JPWO2023228397A5 - - Google Patents

Description

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示にかかるレーザ加工装置は、レーザ光を出力するレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光が伝搬する伝送ファイバと、レーザ発振器と伝送ファイバの入射端との間に配置され、伝送ファイバの入射端へ入射するレーザ光の入射開口数を変化させることによって、伝送ファイバの出射端から出射するレーザ光の出射開口数を調整する第１の機構と、レーザ光を収束させ、かつ、伝送ファイバの出射端からワークまでの間におけるレーザ光のズーム倍率を変化させる第２の機構と、第２の機構の制御により、レーザ光の結像位置におけるレーザ光のビーム径を調整し、かつ、第１の機構の制御により出射開口数を調整することによって、ビーム径の調整に対して独立して、結像位置からの距離に対するビーム径の変化量であるビーム径変化量を調整する制御装置と、を備える。

Claims (6)

1. レーザ光を出力するレーザ発振器と、
   前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光が伝搬する伝送ファイバと、
   前記レーザ発振器と前記伝送ファイバの入射端との間に配置され、前記伝送ファイバの前記入射端へ入射する前記レーザ光の入射開口数を変化させることによって、前記伝送ファイバの出射端から出射する前記レーザ光の出射開口数を調整する第１の機構と、
   前記レーザ光を収束させ、かつ、前記伝送ファイバの前記出射端からワークまでの間における前記レーザ光のズーム倍率を変化させる第２の機構と、
   前記第２の機構の制御により、前記レーザ光の結像位置における前記レーザ光のビーム径を調整し、かつ、前記第１の機構の制御により前記出射開口数を調整することによって、前記ビーム径の調整に対して独立して、前記結像位置からの距離に対する前記ビーム径の変化量であるビーム径変化量を調整する制御装置と、
   を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
2. 前記伝送ファイバの前記出射端から前記ワークまでの間において前記レーザ光のビームプロファイルを変化させる第３の機構をさらに備え、
   前記制御装置は、前記第３の機構の制御により、前記ビーム径の調整と前記出射開口数の調整との各々に対して独立して前記ビームプロファイルの切り換えを行うことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記結像位置から前記ワークの表面までの距離を変化させる第４の機構をさらに備え、
   前記制御装置は、前記第４の機構の制御により、前記ビーム径の調整と前記出射開口数の調整との各々に対して独立して、前記結像位置から前記ワークの表面までの距離の調整を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
4. 前記ワークへ向けて前記レーザ光を出射させ、かつ加工ガスを送り出すノズルと、
   前記ノズルから前記ワークの表面までの距離を変化させる第５の機構と、をさらに備え、
   前記制御装置は、前記第５の機構の制御により、前記ビーム径の調整と前記出射開口数の調整との各々に対して独立して、前記ノズルから前記ワークの表面までの距離の調整を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
5. 前記ワークへ向けて前記レーザ光を出射させ、かつ加工ガスを送り出すノズルと、
   前記ノズルから前記ワークの表面までの距離を変化させる第５の機構と、をさらに備え、
   前記制御装置は、前記第５の機構の制御により、前記ビーム径の調整と前記出射開口数の調整との各々に対して独立して、前記ノズルから前記ワークの表面までの距離の調整を行うことを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工装置。
6. レーザ光を出力するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光が伝搬する伝送ファイバと、前記レーザ発振器と前記伝送ファイバの入射端との間に配置され、前記伝送ファイバの前記入射端へ入射する前記レーザ光の入射開口数を変化させる第１の機構と、前記レーザ光を収束させ、かつ、前記伝送ファイバの出射端からワークまでの間における前記レーザ光のズーム倍率を変化させる第２の機構と、を備えるレーザ加工装置を制御するレーザ加工装置の制御方法であって、
   前記第２の機構の制御により前記ズーム倍率を変化させることによって、前記レーザ光の結像位置における前記レーザ光のビーム径を調整するステップと、
   前記第１の機構の制御により前記入射開口数を変化させることによって、前記伝送ファイバの前記出射端から出射する前記レーザ光の出射開口数を調整するステップと、
   を含み、
   前記第１の機構の制御により前記出射開口数を調整することによって、前記第２の機構の制御による前記ビーム径の調整に対して独立して、前記結像位置からの距離に対する前記ビーム径の変化量であるビーム径変化量を調整することを特徴とするレーザ加工装置の制御方法。