JPWO2023112178A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- 排気流路と、前記排気流路の途中に形成された消音用の拡張室と、前記排気流路を流れる排気の逆流を防止する逆止弁とを備えた消音器において、
前記排気流路および前記拡張室が内部に形成されている消音器ケースを有しており、
前記排気流路は、上流側流路部分と、前記拡張室を介して前記上流側流路部分に連通している下流側流路部分とを備えており、
前記消音器ケースは、上流側ケースと、前記上流側ケースに取り外し可能に連結された下流側ケースとを備えており、
前記上流側流路部分は前記上流側ケースの内部に形成されており、
前記下流側流路部分は前記下流側ケースの内部に形成されており、
前記拡張室は、前記上流側ケースと前記下流側ケースとの間のケース連結部分の内部に形成されており、
前記逆止弁は、
前記拡張室の内部に移動自在の状態で挿入されている球状弁体と、
前記球状弁体の着座面が形成された弁座板と、
を備えており、
前記弁座板は、
前記排気流路の前記上流側流路部分に面している上流側端面と、
前記拡張室に面している下流側端面と、
前記上流側端面から前記下流側端面まで貫通している貫通穴と、
を備えており、
前記貫通穴は、前記排気流路における前記上流側流路部分と前記拡張室とを連通する連通路を規定しており、
前記着座面は、前記下流側端面において前記貫通穴を同軸に取り囲む状態に形成されており、
更に、
寸法および重量のうち少なくとも一方が異なる複数種類の交換用球状弁体と、
前記貫通穴の形状および寸法、並びに、前記着座面の形状および寸法のうちの少なくとも一つが異なる複数種類の交換用弁座板と、
を備えており、
前記交換用球状弁体の一つが前記球状弁体として前記拡張室に挿入されており、
前記交換用弁座板の一つが前記弁座板として前記上流側ケースに装着されている消音器。 - 請求項1において、
前記着座面は、前記貫通穴の開口縁から前記拡張室に向かって内径が漸増する円錐面形状の面である消音器。 - (削除)
- (削除)
- 請求項1において、
前記弁座板は、前記上流側ケースに対する締結用の雄ネジが形成された締結用外周面を備えており、
前記上流側ケースは、前記雄ネジをネジ込み可能な雌ネジが形成された締結用内周面を備えている消音器。 - 請求項5において、
前記弁座板の前記締結用外周面と前記上流側ケースの前記締結用内周面との間をシールするシール部材を備えている消音器。 - 請求項1において、
前記弁座板の前記貫通穴は、非円形の断面形状をしている消音器。 - 請求項5において、
前記弁座板の前記貫通穴は、多角形の断面形状をしている消音器。 - 請求項1において、
前記排気流路は、前記拡張室の上流側に上流側拡張室を備えており、
前記上流側拡張室には、前記排気の逆流を防止するための上流側球状弁体が移動自在に挿入されており、
前記弁座板の前記上流側端面は、前記上流側拡張室に面しており、
前記弁座板の前記上流側端面に開口している前記貫通穴の上流端側内周縁部分は、非円形の輪郭形状をしている消音器。 - 請求項1に記載の消音器を備えていることを特徴とする真空排気装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2021/046145 WO2023112178A1 (ja) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 消音器および真空排気装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2023112178A1 JPWO2023112178A1 (ja) | 2023-06-22 |
JPWO2023112178A5 true JPWO2023112178A5 (ja) | 2024-05-30 |
Family
ID=86773771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023567364A Pending JPWO2023112178A1 (ja) | 2021-12-14 | 2021-12-14 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2023112178A1 (ja) |
WO (1) | WO2023112178A1 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH09184592A (ja) * | 1996-01-05 | 1997-07-15 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 脈動低減装置 |
JP3906973B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-04-18 | 株式会社アルバック | 真空排気装置 |
JP5009634B2 (ja) * | 2006-01-31 | 2012-08-22 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプユニット |
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-
2021
- 2021-12-14 WO PCT/JP2021/046145 patent/WO2023112178A1/ja active Application Filing
- 2021-12-14 JP JP2023567364A patent/JPWO2023112178A1/ja active Pending
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