KR101403458B1 - 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 특히 기판 처리 시에 기판을 이송시켜 기판상에 박막을 결정화시키는 기판 처리 장치이다. 본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는 에어 베어링에 의해 슬라이딩되는 이송대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다. 또한 본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는, 제1축 방향으로 놓여 이격된 한 쌍의 가이드 레일과, 상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제1축 이송대와, 상기 제1축 이송대의 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대와, 상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드와, 상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 기판 처리 장치{Apparatus for transfering substrate and processing substrate}
본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 특히 기판 처리 시에 기판을 이송시켜 기판상에 박막을 결정화시키는 기판 처리 장치이다.
OLED(Organic Light Emitting Diode), 태양광 소자(Solar Cell) 등을 제조함에 있어서 비정질 다결정 실리콘을 결정화시키는 열처리가 대부분 수반된다. 이때 융점이 낮은 기판을 사용할 경우 레이저를 이용하여 결정화시키는 것이 유리하다.
특히, 기판이 대형화됨에 따라 박막 증착 후 어닐링(annealing)을 할 때 균일성을 확보하기 힘들어 여러 가지 대안들이 제시되고 있으며 그 중에 하나가 레이저를 이용하여 결정화시키는 어닐링 방법이다. 도 1은 종래의 레이저 가공장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 챔버(10)에는 가스 유출 입구(11a, 11b)가 마련되며 상단에는 투명창(20)이 설치된다. 투명창(20)의 위쪽에는 레이저 조사수단(40)이 설치되며, 레이저 조사수단(40)에서 조사되는 레이저 빔은 투명창(20)을 통과하여 챔버(10) 내의 기판(W)에 도달한다.
도 2는 도 1의 레이저 조사수단(40)에서 조사되는 레이저빔(41)의 형태를 설명하기 위한 도면으로서, 도 2(a)는 기판을 위에서 내려다 본 상태를 나타낸 도면이며, 도 2(b)는 기판의 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이 레이저빔(41)은 라인형태로 기판(W)에 조사된다. 기판(W)은 레이저빔(41)의 라인에 대해서 수직한 방향(화살표 방향)으로 수평 이동함으로써 기판(W)의 전면에 레이저빔(41)의 조사가 이루어진다.
기판을 이동시키는 기판이송장치는 LM(Linear Motor) 가이드를 통하여 이루어진다. 도 3에 도시된 바와 같이 LM 가이드에서 제1축 이송대(52)는 LM 가이드 레일(51)을 따라 움직이고, 기판 지지대 역할을 하는 제2축 이송대(53)는 제1축 이송대(52)를 따라 움직인다. 따라서 기판(W)은 열처리 시에 제1축 방향뿐만 아니라 제2 방향 및 수평 회전 운동을 통하여 적절한 위치에 자리 잡게 된다. 여기서, 제1축 및 제2축은 2차원 평면을 구성하는 임의의 축으로서, 간단하게는 X축 및 Y축으로 표현할 수도 있다. 제1축 및 제2축에 대한 정의는 아래의 설명에서도 동일하게 적용된다.
상기와 같이 제1축 이송대는 LM 가이드 레일을 따라 움직이며, 제2축 이송대는 제1축 이송대를 따라 기구적인 접촉 이동을 하게 되는데, 이러한 기구적인 접촉 이동은 공정 불량을 유발할 수 있는 파티클(particle)을 발생시킬 수 있다. 이러한 파티클 발생을 최소화하기 위하여 한국공개특허 2011-0010252의 경우, 제1축 이송대 및 제2축 이송대의 하부에 에어 베어링(air bearing)을 구비하여 기구적인 마찰 접속을 최소화하였다.
그러나 에어 베어링(air bearing)을 이용하여 이송대의 이동이 이루어지는 경우 다음과 같은 문제가 발생한다. 에어 베어링은 에어압(air pressure)을 통해 비접촉으로 부상하게 되는데, 뿜어져 나오는 에어압(air pressure)으로 인하여 주변에 있는 파티클이 날리어서 기판에 오염 물질이 증착되는 문제가 있다.
한국공개특허 2011-0010252
본 발명의 기술적 과제는 기판 이송 장치의 안정적인 기판 이송을 수행하는데 있다. 또한 본 발명의 기술적 과제는 에어 베어링의 구동으로 인한 파티클의 오염을 최소화하는데 있다. 본 발명의 기술적 과제는 양질의 막을 증착하는데 있다.
본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는 에어 베어링에 의해 슬라이딩되는 이송대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다.
또한 본 발명의 실시 형태인 기판 이송 장치는, 제1축 방향으로 놓여 이격된 한 쌍의 가이드 레일과, 상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제1축 이송대와, 상기 제1축 이송대의 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대와, 상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드와, 상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다.
또한 제2축 이송대는, 상기 제1축 이송대의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체와, 상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체를 포함한다.
또한 흡입기는, 상기 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 흡입 패드와, 상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바와, 상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀과, 상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서, 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관과, 상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트를 포함한다.
또한 본 발명의 실시 형태인 기판 처리 장치는, 내부 공간을 가지는 챔버와, 상기 반응 챔버의 내부 공간에서 기판을 제1축 방향 및 제2축 방향으로 이송시키는 기판 이송 장치와, 상기 기판 이송 수단에 놓인 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저 발생부를 포함하며, 상기 기판 이송 장치는, 제1축 방향으로 놓인 이격된 한 쌍의 가이드 레일과, 상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 1축 이송대와, 상기 제1축 이송대를 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대와, 상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드와, 상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대와, 상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 포함한다.
본 발명의 실시 형태에 따르면 에어 베어링의 분사압을 흡수함으로써, 기판 주변에 파티클이 날리는 것을 최소화할 수 있다. 따라서 기판상에 양질의 막을 증착할 수 있다. 또한 본 발명의 실시 형태에 따르면 흡입 패드의 하부면을 코팅함으로써, 기판 이송 장치의 바닥면의 긁힘을 방지할 수 있다.
도 1은 종래의 레이저 가공장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 레이저빔의 형태를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 종래의 기판이송장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열처리 장치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 구비된 챔버의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 수단의 상부 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 도 6(a)의 A-A'선에 따른 기판 이송 수단의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 에어 베어링의 주변에 마련된 흡입기를 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 흡입기의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 흡입 패드는 복수개로 에어 베어링 둘레에 구비된 모습을 도시한 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열처리 장치를 도시한 도면이다.
이하에서는 기판 이송 장치가 구비된 기판 처리 장치로서 레이저 열처리 장치를 예를 들어 설명하겠으나, 이에 한정되지 않고 레이저 열처리 장치 이외에도 기판을 처리하는 다양한 장치에 적용될 수 있다.
기판 처리 장치인 레이저 열처리 장치는 레이저를 이용하여 기판을 결정화시키는 장치로서, 기판에 레이저를 조사하여 기판(10) 표면 또는 기판(10) 상에 형성된 박막을 결정화시키는 레이저 결정화 모듈이다.
레이저 열처리 장치는 내부 공간을 가지는 챔버(200), 챔버(200) 내에 배치되어 기판(W)을 지지하며, 상기 기판(W)을 수평 이동시키는 기판 이송 장치(100), 기판 이송 장치(100)와 대향하는 챔버(200)의 일측면에 설치된 투명창(300), 챔버(200)의 외측에 배치되며 레이저를 방출하는 레이저 발생부(400) 및 챔버(200)의 외측에서 투명창(300) 상측에 대향 배치되는 반사경(450)을 포함한다. 또한, 챔버(200) 내에서 투명창(300)의 양측으로 설치된 제 1 및 제 2 히터(1500a, 1500b)를 포함하며, 상기 제 1 및 2 제 히터(1500a, 1500b)로 램프 히터를 이용한다. 또한, 레이저 열처리 장치는 레이저 열처리 공정 시에 통상 대기압보다 약간 높은 압력에서 진행되는 것이 일반적인데, 에어 베어링을 사용하여 기판(W)을 이송하게 되면 원하는 압력으로 세팅되어 있던 챔버(200) 내의 압력이 변할 수 있게 된다. 이러한 현상을 염려하여 챔버(200)에는 챔버(200)의 기체 유입구 및 유출구 중 적어도 어느 한 곳, 예컨대 유출구에는 압력조절밸브를 설치하여 이들 사이의 컨트롤러를 통하여 챔버(200) 내의 압력이 일정하게 유지되도록 제어한다.
상기의 구성부를 가진 레이저 열처리 장치를 이용하여 기판(W)을 결정화시키는 과정을 간략히 설명하면 하기와 같다. 먼저, 기판(W)이 챔버 내로 장입되면, 기판(W)은 먼저 제 1 히터(150a)에 의해 히팅된 후 레이저 조사를 받고, 그 후 다시 제 2 히터(1500b)에 의해 히팅된다. 이때 기판(W)은 기판 이송 장치(100)에 의해 수평 이동하므로, 기판(W)의 상부면이 순차적으로 히팅-레이저 조사-히팅 과정을 거친다. 이때 기판(W)은 예를 들어, 상부면에 비정질 실리콘층이 형성된 기판일 수 있으며, 이를 레이저 열처리 장치를 이용하여 결정화시키면 실리콘층이 결정화된다.
상기와 같이 기판(W)은 레이저빔(451)의 라인에 대해서 수직한 방향(화살표 방향)으로 수평 이동함으로써 기판(W)의 전면에 레이저빔(451)의 조사가 이루어진다. 기판을 이동시키는 기판 이송 장치는 LM(Linear Motor) 가이드를 통하여 이루어진다. 즉, 가이드 레일을 따라 선형 이동하는 구조를 가진다. 이하, 도 5, 도 6 및 도 7과 함께 상술한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 구비된 챔버의 사시도이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 수단의 상부 평면도이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 도 6(a)의 A-A'선에 따른 기판 이송 수단의 단면도이다.
가이드 레일(130)은 두 개의 레일로 된 한 쌍으로 구현되어 Y축인 제1축 방향으로 챔버 바닥면에 이격되어 나란히 놓여 진다.
제1축 이송대(110)는 한 쌍의 가이드 레일(130) 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링(121a)에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩한다. 기판 이송 장치의 상부 평면도를 도시한 도 6 및 A-A선의 단면도를 도시한 도 7을 참조하면, 제1축 이송대(110)는, 가이드 레일 사이를 잇는 제1축 이송대 몸체(110b)와, 제1축 이송대 몸체의 양끝단에 마련되어 가이드 레일을 따라 슬라이딩 이동하는 제1축 이송대 슬라이딩체(110a)를 포함한다. 제1축 이송대 몸체(110b)는 U자 형태의 라인 홈이 파여진 길이를 가져, 제1축 이송대 몸체의 내부가 라인 형태로 파여진 공간을 가지도록 한다.
제2축 이송대(120)는 제1축 이송대(110)의 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩한다. 제2축 이송대(120)는 제1축 이송대를 상부에서 오목하게 감싸도록 설치한다. 이를 위하여 제2축 이송대(120)는 제1축 이송대(110)의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체(120b)와, 상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체(201a)를 포함한다.
한편, 도 7을 참조하면, 제2축 이송대(120)가 제1축 이송대(110)를 오목하게 감싸도록 설치되어 기판 이송 장치(100)의 전체적인 높이를 낮추고 있음을 알 수 있다. 또한, 제2축 이송대(120)의 중앙 내부에도 회전축 가이드(미도시)가 삽입되는 형태로 설치되어 있어서, 이러한 형태도 기판 이송 장치(100)의 전체적인 높이를 낮추는 데 기여하고 있다. 이러한 구조를 택한 이유는 제2축 이송대(120)가 제1축 이송대(110) 상에, 회전축 가이드(140)가 제2축 이송대(120) 상에 각각 그대로 적층될 경우, 기판 이송 장치의 전체적인 높이가 높아져서 많은 공간을 차지할 뿐만 아니라 기판 이송의 안정성도 떨어지는 것을 보완하기 위함이다.
기판 이송 장치(100)는 상기에서 설명한 구조를 가짐으로써, 제1축 이송대(110)는 두 개가 평행하게 설치된 가이드 레일(130)을 활주하고, 제2축 이송대(120)는 제1축 이송대(110)를 활주하게 된다. 이때 제1축 이송대(110)와 제2축 이송대(120)의 활주는 하나의 평면으로 구성된 바닥면(201)과 각 축의 가이드면을 따라 이동하는 에어 베어링(121;121a,121b)을 통해서 이루어진다. 제2축 이송대(120)의 중앙 내부에는 회전축 가이드(미도시)가 삽입되어 있으며, 그 회전축 가이드 상에 기판지지대(140)가 설치되어 있다. 제1축 이송대(110)와 제2축 이송대(120)는 에어 베어링(121)이 작용하는 상태에서 리니어 모터(linear motor)에 의해 움직이며, 회전축 가이드는 에어 베어링 방식이 아닌 크로스 롤러 가이드 방식으로 R 방향 동작, 즉 기판의 회전 동작을 하게 해준다. 제1축 이송대(110)는 레이저빔(451)의 커튼면을 관통하는 방향으로 활주한다. 이와 같이 에어 베어링(121)을 이용하여 기판(W)을 이송한다.
제1축 이송대(110)의 바닥면 및 제2축 이송대 지지체(120)의 바닥면에 복수개로 각각 구비되는 에어 베어링(121)은, 플라스틱, 카본 및 금속세라믹 등을 원료로 제조된 베어링으로서 동력은 에어(air)를 이용하여 바닥면과 비접촉으로 부상하게 함으로써 마찰로 인한 챔버 구조물의 손상을 발생시키지 않는다. 에어 베어링(121)은 기름을 윤활제로 사용하는 일반 볼베어링과 달리 공기나 여러 가지 기체를 윤활제로 사용하여 기체의 낮은 점성마찰계수로 소모동력이 매우 작고, 고속회전이 가능하며, 윤활제나 볼의 마찰에 의한 분진이나 오염이 없어 정밀 제어에 적합한 베어링이다. 본 발명에서 사용되는 에어 베어링에서 실제로 분사되는 가스는 산소와 질소의 혼합기체인 일반 공기보다는 비활성 기체인 질소인 것이 바람직한데, 그 이유는 레이저 열처리 공정에서 챔버(10)에 공급되는 가스와 동일한 가스, 예컨대 질소 가스를 에어 베어링의 사용가스로 채택하는 것이 챔버(10)의 내부압력조절 및 열처리 공정의 신뢰성을 위해서 바람직하기 때문이다.
에어 베어링은 하측을 향하는 에어 분사면에서 분사되는 에어압(air pressure)을 이용하여 부상하여 슬라이딩하기 때문에 에어 베어링(121)에서 분사되는 에어압에 의하여 주변의 파티클이 날리어 기판에 흡착될 우려가 있다. 이는 기판 열처리 시에 품질 저하를 가져온다. 이러한 파티클을 방지하기 위하여 본 발명의 실시예는 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기를 구비한다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 에어 베어링의 주변에 마련된 흡입기를 도시한 사시도이며, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 흡입기의 사시도이다.
흡입기(122;122a,122b)는 에어 베어링마다 그 주변에 마련되는데, 에어 베어링의 설치 형태에 따라서 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1축 이송대(110)의 모서리의 하부면에 마련되는 흡입기와 제2축 이송대의 모서리의 하부면에 마련되는 흡입기는 각각 그 형태를 달리한다.
도 9에 도시한 바와 같이 흡입기(122)는 상기 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 흡입 패드(1221)와, 상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바(1225)와, 상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀(1222)과, 상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관(1223)과, 상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트(1224)를 포함한다.
고정 결합바(1225)는 흡입 패드를 제1축 이송대(110), 제2축 이송대(120) 등의 구조물에 결합시키는데, 예컨대, 흡입 패드(1221)에서 복수개 돌출되어 이송대에 결합된다.
흡입 패드(1221)는 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 패드로서, 흡입 패드의 하부면에 복수의 에어 흡입홀(1222)이 형성된다. 흡입 패드의 내부에는 흡입 통로관(1223)이 형성되어 흡입 패드의 바닥면에 형성된 복수의 에어 흡입홀과 연결된다. 따라서 에어 베어링(121)에서 분사되는 에어는, 에어 베어링의 주변 둘레를 감싸는 흡입 패드의 하부면에 형성된 흡입홀(1222)로 유입되고, 흡입홀로 유입된 에어는 흡입 패드 내부의 흡입 통로관(1223)을 따라 끝단에 있는 에어 배출 포트(1224)를 통해 배출된다. 경우에 따라서 에어 배출 포트(1224)는 흡입력을 제공하는 압력 조절 펌프에 연결되어, 흡입홀을 통해 에어를 흡입하는 흡입력을을 높일 수 있다.
에어 베어링을 감싸는 흡입 패드(1221)와 에어 베어링(121)과의 거리는 50mm 이내로 함이 바람직하다. 흡입 패드가 5mm 이상의 간격으로 에어 베어링과 떨어져 위치하는 경우, 에어 베어링의 에어압을 흡입하는 효율이 떨어지기 때문이다.
또한 흡입 패드(1221)의 하부면은 불소 수지인 테프론(teflon)으로 코팅됨이 바람직하다. 흡입 패드가 제1축 이송대 및 제2축 이송대의 하부면에 위치한 에어 베어링의 에어 분사면 둘레에 위치하기 때문에, 제1축 이송대 및 제2축 이송대의 슬라이딩 시에 바닥면에 닿아 긁혀질 우려가 있기 때문이다. 따라서 긁힘을 방지할 수 있는 테프론 코팅체를 흡입 패드의 하부면에 입히는 것이다.
또한 흡입 패드(1221)의 형태는 도 9에 도시한 바와 같이 에어 베어링의 에어압 분사면의 둘레를 감싸는 일부 끊어진 단일의 링 형태를 가질 수도 있지만, 또 다른 실시예로서 도 10에 도시한 바와 같이 흡입 패드(1221)는 복수개 구비되어, 에어 베어링(121)의 에어 분사면 둘레를 따라 서로 이격된 흡입 패드로 감싸는 형태로 구현될 수 있다. 이는 에어 베어링 주변의 구조물이 복잡할 경우 흡입 패드를 복수개로 하여 이격 설치함으로써, 설치의 편의성을 높일 수 있다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
110: 제1축 이송대 120: 제2축 이송대
130: 가이드 레일 121: 에어 베어링
122: 흡입기 1221: 흡입 패드
1222: 흡입홀 1223: 흡입 통로관
1224: 에어 배출 포트

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 제1축 방향으로 놓여 이격된 한 쌍의 가이드 레일;
    상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제1축 이송대;
    상기 제1축 이송대의 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대;
    상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드;
    상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대;
    상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기;
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 제1축 이송대는,라인 홈이 파여진 길이를 가지는 기판 이송 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 제2축 이송대는, 상기 제1축 이송대를 상부에서 오목하게 감싸도록 설치되는 기판 이송 장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 제2축 이송대는,
    상기 제1축 이송대의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체;
    상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체;
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 청구항 2에 있어서, 상기 에어 베어링은, 상기 제1축 이송대의 바닥면 및 제2축 이송대 지지체의 바닥면에 복수개로 각각 구비되는 기판 이송 장치.
  7. 청구항 2에 있어서, 상기 흡입기는,
    상기 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 흡입 패드;
    상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바;
    상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀;
    상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서, 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관;
    상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트;
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 흡입 패드는 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 단일의 링 형태로 구현하는 기판 이송 장치.
  9. 청구항 7에 있어서, 상기 흡입 패드는 복수개 구비되며, 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 따라 서로 이격된 흡입 패드로 감싸는 기판 이송 장치..
  10. 청구항 7에 있어서, 상기 흡입 패드의 바닥면은 불소수지인 테프론(teflon)으로 코팅된 기판 이송 장치.
  11. 청구항 7에 있어서, 상기 흡입 패드와 에어 베어링과의 이격 거리는 50mm 이내임을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 내부 공간을 가지는 챔버;
    상기 챔버의 내부 공간에서 기판을 제1축 방향 및 제2축 방향으로 이송시키는 기판 이송 장치;
    상기 기판 이송 수단에 놓인 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저 발생부;
    를 포함하며, 상기 기판 이송 장치는,
    에어 베어링에 의해 슬라이딩되는 이송대;
    상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기;
    를 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 내부 공간을 가지는 챔버;
    상기 챔버의 내부 공간에서 기판을 제1축 방향 및 제2축 방향으로 이송시키는 기판 이송 장치;
    상기 기판 이송 수단에 놓인 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저 발생부;
    를 포함하며, 상기 기판 이송 장치는,
    제1축 방향으로 놓인 이격된 한 쌍의 가이드 레일;
    상기 한 쌍의 가이드 레일 사이를 잇는 제2축 방향의 길이를 가지며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 가이드 레일을 따라 제1축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제1축 이송대;
    상기 제1축 이송대를 상부에 마련되며, 하부면에 마련된 에어 베어링에 의해 상기 제1축 이송대를 따라 제2축 방향으로 전후진 슬라이딩되는 제2축 이송대;
    상기 제2축 이송대의 중앙 내부에 삽입되는 회전축 가이드;
    상기 회전축 가이드 상부에 마련되는 기판 지지대;
    상기 에어 베어링의 둘레를 감싸며, 상기 에어 베어링에서 분사된 후 반사되는 에어압을 흡수하는 흡입기;
    를 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서, 상기 흡입기는,
    상기 에어 베어링의 둘레를 감싸는 흡입 패드;
    상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바;
    상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀;
    상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서, 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관;
    상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트;
    를 포함하는 기판 처리 장치.
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