KR0121117B1 - 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법 - Google Patents

반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법

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Abstract

본 발명은 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법에 관한 것으로, 불순물 이온주입으로 폴리실리콘 표면에 생성되는 불균일막을 폴리실리콘 식각후 세정공정시 제거하므로써 대기 노출시 폴리실리콘막이 보호되어 찌꺼기(Residue) 발생이 억제될 수 있도록 한 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법에 관해 기술된다.

Description

반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법
제1a도 내지 제1c도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법을 설명하기 위한 소자의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 실리콘 기판 2 : 산화막
3및 3A : 폴리실리콘막 4및 4A : 불균일막
5 : 마스크
본 발명은 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법에 관한 것으로, 특히 불순물 이온주입으로 폴리시리콘 표면에 생성되는 불균일막을 폴리실시콘 식각후 세정공정시 제거하므로써 대기 노출시 폴리실리콘막이 보호되어 찌꺼기(Residue) 발생이 억제될 수 있도록 한 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 게이트 전극, 배선 및 캐패시터의 전하 저장전극등은 불순물을 주입하거나 또는 불순물이 주입된 폴리실리콘(Poly-Si)으로 형성되는데, 종래 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법을 설명하면 다음과 같다.
종래 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법은 산화막(SiO2)이 형성된 실리콘 기판 상부에 폴리실리콘을 증착하고 인(Phosphorous) 등의 불순물을 주입하면 상기 폴리실리콘 표면에 불순물 원자(Atom)와 대기중의 O2등과 반응한 P2O5등과 같은 불균일막이 형성되는데, 이 불균일막을 제거하기 위하여 HF에 담그거나 또는 건식세정인 HF 기상식각(HF Vapor Etch) 등의 디글레이즈(Deglaze) 공정을 진행하여 상기 불균일막을 제거한 다음 순수에 의한 세정공정을 진행하고 전극 또는 배선을 형성시키기 위하여 마스크 공정 및 사진식각 공정을 진행하면 폴리실리콘 전극 또는 배선이 형성된다. 그런데 상기 디글레이즈 공정에 의해 불균일막이 제거되므로 세정공정시 폴리실리콘막에 찌꺼기가 발생될 가능성이 높게된다.
따라서 본 발명은 불순물 이온주입으로 폴리실리콘 표면에 생성되는 폴리실리콘 식각후 세정공정시 제거하므로써 상기한 단점을 해소할 수 있는 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 실리콘 기판(1) 상부에 산화막(2) 및 폴리실리콘막(3)을 형성시킨 다음 불순물을 주입시키는 단계와, 상기 단계로 부터 폴리실리콘 전극 또는 배선을 형성시키기 위해 형성된 불균일막(4) 상부에 마스크(5)를 위치시키고 노출된 부분의 불균일막을 제거한 다음 식각공정을 진행시키는 단계와, 상기 단계로부터 마스크(5)를 제거하고 세정공정을 실시하여 잔류된 불균일막(4A)을 제거시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
제1a도 내지 제1c도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 폴리실시콘막 형성방법을 설명하기 위한 소자의 단면도이다.
제1a도는 실리콘 기판(1) 상부에 산화막(2) 및 폴리실리콘막(3)을 순차적으로 형성시킨 다음 불순물(Pocl3)을 주입하여 상기 폴리실리콘막(3) 표면상부에 PxOy로 구성된 불균일막(4)이 형성된 상태의 단면도이다.
제1b도는 제1a도의 상태에서 폴리실리콘전극 또는 배선을 형성시키기 위해 불균일막(4) 상부에 마스크(5)를 위치시키고 노출된 부분의 불균일막을 제거한 다음 플라즈마 식각(Plasma Etch)방법 등을 이용하여 식각공정을 진행하는 상태의 단면도이다.
제1c도는 식각공정후 마스크(5)를 제거하여 전극 또는 배선으로 이용될 폴리실리콘막(3A)이 형성된 상태의 단면도인데, 이 상태에서 세정공정을 진행하여 잔류된 불균일막(4A)을 제거하게 된다.
상술한 바와같이, 본 발명에 의하면 불순물 이온주입으로 폴리실리콘 식각후 세정공정시 제거하므로써 대기 노출시 폴리실리콘막이 보호되어 찌꺼기 발생이 억제되며 디글레이즈 공정이 생략되어 공정이 단순화될 수 있는 탁월한 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법에 있어서, 실리콘 기판(1) 상부에 산화막(2) 및 폴리실리콘막(3)을 형성시킨 다음 불순물을 주입시키는 단계와, 상기 단계로부터 폴리실리콘 전극 또는 배선을 형성시키기위해 형성된 불균일막(4) 상부에 마스크(5)를 위치시키고 노출된 부분의 불균일막을 제거한 다음 식각공정을 진행시키는 단계와, 상기 단계로부터 마스크(5)를 제거하고 세정공정을 실시하여 잔류된 불균일막(4A)을 제거시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 폴리실리콘막 형성방법.
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