KR0117666Y1 - 웨이퍼 스크렛치 감지장치 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에서 기재된 고안이 속하는 기술분야

본 고안은 웨이퍼 로딩/언로딩(Loading/Unloading)시에 발생되는 스크렛치(Scratch)를 사전에 감지해내는 감지장치에 관한 것이다.

2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제

로보트에 이상이 생기거나, 다른 부분에서의 작동 이상으로 웨이퍼를 로딩시키거나, 언로딩시킬때 웨이퍼를 로딩시키거나, 언로딩시키는 동작 전, 후에 웨이퍼에 스크렛치를 때때로 발생하므로 이를 즉시 발견히여 경보할 수 있는 확성경보의 감지 수단이 필요로 됨.

3. 고안의 해결방법의 요지

로보트암의 일정 위치에 접촉음을 확대발성하는 감지수단을 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스크렛치 감지 장치.

4. 고안의 중요한 용도

로보트암에 소음확대기능을 갖는 감지수단을 구비함으로써 웨이퍼에 접근하는 로보트암의 이상작동에 의한 긁힘소음(스크렛치)을 작업자에게 전달함으로써 스크렛치가 발생된 웨이퍼를 구별해내는 효과를 거두게 됨.

Description

웨이퍼 스크렛치 감지장치

제 1 도는 본 고안이 실시된 에치 장비의 해당부분을 설명하는 개략도.

제 2 도는 본 고안의 다른 실시예의 블럭도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 로보트암(ROBOT ARM),2 : 로보트 업다운 장치,

3 : 웨이퍼 카셋트,4 : 웨이퍼,

11, 12 : 감지수단,31 : 웨이퍼 적재공간.

본 고안은 웨이퍼 로딩/언로딩(Loading/Unloading)시에 발생되는 스크렛치(Scratch)를 사전에 감지해내는 감지장치에 관한 것이다.

반도체를 제조하는 전체 시스템 중 웨이퍼를 카세트에 자동 적재(Auterloader)시키는 LRC-4428장비는 로보트 암(ROBOT ARM)에 의하여 1매의 웨이퍼를 일일히 26장의 웨이퍼가 적재되는 카셋트(26장의 웨이퍼가 0.7cm간격으로 적재공간(SLOT)에 한장씩 들어갈 수 있게 제작되어 웨이퍼를 묶음 단위로 이동 시킬때 사용되는 박스)에서 로딩시키거나, 언로딩시키는 작동을 하는 장비로서 0.2cm 두께의 로보트암이 0.7cm 의 공간을 오차없이 동작해야 한다.

그러나, 로보트에 이상이 생기거나, 다른 부분에서의 작동 이상으로 웨이퍼를 로딩시키거나, 언로딩 시킬 때 정밀한 간격으로 진입되거나 인출되는 로보트암이 미세한 오차를 일으켜 웨이퍼를 로딩시키거나, 언로딩시키는 동작 전, 후에 웨이퍼에 접촉되어 스크렛치를 형성하는 경우가 때때로 발생하며, 이와같은 스크렛치가 발생하는 웨이퍼는 즉시 제거되어야 함에도 이를 제거하지 못함으로 인하여 계속적인 웨이퍼 스크렛치를 일으키는 결과를 초래하여 왔다.

따라서 이와같은 미세한 접촉에 의한 스크렛치 형성소음을 작업자의 감각으로는 전혀 느낄 수 없어 이를 어떤 감지수단에 의하여 체킹해내어 작업자로 하여금 소리로서 알 수 있게 한뒤, 이를 자동 경보와 동시에 제거할 수 있도록 함이 필요로 되어 왔다.

본 고안은 이와 같은 종래 장비 가동중의 문제점을 감안하여 웨이퍼 로딩시나 언로딩시에 발생되는 접촉소음을 작업자가 알 수 있도록 감지하는 수단을 제공함에 그 목적이 있으며, 보다 구체적으로는 접촉소음과 정상소음을 자동적으로 시그널화 하여 이 시그널에 의하여 자동적으로 이상소음과 정상소음이 비교된후 경보수단을 작동시킴과 동시에 해당 웨이퍼의 제거가 이루어질 수 있도록 일시 공정라인이 정지되도록 하는 수단을 제공함에 그 목적이 있다.

이와같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 기술적 구성은 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 하는 로보트 암에 소음이 확성되는 감지수단을 설치하여서 되며, 바람직하게는 정상작동 소음과 이상소음을 구별하는 이중감지수단으로 되어 웨이퍼 로딩시나, 언로딩시의 접촉음과 로보트암을 작동시키는 등의 정상소음을, 로보트암의 진입이나, 후퇴시에 미세한 오차로 인하여 웨이퍼면을 긁어 스크렛치를 형성하는 이상 소음을 확대발성시켜 두가지 정상소음과 이상소음에 익숙해진 작업자로 하여금 이를 구별하여 들을 수 있도록 하는 두개의 전, 후 감지수단을 갖추어서 되거나, 이를 각각의 독특한 파형신호로 바꾼뒤, 이를 이 신호에 의하여 이상소음이 검출되는 순간 경보장치가 작동되면서, 웨이퍼 작업 라인을 일시 정지 시키도록 하는 수단으로 실시할 수 있다.

따라서 본 고안은 최소한 기존의 로보트암에 소음확대기능을 갖는 감지수단을 구비함으로써 웨이퍼에 접근하는 로보트암의 이상작동에 의한 긁힘소음(스크렛치)을 작업자에게 전달함으로써 스크렛치가 발생된 웨이퍼를 구별해내는 효과를 거두게 됨과 아울러 연속적인 스크렛치 발생으로 인한 막대한 웨이퍼 손상을 사전에 방지하게 되는 효과를 거둔다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명한다.

첨부도면중 제 1 도는 본 고안의 일 실시예를 나타내는 전체 개략의 작동도로서, 도면중 부호 1은 로보트암이고, 2는 로보트 업다운 장치이며, 3은 웨이퍼 카셋트이고, 4는 웨이퍼이며, 11은 제1 감지기이고, 12는 제2 감지기이며, 31은 웨이퍼 적재공간(Slot)이다.

본 고안은 로보트암(1)의 일정 위치에 제1감지기(11)와 제2감지기(12)를 설치하여서 된다.

본 고안에 있어서 감지기(11)(12)로 실시될 수 있는 수단으로는 고감도의 크리스탈 마이크가 가능하다.

이와같은 본 고안의 구체적 작동을 로드시와 언로드시로 구분하여 설명한다.

먼저, 로드(웨이퍼를 카셋트에서 꺼냄)시의 작동 순서는, 1)로보트암(1)이 진입한다. ---2)7mm 상승하여 웨이퍼가 암에 재치된다. ---3)로보트암(1)이 후진한다. 언로드( 웨이퍼를 카셋트의 공간에 넣음)시의 작동순서는, 2)로보트암(1)위에 웨이퍼(4)가 실린 상태에서 카셋트(3)의 빈공간(31)으로 진입한다. ---2) 7mm아래로 다운 된다( 웨이퍼가 암에서 공간으로 이동) ---3) 로보트암(1)이 후진한다.

상기 로드시에 감지기(11)(12)에 각각 소음이 감지된다는 것은 첫째, 제2감지기(12)의 뒤에 위치한 로보트암(1)을 구동시키는 모터와 벨트와 구동소음이 감지되거나, 둘째, 제1감지기(11)전방에서 로보트암(1)과 웨이퍼(4)가 접촉되어 스크렛치를 발생할때이다. 이것은 웨이퍼(4)가 0.7cm으로 적재된 카셋트(3)의 공간(31)으로 로보트암(1)이 진입하는 순간의 미세한 로보트암(1)의 오차로 인하여 로보트암(1)과 웨이퍼(4)사이에 발생되는 경우이다.

또한, 언로드시에 감지기(11)(12)에 각각 소음이 감지되는 것은 첫째, 로보트암(1)이 웨이퍼(4)를 싣고 진입할때 작동 오차에 의하여 스크렛치 발생 소음이 감지되며, 둘째, 로보트암(1)이 카셋트(3)에 들어가 일정 높이 상승하면서 생기는 소음이 감지된다.

따라서 스크렛치가 발생되는 작동과정은 로보트암(1)이 카셋트(3)에 진입하거나, 카셋트(3)에서 후진할때 임을 알 수 있으며, 이때의 소음을 이상소음으로 확성되게 하여 본 고안이 목적으로 하는 이상소음 발생순간 정상소음과 구별됨으로써 불량웨이퍼를 제거하게 되는 것이다.

뿐만 아니라 본 고안은 제 2 도에서 도시된 블럭도에 의하여 정상작동 소음과 이상소음을 구별하는 감지부와, 감지된 신호를 각각 독특한 파형으로 변형시키는 파형신호를 시그널화 하는 시그널부와, 이를 비교한뒤 이상 소음의 파형만을 경보부로 전달시킴과 동시에 정지 신호로서 로보트 장비의 일시정지를 작동시키는 수단으로 실시될 수 있다.

Claims (2)

1. 로보트암의 일정 위치에 접촉음을 확대발성하는 감지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스크렛치 감지 장치.
2. 제 1항에 있어서, 감지수단이 정상삼지기와 이상감지기인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스크렛치 감지장치.