KR0141575B1 - 수상관과 수상관의 반사 및 대전방지 처리방법 - Google Patents
수상관과 수상관의 반사 및 대전방지 처리방법Info
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Abstract
수상관의 표면에 주위 광에 의한 반사 상이 생긴 경우에 그 반사 상의 광량을 억제하여 상의 윤곽을 흐리게 하고, 또한 고 전압의 인가 중에 유기 되는 유리패널 표면의 대전을 방지한다.
유리 패널 면(1)을 0.6㎛Rz 내지 0.8㎛Rz의 표면 거칠기를 갖는 유리 산란면(9)으로 끝마무리하고, 그 위에 막 두께 약 300Å의 대전 막(7)을 형성하고, 다시 그 위에 투명 박막(8)을 적층하여 대전 막(7)과 투명 박막(8)과의 막 두께의 상호 조정에 의해 반사 방지 효과를 향상시킨다. 더구나 대전 막(7)에 의해 대전 방지 효과를 향상시키고, 또한 유리 산란 면(9)에 의해 반사 상의 그러데이션 효과를 향상시킨다.
Description
본 발명은 수상관에 관한 것으로, 특히 유리 패널의 대전 방지 및 표면 반사 방지와 반사상(reflected image)의 그러데이션을 행한 수상관에 관한 것이며, 또한 수상관의 반사와 대전 방지 처리 방법에 관한 것이다.
(종래의 기술)
수상관에서는 고전압이 양극 전극으로서 인가된 경우에, 그 유리 패널 표면이 대전된다. 이 대전에 의해 패널 면에 먼지가 흡착되어서 패널 면이 오염되거나 혹은 손을 가까이 하면, 전류에 의한 갑작스런 충격을 받은 것과 같은 불쾌감이 있다.
이로 인하여, 유리 패널 표면에 투명 도전 막을 형성하고, 밸브 고정 쇠 장식을 통해 접지를 하는 대전 방지형 수상관이 시판되고 있다. 이 대전 방지형 수상관에 사용되고 있는 투명 도전 막의 재료는 산화 주석(SnO3)이나 산화 인듐(In2O3) 외에, 산화 티탄(TiO2) 등을 주체로 하고 있으나, 그 투명 도전 막의 굴절률이 유리(n=1.52)에 비해서 약 2.0으로 높기 때문에, 일반적인 막 두께의 조건에서는 투명 도전 막의 막 두께가 증가할수록 유리 패널 표면의 반사 상이 강조된다.
또한 수직 입사의 경우, 프레넬의 식에 있어서 입사 광과 반사광과 사이의 위상 각이 (1)식의 조건을 만족시키는 경우에 반사광은 가장 강하게 된다.
(2m+1)π = (4π/λ)nd ............... (1)
여기서, λ는 파장, n은 굴절률, d는 막 두께이다.
먼저, 표준으로 하는 광의 파장 λ를 550nm로 하여, 유리 패널의 표면에 있어서 수직의 반사율은, 통상의 유리에서는 약 4.3%이고, 대전 막에서는 제 3도에 도시하는 바와 같이 700Å 부근에서 극대치 약 20%의 반사율로 된다.
상술한 투명 도전 막의 재료를 사용해서, 연속적인 생산에 적합한 열 CVD법에 의해 대전 막을 형성하는 경우, 그 막 두께가 두꺼워지면, 막에 균열이 생기는 경우가 있고, 수백 Å 정도의 막 두께가 1층의 경우의 한계이다. 이 막 두께의 위에서는 제 3도에서 명백한 바와 같이 반사율을 낮추기 위해서 막 두께를 얇게 할 필요가 있으나, 막의 도전 저항은 역으로 증가된다.
따라서, 표면 반사율이 허용 상한의 범위에 설정되고, 막의 도전 저항이 허용 하한의 1010Ω/□ 부근으로 되는 막 두께인 약 100 내지 150Å을 갖는 투명 도전 막을 사용해서 제품화된 수상관이 시판되고 있다.
다음에 표면 반사율을 개선하여, 반사 상의 윤곽을 그러데이션(gradation)하여 보기 좋도록 개선하고 있는 경우가 있다. 이 방법은 대전 막 위에, 알코올을 용매로한 산화 규소 액을 스프레이 하여 대전 방지 막의 표면을 凹凸 면으로 하여 마무리하는 방법이고, 일본 특허 공개 평성 272549호 공보에 개시되어 있다.
이 종래의 방법에 의하면, 凹凸면의 평균 막 두께는 1000Å으로 하고, 凹凸의 높이 또한 측면의 거칠기를 0.5㎛Rz로 되게 할 필요가 있다. 이 때문에, 면의 凸부의 정상에서부터 최소한 깊이가 60%인 부분은 막 두께 2000Å 이상으로 되어 있고, 제 4도에 도시하는 바와 같이 종래의 대전 막에서는 파장 450 내지 680nm의 시감도 영역에서 반사 방지 효과는 거의 생기지 않는다. 따라서, 凹부의 골 사이의 부분의 1000Å 전후의 막 두께의 부분만이 반사 방지 효과가 얻어지게 된다.
종래에, 반사 방지 막에 대전 방지 특성을 갖게 한 다충 막 방식은, 높은 진공 중에서 증착 또는 스패터에 의한 다층 막을 형성하여 각 층간의 광의 입사와 반사와의 위상 차에 의해 반사율을 매우 효과적으로 저감시킨 것이다. 다층 막 방식의 반사 방지 특성을 제 5도에 도시한다.
이 다층 막은, 수상관과 같은 대형의 제품을 진공 용기에 넣어서 유리 패널에 적층 형성되는 것이다. 이 다층 막은 고 굴절률 층과 저 굴절률 층을 교대로 적층한 것이고, 각층에 필요로 되는 재료를 10Å 단위의 정도로 막을 증착 또는 스패터를 반복함으로써 형성하는 것이다.
이 방법에 의하면 연속적으로 대량 생산하는 경우에는 매우 대규모인 장치를 필요로 하고, 작업성, 제품 성공률(yield)의 향상에 대해서도 곤란한 문제가 많다.
또한, 대전 막을 열 CVD 법에 의해 형성하는 방법이 있다. 이 방법은, 높은 진공의 분위기가 필요치 않고, 막 두께의 정밀도가 좋게 형성되기 때문에 대량 생산에 적합하고, 실용화되어 있다.
거기에서, 열 CVD법을 이용해서, 대전 막의 제 1층을 형성하고, 제 2층을 스프레이 방식(일본 특허 공개 평성 272549호 공보)에 의해 반사 방지와 산란의 기능을 갖추도록 해서 박막으로서 형성한 경우에는, 산란 면의 凹부에서는 반사 방지의 효과가 있으나, 凸부에 대해서는 막이 두껍고 (1)식의 조건이 성립하지 아니하기 때문에 반사 방지 효과는 없다. 상술한 방법을 종합적으로 평가한 경우 반사 방지 효과가 적은 문제점과, 더구나 스프레이에 의한 막 형성에서는 균일한 막 두께를 형성하기가 어렵고, 수백 Å의 막 두께 차가 생긴 부분에 반사 색의 얼룩이 발생하는 문제점이 있었다.
더욱이 일본 특허 공개 소화 6039744호 공보의 예에서는 연마 페이스 위에서 여린 입자를 사용해서, 유리 패널 표면에 기계적인 凹凸을 형성하고, 또한 반사방지 막을 진공계 안에서 기상 성장 또는 스파터링에 의해 제작되는 것이었다.
일본 특허 공개 소화 6039744호 공보에 개시된 방법은, 기계적인 凹凸부착을 행한 후 염 용액에 의한 화학적 처리에 의해 유리의 보강을 하는 공정이 필요하다. 또한 인용 예에서는, 진공 용기 중에서 15분간의 글로우 방전에 의한 화학적 활성화를 행할 필요가 있는 것은, 상술한 다층의 반사 방지 막 형성과 같으며, 대량 생산에 필요한 작업성을 얻기 위해서는 대단한 대규모 장치가 필요하게 된다. 더구나 반사 방지 막을 진공 중에서 기상 성장 또는 스파터링으로 제작하는 공정이 필요하고, 복잡한 진공 장치를 추가하기 때문에 간편한 방법으로 반사 방지 막을 형성할 수가 없고, 제조 단가의 상승을 초래하는 문제점이 있었다.
또한 일본 특허 공개 소화 5998442호 공보에 개시된 표면이 거칠게 가공된 유리 패널 표면에 투명 도전 막을 부설한 수상관에 대해서는 공보에 기재한 것으로부터 명백한 바와 같이, 도전 충을 진공 증착에 의해 형성하는 방법으로 실현하고 있고, 상술한 대로 제조 단가의 상승을 초래하는 방법이었다. 거기에서 제조 단가를 개선하기 위해, 도전 막을 열 CVD 법에 의해 실현한 경우에는, 상기 종래의 기술 부분에서 설명한 바와 같이 막 두께가 두꺼워지면 반사율이 증가하는 문제가 발생한다. 즉, 예컨대 표면이 거칠게 가공된 유리 패널 표면이라도 약 100 내지 150Å의 막 두께의 반사 방지 막을 형성하면, 그로스(gross)치(60도 거울 면 광택 도법에 의함)가 종래 약 60인 거친 표면의 경우에는 약 10 증가하여 눈으로 보는 감각으로서 거울 면에 근접해 거친 면에 의한 산란 효과를 느낄 수 없게 되는 한계에 도달한다.
따라서, 대전 방지 막의 막 두께가 상술한 범위로 고정되기 때문에 반사율과 도전 저항을 저하시키는데 에 한계가 있어 이를 다시 개선할 필요가 있었다.
본 발명의 목적은 CVD법 및 회전 도포 방법에 의해 형성되는 다충 적충 구조의 대전 방지 막을 갖는 수상관 및 수상관의 반사 및 대전 방지 처리 방법을 제공하는데 있다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르는 수상관은, 산란 면과, 투명 대전 막과, 투명 박막을 구비하고, 패널 내면의 형광체에 전자 비임을 조사하여 이 형광체를 발광시키는 구조의 수상관으로서, 산란 면은 凹凸모양이 붙여진 패널 외면이고, 투명 대전 막은 산란 면 위에 적충 형성되고, 그 표면에 凹凸모양을 갖고 접지 되며, 투명 박막은 투명 대전 막 위에 적충 형성되고, 그 표면에 凹凸모양을 갖는 것이다.
또한, 상기 산란 면은 0.6μmRz 내지 0.8μmRz로한 표면 거칠기를 갖는 것이다.
또한, 상기 투명 대전 막은 굴절률이 약 2 이고, 또한 막 두께가 약 300Å으로 설정된 것이고, 투명 박막은 굴절률이 약 1.5 이고 또한 막 두께가 1100 내지투명 1500Å 으로 설정된 것이다
또한, 본 발명에 따르는 수상관의 반사 및 대전 방지 처리 방법은, 물리적 처리 공정과, 화학적 처리 공정과, 투명 대전 막 형성 공정과, 투명 박막 형성 공정이 있으며, 수상관의 패널 의면에 반사 및 대전 방지 처리를 실시하는 수상관의 반사 및 대전 방지 처리 방법으로서, 물리적 처리 공정은 수상관의 패널 외표면에 초경 미립자를 뿜어 줌으로써 패널 외표면에 凹凸을 만드는 전 처리를 행하고, 화학적 처리 공정은 물리적 처리가 된 패널 외표면에, 다시 화학적인 에칭 처리에 의해 모양을 만들어 산란 면으로서 끝마무리하고, 투명 대전 막 형성 공정은 산란 면위에 CVI) 법에
의해 표면에 凹凸모양을 갖는 투명한 대전 막을 형성하고, 투명 박막 형성공정은 알콜계 용액을 대전 막에 적하 하면서 패널을 회전시킴으로써 대전 막 위에 있는 표면에 凹凸모양을 갖는 투명한 박막을 도포 하여 형성하는 것이다.
제 1a 도는 본 발명의 한 시실예에 따르는 수상관을 도시하는 단면도.
제 1b 도는 확대 단면도.
제 2a 도는 종래의 수상관을 도시하는 단면도.
제 2b 도는 확대 단면도.
제 3 도는 대전 방지 막의 막 두께와 반사율을 도시하는 도면.
제 4 도는 투명 막의 막 두께 변화에 대한 파장과 반사율을 도시하는 도면.
제 5 도는 다충 반사 방지 막의 파장과 반사율을 도시하는 도면.
제 6 도는 2층 반사 방지 막의 파장과 반사율을 도시하는 도면.
제 7 도는 산란 면에 2층 반사 방지 막을 형성한 경우의 파장과 반사율을 도시하는 도면.
제 8 도는 표면 거칠기에 의한 반사 형상의 그러데이션(gradation) 정도와 화상의 번쩍임 관계를 도시하는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 유리 패널면
5, 7 : 대전 막
6 : 산란 박막
8 : 투명 박막
9 : 유리 산란면
수상관의 유리 패널의 표면에 초경 미립자를 뿜어 주는 물리적 처리를 실시한 후, 고압의 산 및 알칼리에 의한 화학적인 에칭에 의해 표면의 거칠기가 0.6μmRz 내지 0.8μmRz인 凹凸면을 만들고, 그 표면에 안티몬을 도우프(dope)한 산화주석 또는 주석을 도우프한 산화 인듐둥을 CVD 법에 의해 凹凸의 표면 형상을 따라서 정밀도가 양호한 약 300Å의 두께의 대전 막의 제 1 충을 형성한다. 다시 그 위에 산화 규소를 포함한 매우 회석시킨 알콜계 용액을 적하 하여 회전 도포 방식에 의해 凹凸면 위에 박막의 제 2 층을 헝성한다. 이상의 구성에 의해 산란 면 위에 2 층의 막을 적충하여 대전 방지 및 반사 광량의 저감 및 반사 상의 그러데이션효과를 얻는다.
(실시예)
다음에 도면을 참조하면서 본 발명에 대해서 상세히 설명을 한다. 제 1a도는 본 발명의 실시예에 따르는 수상관을 도시하는 단면도, 제 1b도는 유리 패널을 도시하는 확대 단면도이다.
제 1도에 있어서, 수상관의 유리 패널의 내면에는 형광체 충(2)과 알루미막층(3)이 적층 형성되어 있다. 그래서, 고 전압의 인가에 의해 전자총에서 방출된 전자 비임(4)이 형광체 층(2) 및 알루미막층(3)에 조사되고, 형광체가 발광하는 구조로 되어 있다. 이러한 고 전압 인가의 도중에 있어서 형광체 층(2) 및 알루미막층(3)의 적충체와 마주하는 유리 패널 면(1)은 대전한다.
그런데, 제 2도에 도시하는 바와 같이, 종래의 유리 패널의 표면에는 대전을 방지하는 대전 막(5)을 형성하고, 이 막(5)을 접지 시키고 있으며, 또한 대전 막(5) 위에 반사 상의 윤곽을 그러데이션 하기 때문에 산란 박막(또는 반사 방지막)(6)을 형성한 것이 있었다.
제 2도에 도시하는 하충의 투명한 대전 막(5)은, 제 3도에 도시하는 바와 같이, 그 굴절률과 막 두께 곱 (n × d)이 광의 주 파장의 1/4 과 같게 될 때까지는 반사율이 증가하는 경향을 보여주고 있다. 예를 들어, 굴절률 2.0 에서 광의 주 파장이 550nm일 경우, 막 두께가 약 700Å에 이를 때까지, 반사율은 증가하기 때문에, 막 두께를 억제할 필요가 있다.
한편, 대전 방지 효과를 향상시키는 데에는, 막 두께를 두껍게 하여 도전 저항을 낮출 필요가 있고, 실용적으로는 막 두께 범위에서 타협점을 찾아내지 아니할 수가 없었다. 예를 들어, 대전 막으로서 안티몬을 도우프한 산화 주석은, 상술한 바와 같이, 굴절률(n)이 2.0임으로, 상기한 조건에서 막 두께를 100 내지 150Å으로 하여 반사율올 실용적인 범위의 하한으로 억제한 결과, 도전 저항치는 109내지 1010Ω/□로 되고, 대전 방지 효과의 한계 부근에 극한 되어 있기는 하지만 제품으로서 실용화되어 있다. 이것을 다시 도전 저항을 낮추어도 반사율의 증가를 억제하려면 다층 막을 형성시키면 되나, 상술한 대로 제조상의 어려움이 많고, 대신에 2층 막에 의한 생산성이 좋은 방법이 일본 특허 공개 평성 272549호 공보에 개시되어 있다.
이 방법에 의하면, 도전 저항을 낮추는 경우에 일어나는 반사율 증가에 대한 억제와, 반사 상의 그러데이션 효과를 동시에 얻으려는 것이고, 먼저 도전 저항을 낮추는 실용적인 방법에 대해서는, 본 발명도 마찬가지의 제조 방식을 채용하고 있으므로, 본 발명에서 실시한 예를 기초로 설명한다.
대전 막은, 막 두께가 두꺼운 만큼 도전 저항이 낮아지기 때문에, 원하는 저항치를 얻을 수 있는 막 두께까지 두께를 증가시킬 필요가 있다. 일반적으로는, 106Ω/□ 이하의 저항치가 있으면 이상적이다.
한편, 열 CVD 법에 의해, 예를 들어, 안티몬을 도우프한 산화 주석 또는 주석을 도우프한 산화 인듐이 경제적인 면을 고려하여 1회의 성막에 의해 형성될 수 있는 실용적인 막 두께의 한계는, 거의 300Å 이고, 이 막 두께에 있어서 도전 저항은 105내지 106Ω/□이다.
따라서, 상기한 조건에 의해 평활한 유리 패널 면에 굴절률(n) 2.0, 막 두께 300Å의 대전 막(5)을 제 1 충으로서 형성하고, 다음에 산화 규소(SiO2)를 주체로 한 투명한 박막을 회전 도포방법에 의해 각종의 막 두께로 형성하고, 광의 파장에 대한 반사율을 측정한 결과를 제 4도에 도시하고 있다.
제 4도에 도시한 바와 같이 시감도가 가장 높은 파장 550nm 부근에서 극소로 되는 투명 박막의 막 두께는 1100Å 이다. 이 파장 영역(500 내지 550Å)의 반사율이 극소이기 때문에 반사 상은 한층 어둡게 느껴지고, 다시 반사 색은 청자색이고, 시각상 느낌이 좋은 색으로 받아지고 있었다.
그러나 반사 상은, 제 5도에 도시하는 평활한 유리 패널 형성한 다충 반사 방지 막의 반사율 특성과 같이, 가시 영역에서는 유리의 표면 반사율 4.3% 에 비해 0.4% 이하로 되어 있고 현저한 반사 방지 효과가 있으나, 이것을 2충 막으로한 경우는, 제 6도에 도시하는 반사율의 특성 도에서 알 수 있는 바와 같이, 시감도 영역에서의 반사율은 0.8% 이다. 이것은, 유리 표면 반사에 비해 반사 방지 효과는 나타나고 있으나, 산란 면에 의해 윤곽을 그러데이션한 반사 상올 늘 보아 온 눈에는 반사 상의 윤곽이 명료하기 때문에 개선할 필요가 있다.
그런데, 예를 들어 일본 특허 공개 평성 272549호 공보에서, 대전 막(5)위에 산화 규소를 스프레이에 의해 뿜어 주어서 산란 박막(6)의 평균 막 두께를 반사율이 극소로 되는 1000Å으로 하는 것이 제안되고 있다. 그러나, 산란 박막(6)의 표면 거칠기는 0.5μmRz가 필요하므로 凹凸면의 凸부는 반사 방지 효과가 적고 凹면 부분의 반사 방지 효과에 의해 종합적으로는 대전 방지 막(5)의 막 두께를 높인 경우의 반사율의 증가를 억제하여 반사율을 5.3% 로 할 수가 있었으나, 유리의 반사율 4.3% 를 크게 하회하는 정도의 효과는 얻어지지 않았다.
그래서 본 발명에서는, 먼저 대전 막(7)의 제 1 충을 형성하기 전에 유리 패널(1)의 표면에 고압 노즐로부터 초고 미립자를 뿜어 주어서 물리적인 전 처리를 행하며 이어서 산성 액 및 알칼리성 액을 고압 내지 저압으로 교대로 뿜어 주는 화학적인 에칭에 의해 균질한 凹凸의 유리 산란 면(9)을 형성하고 있다.
본 발명에 의하면, 유리 패널 면(1)에 뿜어 주는 입자의 형상과 입자 지름 및 뿜어 주는 조건을 조정해서 전 처리를 행하면, 그 후의 산성과 알칼리성 액의 뿜어 주는 조건을 조정함으로써 유리 패널 전체에서 균일한 산란 면을 형성할 수가 있다.
실시예에 있어서, 표면의 거칠기를,0.4μmRz 에서 1.0㎛Rz 까지의 범위까지 변경하여 시작하고, 이 산란 면에 400℃ 를 초과하는 고온으로 안티몬을 도우프한 산화 주석을 안개 형상으로 확산하여 뿜어 주어 열 CVD 법에 의해 미세한 凹凸면에 거의 군일하게 막 두께 300Å의 대전 막(7)을 형성한다. 이 상태에서 표면저항은 106Ω/□이므로 충분한 도전 저항이다. 또한 도전 방지 막(7) 위에 점도가 매우 낮은 (2 내지 4CPS) 산화 규소를 주체로 한 알코올 회석 용액을 적하 하면서 막 두께가 균일하게 되는 회전수의 조합에 의해 유리 패널을 회전시켜 凹凸면에 1100Å정도의 투명 박막(8)을 형성한다.
본 발명의 반사 방지 막의 반사율 측정 결과를 제 7도에 도시한다. 제 7도에서 명백한 바와 같이, 반사율은 제 6도의 것에 비해 그것의 극소치가 0.8% 까지 상승하였으나, 광의 파장 변화에 대한 반사율의 변화가 거의 4% 이하로 억제되어서 적기 때문에, 반사 색의 청자색은 다소 엷어져 있다. 또한 시감도 영역에서의 반사율은 1.3% 이고, 상술한 평활한 유리 패널 면에 도포한 경우의 반사 특성(제 6도)의 시감도 영역의 반사율에 비해서 약간 반사율이 상승하나, 그러데이션 효과에 의해 동둥 이상의 효과가 얻어졌다. 이 조건의 시작품의 표면 거칠기에 대해서는 OA작업에 있어서 OA 작업이 행해지는 실내의 천정둥의 비침에 의한 반사 상의 윤곽의 그러데이션 정도와, 금번 평가에 사용한 고밀도 표시 화상은 1024 도트 (수평방향) × 768 라인(주사선 수)에 의해 형성된 영자이나, 이 표시한 문자는 최근 점점 증가하고 있는 반전 표시(백지에 검게 뽑아 낸 문자)법에 의해 평가한 바, 백지의 부분의 주사선과, 표면 거칠기의 간섭에 의해 발생하는 소위 반짝이는 현상이 나타난다.
따라서, 상기한 그러데이션의' 정도와, 상기한 반짝임 현상에 대해서는 상반되는 특성이고, 이에 대해서는 적당한 값을 구한다. 그러므로 유리 패널 면(1)의표면 거칠기가 0.4μmRz 에서 1.0μmRz까지인 시작품을 작성하고, 이것에 2층의 막을 적층하여, 평가를 행한 결과를 제 8도에 도시한다.
제 8도의 평가 결과에 의하면, 0.6μmRz 에서 0.8μmRz의 표면 거칠기의 유리 패널 사용이 적당하다는 결과가 얻어졌다.
이상으로 설명한 바와 같이, 본 발명은 2충의 투명 대전 막과 투명 박막과의 막 두께의 상호 조정에 의해 반사 방지 효과를 향상시킴으로써 시감도 영역에 있어서 반사율을 1.3% 로 하여 패널 표면에서의 반사를 약 1/3 정도로 억제할 수 있다.
더욱이, 유리 산란 면에 의해 반사 상의 그러데이션 효과를 향상시킴으로써 반사 색은 약간 엷은 청자색이고, 시각상 느낌이 좋은 색조로 할 수가 있다. 따라서, 청자색의 반사 상의 광량은 억제되고, 그 윤곽은 그러데이션할 수가 있고, 주위의 광에 의한 반사 상이 표면 화상을 관측하는데 방해가 되지 않고 보기 쉬운 화면을 실현할 수 있다. 더구나 도전 막에 의한 도전 저항은 106Ω/□로 되어 있고, 대전 방지 특성을 향상할 수 있는 효과를 갖는다.
Claims (4)
- 산란 면과, 투명 대전 막과, 투명 박막을 구비하고, 패널 내면의 형광체에 전자 비임을 조사해서 이 형광체를 발광시키는 구조의 수상관에 있어서,상기 산란 면은 凹凸모양이 붙여진 패널 외면이고,상기 투명 대전 막은 상기 산란 면 위에 적층 형성되고, 그 표면에 凹凸모양을 가지며, 접지 되는 것이고,상기 투명 박막은 상기 투명 대전 막 위에 적층 형성되고 그 표면에 凹凸모양을 갖는 것을 특징으로 하는 수상관.
- 제 1항에 있어서,상기 산란 면은 0.6μmRz 내지 0.8μmRz로한 표면 거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 수상관.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 투명 대전 막은 굴절률이 약 2 이고, 또한 막 두께가 약 300Å으로 설정되고,상기 투명 박막은 굴절률이 약 1.5 이고, 또한 막 두께가 1100 내지 1500Å으로 설정되는 것을 특징으로 하는 수상관.
- 물리적 처리 공정과, 화학적 처리 공정과, 투명 대전 막 형성 공정과, 투명 박막 형성 공정으로 이루어지고, 수상관의 패널 외면에 반사 및 대전 방지 처리를 실시하는 수상관의 반사 및 대전 방지 처리 방법에 있어서, 상기 물리적 처리 공정은 수상관의 패널 외표면에 초경 미립자를 뿜어 줌으로써 패널 외표면에 凹凸을 만드는 전 처리를 행하고,상기 화학적 처리 공정은 물리적 처리가 된 패널 외표면에, 다시 화학적인 에칭 처리에 의해 凹凸모양을 만들어, 산란 면으로서 마무리하고, 상기 투명 대전 막 형성 공정은 산란 면 위에 CVD 법에 의해, 표면에 凹凸모양을 갖는 투명한 대전 막을 형성하고, 상기 투명 박막 형성 공정은 알코올 계 용액을 대전 막에 적하 하면서 패널을 회전시킴으로써 대전 막 위의 표면에 凹凸모양을 갖는 투명한 박막을 도포 하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수상관의 반사 및 대전 방지 처리 방법.
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