KR0130390Y1 - 점액 배출 장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 점액 배출시 공기 기포가 함께 배출되는 것을 방지하기에 적당한 점액배출장치에 관한 것으로, 점액보관용기, 점액 공급펌프, 점액 여과기, 점액배출기구 등을 포함하여 이루어지고, 이 점액배출기구는 점액 보관용기의 연결부에 연결설치되어 상기 펌핑 및 여과된 점액을 이동시키기 위한 점액통로를 갖는 배출건과, 점액 보관용기의 연결부 일단에 형성되어 점액을 일정 온도로 유지시키기 위한 온도조절기구와, 점액 보관용기의 연결부에 상기 배출건을 고정시키어 밀봉결합시키기 위한 밀봉결합부와, 점액에 포함되어 점액통로 내로 이동되는 기포를 포획하기 위한 기포포획부를 구비한 것이 특징이다.
본 고안의 주름진 점액배출기구는 결합에서 분리되고, 분해. 조립. 교체가 가능하며, 일정 주기 세척(clearing)하여 사용할 수 있으므로 매우 편리하다.
그리고 점액 배출 기구가 점액 배출시 최종적으로 점액으로부터 공기 기포를 분리제거시켜 주므로 코팅불량을 감소시키는 효과가 있으며, 분해. 조립이 가능하여 오염된 점에 배출기구를 교체할 수가 있기 때문에 미립자(particle)발생을 억제하는 효과도 있다.
또한, 점액배출구가 막혀서 배출량 및 압력이 변화되는 현상도 개선된다.

Description

점액 배출 장치
제1도는 종래의 점액 배출 장치의 블록도.
제2도는 종래의 점액 배출 장치의 배출기구 단면도.
제3도는 본 고안의 점액 배출 장치의 배출기구 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 보관용기 20,30 : 배출건
22 : 온도조절용유체 25 : 공기기포
21 : 온도조절기구 31 : 연결부
33 : 조임나사 32 : 조임밴드
38 : 작은 공간 39 : 공간형성부
24 : 점액
본 고안에 점액 배출 장치에 관한 것으로, 특히, 점액 배출시 공기 기포가 함께 배출되는 것을 방지하기에 적당한 점액 배출 장치에 관한 것이다.
반도체 제조장비 중에는 점성을 가진 유체를 배출하기 위한 장비가 있는데, 예로서 포토레지스트와 같이 점성을 가진 유체는 기포가 유입될 경우 코팅불량이 야기되기 때문에 특히 이러한 점을 고려한 점액 배출 장치로서 포토레지스트 배출장치가 있다.
종래의 점액 배출 장치는 제1도에 도시된 바와 같이, 점액이 담기어 보관되는 보관 용기(1)와 이 보관용기에서 점액을 공급하기 위한 점액 점프 및 점액펌프(2)의 출구에 연결되어 점액에 있는 불술물과 기포 등을 여과하기 위한 점액여과기(3), 그리고 점액을 소정의 개소에 공급하기 위한 점액 배출 기구(4) 등을 포함하고 있다. 특히, 점액 배출 기구(4)는. 제2도에 도시된 바와 같은 단면을 가지는데, 배출건(gun)(20)에서 배출되는 점액을 일정한 온도로 유지시키기 위하여 배출건(20) 외부에 온도조절용유체(22)의 통로(21)를 가진 온도조절기구를 포함하고 있다.
예를 들어, 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하는 과정을 설명하면, 웨이퍼 공급부제 웨이퍼가 담겨있는 캐리어를 로딩(lodding)시키면 자동적으로 웨이퍼가 PR(Photo Resist) 코딩(codding)부로 이동하게 되며, 웨이퍼가 진공척에 올려지게 되어 웨이퍼가 회전되면서 점액공급펌프가 작동된다. 때로는 웨이퍼가 회전하지 아니하는 정지상태에서 점액 공급 펌프가 동작되기도 한다.
점액공급 펌프가 동작하게 되면, 점액이 점액보관용기로부터 빨려 올라오면서 점액공급펌퍼, 점액여과기 등을 거쳐 점액 배출 기구를 통하여 점액이 배출되면서 웨이퍼에 코팅이 된다.
이러한 과정에서, 점액이 보관용기 내에 있을 때 잔존하는 공기 기포와 점액이 공급펌프 내를 통과할 때 펌프동작 중에 발생되는 공기 기포는 점액여과를 통하여 대부분 제거가 되지만, 일부 제거되지 않는 공기 기포(25)가 그대로 점액 여과기를 통과하거나, 점액 배출 기구 연결부위의 밀봉상태가 좋지 못하여 공기가 점액에 유입될 경우, 최종적으로 공기 기포를 제거시킬 수 있는 장치가 없기 때문에 공기 기포가 혼합된 점액이 그대로 웨이퍼에 배출되어 코팅 불량을 우발하게 되는 문제가 있었다.
그래서 본 고안에서는 점액 배출기구에서 점액이 최종적으로 작업대상물로 배출(또는 주입 등)되기 직전의 경로에까지 발생된 기포를 제거하는 수단을 설치하므로써 최종적으로 배출되는 점액에서는 기포가 전혀 포함되지 아니하도록 하기 위한 것이다.
본 고안의 점액 배출 장치는 점액보관용기, 점액 공급펌프, 점액 여과기, 점액배출기구 등을 포함하여 이루어지고, 이 점액배출기구는 점액 보관용기의 연결부에 연결설치되어 상기 펌핑 및 여과된 점액을 이동시키기 위한 점액통로를 갖는 배출건과, 점액보관용기의 연결부 일단에 형성되어 점액을 일정 온도로 유지시키기 위한 온도조절기구와, 점액 보관용기의 연결부에 상기 배출건을 고정시키어 밀봉결합시키기 위한 밀봉결합부와, 점액에 포함되어 점액통로 내로 이동되는 기포를 포획하기 위한 기포포획부를 구비한 것이 특징이다.
제3도는 본 고안의 점액 배출 기구를 단면으로 도시한 도면이다.
본 고안의 점액 배출 기구는 온도조절기구(21)의 종단에 배출건(30)을 연결하기 위한 연결부(31)가 형성된다.
배출건(30)은 연결부(31)에 밀봉상태로 결합될 수 있도록 된 밀봉결합부(32,33)와 점액에 포함되어 이동되는 기포를 포획하기 위한 기포포획부(38,39)와 점액배출구(40)까지 점액을 밀봉상태로 이동시키는 점액통로를 포함하여 구성된다.
이러한 점액배출기구가 점액보관용기, 점액공급펌프, 점액 여과기를 통하여 배출되는 점액배출구(40)에 연결되어 점액배출장치를 이룬다.
점액은 유동성을 갖는 점성을 가진 액체를 포함하며, 이 점액은 반도체 제조공정에 사용되고, 특히 포토레지스트를 도포하는 데 본 고안의 장치가 적용된다.
밀봉 결합부는 점액통로를 점액보관용기의 연결부(31)에 결합시키기 위한 조임나사(33)로 조여지는 조임밴드(32)를 사용하면 되지만 이것 이외에도 나사결합, 플렌지 결합 등 다양한 밀폐결합장치를 사용할 수 있다.
기포포획부는 기포가 이동중 용액 상방향에 주로 존재하므로 점액통로의 상부에 형성되는 데, 이는 다수의 작은 공간(38)들을 만드는 공간형성부(39)로 이루어진다.
이러한 기포포획부는 여러 가지 형태로 만들 수가 있지만, 점액통로 역할과 기포포획역할을 동시에 하도록 배출건(30)으로 주름진 관을 사용하면 편리하다.
이 주름진 관은 가요성을 가지면 작업중 배출건의 점액배출구(40)를 이동하기가 매우 쉬워진다.
주름진 관의 주름형태는 일정한 각으로 주름진 것, 둥근 모양으로 주름진 것 등을 사용하면 된다. 또한, 주름관이 아니라도 상부에 요철부를 형성하여 작은 공간들을 만들고 이 공간에 기포가 포획되도록 한 구조라도 좋다.
본 고안을 이용하여 포토레지스트를 웨이퍼에 코팅하는 과정을 설명한다.
웨이퍼가 들어있는 캐리어를 웨이퍼 공급부에 로딩시키면, 자동적으로 웨이퍼가 한 장씩 코팅(coating)부내로 이동하게 된다. 웨이퍼가 진공척 위에 안착되면 강한 진공에 의하여 웨이퍼가 고정되면서, 회전하거나 정지상태에서 있게 되고, 점액공급펌프가 작동되어 포토레지스터(photoresist)가 배출될 때 공기 기포가 점액 여과기에서 완전히 제거되지 않고 일부가 점액과 함께 혼합되어 점액 배출기구로 이동하거나, 점액배출기구의 연결부위가 완전히 밀봉되지 않아 공기가 유입되어 점액 내에 기포가 존재하게 되면 점액 배출기구의 모양이 주름관 등으로 되어 있어 기포의 이동이 저지된다.
즉, 점액배출기구로 이동되는 공기 기포나, 점액 배출기구의 결함으로 유입되는 공기 기포가 점액 배출시 점액과 함께 점액배출기구를 통과할 경우, 공기 기포와 점액과의 비중 차이로 인하여 공기 기포는 항상 점액 위에 떠서 이동하게 된다.
따라서, 점액 배출기구의 모양을 주름지게 하여 기포포획을 위한 공간이 존재하므로써 공기 기포(25)는 주름진 홈 즉, 기포포획부 내의 공간에 갇히게 되고, 점액(24)만 배출되게 된다.
본 고안의 주름진 점액배출기구는 결합에서 분리되고, 분해. 조립. 교체가 가능하며, 일정 주기 세척(clearing)하여 사용할 수 있으므로 매우 편리하다.
그리고 점액 배출 기구가 점액 배출 시 최종적으로 점액으로부터 공기 기포를 분리제거시켜 주므로 코팅불량을 감소시키는 효과가 있으며, 분해. 조립이 가능하여 오염된 점에 배출기구를 교체할 수가 있기 때문에 미립자(particle)발생을 억제하는 효과도 있다.
또한, 점액배출기구가 막혀서 배출량 및 압력이 변화되는 현상도 개선된다.

Claims (6)

  1. 점액 보관용기와, 점액보관용기 내의 점액을 펌핑 및 여과하기 위한 펌프 및 점액여과기와, 펌핑 및 여과된 점액을 대상물 상에 배출시키기 위한 점액배출기구를 포함하여 이루어진 점액배출장치에 있어서, 상기 점액배출기구는 상기 점액 보관용기의 연결부(31)에 연결설치되어 상기 점액을 이동시키기 위한 점액통로를 갖으며, 점액에 포함되어 상기 점액통로 내로 이동되는 기포를 포획하기 위한 기포포획부(38,39)가 형성된 배출건(30)과, 상기 점액 보관용기의 연결부(31)에 형성되어 상기 점액을 일정 점도로 유지시키기 위한 온도조절기구(21)와, 상기 점액 보관용기의 연결부(31) 일단에 상기 배출건(30)을 고정시키어 밀봉결합시키기 위한 밀봉결합부(32,33)를 구비한 점액배출장치.
  2. 점액보관용기의 연결부를 감싸도록 형성된 점액온도 조절기구와, 상기 점액온도 조절기구의 일단인 상기 점액보관용기의 연결부의 출구에 연결되는 밀봉결합부와, 상기 밀봉결합부에 연결되어 점액배출구까지 점액을 밀봉상태로 이동시키는 점액통로와, 상기 점액통로 상에 설치되어 상기 점액에 포함되어 이동되는 기포를 포획하기 위한 기포포획부를 포함하여 구성되는 점액배출기구.
  3. 제2항에 있어서, 상기 밀봉결합부로는 상기 점액 보관용기의 연결부(31)에 상기 점액통로를 밀봉시키기 위한 조임밴드(32)와, 조임나사(33)를 가지고, 상기 기포포획부로는 상기 점액통로의 상부에 다수의 작은 공간(3)들을 만드는 공간형성부(39)을 갖는 것이 특징인 점액 배출 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 배출건은 주름진 관으로 형성된 것이 특징인 점액 배출 장치.
  5. 제7항에 있어서, 상기 주름진 관은 가요성인 것이 특징은 점액 배출 장치.
  6. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 기포포획부의 공간 입구가 상기 배출통로 내부 공간보다 작은 것을 특징으로 하는 점액 배출 장치.
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