KR0134582Y1 - 자동용액 충진시스템 - Google Patents

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KR0134582Y1
KR0134582Y1 KR2019910025434U KR910025434U KR0134582Y1 KR 0134582 Y1 KR0134582 Y1 KR 0134582Y1 KR 2019910025434 U KR2019910025434 U KR 2019910025434U KR 910025434 U KR910025434 U KR 910025434U KR 0134582 Y1 KR0134582 Y1 KR 0134582Y1
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정몽헌
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Abstract

본 고안은 IC 패키지 제조공정중 실린져 내의 코팅용액을 일정량 이상으로 유지시키기 위해, 실린져 외부에 감지기능을 가진 리미트 센서를 설치하여 상기 리미트 센서에 의해 솔레노이드 밸브를 개폐시켜, 메인탱크에서 자동으로 일정량의 용액을 충진시키는 자동용액 충진시스템에 관한 것이다.

Description

자동용액 충진시스템
제1도는 본 고안의 자동용액 충진시스템의 동작에 따른 블럭선도.
제2도는 종래의 코팅용액 충진시스템의 도해도.
제3도는 본 고안의 코팅용액 자동충진시스템의 도해도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
31 : 메인 탱크 32 : 솔레노이드 밸브
33 : 실린져 캡 34 : 유도관로
35 : 에어튜브 36 : 디스펜셔
37 : 실린져 38 : 상한 리드 센서
39 : 하한 리미트센서 40 : 팁
본 고안은 반도체 IC 패키지 제조공정중 반도체 소자의 신뢰성을 높이기 위해 반도체 칩의 다이상에 코팅용액을 도포하는 코팅용액 충진시스템에 관한 것이며, 특히, 실린져(syringe)내의 코팅용액을 일정량 이상으로 유지하기 위한 코팅용액 자동충진시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 IC 패키지 제조공정중 와이어 본딩공정을 한 후, 다이(칩)의 신뢰성을 높이기 위하여 몰드성형전에 반도체 칩상에 코팅용액을 도포한다.
칩상에 코팅용액을 도포하기 위한 종래의 코팅용액 충진시스템에 대해 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
제2도는 종래의 코팅용액 충진시스템의 도해도이다.
상기 제2도에 도시된 바와 같이, 실린져(24)내의 용액(22)을 다이(21)상에 토출할때, 디스펜셔(25)에 의하여 고압에어(air)로 니들(23)을 통해 토출한다.
이때 실린져(24)내의 용액이 떨어지면, 실린져(24) 상부의 캡(26)을 제거한 후, 용액을 보충하던가 또는 새로운 실린져로 매번 교체하여야 하므로 반도체 소자 제조에 따른 생산성이 저하되는 문제점을 안고 있다.
따라서, 본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 실린져내에 항상 일정한 양의 코팅용액이 충만되도록 하여 다이 코팅 공정 수율을 향상시킬 수 있는 자동용액 충진시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 자동용액 충진시스템은, 실린져 내의 용액이 감소하여 하한 표시선(B)까지 도달하였을 때, 입력부(1)의 입력신호(a)를 수신하여 감지부(2)에서 감지하며, 감지부(2)에서 출력된 감지신호(b)를 증폭부(3)에서 증폭한후, 상기 증폭된 신호(c)를 구동부(4)에 인가하며, 상기 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 동작되게 하며, 다시 실린져 내의 용액이 증가하여 상한 표시선(A)까지 도달하였을 때는, 입력부(5)의 입력신호(e)를 감지부(6)에서 감지하며, 감지부(6)에서 출력된 감지신호(f)를 증폭부(7)에서 증폭한 후, 상기 증폭된 신호(g)를 구동부(4)에 인가하며, 상기 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 상기 실린져내의 용액이 감소했을 경우 작동하는 작동부의 방향과 반대방향으로 동작되게 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면으로 본 고안을 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
제1도는 본 고안에 따른 자동용액 충진시스템의 작동관계를 도시한 블럭선도이다.
여기서, 실린져(37) 내의 용액이 거의 소진된 상태인 하한 표시선(B)까지 도달하게 되면, 입력부(1)의 입력신호(a)를 수신하여 감지부(2)에서 감지하며, 감지부(2)에서 출력된 감지신호(b)는 증폭부(3)에서 증폭되며, 상기 증폭신호(c)는 구동부(4)에 인가되어, 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 동작되게 한다.
다음에, 다시 실린져 내의 용액이 증가하여, 상한 표시선(A)까지 도달하면, 입력부(5)의 입력신호(e)를 감지부(6)에서 감지하며, 감지부(6)에서 출력된 감지신호(f)를 증폭부(7)에서 증폭한 후, 상기 증폭된 신호(g)가 구동부(4)에 인가되며, 그 후, 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 상술한 방향과는 반대방향으로 동작되게 한다.
제3도는 본 고안에 따른 자동용액 충진시스템의 사용상태도를 나타낸다.
그 작동상태를 살펴보면, 먼저, 실린져(37)내의 용액을 일정량씩 디스펜셔(36)에 의해 다이상에 코팅시킨다. 이때, 실린져(37)내의 용액이 감소하여, 하한 리미트선(B)에 도달하면 하한 리미트센서(39)에 의하여 상기 상태가 감지되며, 상기 감지신호가 솔레노이드 밸브(32)를 개방시키므로, 메인탱크(31)에 보관되어 있는 코팅용액이 유도관(33)을 통하여 실린져(37)내에 공급되며, 그 후 일정량 이상의 용액이 공급되어 상한 리미트선(A)에까지 도달하면 상한 리미트센서(38)에 의해 솔레노이드 밸브(32)는 닫히게 된다.
이때, 작업자는 단지 메인탱크(31)에 코팅용액을 보충하기만 하면 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 고안은 반도체 칩의 신뢰성을 향상시키기 위해, 다이상에 코팅용액을 코팅시키는 공정에 있어서, 자동으로 솔레노이드 밸브를 개폐시켜 실린져내에 항상 일정한 양의 코팅용액이 충만되게 한다.

Claims (2)

  1. 실린져 내의 용액이 감소하여 하한 표시선(B)까지 도달하였을 때, 입력부(1)의 입력신호(a)를 수신하여 감지부(2)에서 감지하며, 감지부(2)에서 출력된 감지신호(b)를 증폭부(3)에서 증폭한후, 상기 증폭된 신호(c)를 구동부(4)에 인가하며, 상기 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 동작되게 하며, 다시 실린져 내의 용액이 증가하여 상한 표시선(A)까지 도달하였을 때는, 입력부(5)의 입력신호(e)를 감지부(6)에서 감지하며, 감지부(6)에서 출력된 감지신호(f)를 증폭부(7)에서 증폭한 후, 상기 증폭된 신호(g)를 구동부(4)에 인가하며, 상기 구동부(4)에서 출력된 구동신호(d)가 작동부(8)를 상기 실린져내의 용액이 감소했을 경우 작동하는 작동부의 방향과 반대방향으로 동작되게 하는 것을 특징으로 하는 자동용액 충진시스템.
  2. 제1항에 있어서, 작동부(8)는 솔레노이드 밸브로 구성되어 개폐되는 것을 특징으로 하는 자동용액 충진시스템.
KR2019910025434U 1991-12-31 1991-12-31 자동용액 충진시스템 KR0134582Y1 (ko)

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