KR0136785B1 - 다수의 동일한 공정파라미터를 모니터링하는 시스템 및 그 방법 - Google Patents

다수의 동일한 공정파라미터를 모니터링하는 시스템 및 그 방법

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KR0136785B1
KR0136785B1 KR1019890008636A KR890008636A KR0136785B1 KR 0136785 B1 KR0136785 B1 KR 0136785B1 KR 1019890008636 A KR1019890008636 A KR 1019890008636A KR 890008636 A KR890008636 A KR 890008636A KR 0136785 B1 KR0136785 B1 KR 0136785B1
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크리스토퍼 벨로우즈 제임스
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엠.피.린치
웨스팅하우스 일렉트릭 코오포레이숀
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
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    • G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
    • G05B23/0237—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on parallel systems, e.g. comparing signals produced at the same time by same type systems and detect faulty ones by noticing differences among their responses

Abstract

내용없음

Description

다수의 동일한 공정 파라미터를 모니터링하는 시스템 및 그 방법
도면은 본 발명에 사용하는 시스템에 바람직한 실시예의 블록도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2:센서 출력 6:아날로그/디지탈 변환기
4,14,46,48,50:멀티플렉서 8,20,32,42,54:디멀티플렉서
10,24,34,44:레지스터 18,30,38:모니터링 유닛
52:진단 유닛 28,40:지연 부재
본 발명은 특히 적어도 하나의 공정 파라미터에 대하여 동일한 다수의 공정이 실행되는 장치에서의 공정들을 모니터링하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
이러한 형태의 다수의 장치에서, 모든 진행 공정을 모니터하는 것이 종종 필요하고, 그 모니터링 결과는 각각의 개별적인 공정의 조건 또는 상태의 진단을 도출하는데 사용된다. 각 공정의 동작 상태를 나타내는 진단 및 그 공정을 제어하는 성분 또는 성분들의 동작 상태를 나타내는 진단에 도달하기 위해, 예를 들어, 각 공정의 적어도 하나의 동작 파라미터를 모니터하는 것과 특정 법칙에 따라 다양하게 측정된 파라미터를 시험 또는 비교하는 것이 바람직할 수도 있다. 이러한 동작들은 각 법칙이 프로그래밍 서브로틴으로 이루어진 디지탈 컴퓨터에서 실행될 수 있다.
그런 절차는 상기 공정들에 관한 정보의 선택된 항목이 진단 정보를 생성하기 위해 특정 법칙에 따라 비교되거나 결합되는 진단 전문 시스템에 사용된다. 어떤 시스템에서는 동시에 실행되고, 모두 동일한 공칭 동작 파라미터를 갖거나 공통으로 적어도 하나의 공칭 동작 파라미터를 갖는 다수의 근본적으로 동일한 공정들이 존재한다. 예를 들면, 보일러는 가열될 때 물이 흐르는 다수의 관으로 이루어진 수과벽을 포함할 수 있다. 이 관들은 모두 동일흐름 및 열 분배 조건에 관련된다는 점에서 공칭적으로 동일하다. 각 관내의 조건은 온도 센서 뿐만 아니라 다른 성분들에 의해서도 모니터링될 수 있고, 각 온도 센서의 출력 판독은 전체 모니터링 및 진단 시스템의 일부로서 검사되어야 한다.
다수의 조건 센서에 의해 생성된 판독을 모니터하는 것과 모니터되는 장치의 동작에서 개별 처리 기술에 의해 제공되는 장점에 기초하여 개발된 다양한 법칙에 따라 그 모니터링 결과를 시험 및 결합하는 것이 공지되어 있다. 따라서, 이들 모니터링 및 진단 시스템은 전문 시스템으로 공지되어 있다. 이러한 형태의 하나의 예시적인 시스템은 1987년 2월 17일에 Kemper 등에게 허여된 미국 특허 제 4,644,479 호에 개시되어 있다.
공지된 전문 시스템은 판독들을 해석하고, 모니터링되는 장치의 성분 및 부시스템의 동작 조건의 진단을 생성하도록 다수의 센서로부터 해석된 판독들을 결합한다. 이러한 동작들은 표시, 특히 센서 판독의 유효성 또는 센서 판독의 신뢰 수준의 표시, 결과적인 진단의 신뢰 및 불신의 정도, 기능 장애 진단의 엄격한, 중요성 및 우수성 등을 제공하는 다수의 법칙에 따라 실행된다.
모니터되는 장치 또는 공장이 공칭적으로 동일한 공정들이 실행되는 다수의 공칭적으로 동일한 성분을 거질 때, 명령들의 집합이 각 센서 출력 평가 및 각 진단 단계에 관련되는 각 법칙을 수행하도록 제공되어야 한다. 각 명령들의 집합은 통상적으로 메모리에 저장되는 서브루틴의 형태로 제공된다. 지금까지 각 센서의 출력에 적용될 각 법칙에 명령들의 개별 집합을 제공하는 것이 실행되어 왔었기 때문에, 상당한 양의 프로그래밍 시간이 소비되어야만 하고, 다량의 메모리 용량이 다수의 동일한 공정이 모니터될 때 제공되어야만 한다.
지금까지, 각 센서에 적용가능한 명령들을 포함하는 적절한 서브루틴(이것을 주형(template)이라 칭함)을 생성한 후, 그 서브루틴을 공칭적으로 동일한 각각의 센서에 복제함으로써, 주어진 법칙을 수행하는데 필요한 프로그래밍 시간량을 감소하려고 시도되어 왔다. 이 절차는 프로그래밍하는 수고를 다소나마 간소화시키지만, 그럼에도 불구하고 각 서브루틴의 모든 복제물들의 저장을 위해 다량의 메모리 용량을 필요로 한다.
본 발명의 목적은 센서 출력을 평가하는데 필요한 프로그래밍과 다수의 기능적으로 동일한 성분들을 포함하는 장치를 모니터하는 진단 시스템에서 센서 출력의 결합을 더욱 단순화시키는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 그러한 시스템에서 필요한 메모리 용량의 크기를 실질적으로 감소시키는 것이다.
본 발명은 광범위한 형태로, 각 공정의 하나의 공정 파라미터를 모니터링하기 위해 각각 배치되어 하나의 공정 파라미터에 대해 모두 동일한 응답을 가지고, 각 센서에 각각 관련된 연속적인 센서 응답 표본을 도출하기 위해 접속된 표본 추출 수단을 사용하는 복수의 센서를 사용하는 형태의 적어도 하나의 공정 파라미터에 대하여 동일한 복수의 공정(2)을 모니터링하는 시스템 및 방법에 있어서, 상기 표본 추출 수단에 접속되어 연속적으로 각 표본을 수용하고, 각 표본에 의해 표시되는 센서 응답의 소정의 특성을 평가하며, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 갖는 처리 경로를 포함하는 연속 모니터링 수단(γ1,γ2,γ3)과; 각 공정의 상태 표시를 제공하기 위해 각 표본의 평가 결과의 표시를 수신 및 해석하기 위해 접속되는 진단 수단(γ4)을 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 공정을 모니터링하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 대해 용이하게 이해되고 쉽게 실시되게 하기 위해, 바람직한 실시예가 첨부한 도면을 참조하여 단지 하나의 예로서 기술될 것이다.
도면은 본 발명에 따르는 단순화한 모니터링 절차를 수행하는 시스템을 블록도 형태로 도시한다. 이 시스템은 전용으로 또는 배선 형태로 이루어질 수 있으며, 또한 메모리 위치들의 각 그룹으로 이루어진 도면에 도시되어 있는 각 레지스터를 구비한 범용 디지탈 컴퓨터의 적절한 프로그래밍에 의해 생성될 수 있다. 도시되어 있는 시스템은 그 출력(2)이 연속적인 시간 프레임 중에 반복적으로 모니터링되는 보일러 수관벽 온도 센서의 예컨대, 900인 큰 수를 모니터링하도록 접속되며, 각 프레임은 지속 기간 T로 이루어진다. 각 센서는 일반적으로 온도 모니터링 열전쌍일 수도 있다.
각 프레임 T 중에, 모든 출력(2) 상의 신호들은 시간 멀티플렉서(4)를 통해 아날로그/디지탈 변환기(6)로 연속적으로 인가된다. 각 센서 출력(2) 상의 신호는 각 프레임 T에서의 시간 슬롯의 수 t가 온도 센서의 수와 동일하게 되도록 지속 기간을 갖는 각 시간 슬롯 t 중에 아날로그/디지탈 변환기(6)로 공급된다. 상기 센서들이 디지탈 출력을 생성하면, 아날로그/디지탈 변환기(6)는 제거될 수도 있다.
각각의 디지탈화된 센서 출력 표본은 아날로그/디지탈 변환기(6)로부터 시간 디멀티플렉서(8)를 통해 각각의 열전쌍 센서의 출력 판독의 디지탈 표시를 저장하는 레지스터(10)의 각각의 셀 또는 메모리 위치로 전달된다. 그러므로, 주어진 프레임 T의 종단부에서 모든 센서들의 현재 판독의 디지탈 표시는 어레이 노드를 구성하는 레지스터(10)의 각 셀내에 존재한다.
레지스터(10)의 각 셀은 각 센서에 의해 생성되는 판독이 정상 동작 온도의 높은 범위에 대응하는 선택된 값보다 높은 지의 여부를 나타내는 표시를 제공하는 주어진 법칙(r1)에 따라 각 디지탈값을 검사하는 모니터링 유닛(18)에 연속적으로 레지스터(10)의 셀내에 저장된 디지탈값을 공급하는 시간 멀티플렉서(14)의 각각의 입력에 접속되는 출력 라인을 갖는다. 각 센서의 판독을 위해 모니터링 유닛(18)에 의해 생성된 결과 표시는 시간 디멀티플렉서(20)를 통해 제 2 어레이 노드를 구성하는 추가의 레지스터(24)의 각각의 셀로 또는 메모리 위치로 공급된다.
모니터링 유닛(18)은 레지스터(10)에 저장된 각 센서 판독에 대해 동일한 동작을 행하고, 상기 센서 판독 모두를 시험하기 위해 어레이 법칙(r1)을 수행한다. 따라서, 모니터링 유닛(18)은 명령들이 단일 집합으로 또는 각 센서로부터 연속적인 출력 표본들에 대해 반복적으로 동작하는 단일 서브루틴으로 구성될 수 있다.
멀티플렉서(14)로부터의 순차적인 출력은 프레임 간격 T와 동일한 시간 지연 T를 생성하는 지연 부재(28)의 입력으로 또한 공급된다. 지연 부재(28)는 예컨대, 각 시간 프레임내의 시간 슬롯의 수와 동일한 다수의 스테이지를 갖는 직렬 레지스터일 수 있다.
지연 부재(28)의 출력은 멀티플렉서(14)의 출력과 함께 제 2 모니터링 유닛(30)에 공급되어, 각 시간 슬롯의 시간 t 중에 법칙(r2)에 따라 그 입력에서 디지탈 신호의 값들과 비교하고, 멀티플렉서(14)로부터 공급되는 값이 소정의 크기만큼 지연 부재(28)에 의해 공급되는 값을 초과할 때마다 표시를 생성한다. 제 2 모니터링 유닛(30)으로 임의의 주어진 순간에 공급되는 2 개의 신호가 동일한 센서로부터의 연속적인 판독을 나타내기 때문에, 제 2 모니터링 유닛(30)은 그 센서의 온도 판독이 급격하게 상승하는지를 나타내는 출력 신호를 생성할 것이다.
모니터링되는 시스템에서 만나게 될 조건에 따라서, 이 표시는 복수의 프레임 기간으로 이루어진 시간 구간에 걸쳐서 주어진 센서에 의해 생성된 판독의 비교에 기초할 수도 있다. 이 경우에, 지연 부재(28)는 nT와 같은 지연을 생성하도록 구성될 것이며, 여기에서 n은 선택된 정수이다.
제 2 모니터링 유닛(30)은 모니터링 유닛(18)과 유사한 방식으로 구성될 수 있으며, 따라서 제 2 어레이 규칙을 수행한다.
제 2 모니터링 유닛(30)에 의해 생성된 연속적인 출력 표시는 디멀티플렉서(32)를 통해 그 표시들이 일시적으로 저장되는 레지스터(34)의 각 위치로 공급된다. 레지스터(34)는 제 3 어레이 노드를 구성한다.
멀티플렉서(14)로부터의 출력은 제 3 모니터링 유닛(38)의 제 1 입력으로 그리고 하나의 시간 슬롯(t)의 지속기간과 동일한 하나의 기간(t)만큼 자체에 도달하는 신호를 지연시키고, 제 3 모니터링 유닛(38)의 제 2 입력으로 상기 지연 신호를 공급하는 제 2 지연 부재(40)의 입력으로 동시에 추가로 인가된다. 따라서, 제 3 모니터링 유닛(38)은 각 시간 슬롯 중에 그 시간 슬롯에 관련된 센서 신호 표본과 이미 진행한 시간 슬롯과 관련된 센서 신호 표본을 수신한다. 제 3 모니터링 유닛(38)으로 공급되는 상기 2 개의 신호 표본은 동시에 근본적으로 동일한 지점에서 2 개의 인접 센서의 온도 판독을 나타낸다. 제 3 모니터링 유닛(38)은 법칙(r3)에 따라 2개의 인접 센서에 의해 생성되는 온도 판독을 비교하고, 주어진 시간 슬롯과 관련된 센서의 온도 판독이 이미 진행한 시간 슬롯과 관련된 센서의 온도 판독을 선택된 임계 크기보다 더 큰 정도로 초과하였을 때, 출력 표시를 생성하도록 배치한다.
제 3 모니터링 유닛(38)에 의해 생성된 모니터링 결과는 그 후 디멀티플렉서(42)를 통해 각각이 각 시간 슬롯 및 각 센서와 관련된 복수의 메모리 위치를 가지며, 제 4 어레이 노드를 이루는 추가의 레지스터(44)로 공급된다.
각 시간 슬롯에 대해 레지스터(24,34 및 44)의 대응 메모리 위치의 출력들은 각각의 멀티플렉서(46,48 및 50)를 통해 동일한 시간 슬롯 및 법칙(r4)에 따라서 동일한 센서와 관련된 메모리 위치로부터의 출력을 결합시키는 진단 유닛(52)으로 공급되고, 그 시간 슬롯과 관련된 센서를 포함하는 보일러관의 상태의 표시를 이루는 출력 신호를 도출한다. 그러므로, 도면에 도시되어 있는 특정 실시예에서, 제공된 센서의 온도 판독이 선행 시간 슬롯 중에 생성된 온도에서 급격하게 상승하는 선택된 상한보다 높을 때 및 인접한 관내의 센서의 판독보다 높을 때, 법칙(r4)은 관련된 관이 차단되는 결과를 야기하고, 이러한 영향의 표시가 디멀티플렉서(54)를 통해 제 5 어레이 노드를 이루는 출력 레지스터(56)의 각 위치로 전달되며, 그곳으로부터 더 높은 진단 수준으로 및/또는 공장 구성원에 의해 모니터링되는 출력 표시로 각 보일러관과 관련된 장애 표시가 공급될 수 있다. 진단 유닛(52)은 선택적으로 상기 3개의 입력중 어떤 2개가 장애 표시를 이룰 때 장애 신호를 생성하도록 구성될 수 있다.
이미 앞에서 주의되어진 바와 같이 상기 본 발명의 특정 특징에 따르면, 각각의 유닛(18,30,38 및 52)은 각 센서로부터 출력 표본에 대해 반복적으로 실행되는 명령들의 단일 집합 또는 서브루틴으로 이루어지고, 명령들의 각 집합은 선택된 법칙(r1,r2,r3,r4)을 한정한다. 이것은 각 법칙을 실행하기 위하여, 상기 동일한 집합이 각 센서의 출력을 모니터링하는데 사용될 것이기 때문에, 프로그램 명령어들 또는 명령들의 단일 집합만이 기억되는 것이 필요하다는 것을 의미한다. 이것은 프로그래밍 명령어들의 각 집합이 각 센서로부터의 출력 신호를 검사하기 위해 메모리내에 저장되는 공지 시스템과 비교하여 연산 메모리 공간을 명백하게 절약시킨다.
물론, 본 발명은 다수의 공칭적으로 동일한 센서로부터의 출력들이 동일하게 처리되어야만 하는 임의의 다른 모니터링 또는 진단 시스템에 적용될 수도 있다.
본 발명에 따른 시스템에서, 모니터링 유닛 중 어느 하나는 상기 특정 모니터링 유닛에 의해 생성된 출력이 임의의 범위를 초과하여 변할 수 있는 값과, 예컨대, 레지스터(56)의 각 위치에 나타나는 표시 신호의 값으로 반영될 수 있는 결과적인 진단의 신뢰 및 불신의 척도의 표시를 갖게 하는 특징 센서 판독의 신뢰도의 표시의 현상과 같은 전문 진단 시스템에 사용되는 다양한 기능을 실행하도록 구성될 수도 있다. 일반적으로, 임의의 공지 진단 기구는 각 모니터링 유닛을 이루는 프로그래밍 또는 회로 구조로 통합될 수 있다.
본 발명에서 개시된 실시예에 따르는 진단 동작은 진단 유닛(52)에서의 처리가 후속 시간 프레임 중에 실행되면서, 모니터링 유닛(18,30,38)에 병렬로 제공된 시간 프레임 중에 도출된 센서 판독을 처리함으로써 실행될 수 있다.
도면에 도시되어 있는 시스템은 다수의 개별 명령어가 각 출력 장치로 공급될 수 있는 복수의 중간 기억 레지스터(10,24,34,44)를 포함한다. 이것은 예컨대, 선택된 센서의 동작을 분리하여 모니터하거나, 또는 진단에 기여했던 명령어들을 검증하는 것이 바람직한 경우 사용될 수 있다.
그러나, 이 기능들이 실행될 필요가 없는 경우, 본 발명은 출력 레지스터(56)를 제외한 모든 레지스터들 및 멀티플렉서(4)와 디멀티플렉서(54)를 제외한 모든 멀티플레서와 디멀티플렉서가 제거된 시스템에 의해서도 수행될 수 있다. 이 경우에, 변환기(6)의 출력은 모니터링 유닛(18,30,38) 및 지연 부재(28,40)의 입력에 직접 접속될 것이고, 모니터링 유닛(18,30,38)의 출력은 모니터링 유닛(52)의 각 입력에 직접 접속될 것이다. 이 배열은 실질적으로 구조적인 단순성을 나타내고, 센서 출력 신호 표본들이 제 1 프레임 구간 중에 소자들(18,28,30,38,40)에 공급될 수 있기 때문에 진단 표시의도출과 센서 판독의 세트의 표본 사이의 시간을 감소시킬 것이며, 모니터링 유닛(18,30,38)으로부터의 출력 표시는 진단 유닛(52)으로 진행될 것이고 동일 프레임 구간 또는 후속하는 연속 프레임 구간 중에 레지스터(56)에 공급될 것이다.
본 발명은 각 행(column)이 특정 센서와 관련되고 각 열(row)이 그 센서에 대해 다른 사실을 나타내는 메모리 매트릭스를 생성하면서 선택적으로 수행될 수 있다. 예를 들면, 각 행에서 제 1 열은 현재의 센서 판독의 표시를 저장하고, 제 2 열은 그 판독이 비정상적으로 높은지의 여부의 표시를 저장하며, 제 3 열은 앞선 프레임 구간 중에 상기 센서 판독의 표시를 저장하고 제 4 열은 상기 센서 온도 판독이 급격하게 상승했는 지의 여부의 표시를 저장하며, 제 5 열은 상기 센서 판독이 인접 센서의 것보다 높은 지의 여부의 표시를 저장하고, 제 6 열은 상기 결합된 관이 차단되어 있는 지의 여부에 관한 결론의 결과적인 표시를 저장한다. 개념적으로, 각 열은 도면에 도시되어 있는 레지스터 중 하나에 대응할 것이다.
또한, 상기 매트릭스의 적절한 위치는 원하는 표시를 도출하기 위해 각 규칙에 따라 연결될 것이다. 특히, 각 센서에 관련된 행에서, 제 1 열은 법칙(r1)에 따라서 제 2 열에 연결되고, 제 1 및 제 3 열은 법칙(r2)에 따라서 제 4 열에 연결되며, 그 행의 제 1 열 및 인접 행의 제 1 열은 법칙(r3)에 따라서 그 행의 제 5 열에 연결되고, 제 2 , 제 4 및 제 5 열은 법칙(r4)에 따라서 그 행의 제 5 열에 연결되고, 제 2, 제4 및 제 5열은 법칙(r4)에 따라서 제 6 열에 연결된다.
이 배열에서, 상기 센서들에 관련된 표시들은 각 센서에 관련된 표시 또는 표시들이 차례로 인가되는 명령어들의 단일 세트를 각 규칙에 대해 제공함으로써 연속적으로 도출될 것이다. 여기에서 다시 각 규칙에 대한 명령어들의 단일 세트의 제공은 상기 명령어들을 저장하는데 필요한 메모리 공간을 최소화시킨다.
본 발명은 한 형태의 복수의 센서의 출력을 평가하는 장치로 예시되어 있지만, 본 발명은 또한 다른 형태의 센서의 출력이 다른 진단 기능을 실행하기 위해 비교 또는 상관되는 추가의 진단 수준에 사용될 수 있다. 이 경우에, 제공된 형태의 모든 센서는 상술된 방식으로 모니터링될 것이고, 동일 성분 또는 공정과 관련된 다른 센서와 관련된 결과는 다중화되어 각각의 평가 또는 진단 유닛이 동시에 제공된 성분 또는 공정에 관련된 정보를 수신하고 상기 결과적인 평가 또는 진단 표시를 적절한 시간 순서로 높은 수준 진단 유닛으로 또는 디멀티플렉싱함으로써 특정 성분 또는 공정과 관련된 디스플레이 또는 기억 위치로 공급하는 방식으로 평가 또는 진단 유닛으로 공급될 것이다.

Claims (19)

  1. 각 공정의 하나의 공정 파라미터를 모니터링하기 위해 각각 배치되어 하나의 공정 파라미터에 대해 모두 동일한 응답을 가지고, 각 센서에 각각 관련된 연속적인 센서 응답 표본을 도출하도록 접속된 표본 추출 수단을 사용하는 복수의 센서를 사용하는 적어도 하나의 공정 파라미터에 대하여 동일한 복수의 공정(2)을 모니터링하는 시스템에 있어서, 상기 표본 추출 수단에 접속되어 연속적으로 각 표본을 수용하고, 각 표본에 의해 표시되는 센서 응답의 소정의 특성을 평가하며, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 갖는 처리 경로를 포함하는 연속 모니터링 수단(γ1,γ2,γ3)과; 각 공정의 상태의 표시를 제공하기 위해 각 표본의 평가 결과의 표시를 수신 및 해석하도록 접속되는 진단 수단(γ4)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 표본 추출 수단은 각 센서에 각각 접속되는 복수의 입력과 연속하는 응답 표본을 제공하는 출력을 갖는 시간 멀티플렉서 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 연속으로 각 응답 표본에 대해 반복적으로 명령어들의 세트를 실행하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 센서는 아날로그 출력을 생성하고; 상기 표본 추출 수단은 디지탈 표본을 생성하는 아날로그/디지탈 변환기를 포함하며; 상기 모니터링 및 진단 수단을 디지탈 신호로 작동하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실시하도록 작동되고, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로를 한정하며, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 나타나고, 상기 진단 수단은 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들을 수신하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실행하도록 작동되고, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로를 한정하며, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 나타나고, 상기 진단 수단은 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들을 수신하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  7. 제 2 항에 있어서, 상기 센서는 아날로그 출력을 생성하고; 상기 표본 추출 수단은 디지탈 표본을 생성하는 아날로그/디지탈 변환기를 포함하며; 상기 모니터링 및 진단 수단은 디지탈 신호로 작동하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  8. 제 2 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실행하도록 작동되고, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로를 한정하며, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 타나타나고, 상기 진단 수단은 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들을 수신하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 연속으로 각 응답 표본에 대해 반족적으로 명령어들의 세트를 실행하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 센서는 아날로그 출력을 생성하고; 상기 표본 추출 수단은 디지탈 표본을 생성하는 아날로그/디지탈 변환기를 포함하며; 상기 모니터링 및 진단 수단은 디지탈 신호로 작동하는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 모니터링 수단은 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실행하도록 작동되고, 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로를 한정하며, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 나타나고, 상기 진단 수단은 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들을 수신하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 모니터링 시스템.
  12. 각 공정의 하나의 공정 파라미터를 모니터링하기 위해 각각 배치되어 하나의 공정 파라미터에 대해 모두 동일한 응답을 갖는 복수의 센서를 사용하는 적어도 하나의 공정 파라미터에 대하여 동일한 복수의 공정을 모니터링하는 방법에 있어서, 각 센서로부터 각각 도출되는 연속하는 응답 표본을 센서 응답으로부터 도출하는 단계와; 모든 표본이 연속으로 인가되는 입력을 가지고 각 표본에 대한 평가 결과의 출력 표시를 제공하는 처리 경로에서 실행되고, 연속적으로 각 표본을 모니터링하는 단계와, 각 표본으로 표시되는 상기 센서 응답의 소정의 특성을 평가하는 단계와; 각 공정의 상태 표시를 제공하기 위해 각 표본의 평가 결과의 표시를 해석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 도출 단계는 각 센서에 각각 접속되는 복수의 입력과 연속하는 응답 표본을 제공하는 출력을 갖는 시간 멀티플렉서 수단에서 실행되는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 모니터링 단계는 연속적으로 각 응답 표본에 대해 반복적으로 명령어들의 세트를 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 센서는 아날로그 출력을 생성하고; 상기 도출 단계는 디지탈 표본을 생성하는 아날로그 출력의 아날로그/디지탈 변환을 실시하는 단계를 포함하며; 상기 모니터링 및 해석 단계는 디지탈 신호로 실행되는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 모니터링 단계는 모든 표본이 연속하여 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로내의 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실행하도록 수행되고, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 나타나고, 상기 해석 단계는 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들에 응답하여 수행되는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  17. 제 12 항에 있어서, 상기 모니터링 단계는 연속적으로 각 응답 표본에 대해 반복적으로 명령어들의 세트를 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  18. 제 12 항에 있어서, 상기 센서는 아날로그 출력을 생성하고; 상기 도출 단계는 디지탈 표본을 생성하는 아날로그 출력의 아날로그/디지탈 변환을 실시하는 단계를 포함하며; 상기 모니터링 및 해석 단계는 디지탈 신호로 실행되는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  19. 제 12 항에 있어서, 상기 모니터링 단계는 모든 표본이 연속적으로 인가되는 입력과 각 표본에 대한 각각의 평가 결과의 표시를 제공하는 출력을 각각 갖는 복수의 병렬 처리 경로내의 각 표본과 관련된 센서 응답의 각각 다른 특성의 복수의 병렬 평가를 실행하도록 수행되고, 제공된 센서와 관련된 평가 결과 표시들이 동시에 경로 출력들에서 나타나고, 상기 해석 단계는 모든 경로 출력에서 나타나는 상기 평가 결과 표시들에 응답하여 수행되는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
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