JPWO2022211023A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2022211023A5
JPWO2022211023A5 JP2023511705A JP2023511705A JPWO2022211023A5 JP WO2022211023 A5 JPWO2022211023 A5 JP WO2022211023A5 JP 2023511705 A JP2023511705 A JP 2023511705A JP 2023511705 A JP2023511705 A JP 2023511705A JP WO2022211023 A5 JPWO2022211023 A5 JP WO2022211023A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
stage device
guide
stage
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2023511705A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7742401B2 (ja
JPWO2022211023A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/016511 external-priority patent/WO2022211023A1/ja
Publication of JPWO2022211023A1 publication Critical patent/JPWO2022211023A1/ja
Publication of JPWO2022211023A5 publication Critical patent/JPWO2022211023A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7742401B2 publication Critical patent/JP7742401B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2023511705A 2021-04-01 2022-03-31 ステージ装置、露光装置、検査装置およびデバイス製造方法 Active JP7742401B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021062640 2021-04-01
JP2021062640 2021-04-01
PCT/JP2022/016511 WO2022211023A1 (ja) 2021-04-01 2022-03-31 ステージ装置、露光装置、検査装置およびデバイス製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2022211023A1 JPWO2022211023A1 (https=) 2022-10-06
JPWO2022211023A5 true JPWO2022211023A5 (https=) 2024-01-16
JP7742401B2 JP7742401B2 (ja) 2025-09-19

Family

ID=83456622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023511705A Active JP7742401B2 (ja) 2021-04-01 2022-03-31 ステージ装置、露光装置、検査装置およびデバイス製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20240021463A1 (https=)
EP (1) EP4317722A4 (https=)
JP (1) JP7742401B2 (https=)
KR (1) KR20230164074A (https=)
CN (1) CN117157743A (https=)
TW (1) TWI806474B (https=)
WO (1) WO2022211023A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2025134501A1 (ja) * 2023-12-21 2025-06-26 住友重機械工業株式会社 駆動装置、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0557558A (ja) 1991-08-29 1993-03-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 移動案内装置
JP2004260116A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Nikon Corp ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法
JP2005050944A (ja) * 2003-07-31 2005-02-24 Nikon Corp 露光装置
JP2005079367A (ja) * 2003-09-01 2005-03-24 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2005203567A (ja) * 2004-01-15 2005-07-28 Canon Inc 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法
CN101241314B (zh) * 2008-03-11 2010-06-23 上海微电子装备有限公司 可补偿z向位置的六自由度精密定位台
JP5863149B2 (ja) * 2012-04-04 2016-02-16 株式会社ニコン 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
JP6704658B2 (ja) * 2016-10-13 2020-06-03 住友重機械工業株式会社 ステージ装置
JP6960653B2 (ja) * 2017-03-30 2021-11-05 ピー・ヂー・ダブリュー株式会社 スライダ装置およびその製造方法
CN110658688B (zh) * 2018-06-29 2020-12-15 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种工件台系统及光刻设备
JP7328975B2 (ja) * 2018-08-30 2023-08-17 住友重機械工業株式会社 ステージ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109073137B (zh) 用于使支撑板在六个自由度产生运动的系统
CN104507834B (zh) 托板输送装置以及托板输送方法
US20120076631A1 (en) Feeding device
TWI717380B (zh) 定位設備
CN105252505B (zh) 精密气浮位移平台
US20160101527A1 (en) Industrial robot
CN107633868A (zh) 一种二自由度气浮运动平台
CN104400763B (zh) 气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台
JPWO2022211023A5 (https=)
CN108695219A (zh) 行驶车系统
TWI380958B (zh) 劃線裝置
JP6442831B2 (ja) テーブル装置、及び搬送装置
CN111924439B (zh) 一种高精度三工位两治具柔性踏步循环装置
JP2013159407A (ja) 搬送装置
CN103576464B (zh) 一种推顶机构及具有该推顶机构的光刻装置
CN103901735A (zh) 硅片推顶机构
CN114309925A (zh) 晶圆隐切装置
CN104400414B (zh) 基于密珠滚动支承的航空发动机装配测量一体化调心方法与装置
CN207942325U (zh) 定位设备
CN1532845B (zh) 载物台装置
TWI708653B (zh) 載物台裝置
CN205438489U (zh) 精密气浮位移平台
KR20230004122A (ko) 리니어 스테이지
CN203887630U (zh) 气浮式直线光栅尺装置
JP2023114174A (ja) テーブル装置