する走査機構が不要となり、その分だけ構
成が簡単になる。

【００１４】請求項６に係る発明は、請求項５に記載の
発明において、前記受光光学系は、前記被検物側から順
に、前記第２の偏光光のうち、前記受光光学系の光軸を
含む所定領域以外を通過する光を制限する絞りと、前記
絞りを通過した前記第２の偏光光の偏光方位を変換し、
第３の偏光光を生成する変換部材と、前記変換部材を該
部材の光軸を中心として回転させる回転機構と、前記第
３の偏光光を受光する検出器とを有し、前記複屈折検出
部は、前記変換部材が前記回転機構で回転させられてい
る間に、前記第３の偏光光を受光して前記検出器から出
力される信号の強度変化に基づいて、前記被検物の複屈
折量と進相軸或いは遅相軸の方位とを測定することを特
徴とするものである。

【００１５】請求項７に係る発明は、所定の偏光方位を
有する第１の偏光光を複屈折を有する被検物の面内のほ
ぼ全域に照射する照射光学系と、前記第１の偏光光が前
記被検物の面内を透過して偏光方位が変換されかつ被検
物の光軸と平行な第２の偏光光を複数の領域に分割する
分割光学系と、分割された前記第２の偏光光に基づい
て，前記被検物の複屈折を検出する複屈折検出部とを備
えることを特徴とするものである。

【００１６】このような構成によれば、第２の偏光光は
被検物の光軸に平行な平行光となるので、第２の偏光光
のいずれの部分も、全て平行光となる。このため、第２
の偏光光を複数の領域に分割する分割光学系等の光学部
材を、被検物の曲率や屈折率に応じて位置調整する必要
がない。また、分割光学系を被検物の光軸に対して横ず
らしする必要がなく、そのための駆動部が不要になるの
で、その分だけその構成が簡単になる。また、被検物の
面内各部の複屈折を、１回で測定することができ。

【００１７】請求項８に係る発明は、請求項７に記載の
発明において、前記分割光学系は、前記第２の偏光光の
偏光方位を変換し、第３の偏光光を生成する変換部材
と、前記変換部材で変換された前記第３の偏光光を、所
定の大きさに縮小する縮小光学系と、該縮小光学系から
出射された前記第３の偏光光を受光する検出器とを有
し、前記複屈折検出部は、前記変換部材が前記回転機構
で回転させられている間に、前記第３の偏光光を受光し
て前記検出器から出力される信号の強度変化に基づい
て，前記被検物の複屈折量と進相軸或いは遅相軸の方位
とを測定することを特徴とするものである。

【００１８】請求項９に係る発明は、請求７又は８に記
載の発明において、前記分割光学系は、前記検出器とし
て二次元ＣＣＤを含んでいることを特徴とするものであ
る。このような構成によれば、二次元ＣＣＤにより、第
３の偏光光を複数の領域に分割し、各分割した領域の強
度を独立して検出することができるので、第３の偏光光
を複数の領域に分割するためのレンズアレイ等の光学部
材を使用する必要がない。

【００１９】請求項１０に係る発明は、請求項７〜９の
いずれか一項に記載の発明において、被検物は凹レンズ
であり、前記照射光学系は、前記被検物と前記光源部と
の間に配置された集光光学系を有することを特徴とする
ものである。

【００２０】このような構成によれば、被検物を凹レン
ズとした場合にも、その凹レンズの焦点距離に応じた集
光光学系を照射光学系と凹レンズとの間に配置するだけ
で、曲率の異なる各種の凹レンズの面内複屈折分布を測
定することができる。ここで、集光光学系は、例えば集
光レンズである。

【００２１】請求項１１に係る発明は、所定の偏光方位
を有する第１の偏光光で、複屈折を有する被検物の面内
の各部を走査し、前記第１の偏光光が前記被検物の面内
の一部を透過することにより、偏光方位が変換され、か
つ被検物の光軸と平行な第２の偏光光を、各走査位置毎
に受光し、該走査位置毎に受光した前記第２の偏光光に
基づいて、前記被検物の複屈折を検出することを特徴と
する複屈折測定方法である。

【００２２】請求項１２に係る発明は、所定の偏光方位
を有する第１の偏光光を、複屈折を有する被検物の面内
のほぼ全域に照射し、前記第１の偏光光が前記被検物の
面内を透過して偏光方位が変換され、かつ前記被検物の
光軸と平行な第２の偏光光の一部を、前記被検物の面内
にわたって順次検出し、順次検出された前記第２の偏光
光に基づいて、前記被検物の複屈折を検出することを特
徴とする複屈折測定方法である。

【００２３】請求項１３に係る発明は、所定の偏光方位
を有する第１の偏光光を、複屈折を有する被検物の面内
のほぼ全域に照射し、前記第１の偏光光が前記被検物の
面内を透過して偏光方位が変換された第２の偏光光を複
数の領域に分割し、分割された前記第２の偏光光に基づ
いて、前記被検物の複屈折を検出することを特徴とする
複屈折測定方法である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る複屈折測定装
置及び複屈折測定方法の各実施形態を図面に基づいて説
明する。まず、第１実施形態に係る複屈折測定装置を図
１に基づいて説明する。

【００２５】この複屈折測定装置は、光源１と、偏光子
２と、所定の偏光方位を有する第１の偏光光を複屈折を
有する凸レンズである被検レンズ（被検物）３の面内の
一部に照射する照射光学系４とを備えている。光源１か
ら出射された光は偏光子２を透過して方位Ｙの直線偏光
の光（前記第１の偏光光）１０１となる。

【００２６】照射光学系４は、直線偏光の光１０１を反
射し、その反射光である照明光１０２を被検レンズ３の
面内の一部に照射する反射鏡５を備えている。照射光学
系４は、照明光１０２が被検レンズ３の面内の一部を透
過する際に屈折され、偏光方位が変換された楕円偏光の
光（第２の偏光光）１０３が、被検レンズ３の光軸ＡＸ
に平行な平行光となるように構成されている。そのた
め、照射光学系４の反射鏡５は、直線偏光の光１０１を
被検レンズ３の焦点位置で反射する位置に配置されてい
る。また、反射鏡５は、光源１及び偏光子２を載置した
支持台６上に揺動自在に支持されている。

【００２７】また、複屈折測定装置は、楕円偏光の光１
０３を受光する受光光学系７と、照明光１０２で、被検
レンズ３の面内各部を走査する走査機構８とを備えてい
る。さらに、複屈折測定装置は、被検レンズ３の面内に
おける照明光１０２の走査位置に応じて，受光光学系７
を移動させる移動機構９と、受光光学系７が受光した楕
円偏光の光１０３に基づいて，被検レンズ３の複屈折を
検出する複屈折検出部１０とを備えている。

【００２８】走査機構８は、揺動軸１１を介して支持部
１２に、光軸ＡＸを揺動中心として揺動自在に支持され
た反射鏡５を有する。この反射鏡５は、その反射面が被
検レンズ３の焦点位置を中心に回動して光１０１の反射
光である照明光１０２の方向を被検レンズ３の口径全域
にわたって変化させ得るように，揺動自在に支持されて
いる。さらに、走査機構８は、反射鏡５を光軸ＡＸに垂
直なＺ方向に揺動させる図示を省略したモータと、被検
レンズ３を光軸ＡＸを中心に回転させるレンズ回転機構
１３とを有する。したがって、本例では、反射鏡５は、
照射光学系４を構成しているとともに、走査機構８の一
部をも構成している。レンズ回転機構１３は、被検レン
ズ３を光軸ＡＸを中心に回転可能に保持する図示を省略
したレンズホルダーと、該レンズホルダーを回転させる
モータとからなる。そして、走査機構８は、レンズ回転
機構１３により被検レンズ３をその光軸ＡＸを中心に回
転させながら、反射鏡５の傾きを変化させて照明光１０
２を被検レンズ３に入射させる位置（像高）を変化させ
るようになっている。

【００２９】具体的には、走査機構８は、被検レンズ３
をレンズ回転機構１３により１回転させる毎に、反射鏡
５の傾きをＺ方向を含む面内でα方向へ所定角度ずつ変
化させていく。これによって、走査機構８は、照明光１
０２で、被検レンズ３の面内各部を円形状に走査する径
方向の位置を順次変化させ、その面内全域の各部を照明
光１０２で走査するようになっている。

【００３０】このような走査により、照明光１０２が被
検レンズ３を透過して該レンズ３の面内各部から出射さ
れる楕円偏光の光１０３は、全て光軸ＡＸに平行な平行
光になるとともに、その光１０３の出射位置が、被検レ
ンズ３の中心Ｃを通る仮想直線上でＺ方向に所定量ずつ
変化する。

【００３１】移動機構９は、被検レンズ３の面内におけ
る照明光１０２の走査位置に応じて、すなわち、楕円偏
光の光１０３の被検レンズ３からの出射位置の変化に合
わせて受光光学系７を光軸ＡＸに対して平行に横ずらし
するようになっている。すなわち、移動機構９は、走査
機構８による照明光１０２の走査に同期して、受光光学
系７の光軸を光軸ＡＸと平行にしたまま、受光光学系７
を光軸ＡＸに垂直なＺ方向へ移動させるようになってい
る。

【００３２】受光光学系７は、照明光１０２が被検レン
ズ３の面内の一部を透過することにより、偏光方位が変
換されかつ被検レンズ３の光軸と平行な楕円偏光の光１
０３を受光するようになっている。この受光光学系７
は、被検レンズ３側から順に、楕円偏光の光１０３の偏
光方位を変換し、この光１０３とは異なる楕円偏光の光
（第３の偏光光）１０４を生成する変換部材としての１
／４波長板１４と、検光子１５と、検出器１６とを含ん
でいる。第３の偏光光としての楕円偏光の光１０４は、
１／４波長板１４の方位θ１によっては直線偏光の光に
なることもある。光学部材１４〜１６は、光軸ＡＸと平
行な光軸に沿って一列に配置され、図示しないホルダに
支持されている。このホルダを前記移動機構９により移
動させることにより、受光光学系７をＺ方向に移動させ
ることができるようになっている。

【００３３】また、受光光学系７には、１／４波長板１
４をその光軸を中心として回転させる回転機構１７と、
１／４波長板１４の回転角度を検出する角度センサ１８
とが設けられている。回転機構１７は、１／４波長板１
４を回転可能に保持する図示を省略したホルダーと、該
ホルダーを回転させるモータとからなる。

【００３４】そして、複屈折検出部１０は、１／４波長
板１４が回転機構１７で回転させられている間に、検光
子１５から出射される直線偏光の光１０５を受光して検
出器１６から出力される信号の強度変化に基づいて、被
検レンズ３の複屈折量と進相軸或いは遅相軸の方位とを
測定するようになっている。

【００３５】次に、このような構成を有する第１実施形
態に係る複屈折測定装置の動作を説明する。光源１から
出射された光は、偏光子２を透過して方位Ｙの直線偏光
の光１０１となる。この光１０１は反射鏡５で反射さ
れ、この反射光である照明光１０２は、複屈折を有する
被検レンズ３の面内の一部に入射し、この被検レンズ３
で屈折されて楕円偏光の光１０３になる。この光１０３
は、１／４波長板１４を透過して光１０３とは異なる楕
円偏光の光１０４となる（１／４波長板１４の方位θ１
によっては直線偏光の光となる場合もある。）。そし
て、光１０４の一部は、検光子１５を透過して方位Ｘの
直線偏光の光１０５となって検出器１６に入射し、光１
０５の強度が検出器１６で検出される。

【００３６】いま、反射鏡５が図１に示す角度位置にあ
り、直線偏光の光１０１の反射光である照明光１０２が
被検レンズ３の一部の領域を照明し、被検レンズ３から
は楕円偏光の光１０３が出射しているものとする。この
とき、被検レンズ３が部分的に照明されている領域（測
定領域）の複屈折を測定する際には、１／４波長板１４
の方位θ１を所定角度Ｔ度ずつ回転させ、この各回転位
置において検出器１６で受光した光１０５の強度を複屈
折検出部１０で検出する。

【００３７】仮に、被検レンズ３の複屈折の方向（進相
軸或いは遅相軸の方位）がわかっているときには、光１
０５の強度が最小になるときの１／４波長板１４の角度
からその複屈折量がわかる。したがって、強度が最小に
なる位置がわかれば、１／４波長板１４をそれ以上回転
させる必要はない。

【００３８】一方、複屈折の方向及び複屈折量のいずれ
もわからない場合には、１／４波長板１４を所定角度Ｔ
度ずつ回転させた各回転位置で、検出器１６から出力さ
れる光１０５の強度変化を複屈折検出部１０でフーリエ
変換する。これにより、複屈折量と、進相軸或いは遅相
軸の方位とを測定することができる。

【００３９】以下に、その測定のために行う演算を数式
を用いて説明する。被検レンズ３の進相軸方位をφ、そ
の複屈折量をδとすると、図１に示す光学系のジョーン
ズ行列は、下記の数１で表される。

【００４０】

【数１】 ここで、θ１は１／４波長板１４の回転角、Ｅ₀ は偏光
子２の入射光の振幅、Ｅ_x，Ｅ_yはそれぞれ検出器１６で
受光される光１０５の振幅である。

【００４１】また、検出器１６で検出される光１０５の
強度は、１／４波長板１４の回転角θ１の関数として、
下記の数２で表される。

【００４２】

【数２】 ここで、Ｉ₀ は前記入射光の強度である。

【００４３】数２をθ１に関してフーリエ変換すると、
下記の数３で示す３つの式が得られる。

【００４４】

【数３】 ここで、Ｔは１／４波長板１４の回転角度である。ま
た、未知数はＩ₀ ，φ及びδであり、数３の３つの式か
らφとδを求めると、下記の数４で表される。

【００４５】

【数４】 そして、被検レンズ３の面内複屈折分布を測定するに
は、上述したように照明光１０２で部分的に照明された
被検レンズ３の一部の領域の複屈折を測定した後、反射
鏡５を図１と同じ角度位置に保持したまま、被検レンズ
３を所定角度ずつ回転させる。これらの各回転角度位置
で、図１に示す測定領域と同一半径上にある複数の測定
領域について、複屈折量と複屈折の方向（進相軸或いは
遅相軸の方位）とをそれぞれ測定する。

【００４６】次に、反射鏡５を図１でＺ方向に所定角度
傾けて光１０１の反射角を変化させることにより、照明
光１０２により被検レンズ３を部分的に照明する領域
（測定領域）を図１で示す位置から、被検レンズ３の中
心Ｃを通る仮想直線上で右方（径方向内方）へ所定量変
位させる。このとき、反射鏡５を傾けるのに同期して、
被検レンズ３から出射される楕円偏光の光１０３の出射
位置が図１の位置から右方へ移動する量だけ、受光光学
系７を移動機構９によりＺ方向へ移動させる。

【００４７】これにより、被検レンズ３の複屈折を測定
する領域が図１で示す位置より径方向内側へ所定量だけ
移ったことになる。ここで、被検レンズ３を再び所定角
度ずつ回転させ、これらの各位置でも上記と同様の測定
を行う。

【００４８】このようにして、反射鏡５の傾きを所定角
度ずつ変えるとともに、これらの各角度位置で被検レン
ズ３を所定角度ずつ１回転させることにより、被検レン
ズ３を照明光１０２で照明する測定領域を被検レンズ３
の全領域にわたって変えていく。これとともに、反射鏡
５の傾きを変化させるのに同期して受光光学系７をＺ方
向へ移動させる。

【００４９】すなわち、反射鏡５の傾き角度を変えると
ともに被検レンズ３を回転させることにより、被検レン
ズ３の面内全域を照明光１０２で走査しながら、各測定
領域の複屈折を順次測定していく。

【００５０】このようにして、被検レンズ３の面内各部
の測定領域において複屈折を測定することにより、これ
ら全ての測定結果から被検レンズ３の面内複屈折分布が
わかる。

【００５１】以上のように構成された第１実施形態によ
れば、以下のような作用及び効果を奏する。 （１）走査機構８により、直線偏光の光１０１の反射光
である照明光１０２で被検レンズ３の面内各部を走査す
るとともに、受光光学系７は被検レンズ３の光軸ＡＸと
平行な楕円偏光の光１０３を受光する。このため、受光
光学系７を、走査機構８に同期して被検レンズ３の光軸
ＡＸに対して横ずらしすることにより、曲率や屈折率の
異なる凸レンズである被検レンズ３の複屈折を測定する
ことができる。ここで、「受光光学系７を光軸ＡＸに対
して横ずらしする」とは、受光光学系７の光軸を光軸Ａ
Ｘと平行にしたまま、受光光学系７を光軸ＡＸに垂直な
Ｚ方向へ移動させることである。 （２）照射光学系４の反射鏡５は、方位Ｙの直線偏光の
光１０１を被検レンズ３の焦点位置で反射し、照明光１
０２を被検レンズ３の面内の一部に照射している。これ
とともに、走査機構８は、被検レンズ３を１回転させる
毎に、反射鏡５の傾きをＺ方向を含む面内でα方向へ所
定角度ずつ変化させ、被検レンズ３の全域を照明光１０
２で走査している。

【００５２】このような構成により、直線偏光の光１０
１の反射光である照明光１０２で被検レンズ３全域の面
内各部を走査することができるとともに、該各部から出
射される楕円偏光の光１０３は、全て被検レンズ３の光
軸ＡＸに平行な光となる。このため、被検レンズ３の面
内複屈折分布を測定する際に、受光光学系７等を、被検
レンズ３の曲率や屈折率に応じて位置調整する必要がな
い。また、反射鏡５の角度変化に同期して受光光学系７
を光軸ＡＸにほぼ垂直なＺ方向に横ずらしするだけで、
被検レンズ３の面内各部の複屈折を測定することができ
る。したがって、どのような曲率の凸レンズに対して
も、レンズ形状に研磨された被検レンズ３の複屈折を測
定することができ、光学硝子の研磨、光学薄膜の蒸着、
或いはマウント時に生じる複屈折を知ることができる。 （３）移動機構９により、受光光学系７を照明光１０２
の走査位置に応じて移動させながら、被検レンズ３の面
内各部の複屈折を測定するので、被検レンズ３自体をそ
の光軸ＡＸと交差する方向へ動かす必要がない。 （４）直線偏光の光１０１を反射する反射鏡５の傾き角
度を変えることにより、その反射光である照明光１０２
で被検レンズ３の面内各部を走査するので、反射鏡５の
揺動可能な角度範囲を変えることにより、口径の大きな
被検レンズ３にも対応することができ、設計の自由度を
高めることができる。

【００５３】次に、本発明に係る複屈折測定装置の第２
実施形態を図２に基づいて説明する。第２実施形態は、
被検レンズ３Ａとして凹レンズを使用できるようにした
ものである。本実施形態の説明において、第１実施形態
と同様な部材及び光については同符号を付し説明を省略
する。

【００５４】本実施形態では、第１実施形態と同様に、
照明光１０２が凹レンズである被検レンズ３Ａによって
屈折された楕円偏光の光１０３が被検レンズ３Ａの光軸
ＡＸと平行になるように、直線偏光の光１０１を反射鏡
５で反射し、その反射光である照明光１０２を凹レンズ
３Ａの一部に照射するようになっている。すなわち、本
実施形態の走査機構８Ａは、被検レンズ３Ａの複屈折を
測定する際に、被検レンズ３Ａを１回転する毎に、被検
レンズ３Ａの面内各部から出射される楕円偏光の光１０
３が光軸ＡＸと平行になるように、反射鏡５の傾きを前
記α方向へ所定角度ずつ変化させるととともに反射鏡５
をＺ方向へ所定量ずつ移動させる。

【００５５】そのため、走査機構８Ａは、上記第１実施
形態の走査機構８に加えて、可動ステージ２０と、これ
を駆動するモータ２１とを備えている。可動ステージ２
０は、支持台６上に、Ｚ方向に移動可能に支持されてい
る。この可動ステージ２０上には、光源１及び偏光子２
が固定して設けられているとともに、反射鏡５が揺動可
能に設けられている。

【００５６】また、本実施形態では、照明光１０２が被
検レンズ３Ａで屈折された楕円偏光の光１０３が常に被
検レンズ３Ａの光軸ＡＸと平行になるように、反射鏡５
の傾き及びＺ方向の位置を被検レンズ３Ａの曲率に合わ
せて変化させる。これにより、反射鏡５で直線偏光の光
１０１を反射する点と、被検レンズ３Ａとの距離をその
焦点距離にしておく必要はない。

【００５７】そして、被検レンズ３Ａの面内複屈折分布
を測定する場合には、被検レンズ３Ａをψ方向に回転さ
せ、反射鏡５を図２に示すＺ方向を含む面内でα方向へ
傾けると同時に反射鏡５をＺ方向へ移動させる。これと
ともに、反射鏡５に同期して受光光学系７をＺ方向に移
動させる。

【００５８】この第２実施形態によれば、前記第１実施
形態の作用及び効果に加えて、以下の作用及び効果を奏
する。 （５）凹レンズである被検レンズ３Ａをその光軸ＡＸを
中心に回転させながら、楕円偏光の光１０３が常に光軸
ＡＸと平行になるように、反射鏡５の傾き及び位置を被
検レンズ３Ａの曲率に合わせて変化させる。これによ
り、直線偏光１０１の反射光である照明光１０２で被検
レンズ３Ａの面内各部を走査するので、その各部を透過
した楕円偏光の光１０３は光軸ＡＸに平行になる。受光
光学系７を、反射鏡５の傾き及び位置の変化に同期して
被検レンズ３Ａの光軸に対して横ずらしすることによ
り、曲率や屈折率の異なる凹レンズ形状の被検レンズ３
Ａの複屈折を測定することができる。

【００５９】次に、本発明に係る複屈折測定装置の第３
実施形態を図３に基づいて説明する。この説明におい
て、図１に示す第１の実施形態と同様の部位には同一の
符号を付して説明を省略する。

【００６０】本実施形態は、凸レンズである被検レンズ
３の面内複屈折分布を測定する際に、前記反射鏡５を不
要にした点で上記第１実施形態とは異なる。すなわち、
本実施形態では、偏光子２から出射される方位Ｘの直線
偏光の光１１１を、被検レンズ３の面内のほぼ全域に照
射する照射光学系４Ａが設けられている。

【００６１】これとともに、受光光学系７Ａには、第１
実施形態の受光光学系７の構成に加えて、被検レンズ３
から出射される楕円偏光の光１１３（この光は平行光
束）のうち、測定に必要な部分の測定光のみを通し、そ
れ以外を遮光する絞り３０が設けられている。楕円偏光
の光１１３は光軸ＡＸに平行な平行光束であるため、そ
の光束のどの部分を測定光として絞り３０で取り出す場
合でも、絞り３０を通過する各測定光は、全て光軸ＡＸ
に平行な平行光となる。

【００６２】照射光学系４Ａは、直線偏光の光１１１を
発散して被検レンズ３のほぼ全域を照射する照明光１１
２を作れるものであれば何でもよい。例えば、照射光学
系４Ａとして、顕微鏡の対物レンズのような複数枚のレ
ンズからなる照明光学系、光ファイバーの端末部、回折
格子、ピンホール等が考えられる。

【００６３】また、本実施形態においても、照明光１１
２が被検レンズ３で屈折された後の楕円偏光の光１１３
が、被検レンズ３の光軸ＡＸと平行な平行光束となるよ
うに、照射光学系４Ａが作られている。また、照射光学
系４Ａに複屈折があると、結果として照射光学系４Ａ及
び被検レンズ３の複合の複屈折が測定されてしまうの
で、照射光学系４Ａ単体の複屈折を上記第１実施形態の
複屈折測定装置により予め測定しておく必要がある。こ
の測定値を、本実施形態で得られる測定値から減算する
ことにより、被検レンズ３のみの複屈折を正確に測定す
ることができる。

【００６４】そして、本実施形態では、被検レンズ３の
面内複屈折分布を測定する際に、被検レンズ３を所定角
度ずつ回転させながら、受光光学系７Ａを移動機構９に
よりＹ方向へ平行移動させる。このとき、受光光学系７
Ａは、被検レンズ３をψ方向へ１回転させる毎に、所定
量ずつＹ方向（図３では被検レンズ３の径方向内方）へ
移動させていく。これによって、被検レンズ３の面内全
域の各部から測定光を取り出して、各部の複屈折を上述
した方法で複屈折検出部１０により測定する。

【００６５】この第３実施形態によれば、前記第１，第
２実施形態の作用及び効果に加えて、以下の作用及び効
果を奏する。 （６）照射光学系４Ａは、方位Ｘの直線偏光の光１１１
を被検レンズ３の面内のほぼ全域を照明する照明光１１
２にし、この照明光１１２で被検レンズ３の面内のほぼ
全域を照明する。このため、第１実施形態のように、反
射鏡５により照明光１０２で被検レンズ３の面内各部を
走査する必要がない。これによって、反射鏡５とこの傾
きを変化させるための駆動部とが不要になり、全体の構
成及び制御の簡略化、部品点数の削減、及びコストの低
減を図ることができる。 （７）異なる焦点距離を有する被検レンズ３の複屈折を
測定する際には、楕円偏光の光１１３が平行光束となる
ように、被検レンズ３のＺ方向の位置を調節することに
より、異なる焦点距離の被検レンズ３を測定する際の調
整を簡単に行うことができる。

【００６６】次に、本発明に係る複屈折測定装置の第４
実施形態を図４に基づいて説明する。本実施形態は、被
検レンズ３の面内複屈折分布を測定する際に、第３実施
形態のように受光光学系７Ａを移動させる必要をなくし
た点で第３実施形態とは異なる。そのために、本実施形
態では、平行光束になって被検レンズ３から出射される
楕円偏光の光１１３を、複数の領域に分割する分割光学
系７Ｂが設けられている。

【００６７】この分割光学系７Ｂは、被検レンズ３側か
ら順に、１／４波長板１４Ｂと、縮小リレー系４０と、
検光子１５と、レンズアレイ４１と、検出器としての二
次元撮像素子１６Ｂとから構成される。

【００６８】１／４波長板１４Ｂは、被検レンズ３から
出射され、平行光束である楕円偏光の光１１３の全領域
が入射するのに十分な大きさの外径を有している。楕円
偏光の光１１３は、１／４波長板１４Ｂにより、平行光
束のまま、楕円偏光の光１１３とは偏光方位が異なった
楕円偏光の光１１６に変換される。この平行光束は、縮
小リレー系４０により光束径を縮小されて検光子１５に
入射し、この検光子１５を透過することで方位Ｙの直線
偏光の光１１７となる。この光１１７は、レンズアレイ
４１によりそのメッシュ数だけ複数の領域に分割されて
二次元撮像素子１６Ｂ上に結像されるようになってい
る。

【００６９】この第４実施形態によれば、前記第１〜第
３実施形態の作用及び効果に加えて、以下の作用及び効
果を奏する。 （８）被検レンズ３を透過した平行光束である楕円偏光
の光１１３は、１／４波長板１４Ｂにより平行光束のま
ま楕円偏光の光１１６に変換される。この光１１６は、
縮小リレー系４０で光束径を縮小されて検光子１５に入
射し、この検光子１５を透過することで方位Ｙの直線偏
光の光１１７となる。この光１１７は、レンズアレイ４
１によりそのメッシュ数だけ複数の領域に分割されて二
次元撮像素子１６Ｂ上に結像される。

【００７０】このようにして二次元撮像素子１６Ｂ上に
結像された複数のスポット光（測定光）の強度を、被検
レンズ３を回転させたり或いは分割光学系７Ｂを移動さ
せたりせずに、一括して測定することができる。したが
って、被検レンズ３の面内複屈折分布を一括して測定す
ることができ、測定時間の大幅な短縮化を図れるととも
に、測定作業の効率を大幅に向上させることができる。 （９）第３実施形態のように、被検レンズ３を回転させ
たり、受光光学系７ＡをＹ方向へ移動させたりする必要
がなく、測定時に１／４波長板１４Ｂのみを回転させる
だけでよい。したがって、前記移動機構９やレンズ回転
機構１３が不要になり、全体の構成の大幅な簡素化及び
コストの大幅な低減を図ることができる。

【００７１】次に、本発明に係る複屈折測定装置の第５
実施形態を図５に基づいて説明する。第５実施形態は、
上記第４実施形態において、被検レンズ３Ａとして凹レ
ンズを使用できるようにしたものである。基本的な構成
や測定方法は、第４実施形態と同様なため、同様な部材
及び光については同符号を付し説明を省略する。

【００７２】本実施形態では、照射光学系４Ａと凹レン
ズである被検レンズ３Ａとの間に、被検レンズ３Ａから
出射される楕円偏光の光１１８が平行光束となるよう
に、被検レンズ３Ａの焦点距離に応じた集光レンズ系５
０が配置されている。その他の構成は、第４実施形態と
同じである。

【００７３】なお、本実施形態では、照射光学系４Ａと
集光レンズ系５０に複屈折が存在する場合、被検レンズ
３Ａの複屈折を正確に測定できないので、照射光学系４
Ａ及び集光レンズ系５０それぞれの複屈折を、上記第１
〜第４実施形態のいずれか１つの複屈折測定装置により
予め測定しておく。この測定値分だけ、本実施形態によ
る測定値から減算することにより、被検レンズ３Ａのみ
の複屈折を正確に測定することができる。

【００７４】この第５実施形態によれば、前記第１〜第
４実施形態の作用及び効果に加えて、以下の作用及び効
果を奏する。 （１０）被検レンズ３Ａを凹レンズとした場合にも、そ
の凹レンズの焦点距離に応じた集光レンズを照射光学系
４Ａと凹レンズ３Ａとの間に配置するだけで、被検レン
ズ３Ａの面内複屈折分布を測定することができる。

【００７５】次に、前記各実施形態から把握できる請求
項に記載した発明以外の技術的思想について、それらの
効果と共に以下に記載する。 （イ） 所定の偏光方位を有する第１の偏光光を複屈折
を有する被検物の面内の一部に照射する照射光学系４
と、前記第１の偏光光が被検物の面内の一部を透過する
ことにより、偏光方位が変換された第２の偏光光を受光
する受光光学系７と、前記第１の偏光光で、被検物の面
内各部を走査する走査機構８と、前記被検物の面内にお
ける前記第１の偏光光の走査位置に応じて，前記受光光
学系７を移動させる移動機構９と、前記受光光学系７が
受光した前記第２の偏光光に基づいて，前記被検レンズ
の複屈折を検出する複屈折検出部とを備え、前記照射光
学系４及び走査機構８を、前記第２の偏光光が前記被検
物の光軸ＡＸに平行な平行光となるように構成したこと
を特徴とする複屈折測定装置。

【００７６】この構成によれば、前記第２の偏光光が光
軸ＡＸに平行な平行光になるので、被検物の複屈折を測
定する際に、受光光学系７を、第２の偏光光を常に受光
するように、走査機構８の走査に同期して光軸ＡＸに対
して横ずらしすればよい。したがって、光学硝子をレン
ズ形状に研磨した後の被検物の複屈折の測定を、簡単な
構成で実現することができる。

【００７７】（ロ）所定の偏光方位を有する第１の偏光
光を複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射する
照射光学系４Ａと、前記第１の偏光光が前記被検物の面
内を透過して偏光方位が変換された第２の偏光光の一部
を受光する受光光学系７Ａと、前記被検物を透過した前
記第２の偏光光の一部を、前記被検物の面内にわたって
順次検出するように、前記被検物と前記受光光学系７Ａ
とを相対移動させる移動機構９と、前記受光光学系７Ａ
が受光した前記第２の偏光光に基づいて，前記被検物の
複屈折を検出する複屈折検出部１０と、前記照射光学系
４Ａを、前記第２の偏光光が前記被検物の光軸ＡＸに平
行な平行光となるように構成したことを特徴とする複屈
折測定装置。

【００７８】この構成によれば、前記第２の偏光光が光
軸ＡＸに平行な平行光になるので、被検物の複屈折を測
定する際に、被検物と受光光学系７Ａのいずれか一方
を、同期して光軸ＡＸに対して横ずらしすればよい。し
たがって、光学硝子をレンズ形状に研磨した後の被検物
の複屈折の測定を、簡単な構成で実現することができ
る。

【００７９】（ハ）所定の偏光方位を有する第１の偏光
光を複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射する
照射光学系４Ａと、前記第１の偏光光が前記被検物の面
内を透過して偏光方位が変換された第２の偏光光を複数
の領域に分割する分割光学系７Ｂと、分割された前記第
２の偏光光に基づいて，前記被検物の複屈折を検出する
複屈折検出部１０とを備え、前記照射光学系４Ａを、前
記第２の偏光光が前記被検物の光軸ＡＸに平行な平行光
束となるように構成したことを特徴とする複屈折測定装
置。

【００８０】この構成によれば、前記第２の偏光光が光
軸ＡＸに平行な平行光束になるので、被検物の複屈折を
測定する際に、分割光学系７Ｂにより分割された第２の
偏光光の複数の領域の各測定光は互いに平行な光であ
る。したがって、その複数の領域の各測定光は、全て同
じ条件で複屈折検出部１０による複屈折の検出に用いら
れ、複屈折を正確に検出することができる。 （変形例）なお、この発明は以下のように変更して具体
化することもできる。

【００８１】・前記第１，第２，第３実施形態におい
て、１／４波長板１４を回転させる代わりに、検光子１
５を回転させてもよい。同様に、前記第４及び第５実施
形態において、１／４波長板１４Ｂを回転させる代わり
に、検光子１５を回転させてもよい。

【００８２】・前記第１〜第３実施形態において、受光
光学系７，７Ａを、その光軸を被検レンズ３の光軸ＡＸ
と平行にした状態で、光軸ＡＸを中心に回転させるよう
に構成してもよい。このように構成した場合、受光光学
系７，７Ａを１回転させる毎に、反射鏡５の傾きを所定
角度ずつ変化させていくことにより、被検レンズ３の面
内各部を照明光１０２で走査することができる。これに
よって、被検レンズ３を回転させるためのレンズ回転機
構１３を不要にすることができ，その分だけ構成の簡略
化を図ってコストを低減することができる。

【００８３】・前記第１及び第２実施形態において、直
線偏光の光１０１の方位（偏光方位）をＹとしている
が、その方位はＹ方向に限らない。同様に、上記第３〜
第５実施形態において、直線偏光の光１１１の方位（偏
光方位）をＸとしているが、その方位はＸ方向に限らな
い。

【００８４】・前記第４実施形態において、二次元撮像
素子１６Ｂとして、入射光を複数の領域に分割し、各領
域の光強度を独立に検出できるものを使用することによ
り、前記レンズアレイ４１を不要にすることができる。
そのような二次元撮像素子として、例えば、画素毎の光
強度を独立して検出することができる二次元ＣＣＤ等を
使用することができる。

【００８５】なお、請求項１１に記載された発明に係る
複屈折測定方法は、前記第１或いは第２実施形態に係る
複屈折測定装置により具体的に実施される。また、請求
項１２に記載された発明に係る複屈折測定方法は、前記
第３実施形態に係る複屈折測定装置により具体的に実施
される。

【００８６】そして、請求項１３に記載された発明に係
る複屈折測定方法は、前記第４或いは第５実施形態に係
る複屈折測定装置により具体的に実施される。

【００８７】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に係る発
明によれば、光学硝子をレンズ形状に研磨した後の被検
物の複屈折を測定することができ、光学硝子の研磨、光
学薄膜の蒸着、或いはマウント時に生じる被検物の複屈
折を知ることができる。

【００８８】請求項２に係る発明によれば、凸レンズで
ある被検物の面内全域を第１の偏光光で走査して被検物
の面内複屈折分布を測定することができる。また、その
走査範囲を拡大することにより、口径の大きな凸レンズ
にも対応することができ、設計の自由度が拡大する。ま
た、受光光学系を、反射部材の傾きの変化に同期して凸
レンズの光軸に対して横ずらしすることにより、曲率や
屈折率の異なる凸レンズ形状の被検物の複屈折を測定す
ることができる。

【００８９】請求項３に係る発明によれば、受光光学系
を、反射部材の傾き及び位置の変化に同期して凹レンズ
の光軸に対して横ずらしすることにより、曲率や屈折率
の異なる凹レンズ形状の被検物の複屈折を測定すること
ができる。

【００９０】請求項５に係る発明によれば、第２の偏光
光の一部を受光する受光光学系等の光学部材を、被検物
の曲率や屈折率に応じて位置調整する必要がない。ま
た、第１の偏光光で被検物の面内各部を走査する走査機
構が不要となるので、その分だけ構成を簡素化すること
ができる。

【００９１】請求項７に係る発明によれば、第２の偏光
光を複数の領域に分割する分割光学系等の光学部材を、
被検物の曲率や屈折率に応じて位置調整する必要がな
い。また、分割光学系を被検物の光軸に対して横ずらし
する必要がなく、そのための駆動部が不要になるので、
その分だけ構成の簡素化を図ることができる。また、被
検物の面内各部の複屈折を、１回で測定することがで
き、測定作業の効率を向上させることができる。

【００９２】請求項９に係る発明によれば、二次元ＣＣ
Ｄにより、第３の偏光光を複数の領域に分割し、各分割
した領域の強度を独立して検出することができるので、
第３の偏光光を複数の領域に分割するためのレンズアレ
イ等の光学部材を使用する必要がない。

【００９３】請求項１０に係る発明によれば、被検物を
凹レンズとした場合にも、その凹レンズの焦点距離に応
じた集光レンズを照射光学系と凹レンズとの間に配置す
るだけで、曲率の異なる各種の凹レンズの面内複屈折分
布を測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る複屈折測定装置を
示す概略構成図。

【図２】本発明の第２実施形態に係る複屈折測定装置を
示す概略構成図。

【図３】本発明の第３実施形態に係る複屈折測定装置を
示す概略構成図。

【図４】本発明の第４実施形態に係る複屈折測定装置を
示す概略構成図。

【図５】本発明の第５実施形態に係る複屈折測定装置を
示す概略構成図。

【図６】従来の複屈折測定装置を示す概略構成図。

【符号の説明】

３…被検レンズ、３Ａ…被検レンズ、４，４Ａ…照射光
学系、５…反射鏡（反射部材）、７，７Ａ…受光光学
系、７Ｂ…分割光学系、８…走査機構、９…移動機構、
１０…複屈折検出部、１４，１４Ｂ…１／４波長板（変
換部材）、１６…検出器、１７…回転機構、３０…絞
り、４０…縮小リレー系（縮小光学系）、５０…集光レ
ンズ，ＡＸ…光軸。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光
   を、複屈折を有する被検物の面内の一部に照射する照射
   光学系と、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内の一部を透過する
   ことにより、偏光方位が変換されかつ被検物の光軸と平
   行な第２の偏光光を受光する受光光学系と、 前記第１の偏光光で、前記被検物の面内各部を走査する
   走査機構と、 前記被検物の面内における前記第１の偏光光の走査位置
   に応じて，前記受光光学系を移動させる移動機構と、 前記受光光学系が受光した前記第２の偏光光に基づい
   て，前記被検物の複屈折を検出する複屈折検出部とを備
   えることを特徴とする複屈折測定装置。
2. 【請求項２】 前記被検物は凸レンズであり、前記照射
   光学系は、前記第１の偏光光を前記被検物の焦点位置で
   反射する反射部材を含み、前記走査機構は、前記被検物
   をその光軸を中心に回転させながら、前記反射部材の傾
   きを変化させて前記第１の偏光光が前記被検物に入射す
   る位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の
   複屈折測定装置。
3. 【請求項３】 前記被検物は凹レンズであり、前記照射
   光学系は、前記第１の偏光光を反射する反射部材を含
   み、前記走査機構は、前記被検物をその光軸を中心に回
   転させながら、前記反射部材の傾き及び位置を前記被検
   物の曲率に合わせて変化させることを特徴とする請求項
   １に記載の複屈折測定装置。
4. 【請求項４】 前記受光光学系は、前記被検物側から順
   に、前記第２の偏光光の偏光方位を変換し、第３の偏光
   光を生成する変換部材と、前記変換部材を該部材の光軸
   を中心として回転させる回転機構と、前記第３の偏光光
   を受光する検出器とを有し、前記複屈折検出部は、前記
   変換部材が前記回転機構で回転させられている間に、前
   記第３の偏光光を受光して前記検出器から出力される信
   号の強度変化に基づいて、前記被検物の複屈折量と進相
   軸或いは遅相軸の方位とを測定することを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか一項に記載の複屈折測定装置。
5. 【請求項５】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光を
   複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射する照射
   光学系と、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内を透過して偏光方
   位が変換されかつ被検物の光軸と平行な第２の偏光光の
   一部を受光する受光光学系と、 前記被検物を透過した前記第２の偏光光の一部を、前記
   被検物の面内にわたって順次検出するように、前記被検
   物と前記受光光学系とを相対移動させる移動機構と、 前記受光光学系が受光した前記第２の偏光光に基づい
   て，前記被検物の複屈折を検出する複屈折検出部とを備
   えることを特徴とする複屈折測定装置。
6. 【請求項６】 前記受光光学系は、前記被検物側から順
   に、前記第２の偏光光のうち、前記受光光学系の光軸を
   含む所定領域以外を通過する光を制限する絞りと、前記
   絞りを通過した前記第２の偏光光の偏光方位を変換し、
   第３の偏光光を生成する変換部材と、前記変換部材を該
   部材の光軸を中心として回転させる回転機構と、前記第
   ３の偏光光を受光する検出器とを有し、 前記複屈折検出部は、前記変換部材が前記回転機構で回
   転させられている間に、前記第３の偏光光を受光して前
   記検出器から出力される信号の強度変化に基づいて、前
   記被検物の複屈折量と進相軸或いは遅相軸の方位とを測
   定することを特徴とする請求項５に記載の複屈折測定装
   置。
7. 【請求項７】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光を
   複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射する照射
   光学系と、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内を透過して偏光方
   位が変換されかつ被検物の光軸と平行な第２の偏光光を
   複数の領域に分割する分割光学系と、 分割された前記第２の偏光光に基づいて，前記被検物の
   複屈折を検出する複屈折検出部とを備えることを特徴と
   する複屈折測定装置。
8. 【請求項８】 前記分割光学系は、前記第２の偏光光の
   偏光方位を変換し、 第３の偏光光を生成する変換部材と、前記変換部材で変
   換された前記第３の偏光光を、所定の大きさに縮小する
   縮小光学系と、該縮小光学系から出射された前記第３の
   偏光光を受光する検出器とを有し、 前記複屈折検出部は、前記変換部材が前記回転機構で回
   転させられている間に、前記第３の偏光光を受光して前
   記検出器から出力される信号の強度変化に基づいて，前
   記被検物の複屈折量と進相軸或いは遅相軸の方位とを測
   定することを特徴とする請求項７に記載の複屈折測定装
   置。
9. 【請求項９】 前記分割光学系は、前記検出器として二
   次元ＣＣＤを含んでいることを特徴とする請求項７又は
   ８に記載の複屈折測定装置。
10. 【請求項１０】 前記被検物は凹レンズであり、前記照
    射光学系は、前記被検物と前記光源部との間に配置され
    た集光光学系を有することを特徴とする請求項７〜９の
    いずれか一項に記載の複屈折測定装置。
11. 【請求項１１】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光
    で、複屈折を有する被検物の面内の各部を走査し、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内の一部を透過する
    ことにより、偏光方位が変換され、かつ被検物の光軸と
    平行な第２の偏光光を、各走査位置毎に受光し、 該走査位置毎に受光した前記第２の偏光光に基づいて、
    前記被検物の複屈折を検出することを特徴とする複屈折
    測定方法。
12. 【請求項１２】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光
    を、複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射し、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内を透過して偏光方
    位が変換され、かつ前記被検物の光軸と平行な第２の偏
    光光の一部を、前記被検物の面内にわたって順次検出
    し、 順次検出された前記第２の偏光光に基づいて、前記被検
    物の複屈折を検出することを特徴とする複屈折測定方
    法。
13. 【請求項１３】 所定の偏光方位を有する第１の偏光光
    を、複屈折を有する被検物の面内のほぼ全域に照射し、 前記第１の偏光光が前記被検物の面内を透過して偏光方
    位が変換された第２の偏光光を複数の領域に分割し、 分割された前記第２の偏光光に基づいて、前記被検物の
    複屈折を検出することを特徴とする複屈折測定方法。