JPWO2023119601A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 円板状の形状を有する基体と、
   前記基体の内部に配置された高周波電極と、
   前記基体の内部に配置された発熱体と、
   筒状の形状を有する支持体と、を備え、
   前記基体は、
   加熱対象が載置される第一面と、
   前記支持体の第一端部が取り付けられた第二面と、
   前記第一面及び前記第二面につながる流路と、備え、
   前記流路は、
   前記第一面側に設けられた吸気口を有する第一流路と、
   前記第二面側における前記支持体の内側の領域に設けられた排気口を有する第二流路と、
   前記第一流路と前記第二流路とをつなぐ第三流路と、を備え、
   前記高周波電極、前記発熱体、及び前記第三流路の各々は、前記第一面に平行な面内に配置されており、
   前記発熱体及び前記第三流路は、前記高周波電極よりも前記第二面側に配置されている、
   ヒータ。
2. 前記第三流路は、前記発熱体よりも前記第二面側に配置されている、請求項１に記載のヒータ。
3. 前記第三流路は、前記高周波電極と前記発熱体との間の面内に配置されている、請求項１に記載のヒータ。
4. 前記高周波電極と前記第三流路との前記基体の厚さ方向の間隔が２ｍｍ以上である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のヒータ。
5. 前記基体の内部に配置されたシールド電極を更に備え、
   前記シールド電極は、前記第一面に平行な面内であって、前記高周波電極と前記第三流路との間の面内に配置されている、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のヒータ。
6. 円板状の形状を有する基体と、
   前記基体の内部に配置された高周波電極と、
   前記基体の内部に配置された発熱体と、
   前記基体の内部に配置されたシールド電極と、
   筒状の形状を有する支持体と、を備え、
   前記基体は、
   加熱対象が載置される第一面と、
   前記支持体の第一端部が取り付けられた第二面と、
   前記第一面及び前記第二面につながる流路と、備え、
   前記流路は、
   前記第一面側に設けられた吸気口を有する第一流路と、
   前記第二面側における前記支持体の内側の領域に設けられた排気口を有する第二流路と、
   前記第一流路と前記第二流路とをつなぐ第三流路と、を備え、
   前記高周波電極、前記発熱体、前記シールド電極、及び前記第三流路の各々は、前記第一面に平行な面内に配置されており、
   前記第一面側から前記第二面側に向かって順に、前記高周波電極、前記シールド電極、前記第三流路、及び前記発熱体が配置されている、
   ヒータ。
7. 前記第一流路の数は複数であり、
   前記吸気口が、前記第一面において前記基体の周方向に並んで配置されている、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のヒータ。
8. 前記第一流路の数は複数であり、
   前記第二流路の数は一つであり、
   前記第一面には、前記吸気口として複数の第一吸気口が設けられており、
   前記複数の第一吸気口の各々から前記排気口までの前記第一流路、前記第二流路、及び前記第三流路に沿った長さが同じである、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のヒータ。
9. 前記第一流路の数は複数であり、
   前記第二流路の数は一つであり、
   前記第一面には、前記吸気口として第二吸気口及び第三吸気口が設けられており、
   前記第二吸気口及び前記第三吸気口の各々から前記排気口までの前記第一流路、前記第二流路、及び前記第三流路に沿った長さが異なる、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のヒータ。
10. 前記第一流路の数は複数であり、
    前記第三流路は、前記基体の中心側から放射状に延びる複数の分岐路を備え、
    一つ又は複数の前記第二流路は、前記第三流路における前記基体の中心側につながっており、
    複数の前記第一流路の少なくとも一つは、前記分岐路の先端部につながっている、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のヒータ。