KR0131754Y1 - 스테이지 구동장치 - Google Patents
스테이지 구동장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR0131754Y1 KR0131754Y1 KR2019950048426U KR19950048426U KR0131754Y1 KR 0131754 Y1 KR0131754 Y1 KR 0131754Y1 KR 2019950048426 U KR2019950048426 U KR 2019950048426U KR 19950048426 U KR19950048426 U KR 19950048426U KR 0131754 Y1 KR0131754 Y1 KR 0131754Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- air
- stage
- bearing
- support
- air inlet
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Abstract
본 고안에 의한 스테이지 구동장치는 상면에 작업 대상물이 안착되는 스테이지와, 스테이지와 가이드축에 의해 연결되어 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동모터와, 스테이지 하단에 설치되는 지지대와, 지지대와 스테이지 사이에 다수 설치되고, 다수의 공기유출구와, 적어도 하나 이상의 공기흡입구이 형성되어 있는 에어베어링(air bearing)과, 에어베어링의 공기유출구에 공기를 주입시키는 공기주입관과, 에어베어링의 공기흡입구를 통하여 공기를 흡입시키는 진공흡입관을 포함하여 이루어진다.
Description
제1도는 종래의 스테이지 구동장치의 일실시예를 도시한 정면도 및 평면도.
제2도는 본 고안에 의한 스테이지 구동장치의 일실시예를 도시한 부분절개 평면도 및 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10,20 : 스테이지 11 : 관통홀
12 : 볼나사 13 : 선형 볼베어링
14 : 서보모터 15 : 요잉가이드
21 : 가이드축 22 : 선형모터
23 : 화강암 지지대 24 : 에어베어링
24-1 : 공기유출구 24-2 : 공기흡입구
25 : 공기주입관 26 : 진공흡입관
본 고안은 스테이지(stage) 구동장치에 관한 것으로, 특히 상면에 안착되는 작업 대상물을 정밀하게 이동시키며 작업을 진행시키는 것에 적당하도록 한 스테이지 구동장치에 관한 것이다.
일반적으로 스테이지 구동장치는 상면에 안착되는 작업대상물을 전후 또는 좌우 이동시키며 작업을 진행시킬 수 있도록 스테이지를 구동시키는 장치이다.
제1도는 종래의 스테이지 구동장치의 일실시예를 도시한 정면도 및 평면도로서, 제1도의 (a)는 평면도이고, 제1도의 (b)는 정면도이다. 이하 첨부된 도면을 종래의 스테이지 구동장치의 일실시예로서 예시된 스테이지가 전후이동 되도록 하는 스테이지 구동장치의 구성 및 동작을 설명하면 다음과 같다.
종래의 스테이지 구동장치의 일실시예에서는 제1도의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이, 작업 대상물이 상면에 안착되며, 내면에 나사산이 형성된 관통홀(11)이 이동방향으로 형성된 스테이지(10)와, 스테이지의 관통홀에 삽입되는 볼나사(ball thread)(12)와, 스테이지 하단에 다수 설치되어 스테이지 저면과 접촉하게 되는 선형 볼베어링(linear ball bearing)(13)과, 볼나사를 회전시켜서 스테이지가 전후 이동 되도록 하는 서보모터(servo motor)(14)와, 스테이지의 하단에 설치되어 스테이지의 전후 이동 시에 스테이지를 지지하는 요잉가이드(yawing guide)(15)를 포함하여 이루어진다.
즉, 종래의 스테이지 구동장치에서는 선형 볼베어링 위에 스테이지가 놓여져서 최소의 마찰을 가지면서 스테이지가 전후 이동되고, 또한 직진성 전후 이동을 하기 위하여 요잉가이드에 의해서 지지되고 있다.
그리고 스테이지는 서보모터에 의해 볼나사가 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킴에 따라 전후 이동된다.
그러나 종래의 스테이지 구동장치에서는 스테이지 저면과 선형 볼베어링 간에 발생되는 파티클(particle)에 의해서 스테이지 상면에 안착되는 작업 대상물이 오염되는 경우가 발생되었으며, 특히 작업 대상물이 웨이퍼 등과 같이 깨끗함을 요구하는 것이라면, 이는 전반적인 생산 수율에 큰 영향을 끼치게 된다.
또한 종래의 스테이지 구동장치에서는 사용기간이 제한되어 있는 선형 볼베어링을 주기적으로 교환해야 함으로 인하여 장비의 가동율이 저하되고, 비 경제적인 면이 있었고, 계속되는 스테이지 구동으로 스테이지 저면과 선형 볼베어링 간에 마찰에 의한 마모가 발생되면, 이동 정밀도가 떨어지게 되는 문제가 발생되고 있다.
본 고안은 이러한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 스테이지 구동장치의 구성을 개선하여 작업 대상물의 오염방지 및 이동 정밀도가 향상되도록 하는 것이 그 목적이다.
본 고안에 의한 스테이지 구동장치는 상면에 작업 대상물이 안착되는 스테이지와, 스테이지와 가이드축에 의해 연결되어 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동모터와, 스테이지 하단에 설치되는 지지대와, 지지대와 스테이지 사이에 다수 설치되고, 다수의 공기유출구와, 적어도 하나 이상의 공기흡입구이 형성되어 있는 에어베어링(air bearing)과, 에어베어링의 공기유출구에 공기를 주입시키는 공기주입관과, 에어베어링의 공기흡입구를 통하여 공기를 흡입시키는 진공흡입관을 포함하여 이루어진다.
제2도는 본 고안에 의한 스테이지 구동장치의 일실시예를 도시한 부분절개 평면도 및 정면도로서, 제2도의 (a)는 부분절개 평면도이고, 제2도의 (b)는 정면도이다. 이하 첨부된 도면을 본 고안에 의한 스테이지 구동장치의 일실시예로서 예시된 스테이지가 전후이동되도록 하는 스테이지 구동장치의 구성 및 동작을 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 의한 스테이지 구동장치의 일실시예에서는 제2도의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이, 상면에 작업 대상물이 안착되는 스테이지(20)와, 스테이지와 가이드(guide)축(21)에 의해 연결되어 스테이지를 전후이동시키는 스테이지 구동모터인 선형모터(linear motor)(22)와, 스테이지 하단에 설치되는 화강암 지지대(23)와, 원판의 형태로서 스테이지와 화강암 지지대 사이에 설치되고, 가장자리에 다수의 공기유출구(24-1)과, 중앙 부위에 하나의 공기흡입구(24-2)이 형성되어 있는 에어베어링(24)과, 에어베어링의 공기유출구에 공기를 주입시키는 공기주입관(25)과, 에어베어링의 공기흡입구를 통하여 공기를 흡입시키는 진공흡입관(26)을 포함하여 이루어진다.
이때, 에어베어링은 직경 100mm 내외의 원판 형태로서 화강암 지지대의 상면에 다수 고정되어 설치되고, 공기유출구는 직경 1mm 내외로 형성되어, 공기주입관에서는 공기유출관을 통하여 100psi 정도의 압력으로 공기가 유출되도록 공기를 주입하고, 공기흡입구는 직경은 5mm 내외로 형성되어, 진공흡입관에서는 공기흡입관을 통하여 약 60mmHg 정도의 압력으로 공기가 흡입되도록 하여, 에어베어링의 표면에 얇은 공기막이 형성되도록 한다.
즉, 본 고안에 의한 스테이지 구동장치는 스테이지와 에어베어링 사이에 얇은 막이 형성됨에 따라 스테이지의 전후이동시에 마찰이 발생되지 않게 되며, 스테이지는 구동축을 통하여 연결되는 선형모터에 의해 전후이동하게 된다.
본 고안에 의한 스테이지 구동장치에서는 스테이지와 지지대 사이에 설치되는 에어베어링 표면의 얇은 공기막 위에서 스테이지가 이동되므로, 파티클의 발생이 억지되고, 따라서 반도체 제조장비의 웨이퍼 노광장치, 웨이퍼 결함검출장치, 측정장치 등에서의 작업대상물인 웨이퍼의 오염이 방지된다.
또한 에어베어링은 반 영구적으로 사용될 수 있으므로 종래의 기술과 같이, 선형 베어링을 주기적으로 교체함에 따라 저하되었던 장치의 가동율이 향상되고, 스테이지 저면의 마모 현상이 방지되므로 스테이지 이동의 정밀도가 향상된다.
Claims (4)
- 스테이지 구동장치에 있어서, 상면에 작업 대상물이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지와 가이드축에 의해 연결되어 상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동모터와, 상기 스테이지 하단에 설치되는 지지대와, 상기 지지대와 상기 스테이지 사이에 다수 설치되고, 다수의 공기유출구와, 적어도 하나 이상의 공기흡입구이 형성되어 있는 에어베어링과, 상기 에어베어링의 상기 공기유출구에 공기를 주입시키는 공기주입관과, 상기 에어베어링의 상기 공기흡입구를 통하여 공기를 흡입시키는 진공흡입관을 포함하여 이루어지는 스테이지 구동장치.
- 제1항에 있어서, 상기 에어베어링은 상기 지지대의 상면에 고정되어 설치되고, 상면 가장자리에 다수의 공기유출구가 형성되고, 상면 중앙부위에 하나의 공기흡입구가 형성된 원판 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 스테이지 구동장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 에어베어링은 직경 100mm 내외의 원판 형태로 형성되고, 상기 공기유출구는 직경 1mm 내외로 형성되어, 상기 공기주입관에서는 상기 공기유출관을 통하여 100psi 정도의 압력으로 공기가 유출되도록 공기를 주입하고, 상기 공기흡입구는 직경은 5mm 내외로 형성되어, 상기 진공흡입관에서는 상기 공기흡입관을 통하여 약 60mmHg 정도의 압력으로 공기가 흡입되도록 하여, 상기 에어베어링의 표면에 얇은 공기막이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 스테이지 구동장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 지지대는 상면이 평평한 화강암 지지대인 것을 특징으로 하는 스테이지 구동장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950048426U KR0131754Y1 (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스테이지 구동장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950048426U KR0131754Y1 (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스테이지 구동장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970046850U KR970046850U (ko) | 1997-07-31 |
| KR0131754Y1 true KR0131754Y1 (ko) | 1999-02-01 |
Family
ID=19439094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950048426U KR0131754Y1 (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스테이지 구동장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0131754Y1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100982345B1 (ko) * | 2008-05-14 | 2010-09-15 | 주식회사 쎄믹스 | 레이저 리페어 시스템을 위한 척 플레이트 이송장치 |
| KR101403458B1 (ko) * | 2012-11-13 | 2014-06-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-12-27 KR KR2019950048426U patent/KR0131754Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100982345B1 (ko) * | 2008-05-14 | 2010-09-15 | 주식회사 쎄믹스 | 레이저 리페어 시스템을 위한 척 플레이트 이송장치 |
| KR101403458B1 (ko) * | 2012-11-13 | 2014-06-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970046850U (ko) | 1997-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108407119B (zh) | 一种单晶硅棒加工装置 | |
| CN1781684A (zh) | 切割机 | |
| KR20180037579A (ko) | 로보트 핸드 및 반송 로보트 | |
| US11101162B2 (en) | Chuck table, cutting apparatus, and method correcting chuck table | |
| KR0131754Y1 (ko) | 스테이지 구동장치 | |
| KR20180053247A (ko) | 플랜지 기구 | |
| JP2007088361A (ja) | 切削装置 | |
| JP4216565B2 (ja) | 切削装置 | |
| CN111696904A (zh) | 搬送装置 | |
| JP4676288B2 (ja) | 切削装置 | |
| KR20080047614A (ko) | 전자 부품을 분리하기 위한 장치 및 방법 | |
| JP5037379B2 (ja) | 板状物の搬送装置 | |
| JP2019115962A (ja) | チャックテーブル修正方法及び切削装置 | |
| KR100458537B1 (ko) | 평판표시패널의 유리기판 모따기장치 | |
| TW202000329A (zh) | 刀輪清掃機構及刻劃裝置 | |
| JP4315788B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 | |
| JP4481668B2 (ja) | 切削装置 | |
| JPH0538647A (ja) | 吸着テーブル | |
| CN108568915B (zh) | 切削刀具和安装凸缘 | |
| CN213054517U (zh) | 高精度十字移动真空吸附平台 | |
| KR200337403Y1 (ko) | 평판디스플레이용 도광판의 모서리 가공장치 | |
| CN116984683B (zh) | 一种适于工件位置调直的高效型攻丝加工装置 | |
| CN216698321U (zh) | 一种高精度半导体晶片背切平台 | |
| KR100206930B1 (ko) | 웨이퍼 가공용 다이싱 소오 | |
| JP7482531B2 (ja) | スクライブヘッド及びスクライブ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20050824 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |