JPWO2023003026A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. ホウ素を含有するセラミックスからなる基体を有し、
   該基体の表面部に、前記基体の内部におけるホウ素含有量よりも、多くのホウ素を含有するホウ素含有層を有する、セラミック部材。
2. 前記基体は、
   第１面と、
   該第１面と反対の位置に位置する第２面とを有し、
   前記第１面は、第１表面部に第１ホウ素含有層を有し、
   前記第２面は、第２表面部に第２ホウ素含有層を有し、
   前記第１ホウ素含有層のホウ素含有量を第１ホウ素含有量とし、
   前記第２ホウ素含有層のホウ素含有量を第２ホウ素含有量とした場合、
   前記第１ホウ素含有量と前記第２ホウ素含有量とが異なっている、請求項１に記載のセラミック部材。
3. 前記基体は、壁部を有する容器の形状をしており、
   前記第１面は、前記容器の内壁面であり、
   前記第２面は、前記容器の外壁面であり、
   前記第１ホウ素含有量は、前記第２ホウ素含有量よりも多い、請求項２に記載のセラミック部材。
4. 前記基体は、壁部を有する容器の形状をしており、
   前記第１面は、前記容器の内壁面であり、
   前記第２面は、前記容器の外壁面であり、
   前記第１ホウ素含有量は、前記第２ホウ素含有量よりも少ない、請求項２に記載のセラミック部材。
5. 前記基体は、
   複数の前記壁部を有しており、
   該壁部の内壁面において、隣接する前記壁部の間に位置する角部を第１角部とし、
   該第１角部の表面部におけるホウ素含有量を第３ホウ素含有量とし、
   前記壁部の外壁面において、隣接する前記壁部の間に位置する角部を第２角部とし、
   該第２角部の表面部におけるホウ素含有量を第４ホウ素含有量とし、
   前記第３ホウ素含有量と、前記第４ホウ素含有量との差を第１内外差とし、
   前記第１角部以外の領域における前記第１ホウ素含有量と、
   前記第２角部以外の領域における前記第２ホウ素含有量との差を第２内外差とした場合、
   前記第１内外差は、前記第２内外差よりも大きい、請求項３または４に記載のセラミック部材。
6. 前記基体は、気孔率が５％以下の多結晶体からなる酸化アルミニウム質セラミックスである、請求項１に記載のセラミック部材。