JPWO2025041252A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 内部を真空に保持し、両端部にそれぞれ固定側端板及び可動側端板を有する絶縁容器と、
   前記固定側端板に固定され、端部に固定側接点が接合された固定側電極棒と、
   前記可動側端板に配置され、前記固定側接点に対して接離可能に配置された可動側接点が端部に接合された可動側電極棒と、
   一端が前記可動側端板に接合され、他端が前記可動側電極棒に接合され、前記可動側電極棒の駆動方向に伸縮自在な蛇腹構造を有し、前記蛇腹構造の谷部が前記可動側電極棒と接触するベローズと、
   を備えることを特徴とする真空バルブ。
2. 内部を真空に保持し、両端部にそれぞれ固定側端板及び可動側端板を有する絶縁容器と、
   前記固定側端板に固定され、端部に固定側接点が接合された固定側電極棒と、
   前記可動側端板に配置され、前記固定側接点に対して接離可能に配置された可動側接点が端部に接合された可動側電極棒と、
   一端が前記可動側端板に接合され、他端が前記可動側電極棒に接合され、前記可動側電極棒の駆動方向に伸縮自在な蛇腹構造を有するベローズと、
   前記ベローズの前記他端と接合され、外周部が前記蛇腹構造の谷部と接触し、内周部が前記可動側電極棒と接触し、突起を有する第１のガイドと、
   前記可動側端板と接合され、外周部が前記蛇腹構造の谷部と接触し、内周部が前記可動側電極棒と接触し、前記第１のガイドと互いに嵌め合わせ可能な突起を有する第２のガイドと、
   を備えることを特徴とする真空バルブ。
3. 内部を真空に保持し、両端部にそれぞれ固定側端板及び可動側端板を有する絶縁容器と、
   前記固定側端板に固定され、端部に固定側接点が接合された固定側電極棒と、
   前記可動側端板に配置され、前記固定側接点に対して接離可能に配置された可動側接点が端部に接合された可動側電極棒と、
   一端が前記可動側端板に接合され、他端が前記可動側電極棒に接合され、前記可動側電極棒の駆動方向に伸縮自在な蛇腹構造を有するベローズと、
   前記蛇腹構造の谷部に挿入された、薄板で断面がＵ字状のリング又は前記リングの分割体と、
   を備えることを特徴とする真空バルブ。
4. 前記ベローズは多層構造を有し、
   前記多層構造の両端部以外は各層間が封止されておらず、
   前記多層構造の両端部において各層間が封止されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空バルブ。
5. 前記蛇腹構造の谷部及び前記可動側電極棒の外周部の少なくとも一方が絶縁コ－ティングされることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
6. 前記可動側電極棒が角柱であることを特徴とする請求項１又は５に記載の真空バルブ。
7. 前記第１のガイド及び前記第２のガイドは絶縁物であることを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
8. 前記可動側電極棒が角柱であり、
   前記第１のガイドの内周部の断面及び前記第２のガイドの内周部の断面が、角柱である前記可動側電極棒の断面と同じ多角形の形状を有することを特徴とする請求項２又は７に記載の真空バルブ。
9. 前記第１のガイドの外周部の断面及び前記第２のガイドの外周部の断面が、多角形の形状であることを特徴とする請求項２又は７に記載の真空バルブ。
10. 径の異なる複数の筒状体を嵌め合わせ、多層の筒状体を作製する工程と、
    前記多層の筒状体の側壁を蛇腹形状に成形し、蛇腹構造を有する多層ベローズを作製する工程と、
    前記多層ベローズの両端部において各層間を封止する工程と、
    前記多層ベローズの前記蛇腹構造の谷部が可動側電極棒と接触するように前記多層ベローズを配置する工程と、
    を備えることを特徴とする真空バルブの製造方法。