JPWO2024038674A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2026025142A JP2026069667A (ja) | 2022-08-19 | 2026-02-19 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022131021 | 2022-08-19 | ||
| JP2022131021 | 2022-08-19 | ||
| JP2022175428 | 2022-11-01 | ||
| JP2022175428 | 2022-11-01 | ||
| PCT/JP2023/022986 WO2024038674A1 (ja) | 2022-08-19 | 2023-06-21 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026025142A Division JP2026069667A (ja) | 2022-08-19 | 2026-02-19 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2024038674A1 JPWO2024038674A1 (https=) | 2024-02-22 |
| JPWO2024038674A5 true JPWO2024038674A5 (https=) | 2025-11-27 |
| JP7833151B2 JP7833151B2 (ja) | 2026-03-19 |
Family
ID=89941449
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024541433A Active JP7833151B2 (ja) | 2022-08-19 | 2023-06-21 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
| JP2026025142A Pending JP2026069667A (ja) | 2022-08-19 | 2026-02-19 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026025142A Pending JP2026069667A (ja) | 2022-08-19 | 2026-02-19 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20250171886A1 (https=) |
| JP (2) | JP7833151B2 (https=) |
| KR (1) | KR20250053851A (https=) |
| CN (1) | CN119731366A (https=) |
| TW (1) | TW202409316A (https=) |
| WO (1) | WO2024038674A1 (https=) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025089226A1 (ja) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | Ａｇｃ株式会社 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
| WO2025089225A1 (ja) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | Ａｇｃ株式会社 | イットリウム質保護膜およびその製造方法ならびに部材 |
| TWI863741B (zh) * | 2023-12-08 | 2024-11-21 | 翔名科技股份有限公司 | 靜電吸盤表面結構與其形成方法 |
| WO2025234334A1 (ja) * | 2024-05-08 | 2025-11-13 | Ａｇｃ株式会社 | アルミナ焼結体、アルミナ焼結体の製造方法、部材およびプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001240482A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-04 | Kyocera Corp | 耐プラズマ部材、高周波透過部材およびプラズマ装置 |
| JP5093745B2 (ja) | 2005-10-12 | 2012-12-12 | Ｔｏｔｏ株式会社 | 複合構造物 |
| JP2007162099A (ja) | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Toyota Motor Corp | 硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材 |
| JP2008227190A (ja) | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Toto Ltd | 静電チャック、静電チャックの製造方法および基板処理装置 |
| JP2013136814A (ja) | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Fujimi Inc | セラミック溶射皮膜及びその製造方法 |
| JP6650385B2 (ja) | 2016-11-07 | 2020-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材 |
| KR101815810B1 (ko) * | 2017-06-27 | 2018-01-05 | 강동원 | 플라즈마 블록의 코팅 방법 및 그에 의하여 코팅이 된 플라즈마 블록 |
| WO2019044850A1 (ja) | 2017-09-01 | 2019-03-07 | 学校法人 芝浦工業大学 | 部品および半導体製造装置 |
-
2023
- 2023-06-20 TW TW112123136A patent/TW202409316A/zh unknown
- 2023-06-21 KR KR1020257004562A patent/KR20250053851A/ko active Pending
- 2023-06-21 WO PCT/JP2023/022986 patent/WO2024038674A1/ja not_active Ceased
- 2023-06-21 JP JP2024541433A patent/JP7833151B2/ja active Active
- 2023-06-21 CN CN202380060506.9A patent/CN119731366A/zh active Pending
-
2025
- 2025-01-28 US US19/038,795 patent/US20250171886A1/en active Pending
-
2026
- 2026-02-19 JP JP2026025142A patent/JP2026069667A/ja active Pending
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